JPH11257567A - 流体用容器と配管とを接続する接続具、該接続具による接続方法及び該方法に用いられる容器 - Google Patents
流体用容器と配管とを接続する接続具、該接続具による接続方法及び該方法に用いられる容器Info
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- JPH11257567A JPH11257567A JP10376260A JP37626098A JPH11257567A JP H11257567 A JPH11257567 A JP H11257567A JP 10376260 A JP10376260 A JP 10376260A JP 37626098 A JP37626098 A JP 37626098A JP H11257567 A JPH11257567 A JP H11257567A
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- B67D7/0272—Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers by gas acting directly on the liquid specially adapted for transferring liquids of high purity
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Loading And Unloading Of Fuel Tanks Or Ships (AREA)
- Branch Pipes, Bends, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２以上の流体を出し入れする容器と該液体を
移送する配管との接続において、その接続を簡便化して
自動化を容易にする。 【解決手段】 容器端面に２以上の流体が夫々出入りす
る２以上の流体口を有する容器を、２以上の流体の流路
と各流路に対応する２以上の流体口を端面に有する接続
具を用いて、配管に接続し、各流体を夫々連通させるに
際し容器端面の１つの流体口に対し接続具端面の１つの
流体口を芯合わせして該流体口同士を連結させることに
より、容器端面の他の１以上の流体口と接続具端面の対
応する他の１以上の流体口同士によって夫々共有される
密閉連通空間を夫々形成し、該空間を通じて各流体を夫
々連通させる。
移送する配管との接続において、その接続を簡便化して
自動化を容易にする。 【解決手段】 容器端面に２以上の流体が夫々出入りす
る２以上の流体口を有する容器を、２以上の流体の流路
と各流路に対応する２以上の流体口を端面に有する接続
具を用いて、配管に接続し、各流体を夫々連通させるに
際し容器端面の１つの流体口に対し接続具端面の１つの
流体口を芯合わせして該流体口同士を連結させることに
より、容器端面の他の１以上の流体口と接続具端面の対
応する他の１以上の流体口同士によって夫々共有される
密閉連通空間を夫々形成し、該空間を通じて各流体を夫
々連通させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２以上の流体が出
入りする容器を配管に接続して各流体を夫々連通させる
ために用いられる接続具、接続具を用いて容器を配管に
接続して各流体を夫々連通させる方法、並びにそれに用
いられる容器に関する。
入りする容器を配管に接続して各流体を夫々連通させる
ために用いられる接続具、接続具を用いて容器を配管に
接続して各流体を夫々連通させる方法、並びにそれに用
いられる容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】化学工業や半導体工業においては、各種
流体を収容する容器から該流体が必要な現場にガス圧又
はポンプ圧により配管を介して該流体を移送することが
行われている。例えば半導体集積回路や液晶表示素子の
製造工程における洗浄、フォトリソグラフィー、エッチ
ングなどの各工程では、高純度で且つ大量の薬品が使用
されることから、薬品自動供給装置が用いられている
が、このような薬品自動供給装置に対しては、薬品メー
カーより密閉容器に充填された薬品が供給されるのが通
例である。
流体を収容する容器から該流体が必要な現場にガス圧又
はポンプ圧により配管を介して該流体を移送することが
行われている。例えば半導体集積回路や液晶表示素子の
製造工程における洗浄、フォトリソグラフィー、エッチ
ングなどの各工程では、高純度で且つ大量の薬品が使用
されることから、薬品自動供給装置が用いられている
が、このような薬品自動供給装置に対しては、薬品メー
カーより密閉容器に充填された薬品が供給されるのが通
例である。
【０００３】ところが、装置と容器の接続方法には、流
体吸い込み用のチューブを容器中に挿入する方法、ネジ
でチューブを接続する方法、接続を簡易にするカプラで
接続する方法などがあるが、いずれも容器と供給装置を
接続する際、人が直接容器の蓋を取り、接続作業を行わ
なければならない。例えば、前記カプラ（クイックコネ
クター）を備えたこの種の容器においては、通常クイッ
クコネクターを２つ付属しているが、一方のクイックコ
ネクターで通液し、もう一方はガスを通気するために取
りつけられている。これら２つの部品は容器の天面の中
心から離れた位置に取り付けられているのが通例であ
る。そのため充填時においても、また薬液を取り出す際
にも、クリーンブース内で人手により、まず容器の位置
と方向を調整し、セットしなければならない。また配管
との接続にあたっても、人手により２つのクイックコネ
クターをセットしなければならない。
体吸い込み用のチューブを容器中に挿入する方法、ネジ
でチューブを接続する方法、接続を簡易にするカプラで
接続する方法などがあるが、いずれも容器と供給装置を
接続する際、人が直接容器の蓋を取り、接続作業を行わ
なければならない。例えば、前記カプラ（クイックコネ
クター）を備えたこの種の容器においては、通常クイッ
クコネクターを２つ付属しているが、一方のクイックコ
ネクターで通液し、もう一方はガスを通気するために取
りつけられている。これら２つの部品は容器の天面の中
心から離れた位置に取り付けられているのが通例であ
る。そのため充填時においても、また薬液を取り出す際
にも、クリーンブース内で人手により、まず容器の位置
と方向を調整し、セットしなければならない。また配管
との接続にあたっても、人手により２つのクイックコネ
