JPH11257862A - 連続式焼成炉における雰囲気制御装置 - Google Patents
連続式焼成炉における雰囲気制御装置Info
- Publication number
- JPH11257862A JPH11257862A JP6111298A JP6111298A JPH11257862A JP H11257862 A JPH11257862 A JP H11257862A JP 6111298 A JP6111298 A JP 6111298A JP 6111298 A JP6111298 A JP 6111298A JP H11257862 A JPH11257862 A JP H11257862A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- atmosphere
- ejector
- furnace
- zone
- continuous firing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 排気量の調整が容易であって各ゾーンの雰囲
気を厳密に一定に維持することができる連続式焼成炉に
おける雰囲気制御装置を提供する。 【解決手段】 連続式焼成炉１の雰囲気別の各ゾーン２
〜４に、雰囲気ガスの打ち込み手段５〜７をそれぞれ配
置する。また各ゾーン間の雰囲気切替え部に、炉内雰囲
気を強制排気するためのエジェクター８をそれぞれ配置
し、隣接するゾーンに雰囲気ガスが流入することを防止
する。
気を厳密に一定に維持することができる連続式焼成炉に
おける雰囲気制御装置を提供する。 【解決手段】 連続式焼成炉１の雰囲気別の各ゾーン２
〜４に、雰囲気ガスの打ち込み手段５〜７をそれぞれ配
置する。また各ゾーン間の雰囲気切替え部に、炉内雰囲
気を強制排気するためのエジェクター８をそれぞれ配置
し、隣接するゾーンに雰囲気ガスが流入することを防止
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品の
焼成に用いられる連続式焼成炉における雰囲気制御装置
に関するものである。
焼成に用いられる連続式焼成炉における雰囲気制御装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品等の焼成には、焼成温度に応じ
てＯ2 濃度等の炉内雰囲気を厳密に切替えた焼成が必要
とされる場合がある。このため、従来は連続式焼成炉の
各ゾーンに炉外で調製された雰囲気ガスを打ち込むとと
もに、ゾーン間の雰囲気切替え部に排気口を設け、自然
排気により炉内雰囲気を炉外に排気していた。また各ゾ
ーンには雰囲気センサを配置し、雰囲気ガスの打ち込み
量を制御していた。
てＯ2 濃度等の炉内雰囲気を厳密に切替えた焼成が必要
とされる場合がある。このため、従来は連続式焼成炉の
各ゾーンに炉外で調製された雰囲気ガスを打ち込むとと
もに、ゾーン間の雰囲気切替え部に排気口を設け、自然
排気により炉内雰囲気を炉外に排気していた。また各ゾ
ーンには雰囲気センサを配置し、雰囲気ガスの打ち込み
量を制御していた。
【０００３】しかし雰囲気ガスの打ち込み量を変化させ
た場合、排気口からの自然排気がこの変化に追随でき
ず、打ち込まれた雰囲気ガスの一部が隣接するゾーンに
流入して所定雰囲気から逸脱してしまうおそれがあっ
た。なお、本明細書においてゾーンとは、雰囲気の違い
によって区画された炉内の領域を意味するものであり、
予熱、焼成、冷却の各ゾーンとは必ずしも一致するもの
ではない。
た場合、排気口からの自然排気がこの変化に追随でき
ず、打ち込まれた雰囲気ガスの一部が隣接するゾーンに
流入して所定雰囲気から逸脱してしまうおそれがあっ
た。なお、本明細書においてゾーンとは、雰囲気の違い
によって区画された炉内の領域を意味するものであり、
予熱、焼成、冷却の各ゾーンとは必ずしも一致するもの
ではない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決し、排気量の調整が容易であって各ゾー
ンの雰囲気を厳密に一定に維持することができる連続式
焼成炉における雰囲気制御装置を提供するためになされ
たものである。
の問題点を解決し、排気量の調整が容易であって各ゾー
ンの雰囲気を厳密に一定に維持することができる連続式
焼成炉における雰囲気制御装置を提供するためになされ
たものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明の連続式焼成炉における雰囲気制御
装置は、ゾーンによって雰囲気を切替えて焼成を行う連
続式焼成炉の各ゾーンに、雰囲気ガスの打ち込み手段を
配置するとともに、ゾーン間の雰囲気切替え部に、炉内
雰囲気を強制排気するためのエジェクターを配置したこ
とを特徴とするものである。なお、エジェクターに排気
