JP2010139132A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱処理装置10は、被処理物を熱処理する加熱炉12と、加熱炉12に接続されるとともに当該加熱炉12内で発生したガスを排出するための排気管15と、排気管15に設けられたエゼクタ17と、エゼクタに駆動ガスを供給する駆動ガス供給手段18と、駆動ガスの流量を調整するマスフローコントローラ26と、エゼクタ17に供給される駆動ガスを加熱する加熱手段19とを備える。
【選択図】 図1
Description
この特許文献1の熱処理装置は、排気管の途中にバルブを設けるとともに終端に真空ポンプを接続し、この真空ポンプの作動によって加熱炉内を減圧して排気ガスを排気管から排出するように構成されている。また、この熱処理装置は、排気管に液化トラップを設け、この液化トラップによって排気ガスに含まれるバインダ等の成分を冷却・凝縮し、さらに液化させた状態でタンクに収集するように構成されている。
さらに、排気ガスが排気管を通過する過程で冷却されると排気管の内面に排気ガス成分が凝縮して付着し、ガスの流動抵抗が増大して圧力損失を生じる可能性があり、これによって加熱炉内の圧力を一定に維持することが困難となっていた。
また、本発明の熱処理装置は、駆動ガスを加熱する加熱手段を備えているので、排気管を流れる排気ガスが駆動ガスによって冷却されてしまうことがなく、排気ガスに含まれる成分が排気管に凝縮・付着することに起因して排気管の流動抵抗が増大したり、圧力損失が生じたりすることが少なくなり、加熱炉内の圧力を一定に維持することが容易となる。
また、前記エゼクタの下流側に排気燃焼装置が設けられている場合には、前記加熱手段は、前記排気燃焼装置によって燃焼された排気ガスと、駆動ガスとの間で熱交換を行う熱交換器とすることができる。この場合、排気ガスの燃焼により生じた排熱を利用して駆動ガスを加熱することができるので、エネルギー効率を高めることができる。
本実施の形態の熱処理装置10は、真空中又は雰囲気中で被処理物としてのセラミック材やカーボン材、機械加工品等を加熱し、被処理物に含まれるバインダや被処理物に付着した加工油等の蒸発させ、排出除去することが可能な装置である。この熱処理装置10は、処理容器11の内部で熱処理を行う加熱炉12と、被処理物から発生したガスを排出するための排気系13とを備えている。
燃焼装置20は、排気管15および燃焼用ガス供給管32を介して流入した排気ガスおよび燃焼用ガスを内部で燃焼し、外部に排出するように構成されている。
被処理物は、加熱炉12の処理容器11内に収容され、加熱炉12のヒータの作動によって熱処理される。処理容器11内の圧力は圧力計28によって常時計測され、その検出信号が調節計29に入力される。調節計29は、処理容器11内の圧力が一定となるようにマスフローコントローラ26を制御し、駆動ガスの流量を調整する。
12 加熱炉
13 排気系
15 排気管
17 エゼクタ
18 駆動ガス供給手段
19 加熱手段
20 燃焼装置
21 燃焼用ガス供給手段
35a 熱交換器
Claims (3)
- 被処理物を熱処理する加熱炉と、
前記加熱炉に接続されるとともに当該加熱炉内で発生したガスを排出可能とされた排気管と、
前記排気管に設けられたエゼクタと、
前記エゼクタに駆動ガスを供給する駆動ガス供給手段と、
前記駆動ガスの流量を調整する流量調整手段と、
前記エゼクタに供給される駆動ガスを加熱する加熱手段と、
を備えていることを特徴とする熱処理装置。 - 前記加熱手段が、駆動ガスを加熱するヒータである請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記エゼクタの下流側に排気燃焼装置が設けられており、
前記加熱手段が、前記排気燃焼装置によって燃焼された排気ガスと駆動ガスとの間で熱交換を行う熱交換器である請求項1に記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008314580A JP2010139132A (ja) | 2008-12-10 | 2008-12-10 | 熱処理装置 |
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JP2008314580A Pending JP2010139132A (ja) | 2008-12-10 | 2008-12-10 | 熱処理装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104595911A (zh) * | 2014-12-29 | 2015-05-06 | 宁波鱼化龙机电科技有限公司 | 一种陶瓷件脱脂尾气处理装置 |
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-
2008
- 2008-12-10 JP JP2008314580A patent/JP2010139132A/ja active Pending
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Effective date: 20131106 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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A02 | Decision of refusal |
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A521 | Written amendment |
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A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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