クターをセットしなければならない。
【０００４】さらに容器としてはプラスチック成形品が
用いられていることが多いが、この場合容器の形状に対
してコネクターの部品の位置は容器ごとに微妙に異なっ
ているために微調整が必要なこと、一方クイックコネク
ターの性能上、接続にあたっては垂直挿入が要求される
ため、接続部分のズレはきわめて僅かしか許容されない
ことなどからも、自動化が困難であり、また人手による
場合においても熟練を要するなど作業効率の面で極めて
重大な問題がある。一方複数の流体口を有する容器と配
管とを、センサーで位置決めして接続する方法が、特開
平７−３３１９６に記載されているが、この方法では複
数の流体口を夫々検知して位置決めしなければならず効
率的でない。
用いられていることが多いが、この場合容器の形状に対
してコネクターの部品の位置は容器ごとに微妙に異なっ
ているために微調整が必要なこと、一方クイックコネク
ターの性能上、接続にあたっては垂直挿入が要求される
ため、接続部分のズレはきわめて僅かしか許容されない
ことなどからも、自動化が困難であり、また人手による
場合においても熟練を要するなど作業効率の面で極めて
重大な問題がある。一方複数の流体口を有する容器と配
管とを、センサーで位置決めして接続する方法が、特開
平７−３３１９６に記載されているが、この方法では複
数の流体口を夫々検知して位置決めしなければならず効
率的でない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って、本願発明の課
題は、流体を出し入れする容器と該流体を移送する配管
との接続において、その接続を簡便化して自動化を容易
にする接続具及び該接続具による流体連通方法、さらに
は該方法に用いる容器を提供し、作業効率を格段に向上
させることにある。
題は、流体を出し入れする容器と該流体を移送する配管
との接続において、その接続を簡便化して自動化を容易
にする接続具及び該接続具による流体連通方法、さらに
は該方法に用いる容器を提供し、作業効率を格段に向上
させることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の現状に鑑み、本発
明者らが鋭意研究を重ねた結果、かかる課題を一挙に解
決する技術を見出すに至った。即ち本発明は、容器端面
に２以上の流体が夫々出入りする２以上の流体口を有す
る容器と配管とを接続して、各流体を夫々連通させるた
めに用いられる接続具であって、その内部に対応する２
以上の流体の流路を有し、その端面に各流路に対応する
２以上の流体口を有し、容器端面の任意の流体口に対し
接続具端面の任意の流体口を芯合わせして該流体口同士
を連結させたときに、容器端面の他の１以上の流体口と
接続具端面の対応する他の１以上の流体口同士によって
夫々共有される密閉連通空間を夫々形成する形状を有す
ることを特徴とする、前記接続具に関する。
明者らが鋭意研究を重ねた結果、かかる課題を一挙に解
決する技術を見出すに至った。即ち本発明は、容器端面
に２以上の流体が夫々出入りする２以上の流体口を有す
る容器と配管とを接続して、各流体を夫々連通させるた
めに用いられる接続具であって、その内部に対応する２
以上の流体の流路を有し、その端面に各流路に対応する
２以上の流体口を有し、容器端面の任意の流体口に対し
接続具端面の任意の流体口を芯合わせして該流体口同士
を連結させたときに、容器端面の他の１以上の流体口と
接続具端面の対応する他の１以上の流体口同士によって
夫々共有される密閉連通空間を夫々形成する形状を有す
ることを特徴とする、前記接続具に関する。
【０００７】さらに本発明は、容器端面に２以上の流体
が夫々出入りする２以上の流体口を有する容器を、２以
上の流体の流路と各流路に対応する２以上の流体口を端
面に有する接続具を用いて、配管に接続し、各流体を夫
々連通させる方法であって、容器端面の１つの流体口に
対し接続具端面の１つの流体口を芯合わせして該流体口
同士を連結させることにより、容器端面の他の１以上の
流体口と接続具端面の対応する他の１以上の流体口同士
によって夫々共有される密閉連通空間を夫々形成し、該
空間を通じて各流体を夫々連通させることを特徴とす
る、前記方法に関する。さらにまた、本発明は、前記の
方法に用いられる容器であって、容器端面に２以上の流
体が夫々出入りする２以上の流体口を有することを特徴
とする、前記容器にも関する。
が夫々出入りする２以上の流体口を有する容器を、２以
上の流体の流路と各流路に対応する２以上の流体口を端
面に有する接続具を用いて、配管に接続し、各流体を夫
々連通させる方法であって、容器端面の１つの流体口に
対し接続具端面の１つの流体口を芯合わせして該流体口
同士を連結させることにより、容器端面の他の１以上の
流体口と接続具端面の対応する他の１以上の流体口同士
によって夫々共有される密閉連通空間を夫々形成し、該
空間を通じて各流体を夫々連通させることを特徴とす
る、前記方法に関する。さらにまた、本発明は、前記の
方法に用いられる容器であって、容器端面に２以上の流
体が夫々出入りする２以上の流体口を有することを特徴
とする、前記容器にも関する。
【０００８】本発明により、単に一つの流体口同士の芯
合わせのみを行えば、他の流体口も自動的に連結される
結果、容器と接続具とが簡単に接続できることとなり、
人手による繁雑でしかも精確さが要求される位置合わせ
が不要となる。即ち、一つの流体口同士の芯合わせのみ
により、他の流体の流路は容器の他の流体口と、接続具
の対応する他の流体口同士が共有する密閉連通空間で連
通されるので、従来のような微妙な流体口合わせが一切
不要となる。また位置ズレの許容範囲が広く、ラフな芯
合わせで十分となり、作業性が向上する。なお、本発明
において流体とは、液体、気体、さらには粉体等のあら
ゆる流体を意味する。
合わせのみを行えば、他の流体口も自動的に連結される
結果、容器と接続具とが簡単に接続できることとなり、
人手による繁雑でしかも精確さが要求される位置合わせ
が不要となる。即ち、一つの流体口同士の芯合わせのみ
により、他の流体の流路は容器の他の流体口と、接続具
の対応する他の流体口同士が共有する密閉連通空間で連
通されるので、従来のような微妙な流体口合わせが一切
不要となる。また位置ズレの許容範囲が広く、ラフな芯
合わせで十分となり、作業性が向上する。なお、本発明
において流体とは、液体、気体、さらには粉体等のあら
ゆる流体を意味する。
【０００９】本発明において、容器はその端面に２つの
流体口を有するものでも、また３以上の流体口を有する