ガスの凝結防止用のヒータを取り付けることができ、ま
た各エジェクターの近傍に炉室内に突出する隔壁を配置
することが好ましい。
めになされた本発明の連続式焼成炉における雰囲気制御
装置は、ゾーンによって雰囲気を切替えて焼成を行う連
続式焼成炉の各ゾーンに、雰囲気ガスの打ち込み手段を
配置するとともに、ゾーン間の雰囲気切替え部に、炉内
雰囲気を強制排気するためのエジェクターを配置したこ
とを特徴とするものである。なお、エジェクターに排気
ガスの凝結防止用のヒータを取り付けることができ、ま
た各エジェクターの近傍に炉室内に突出する隔壁を配置
することが好ましい。
【０００６】本発明によれば、ゾーン間の雰囲気切替え
部に配置されたエジェクターにより、炉内雰囲気を強制
排気することができ、しかもエジェクターは排気量の調
整を簡便に行うことができる。このため、雰囲気ガスの
打ち込み量を変化させたような場合にも、打ち込まれた
雰囲気ガスはエジェクターによって確実に排気され、隣
接するゾーンに流入するおそれはない。従って、各ゾー
ンの雰囲気を厳密に一定に維持しながら連続焼成が可能
である。
部に配置されたエジェクターにより、炉内雰囲気を強制
排気することができ、しかもエジェクターは排気量の調
整を簡便に行うことができる。このため、雰囲気ガスの
打ち込み量を変化させたような場合にも、打ち込まれた
雰囲気ガスはエジェクターによって確実に排気され、隣
接するゾーンに流入するおそれはない。従って、各ゾー
ンの雰囲気を厳密に一定に維持しながら連続焼成が可能
である。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照しつつ、本発明
の好ましい実施の形態を説明する。図１は連続式焼成炉
の模式的な水平断面図と、焼成温度及び雰囲気の設定値
のグラフとを示した図である。この図１において１は連
続式焼成炉であり、被焼成物は左側から炉内に供給さ
れ、連続式焼成炉１の内部を移動する間に予熱、焼成、
冷却され、右側から取り出される。
の好ましい実施の形態を説明する。図１は連続式焼成炉
の模式的な水平断面図と、焼成温度及び雰囲気の設定値
のグラフとを示した図である。この図１において１は連
続式焼成炉であり、被焼成物は左側から炉内に供給さ
れ、連続式焼成炉１の内部を移動する間に予熱、焼成、
冷却され、右側から取り出される。
【０００８】この例では、図１の上段に示すように最高
温度での焼成終了までは雰囲気中のＯ2 濃度は１５％以
上、その後は段階的に５％、１％と低下させ、出口付近
では２００ppm 以下に設定するものとする。このため、
連続式焼成炉１の後半部にはＯ2 濃度５％のゾーン２に
Ｏ2 濃度５％の雰囲気ガスを打ち込むための雰囲気ガス
の打ち込み手段５と、Ｏ2 濃度１％のゾーン３にＯ2 濃
度１％の雰囲気ガスを打ち込むための雰囲気ガスの打ち
込み手段６と、Ｏ2 濃度２００ppm以下のゾーン４にＯ
2 濃度２００ppm 以下の雰囲気ガスを打ち込むための雰
囲気ガスの打ち込み手段７とが設けられている。
温度での焼成終了までは雰囲気中のＯ2 濃度は１５％以
上、その後は段階的に５％、１％と低下させ、出口付近
では２００ppm 以下に設定するものとする。このため、
連続式焼成炉１の後半部にはＯ2 濃度５％のゾーン２に
Ｏ2 濃度５％の雰囲気ガスを打ち込むための雰囲気ガス
の打ち込み手段５と、Ｏ2 濃度１％のゾーン３にＯ2 濃
度１％の雰囲気ガスを打ち込むための雰囲気ガスの打ち
込み手段６と、Ｏ2 濃度２００ppm以下のゾーン４にＯ
2 濃度２００ppm 以下の雰囲気ガスを打ち込むための雰
囲気ガスの打ち込み手段７とが設けられている。
【０００９】またこれらの各ゾーン２、３、４間の雰囲
気切替え部には、それぞれエジェクター８が配置されて
いる。エジェクター８は、図２に示したように高圧空気
をエジェクターコーン９の内側から噴出させ、絞り効果
によって生ずる負圧を利用して雰囲気ガスを吸引し、強
制排気を行うものである。エジェクター８の排気能力は
高圧空気の流量によって迅速かつ確実に調整できるが、
ネジ部により高圧空気噴出用のノズル１０をスライドさ
せることによっても排気量の調節ができ、また炉内に通
ずるバルブ１１を開閉することによっても排気量の調節
ができる。
気切替え部には、それぞれエジェクター８が配置されて
いる。エジェクター８は、図２に示したように高圧空気
をエジェクターコーン９の内側から噴出させ、絞り効果
によって生ずる負圧を利用して雰囲気ガスを吸引し、強
制排気を行うものである。エジェクター８の排気能力は
高圧空気の流量によって迅速かつ確実に調整できるが、
ネジ部により高圧空気噴出用のノズル１０をスライドさ
せることによっても排気量の調節ができ、また炉内に通
ずるバルブ１１を開閉することによっても排気量の調節
ができる。
【００１０】前記したように、連続式焼成炉１の各ゾー
ンには雰囲気センサが配置されており、設定された雰囲
気を維持できるように雰囲気ガスの打ち込み手段５、
６、７による打ち込み量を調整する。また各エジェクタ
ー８は炉圧の変動を検知するセンサにより制御される。
このため、仮に特定ゾーンへの雰囲気ガスの打ち込み量
が増加した場合には、それによる炉圧の上昇を検知して
雰囲気切替え部に配置された各エジェクター８への高圧
空気の流量が直ちに制御され、雰囲気切替え部からの雰
囲気ガスの排気量が直ちに増加される。また、雰囲気ガ
スの打ち込み量が減少した場合にも同様に、雰囲気ガス
の排気量が直ちに減少される。従って、従来の自然排気
の炉のように雰囲気ガスが隣接するゾーンに流入するこ
とはなく、常に安定した雰囲気下で、連続焼成が可能と
なる。
ンには雰囲気センサが配置されており、設定された雰囲
気を維持できるように雰囲気ガスの打ち込み手段５、
６、７による打ち込み量を調整する。また各エジェクタ
ー８は炉圧の変動を検知するセンサにより制御される。
このため、仮に特定ゾーンへの雰囲気ガスの打ち込み量
が増加した場合には、それによる炉圧の上昇を検知して
雰囲気切替え部に配置された各エジェクター８への高圧
空気の流量が直ちに制御され、雰囲気切替え部からの雰
囲気ガスの排気量が直ちに増加される。また、雰囲気ガ
スの打ち込み量が減少した場合にも同様に、雰囲気ガス
の排気量が直ちに減少される。従って、従来の自然排気
の炉のように雰囲気ガスが隣接するゾーンに流入するこ
とはなく、常に安定した雰囲気下で、連続焼成が可能と
なる。
【００１１】なおこのような雰囲気の明確な切り替えの
ために、エジェクター８の近傍に炉室内に突出する隔壁
１２を配置しておくことが好ましい。これらの隔壁１２
は隣接するゾーンからの雰囲気の流入を阻止する効果を
持つ。
ために、エジェクター８の近傍に炉室内に突出する隔壁
１２を配置しておくことが好ましい。これらの隔壁１２
は隣接するゾーンからの雰囲気の流入を阻止する効果を
持つ。
【００１２】図１に示すように、この例では連続式焼成
炉１の入口付近にもエジェクター８が配置されている。
このエジェクター８は被焼成物から発生する有機バイン
ダーのガスを含んだ炉内ガスを排気するためのものであ
る。このような有機バインダーを含有するガスは、エジ
ェクター８で吸引されると冷却されて凝結し、エジェク
ター８の内部に付着する。そこで図２に示したように、
この部分のエジェクター８には高圧空気噴出用のノズル
１０に凝結防止用のヒータ１３を取付け、高圧空気を２
００℃以上に加温しておくことが好ましい。
炉１の入口付近にもエジェクター８が配置されている。
このエジェクター８は被焼成物から発生する有機バイン
ダーのガスを含んだ炉内ガスを排気するためのものであ
る。このような有機バインダーを含有するガスは、エジ
ェクター８で吸引されると冷却されて凝結し、エジェク
ター８の内部に付着する。そこで図２に示したように、
この部分のエジェクター８には高圧空気噴出用のノズル
１０に凝結防止用のヒータ１３を取付け、高圧空気を２
００℃以上に加温しておくことが好ましい。
【００１３】また図２に示したように、エジェクター８
には斜め下向きにタールストック１４を設け、凝結物を
溜めたうえ外部に取り出し易いようにしておくことが好
ましい。このタールストック１４にもヒータ１５を取付
け、凝結物を加温して流出を容易化しておくことが好ま
しい。
には斜め下向きにタールストック１４を設け、凝結物を
溜めたうえ外部に取り出し易いようにしておくことが好
ましい。このタールストック１４にもヒータ１５を取付
け、凝結物を加温して流出を容易化しておくことが好ま
しい。
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の連続式
焼成炉における雰囲気制御装置は、雰囲気ガスの打ち込
み手段と排気量の調整が容易なエジェクターとを組み合
わせることにより、各ゾーンの雰囲気を厳密に一定に維
持することができるようにしたものである。このため炉
内雰囲気を厳密に切替えた焼成が必要とされる電子部品
等の焼成に適したものである。また、エジェクターを利
用したことにより炉内圧の調整も容易化する利点もあ
る。
焼成炉における雰囲気制御装置は、雰囲気ガスの打ち込
み手段と排気量の調整が容易なエジェクターとを組み合
わせることにより、各ゾーンの雰囲気を厳密に一定に維
持することができるようにしたものである。このため炉
内雰囲気を厳密に切替えた焼成が必要とされる電子部品
等の焼成に適したものである。また、エジェクターを利
用したことにより炉内圧の調整も容易化する利点もあ
る。
【図１】連続式焼成炉の模式的な水平断面図と、焼成温
度及び雰囲気の設定値のグラフとを組み合わせて示した
図である。
度及び雰囲気の設定値のグラフとを組み合わせて示した
図である。
【図２】エジェクターの部分断面図である。