ものでもいずれの場合も適用できる。また本発明におい
て、容器端面とは、典型的には容器天面を意味するが、
容器の側面又は底面であっても、流体が出入りする流体
口を備えた面であれば、その面は容器端面である。さら
に容器と該容器から延びる管路を介して連結した部材の
端面も本発明における容器端面に包含される。本発明の
接続具の好適態様は、接続具端面の芯合わせされる流体
口の中心から他の１または２以上の流体口までの夫々の
間隔が容器端面の芯合わせされる流体口の中心から他の
１または２以上の流体口までの夫々の間隔に対応してお
り、前記芯合わせされる該流体口同士を連結させたとき
に、該流体口を中心とする同心円状の他の流体口を取り
込む環状流路からなる密閉連通空間を夫々形成する形状
を有するものである。即ち、例えば２つの流体口を有す
る接続具の場合は、基本的に環状流路は１本であり、３
つの流体口を有する接続具の場合は、環状流路は２本で
ある。この環状流路は接続具端面に設けた溝により形成
されるが、容器端面側に設けた溝により、または容器端
面側と接続具端面の両方に設けた溝により形成させるこ
ともできる。
流体口を有するものでも、また３以上の流体口を有する
ものでもいずれの場合も適用できる。また本発明におい
て、容器端面とは、典型的には容器天面を意味するが、
容器の側面又は底面であっても、流体が出入りする流体
口を備えた面であれば、その面は容器端面である。さら
に容器と該容器から延びる管路を介して連結した部材の
端面も本発明における容器端面に包含される。本発明の
接続具の好適態様は、接続具端面の芯合わせされる流体
口の中心から他の１または２以上の流体口までの夫々の
間隔が容器端面の芯合わせされる流体口の中心から他の
１または２以上の流体口までの夫々の間隔に対応してお
り、前記芯合わせされる該流体口同士を連結させたとき
に、該流体口を中心とする同心円状の他の流体口を取り
込む環状流路からなる密閉連通空間を夫々形成する形状
を有するものである。即ち、例えば２つの流体口を有す
る接続具の場合は、基本的に環状流路は１本であり、３
つの流体口を有する接続具の場合は、環状流路は２本で
ある。この環状流路は接続具端面に設けた溝により形成
されるが、容器端面側に設けた溝により、または容器端
面側と接続具端面の両方に設けた溝により形成させるこ
ともできる。
【００１０】２つの流体口を有する場合の他の好適態様
は、芯合わせされる流体口と他の１つの流体口を有する
接続具であって、芯合わせして一方の流体口同士を連結
したときに、接続具端面の周縁部をシールして容器の他
の１つの流体口と接続具の他の１つの流体口とによって
共有される密閉連通空間を形成する形状を有するもので
ある。この場合、シール部材とくにＯ−リングを接続具
端面の周縁部に有するものが好ましい。このようにすれ
ば単に接続具端面の周縁部にＯ−リングを有するだけの
簡単な構造により所期の目的を達成できる。本発明にお
いて接続具端面の形状、大きさ及び流体口の数等は、基
本的には対象となる容器の端面の形状、大きさ及び流体
口の数に応じて決定される。原則として接続具端面は容
器端面の流体口の全てを包括できる面積を有することが
必要である。また芯合わせされる流体口は連結時に流体
が漏れないように嵌合されるものが好ましい。なお、接
続具端面の芯合わせされる流体口又は容器端面の芯合わ
せされる流体口の周囲にＯ−リングを有するものは、芯
合わせされる流体口の連結時に流体の漏れを防止する上
で好ましい。さらに接続具端面の流体口の数は、典型的
には容器端面の流体口の数に等しいが、それより多いも
のも少ないものも用いることができる。
は、芯合わせされる流体口と他の１つの流体口を有する
接続具であって、芯合わせして一方の流体口同士を連結
したときに、接続具端面の周縁部をシールして容器の他
の１つの流体口と接続具の他の１つの流体口とによって
共有される密閉連通空間を形成する形状を有するもので
ある。この場合、シール部材とくにＯ−リングを接続具
端面の周縁部に有するものが好ましい。このようにすれ
ば単に接続具端面の周縁部にＯ−リングを有するだけの
簡単な構造により所期の目的を達成できる。本発明にお
いて接続具端面の形状、大きさ及び流体口の数等は、基
本的には対象となる容器の端面の形状、大きさ及び流体
口の数に応じて決定される。原則として接続具端面は容
器端面の流体口の全てを包括できる面積を有することが
必要である。また芯合わせされる流体口は連結時に流体
が漏れないように嵌合されるものが好ましい。なお、接
続具端面の芯合わせされる流体口又は容器端面の芯合わ
せされる流体口の周囲にＯ−リングを有するものは、芯
合わせされる流体口の連結時に流体の漏れを防止する上
で好ましい。さらに接続具端面の流体口の数は、典型的
には容器端面の流体口の数に等しいが、それより多いも
のも少ないものも用いることができる。
【００１１】また、本発明による接続具を用いて各流体
を連通させる方法において、芯合わせされる流体口同士
の連結は人手によることもできるが、シリンダーモータ
等の移動装置を利用してＣＣＤカメラと画像処理装置に
より、あるいはリミットスイッチ、近接スイッチなどの
物質の有無検出センサーにより行えば、該流体口同士の
連結の自動化を達成することができるので好ましい。さ
らにセンサーとしてエアセンサーを用いれば、対象物の
近傍にはエア配管とエア吹き出し口だけにすることがで
きるので、薬品にさらされる雰囲気においても、腐蝕を
防止し、またコンタミネーションを発生させることなく
流体口同士の芯合わせをすることができるのでより好ま
しい。
を連通させる方法において、芯合わせされる流体口同士
の連結は人手によることもできるが、シリンダーモータ
等の移動装置を利用してＣＣＤカメラと画像処理装置に
より、あるいはリミットスイッチ、近接スイッチなどの
物質の有無検出センサーにより行えば、該流体口同士の
連結の自動化を達成することができるので好ましい。さ
らにセンサーとしてエアセンサーを用いれば、対象物の
近傍にはエア配管とエア吹き出し口だけにすることがで
きるので、薬品にさらされる雰囲気においても、腐蝕を
防止し、またコンタミネーションを発生させることなく
流体口同士の芯合わせをすることができるのでより好ま
しい。
【００１２】一方本発明による容器としては、容器端面
に２以上の流体が夫々出入りする２以上の流体口を有
し、本発明の方法を実施できるものであればいずれの形
状のものも使用することができるが、流体口の１又は２
以上を閉塞状態に保つためのバルブを設けたものは、容
器内容物の汚染を防止することができるので好ましい。