１ 連続式焼成炉、２ ゾーン、３ ゾーン、４ ゾー
ン、５ 雰囲気ガスの打ち込み手段、６ 雰囲気ガスの
打ち込み手段、７ 雰囲気ガスの打ち込み手段、８ エ
ジェクター、９ エジェクターコーン、１０ 高圧空気
噴出用のノズル、１１ バルブ、１２ 隔壁、１３ 凝
結防止用のヒータ、１４ タールストック、１５ ヒー
タ
ン、５ 雰囲気ガスの打ち込み手段、６ 雰囲気ガスの
打ち込み手段、７ 雰囲気ガスの打ち込み手段、８ エ
ジェクター、９ エジェクターコーン、１０ 高圧空気
噴出用のノズル、１１ バルブ、１２ 隔壁、１３ 凝
結防止用のヒータ、１４ タールストック、１５ ヒー
タ
フロントページの続き (72)発明者 谷川 友由喜 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 佐々木 伸一 秋田県由利郡仁賀保町平沢字前田151番地 ティーディーケイ・エムシシ株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 ゾーンによって雰囲気を切替えて焼成を
行う連続式焼成炉の各ゾーンに、雰囲気ガスの打ち込み
手段を配置するとともに、ゾーン間の雰囲気切替え部
に、炉内雰囲気を強制排気するためのエジェクターを配
置したことを特徴とする連続式焼成炉における雰囲気制
御装置。 - 【請求項２】 エジェクターに排気ガスの凝結防止用の
ヒータを取り付けた請求項１に記載の連続式焼成炉にお
ける雰囲気制御装置。 - 【請求項３】 エジェクターの近傍に炉室内に突出する
隔壁を配置した請求項１に記載の連続式焼成炉における
雰囲気制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111298A JPH11257862A (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 連続式焼成炉における雰囲気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111298A JPH11257862A (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 連続式焼成炉における雰囲気制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11257862A true JPH11257862A (ja) | 1999-09-24 |
Family
ID=13161685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6111298A Pending JPH11257862A (ja) | 1998-03-12 | 1998-03-12 | 連続式焼成炉における雰囲気制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11257862A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007091451A1 (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Ngk Insulators, Ltd. | 連続炉の排気方法および排気構造 |
| JP2010139132A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| JP2014074521A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Koyo Thermo System Kk | 連続焼成炉 |
| JP2014214988A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 東海高熱工業株式会社 | 連続焼成炉 |
| CN111442641A (zh) * | 2019-01-16 | 2020-07-24 | 日本碍子株式会社 | 热处理炉 |
-
1998
- 1998-03-12 JP JP6111298A patent/JPH11257862A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007091451A1 (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Ngk Insulators, Ltd. | 連続炉の排気方法および排気構造 |
| EP1983284A1 (en) * | 2006-02-10 | 2008-10-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| US7997897B2 (en) | 2006-02-10 | 2011-08-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of discharging gas from continuous oven and gas discharge structure |
| EP1983284A4 (en) * | 2006-02-10 | 2012-04-04 | Ngk Insulators Ltd | METHOD FOR EXHAUSTING GAS FROM A CONTINUOUS OVEN AND GAS EXHAUST STRUCTURE |
| JP5134376B2 (ja) * | 2006-02-10 | 2013-01-30 | 日本碍子株式会社 | 連続炉の排気方法および排気構造 |
| JP2010139132A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| JP2014074521A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Koyo Thermo System Kk | 連続焼成炉 |
| JP2014214988A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 東海高熱工業株式会社 | 連続焼成炉 |
| CN111442641A (zh) * | 2019-01-16 | 2020-07-24 | 日本碍子株式会社 | 热处理炉 |
| JP2020112336A (ja) * | 2019-01-16 | 2020-07-27 | 日本碍子株式会社 | 熱処理炉 |
| CN111442641B (zh) * | 2019-01-16 | 2023-09-19 | 日本碍子株式会社 | 热处理炉 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH11257862A (ja) | 連続式焼成炉における雰囲気制御装置 | |
| JP2630869B2 (ja) | 真空蒸気発生装置 | |
| CA2065507C (en) | Reduced pressure heat treating device | |
| JPH05261783A (ja) | ベント式射出成形機 | |
| JP2002213879A (ja) | 加熱炉の雰囲気制御方法および加熱炉 | |
| JP2001150172A (ja) | レーザ切断装置 | |
| KR102368360B1 (ko) | 이차 전지 양극재 소성 장치 | |
| KR100415166B1 (ko) | 세라믹 전자부품 제조용로 | |
| KR19990073892A (ko) | 반도체장치 제조설비 | |
| KR101675685B1 (ko) | 백연 회수 장치 및 그 제어 방법 | |
| JP2729421B2 (ja) | 減圧気化冷却装置 | |
| US645179A (en) | Apparatus for reducing zinc. | |
| KR100484030B1 (ko) | 다이어프램 일체형 기화기 | |
| JP7167572B2 (ja) | 真空冷却装置 | |
| JP3647352B2 (ja) | 高温加熱炉 | |
| JP2005013879A (ja) | 廃液処理装置 | |
| JPH0526554A (ja) | 減圧気化冷却装置 | |
| JPH05172325A (ja) | バッチ式焼成炉におけるＮＯｘ低減方法及びＮＯｘ低減装置 | |
| JP2000356443A (ja) | 気化冷却装置 | |
| JP4539904B2 (ja) | 真空浸炭炉 | |
| JP3028646B2 (ja) | 噴流加熱式熱処理炉及び加熱方法 | |
| JP2570928Y2 (ja) | 単独焼成炉 | |
| KR930002182B1 (ko) | 감압증기열처리장치 | |
| RU2020101923A (ru) | Шахтная печь и вдув окислителя в нее | |
| MAACALISTER | ROYAL SOCIETY-OF1? MEDiCICNE |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041110 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070216 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20070413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070515 |