この場合、容器端面と接続具端面とが接触すると該バル
ブを押し下げ、流体が流通できる状態となる。さらに容
器端面に２つの流体口を有する容器においては、該２つ
の流体口を包囲するシール部材とくにＯ−リングを有
し、該Ｏ−リングにより密閉連通空間を形成する形状を
有するものが本発明の目的を簡単に達成できるという点
で好ましい。また容器としては例えば容器天面に直接各
流体口を有するもののほか、容器を流体が通る管路を介
して連結する部材の端面を容器端面とする容器は、接続
作業を遠隔地で行わなければならない場合などに好まし
い。
に２以上の流体が夫々出入りする２以上の流体口を有
し、本発明の方法を実施できるものであればいずれの形
状のものも使用することができるが、流体口の１又は２
以上を閉塞状態に保つためのバルブを設けたものは、容
器内容物の汚染を防止することができるので好ましい。
この場合、容器端面と接続具端面とが接触すると該バル
ブを押し下げ、流体が流通できる状態となる。さらに容
器端面に２つの流体口を有する容器においては、該２つ
の流体口を包囲するシール部材とくにＯ−リングを有
し、該Ｏ−リングにより密閉連通空間を形成する形状を
有するものが本発明の目的を簡単に達成できるという点
で好ましい。また容器としては例えば容器天面に直接各
流体口を有するもののほか、容器を流体が通る管路を介
して連結する部材の端面を容器端面とする容器は、接続
作業を遠隔地で行わなければならない場合などに好まし
い。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明の態様を図面を参照
してさらに詳細に説明するが、本発明がかかる態様に限
定されるものでないことはいうまでもない。図１は本発
明で用いられるガス圧による送液装置の主要部の構成を
示す。図８はポンプによる送液装置のフロー図を示す。
ガス圧による送液方法とポンプによる送液方法は液の取
り出し方法が異なるだけでいずれの送液方法も基本的な
構造は同じなので、以下は図１のガス圧による送液方法
について説明する。薬液ボトルのような液体用容器
（９）は、別の薬液ボトル搬送装置（１０）によって、
送液装置（１１）の直下に搬送される。液体用容器
（９）には、予め薬液のような液体が充填されており、
液体用容器の端面部（８）と、送液装置の接続具（７）
を接合した後、Ｎ2ガスのようなガス（１７）を液体用
容器内に送り、ガスの圧力で液体用容器中の液体を押し
出して取り出し、液体を液体の使用場所へ配管を介して
送る。液体用容器の端面部（８）は、その天面に配置さ
れており、液口とガス口が取り付けられている。液口、
ガス口の各接続口にはバルブが取り付けてあり、液体を
取り出さないときは、液口のバルブが閉じていて、液口
は密閉されている。
してさらに詳細に説明するが、本発明がかかる態様に限
定されるものでないことはいうまでもない。図１は本発
明で用いられるガス圧による送液装置の主要部の構成を
示す。図８はポンプによる送液装置のフロー図を示す。
ガス圧による送液方法とポンプによる送液方法は液の取
り出し方法が異なるだけでいずれの送液方法も基本的な
構造は同じなので、以下は図１のガス圧による送液方法
について説明する。薬液ボトルのような液体用容器
（９）は、別の薬液ボトル搬送装置（１０）によって、
送液装置（１１）の直下に搬送される。液体用容器
（９）には、予め薬液のような液体が充填されており、
液体用容器の端面部（８）と、送液装置の接続具（７）
を接合した後、Ｎ2ガスのようなガス（１７）を液体用
容器内に送り、ガスの圧力で液体用容器中の液体を押し
出して取り出し、液体を液体の使用場所へ配管を介して
送る。液体用容器の端面部（８）は、その天面に配置さ
れており、液口とガス口が取り付けられている。液口、
ガス口の各接続口にはバルブが取り付けてあり、液体を
取り出さないときは、液口のバルブが閉じていて、液口
は密閉されている。
【００１４】送液装置接続具（７）は、スライドプレー
ト（４）の上に設置された、Ｚ方向エアシリンダ（１）
のロッド先端部に、つり下げられた状態で取り付けられ
ている。スライドプレート（４）には、送液装置接続具
（７）の芯を、液体用容器端面部（８）の芯と合わせる
ための、位置合わせ用Ｘ方向エアシリンダ（２）とＹ方
向エアシリンダ（３）が取り付けられている。スライド
プレート（４）は下ベアリング（６）に乗せてあり、ス
ライドプレート（４）にかかる荷重は下ベアリング
（６）で受ける。送液装置接続具（７）と液体用容器端
面部（８）は、芯合わせの後、Ｚ方向エアシリンダ
（１）のロッドを下方向に押し出して、接続部の接合を
行う。接合時には、各々の接続部はＺ方向エアシリンダ
（１）の推力で押しつけられており、そのときに生じる
反力は、スライドプレート（４）の上部にある上ベアリ
ング（５）でうける。さらに図２を参照して液体用容器
（９）と送液装置（１１）との接続をさらに詳細に示す
る。
ト（４）の上に設置された、Ｚ方向エアシリンダ（１）
のロッド先端部に、つり下げられた状態で取り付けられ
ている。スライドプレート（４）には、送液装置接続具
（７）の芯を、液体用容器端面部（８）の芯と合わせる
ための、位置合わせ用Ｘ方向エアシリンダ（２）とＹ方
向エアシリンダ（３）が取り付けられている。スライド
プレート（４）は下ベアリング（６）に乗せてあり、ス
ライドプレート（４）にかかる荷重は下ベアリング
（６）で受ける。送液装置接続具（７）と液体用容器端
面部（８）は、芯合わせの後、Ｚ方向エアシリンダ
（１）のロッドを下方向に押し出して、接続部の接合を
行う。接合時には、各々の接続部はＺ方向エアシリンダ
（１）の推力で押しつけられており、そのときに生じる
反力は、スライドプレート（４）の上部にある上ベアリ
ング（５）でうける。さらに図２を参照して液体用容器
（９）と送液装置（１１）との接続をさらに詳細に示す
る。
【００１５】（１）芯合わせ 液体用容器（９）が送液装置（１１）直下に搬送された
後、液体用容器端面部（８）と送液装置接続具（７）の
芯合わせを行う。送液装置上部のＺ方向エアシリンダ
（１）を押し出し、送液装置接続具（７）を下げる。送
液装置接続具（７）には芯合わせリング（２８）が取り
付けてあり、液体用容器端面部（８）には芯合わせプレ
ート（２９）が取り付けられている。送液装置接続具
（７）を下げてゆき、芯合わせリング（２８）が芯合わ
せプレート（２９）に接した高さ位置で、送液装置接続
具（７）の下方向への動きを停止する。芯合わせリング
（２８）には、４ヶ所のエアセンサー検出孔（４８）、
（４９）、（５０）、（５１）が設けてある。芯合わせ
プレート（２９）の外径は、エアセンサー検出孔（４
８）、（４９）、（５０）、（５１）のピッチ円直径よ
り少し大きくなっており、図７に示すように、芯合わせ
リングと芯合わせプレート（２９）が接している状態
で、４ヶ所のエアセンサー検出孔（４８）、（４９）、
（５０）、（５１）が、芯合わせプレート（２９）によ
って全て塞がれたときに、芯が合った状態になる。
後、液体用容器端面部（８）と送液装置接続具（７）の
芯合わせを行う。送液装置上部のＺ方向エアシリンダ
（１）を押し出し、送液装置接続具（７）を下げる。送
液装置接続具（７）には芯合わせリング（２８）が取り
付けてあり、液体用容器端面部（８）には芯合わせプレ
ート（２９）が取り付けられている。送液装置接続具
（７）を下げてゆき、芯合わせリング（２８）が芯合わ
せプレート（２９）に接した高さ位置で、送液装置接続
具（７）の下方向への動きを停止する。芯合わせリング
（２８）には、４ヶ所のエアセンサー検出孔（４８）、
（４９）、（５０）、（５１）が設けてある。芯合わせ
プレート（２９）の外径は、エアセンサー検出孔（４
８）、（４９）、（５０）、（５１）のピッチ円直径よ
り少し大きくなっており、図７に示すように、芯合わせ
リングと芯合わせプレート（２９）が接している状態
で、４ヶ所のエアセンサー検出孔（４８）、（４９）、
（５０）、（５１）が、芯合わせプレート（２９）によ
って全て塞がれたときに、芯が合った状態になる。
【００１６】図５に示す様に、芯合わせリング（２８）
は、Ｘ方向エアシリンダ（２）とＹ方向エアシリンダ
（３）によって、スライドプレート（４）をＸ−Ｙ方向
の任意の位置に移動、停止できる。図６に示すように、
芯ずれがあるときは、Ｘ１（４８）、Ｘ２（４９）、Ｙ
１（５０）、Ｙ２（５１）、のいずれかのエアセンサー
検出孔が開く。エアセンサー検出孔（４８）、（４
９）、（５０）、（５１）からは、常時エアが吹き出し
ており、エアセンサー検出孔が開いている場合と、塞が
っている場合では、送気経路にかかるエア圧力に差があ
るので、送気経路の途中に設けてある圧力スイッチ（３
０）、（５２）、（５３）、（５４）で圧力差を検知し
て、エアセンサー検出孔（４８）、（４９）、（５
０）、（５１）の開／閉を検出する。
は、Ｘ方向エアシリンダ（２）とＹ方向エアシリンダ
（３）によって、スライドプレート（４）をＸ−Ｙ方向
の任意の位置に移動、停止できる。図６に示すように、
芯ずれがあるときは、Ｘ１（４８）、Ｘ２（４９）、Ｙ
１（５０）、Ｙ２（５１）、のいずれかのエアセンサー
検出孔が開く。エアセンサー検出孔（４８）、（４
９）、（５０）、（５１）からは、常時エアが吹き出し
ており、エアセンサー検出孔が開いている場合と、塞が
っている場合では、送気経路にかかるエア圧力に差があ
るので、送気経路の途中に設けてある圧力スイッチ（３
０）、（５２）、（５３）、（５４）で圧力差を検知し
て、エアセンサー検出孔（４８）、（４９）、（５
０）、（５１）の開／閉を検出する。
【００１７】Ｘ方向については、Ｘ１（４８）が開いて
いるときはＸ方向エアシリンダ（２）のロッドを押し出
し、Ｘ２（４９）が開いているときはＸ方向エアシリン
ダ（２）のロッドを引き戻す。Ｙ方向については、Ｙ１
（５０）が開いているときはＹ方向エアシリンダ（３）
のロッドを押し出し、Ｙ２（５１）が開いているときは
Ｙ方向エアシリンダ（３）のロッドを引き戻す。このよ
うにして、Ｘ方向エアシリンダ（２）、Ｙ方向エアシリ
ンダ（３）のロッドによって、送液装置接続具（７）を
移動して、液体用容器接続部（８）との芯合わせを行
う。
いるときはＸ方向エアシリンダ（２）のロッドを押し出
し、Ｘ２（４９）が開いているときはＸ方向エアシリン
ダ（２）のロッドを引き戻す。Ｙ方向については、Ｙ１
（５０）が開いているときはＹ方向エアシリンダ（３）
のロッドを押し出し、Ｙ２（５１）が開いているときは
Ｙ方向エアシリンダ（３）のロッドを引き戻す。このよ
うにして、Ｘ方向エアシリンダ（２）、Ｙ方向エアシリ
ンダ（３）のロッドによって、送液装置接続具（７）を
移動して、液体用容器接続部（８）との芯合わせを行
う。
【００１８】（２）ガス加圧 液体用容器端面部（８）と送液装置接続具（７）の芯合
わせ後、Ｚ方向エアシリンダ（１）のロッドを押し出し
て、送液装置接続具（７）を液体用容器接続部（８）に
押し当て、密着させる。このとき送液接続具（７）の下
面に取り付けてある外側Ｏリング（３７）、及び内側Ｏ
リング（３６）によって図３、図４に示すように、送液
装置ガス送気孔（４２）と液体用容器ガス口（４６）
が、及び液体用容器液体口（４５）と送液装置液体取り
出し孔（４３）が、外気及び各々の経路からの漏れを遮
断して接合される。送液装置接続具（７）が液体用容器
端面部（８）に密着接合されるときに、送液装置接続具
（７）下面にあるガス送気溝（４４）の凹面が、液体用
容器接続部のガス口バルブ（３５）を押し下げて、バル
ブを開く。
わせ後、Ｚ方向エアシリンダ（１）のロッドを押し出し
て、送液装置接続具（７）を液体用容器接続部（８）に
押し当て、密着させる。このとき送液接続具（７）の下
面に取り付けてある外側Ｏリング（３７）、及び内側Ｏ
リング（３６）によって図３、図４に示すように、送液
装置ガス送気孔（４２）と液体用容器ガス口（４６）
が、及び液体用容器液体口（４５）と送液装置液体取り
出し孔（４３）が、外気及び各々の経路からの漏れを遮
断して接合される。送液装置接続具（７）が液体用容器
端面部（８）に密着接合されるときに、送液装置接続具
（７）下面にあるガス送気溝（４４）の凹面が、液体用
容器接続部のガス口バルブ（３５）を押し下げて、バル
ブを開く。
【００１９】密着接合後、送液装置ガス口（２５）から
ガス（１７）を送ると、ガスは送液装置接続具（７）下
面の送気溝（４４）を通り、液体用容器接続部のガス口
（４６）から液体用容器（９）内に送られ、液体用容器
内を加圧する。このガス圧力によって、液体用容器
（９）内の液体（５９）を取り出して、液体を使用場所
へ圧送する。送液装置接続具のガス送気溝（４４）は、
同心円状の環状流路を形成する溝であるので、接合時に
液体用容器側のガス口の方位が０〜３６０°のいずれに
あっても、接合後ガスの送気が可能となる。
ガス（１７）を送ると、ガスは送液装置接続具（７）下
面の送気溝（４４）を通り、液体用容器接続部のガス口
（４６）から液体用容器（９）内に送られ、液体用容器
内を加圧する。このガス圧力によって、液体用容器
（９）内の液体（５９）を取り出して、液体を使用場所
へ圧送する。送液装置接続具のガス送気溝（４４）は、
同心円状の環状流路を形成する溝であるので、接合時に
液体用容器側のガス口の方位が０〜３６０°のいずれに
あっても、接合後ガスの送気が可能となる。
【００２０】（３）送液 液体用容器端面部（８）と送液装置接続具（７）を密着
接合した後、ガスによって液体用容器内を加圧する。送
液装置接続具（７）にはバルブ押しロッド（２４）が取
り付けられており、バルブ押しロッド（２４）の上部
は、シリンダ（２０）内に収納されているピストン（２
１）と接続している。このピストン（２１）は、ピスト
ン上部にエア圧力がかからないときは、ピストン下部に
あるスプリング（２２）によって、常時上方へ持ち上げ
られており、又バルブ押しロッド下部には、液体取り出
し口（４３）を閉じるためのバルブが取り付けられてお
り、液体取り出し口の液体流路（２７）を閉めている。
接合した後、ガスによって液体用容器内を加圧する。送
液装置接続具（７）にはバルブ押しロッド（２４）が取
り付けられており、バルブ押しロッド（２４）の上部
は、シリンダ（２０）内に収納されているピストン（２
１）と接続している。このピストン（２１）は、ピスト
ン上部にエア圧力がかからないときは、ピストン下部に
あるスプリング（２２）によって、常時上方へ持ち上げ
られており、又バルブ押しロッド下部には、液体取り出
し口（４３）を閉じるためのバルブが取り付けられてお
り、液体取り出し口の液体流路（２７）を閉めている。
【００２１】ピストン上部に圧縮空気（４０）を送り込
んで、エア圧力によってピストン（２１）を押し、ピス
トン（２１）の推力がスプリング（２２）の抗力を上回
ると、ピストン（２１）とバルブ押しロッド（２４）は
下方に押し下げられて、バルブ押しロッド（２４）の先
端が液体用容器（９）の液体口バルブ（３４）を押し下
げると、液体用容器の液体口（４５）が開くと同時に、
液体取り出し口（４３）の液体流路（２７）も開いて、
液体用容器内の液体（５９）は、液体用容器内のガスの
圧力によって、液体用容器内の液体取り出しチューブ
（５８）を通り、液体用容器の液体口（４５）から送液
装置の液体取り出し口（４３）を経て、送液管（１２）
内に押し出される。
んで、エア圧力によってピストン（２１）を押し、ピス
トン（２１）の推力がスプリング（２２）の抗力を上回
ると、ピストン（２１）とバルブ押しロッド（２４）は
下方に押し下げられて、バルブ押しロッド（２４）の先
端が液体用容器（９）の液体口バルブ（３４）を押し下
げると、液体用容器の液体口（４５）が開くと同時に、
液体取り出し口（４３）の液体流路（２７）も開いて、
液体用容器内の液体（５９）は、液体用容器内のガスの
圧力によって、液体用容器内の液体取り出しチューブ
（５８）を通り、液体用容器の液体口（４５）から送液
装置の液体取り出し口（４３）を経て、送液管（１２）
内に押し出される。
【００２２】この送液管（１２）は、液体（５９）の使
用場所まで配管されている。液体の取り出しを中止する
ときは、バルブ押しロッド上部のピストン上部の圧縮空
気を排気する。このときピストン（２１）は、スプリン
グ（２２）の推力によって上方に押し上げられ、送液装
置の液体流路（２７）が閉じると同時に、液体用容器の
液体口バルブ（３４）も閉じて、液体の取り出しが停止
する。このように、バルブ押しロッド上部のピストン
（２１）を、上下に動かすことによって、任意に液体用
容器内の液体（５９）を、液体の使用場所へ送ることが
できる。
用場所まで配管されている。液体の取り出しを中止する
ときは、バルブ押しロッド上部のピストン上部の圧縮空
気を排気する。このときピストン（２１）は、スプリン
グ（２２）の推力によって上方に押し上げられ、送液装
置の液体流路（２７）が閉じると同時に、液体用容器の
液体口バルブ（３４）も閉じて、液体の取り出しが停止
する。このように、バルブ押しロッド上部のピストン
（２１）を、上下に動かすことによって、任意に液体用
容器内の液体（５９）を、液体の使用場所へ送ることが
できる。
【００２３】（４）液体用容器交換 液体用容器内の液体がなくなると、液体用容器加圧用の
ガスが、送液管（１２）に流れる。送液管（１２）に
は、送液管の外側から液体の有無を検出するセンサー
（１３）が取り付けてあり、送液管中に液体がなくなる
と、液体用容器中の液体も無いと判断して、液体用容器
（９）を交換する。液体用容器中に液体（５９）がなく
なると、まずガス（１７）の送気を停止する。送液装置
接続具（７）のバルブ押しロッド上部のピストン上部の
エア圧力を抜いて、液体口バルブ（３４）を閉じ、同時
に液体取り出し口の液体流路（２７）を閉じる。このと
き、液体用容器内には、ガスの圧力が残っているので、
ガス排気バルブ（１６）を開いて、液体用容器内のガス
を抜き、液体用容器内の圧力を大気圧と同じにする。
ガスが、送液管（１２）に流れる。送液管（１２）に
は、送液管の外側から液体の有無を検出するセンサー
（１３）が取り付けてあり、送液管中に液体がなくなる
と、液体用容器中の液体も無いと判断して、液体用容器
（９）を交換する。液体用容器中に液体（５９）がなく
なると、まずガス（１７）の送気を停止する。送液装置
接続具（７）のバルブ押しロッド上部のピストン上部の
エア圧力を抜いて、液体口バルブ（３４）を閉じ、同時
に液体取り出し口の液体流路（２７）を閉じる。このと
き、液体用容器内には、ガスの圧力が残っているので、
ガス排気バルブ（１６）を開いて、液体用容器内のガス
を抜き、液体用容器内の圧力を大気圧と同じにする。
【００２４】次に、送液装置のＺ方向エアシリンダ
（１）のロッドを引き上げて、液体用容器端面部（８）
と送液装置接続具（７）を離脱させる。空になった液体
用容器は、別の液体用容器搬送装置（１０）によって、
送液装置（１１）直下から搬出され、新たに、液体が充
填された別の液体用容器（９）が、液体用容器搬送装置
（１０）によって、送液装置（１１）直下に搬送され
る。以降、芯合わせ、ガス加圧、送液の各工程を前に説
明した順序で行う。この様にして、必要数量の液体充填
済みの液体用容器（９）を用意することによって、液体
の使用場所に必要量の液体を供給することができる。次
に図９、図１０を参照して、容器端面、接続具端面に夫
々３つの流体口を有する場合の本発明の別の態様につい
て説明する。図９には３つの流体、即ち１つのガス（７
６）と２つの液体（７４）、（７５）が夫々出入りする
３つの流体口（７７）、（７８）、（７９）を有する容
器端面部（７２）を備えた容器（７１）が示されてい
る。これに対し図１０には、前記容器端面（７２）の各
流体口（７７）、（７８）、（７９）に対応する流体口
（９１）、（９２）、（９３）を有する接続具端面を備
えた接続具（７３）が示されている。容器端面の流体口
（７８）と接続具端面の流体口（９２）とが芯合わせさ
れて嵌合されると、流体口（７７）、（９１）とにより
共有される環状流路（９４）からなる密閉連通空間と、
流体口（７９）、（９３）とにより共有される環状流路
（９５）からなる密閉連通空間とが夫々自動的に形成さ
れ、ガス（７６）、液体（７４）、（７５）が夫々独立
して連通した状態となる。ガス（７６）を配管（８０）
から圧縮供給することにより容器内のガス圧が上昇し、
液体（７４）、（７５）を夫々内包する可撓性の袋が圧
縮され、液体（７４）、（７５）は夫々配管（８１）、
（８２）を通って流出する。このように、３つの流体を
連通させる場合にも、１つの流体口同士の芯合わせのみ
によって各流体を簡単に連通させることができる。同様
に４以上の流体を連通させる場合にも同様の接続具と同
様の方法により各流体を連通させることができる。
（１）のロッドを引き上げて、液体用容器端面部（８）
と送液装置接続具（７）を離脱させる。空になった液体
用容器は、別の液体用容器搬送装置（１０）によって、
送液装置（１１）直下から搬出され、新たに、液体が充
填された別の液体用容器（９）が、液体用容器搬送装置
（１０）によって、送液装置（１１）直下に搬送され
る。以降、芯合わせ、ガス加圧、送液の各工程を前に説
明した順序で行う。この様にして、必要数量の液体充填
済みの液体用容器（９）を用意することによって、液体
の使用場所に必要量の液体を供給することができる。次
に図９、図１０を参照して、容器端面、接続具端面に夫
々３つの流体口を有する場合の本発明の別の態様につい
て説明する。図９には３つの流体、即ち１つのガス（７
６）と２つの液体（７４）、（７５）が夫々出入りする
３つの流体口（７７）、（７８）、（７９）を有する容
器端面部（７２）を備えた容器（７１）が示されてい
る。これに対し図１０には、前記容器端面（７２）の各
流体口（７７）、（７８）、（７９）に対応する流体口
（９１）、（９２）、（９３）を有する接続具端面を備
えた接続具（７３）が示されている。容器端面の流体口
（７８）と接続具端面の流体口（９２）とが芯合わせさ
れて嵌合されると、流体口（７７）、（９１）とにより
共有される環状流路（９４）からなる密閉連通空間と、
流体口（７９）、（９３）とにより共有される環状流路
（９５）からなる密閉連通空間とが夫々自動的に形成さ
れ、ガス（７６）、液体（７４）、（７５）が夫々独立
して連通した状態となる。ガス（７６）を配管（８０）
から圧縮供給することにより容器内のガス圧が上昇し、
液体（７４）、（７５）を夫々内包する可撓性の袋が圧
縮され、液体（７４）、（７５）は夫々配管（８１）、
（８２）を通って流出する。このように、３つの流体を
連通させる場合にも、１つの流体口同士の芯合わせのみ
によって各流体を簡単に連通させることができる。同様
に４以上の流体を連通させる場合にも同様の接続具と同
様の方法により各流体を連通させることができる。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
により、容器と配管との接続が簡便化され自動化を可能
とするとともに、薬品等による人身事故をなくし、工場
の省人化、自動化に寄与することができる。
により、容器と配管との接続が簡便化され自動化を可能
とするとともに、薬品等による人身事故をなくし、工場
の省人化、自動化に寄与することができる。
【図１】本発明におけるガス圧による送液装置の容器及
び接続具の一態様を示す。
び接続具の一態様を示す。
【図２】本発明の一態様である容器端部（天面部）と接
続具の断面図を示す。
続具の断面図を示す。
【図３】本発明の一態様である接続具端面を示す。
【図４】本発明の一態様である容器端部を示す。
【図５】本発明の一態様である接続具における芯合わせ
機構を示す。
機構を示す。
【図６】本発明の一態様である接続具のエアセンサーを
用いた芯合わせ時の芯ずれの状態を示す。
用いた芯合わせ時の芯ずれの状態を示す。
【図７】本発明の一態様である接続具のエアセンサーを
用いた芯合わせ時の芯合致の状態を示す。
用いた芯合わせ時の芯合致の状態を示す。
【図８】本発明の方法を実施するための一態様であるポ
ンプによる送液装置のフロー図を示す。
ンプによる送液装置のフロー図を示す。
【図９】本発明の一態様である容器端面に３つの流体口
を有する容器を示す。
を有する容器を示す。
【図１０】本発明の一態様である３つの流体口を有する
接続具の端面を示す。
接続具の端面を示す。
１ Ｚ方向エアシリンダ ２ Ｘ方
向エアシリンダ ３ Ｙ方向エアシリンダ ４ スラ
イドプレート ５ 上ベアリング ６ 下ベ
アリング ７ 送液装置接続具 ８ 液体
用容器端面部 ９ 液体用容器 １０ 薬液
ボトル搬送装置 １１ 送液装置 １２ 送液
管 １３ センサ− １４ 液体
用バルブ １５ ガス用バルブ １６ 排気
用バルブ １７ ガス １８ 液体 １９ 排気 ２０ シリ
ンダ ２１ ピストン ２２ スプ
リング ２３ ベローズ ２４ バル
ブ押しロッド ２５ 送液装置ガス口 ２６ 送液
装置液体口 ２７ 液体流路 ２８ 芯合
わせリング ２９ 芯合わせプレート ３０ 圧力
スイッチ ３１ 圧縮空気 ３２ スプ
リング ３３ スプリング ３４ 液体
口バルブ ３５ ガス口バルブ ３６ 内側
Ｏリング ３７ 外側Ｏリング ３８ 給気
バルブ ３９ 排気バルブ ４０ 圧縮
空気 ４１ 排気 ４２ ガス
送気口 ４３ 液体取り出し孔 ４４ ガス
送気溝 ４５ 液体用容器液体口 ４６ 液体
用容器ガス口 ４７ ガス送気部 ４８ エア
センサー検出孔Ｘ１ ４９ エアセンサー検出孔Ｘ２ ５０ エア
センサー検出孔Ｙ１ ５１ エアセンサー検出孔Ｙ２ ５２ 圧力
スイッチ ５３ 圧力スイッチ ５４ 圧力
スイッチ ５５ 圧縮空気 ５６ 圧縮
空気 ５７ 圧縮空気 ５８ 液体
取り出しチューブ ５９ 液体 ６０ ポン
プ ６１ ガス用バルブ ６２ ガス ７１ 容器 ７２ 容器
端面部 ７３ 接続具 ７４ 液体 ７５ 液体 ７６ ガス ７７ 流体口 ７８ 流体
口 ７９ 流体口 ８０ 配管 ８１ 配管 ８２ 配管 ９１ 流体口 ９２ 流体
口 ９３ 流体口 ９４ 環状
流路 ９５ 環状流路
向エアシリンダ ３ Ｙ方向エアシリンダ ４ スラ
イドプレート ５ 上ベアリング ６ 下ベ
アリング ７ 送液装置接続具 ８ 液体
用容器端面部 ９ 液体用容器 １０ 薬液
ボトル搬送装置 １１ 送液装置 １２ 送液
管 １３ センサ− １４ 液体
用バルブ １５ ガス用バルブ １６ 排気
用バルブ １７ ガス １８ 液体 １９ 排気 ２０ シリ
ンダ ２１ ピストン ２２ スプ
リング ２３ ベローズ ２４ バル
ブ押しロッド ２５ 送液装置ガス口 ２６ 送液
装置液体口 ２７ 液体流路 ２８ 芯合
わせリング ２９ 芯合わせプレート ３０ 圧力
スイッチ ３１ 圧縮空気 ３２ スプ
リング ３３ スプリング ３４ 液体
口バルブ ３５ ガス口バルブ ３６ 内側
Ｏリング ３７ 外側Ｏリング ３８ 給気
バルブ ３９ 排気バルブ ４０ 圧縮
空気 ４１ 排気 ４２ ガス
送気口 ４３ 液体取り出し孔 ４４ ガス
送気溝 ４５ 液体用容器液体口 ４６ 液体
用容器ガス口 ４７ ガス送気部 ４８ エア
センサー検出孔Ｘ１ ４９ エアセンサー検出孔Ｘ２ ５０ エア
センサー検出孔Ｙ１ ５１ エアセンサー検出孔Ｙ２ ５２ 圧力
スイッチ ５３ 圧力スイッチ ５４ 圧力
スイッチ ５５ 圧縮空気 ５６ 圧縮
空気 ５７ 圧縮空気 ５８ 液体
取り出しチューブ ５９ 液体 ６０ ポン
プ ６１ ガス用バルブ ６２ ガス ７１ 容器 ７２ 容器
端面部 ７３ 接続具 ７４ 液体 ７５ 液体 ７６ ガス ７７ 流体口 ７８ 流体
口 ７９ 流体口 ８０ 配管 ８１ 配管 ８２ 配管 ９１ 流体口 ９２ 流体
口 ９３ 流体口 ９４ 環状
流路 ９５ 環状流路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上田 幸治 東京都千代田区神田神保町１丁目６番１号 東京タキイビル 日曹エンジニアリング 株式会社内 (72)発明者 斉藤 次男 東京都中央区日本橋本町３丁目11番５号 マルサンビル 関東化学株式会社内 (72)発明者 景山 憲二 東京都中央区日本橋本町３丁目11番５号 マルサンビル 関東化学株式会社内
Claims (22)
- 【請求項１】 容器端面に２以上の流体が夫々出入りす
る２以上の流体口を有する容器と配管とを接続して、各
流体を夫々連通させるために用いられる接続具であっ
て、その内部に対応する２以上の流体の流路を有し、そ
の端面に各流路に対応する２以上の流体口を有し、容器
端面の任意の流体口に対し接続具端面の任意の流体口を
芯合わせして該流体口同士を連結させたときに、容器端
面の他の１以上の流体口と接続具端面の対応する他の１
以上の流体口同士によって夫々共有される密閉連通空間
を夫々形成する形状を有することを特徴とする、前記接
続具。 - 【請求項２】 接続具端面の芯合わせされる流体口の中
心から他の１または２以上の流体口までの夫々の間隔が
容器端面の芯合わせされる流体口の中心から他の１また
は２以上の流体口までの夫々の間隔に対応しており、前
記芯合わせされる流体口同士を連結させたときに、該流
体口を中心とする同心円状の他の流体口を取り込む環状
流路からなる密閉連通空間を夫々形成する形状を有する
ことを特徴とする、請求項１に記載の接続具。 - 【請求項３】 芯合わせされる流体口と他の１つの流体
口を有することを特徴とする、請求項２に記載の接続
具。 - 【請求項４】 芯合わせされる流体口と他の１つの流体
口を有する接続具であって、芯合わせして一方の流体口
同士を連結したときに、接続具端面の周縁部をシールし
て容器の他の１つの流体口と接続具の他の１つの流体口
とによって共有される密閉連通空間を形成する形状を有
することを特徴とする、請求項１に記載の接続具。 - 【請求項５】 接続具端面の周縁部にシール部材を有
し、該シール部材により密閉連通空間を形成する形状を
有することを特徴とする、請求項４に記載の接続具。 - 【請求項６】 シール部材がＯ−リングであることを特
徴とする、請求項５に記載の接続具。 - 【請求項７】 芯合わせされる流体口が容器端面の芯合
わせされる流体口と嵌合する形状を有することを特徴と
する、請求項１に記載の接続具。 - 【請求項８】 芯合わせされる流体口の周囲にＯ−リン
グを有することを特徴とする、請求項１に記載の接続
具。 - 【請求項９】 流体口の１又は２以上を閉塞状態に保つ
バルブを設けたことを特徴とする、請求項１に記載の接
続具。 - 【請求項１０】 芯合わせのためのセンサーを有する、
請求項１に記載の接続具。 - 【請求項１１】 センサーがエアセンサーであることを
特徴とする、請求項１０に記載の接続具。 - 【請求項１２】 芯合わせされる流体口が接続具端面の
略中心に位置することを特徴とする、請求項１に記載の
接続具。 - 【請求項１３】 芯合わせされる流体口が液口であり、
他の１つの流体口がガス口であることを特徴とする、請
求項３又は４に記載の接続具。 - 【請求項１４】 容器端面が、容器から延びる管路を介
して容器と連結した部材の端面であることを特徴とす
る、請求項１に記載の接続具。 - 【請求項１５】 容器端面に２以上の流体が夫々出入り
する２以上の流体口を有する容器を、２以上の流体の流
路と各流路に対応する２以上の流体口を端面に有する接
続具を用いて、配管に接続し、各流体を夫々連通させる
方法であって、容器端面の１つの流体口に対し接続具端
面の１つの流体口を芯合わせして該流体口同士を連結さ
せることにより、容器端面の他の１以上の流体口と接続
具端面の対応する他の１以上の流体口同士によって夫々
共有される密閉連通空間を夫々形成し、該空間を通じて
各流体を夫々連通させることを特徴とする、前記方法。 - 【請求項１６】 芯合わせをセンサーにより行うことを
特徴とする、請求項１５に記載の方法。 - 【請求項１７】 センサーがエアセンサーであることを
特徴とする、請求項１６に記載の方法。 - 【請求項１８】 請求項１５に記載の方法に用いられる
容器であって、容器端面に２以上の流体が夫々出入りす
る２以上の流体口を有することを特徴とする、前記容
器。 - 【請求項１９】 流体口の１又は２以上を閉塞状態に保
つバルブを設けたことを特徴とする、請求項１８に記載
の容器。 - 【請求項２０】 容器端面に２つの流体口と、該２つの
流体口を包囲するシール部材を有し、該シール部材によ
り密閉連通空間を形成する形状を有することを特徴とす
る、請求項１８に記載の容器。 - 【請求項２１】 シール部材がＯ−リングであることを
特徴とする、請求項２０に記載の容器。 - 【請求項２２】 容器端面が、容器から延びる管路を介
して容器と連結した部材の端面であることを特徴とす
る、請求項１８に記載の容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37626098A JP4588814B2 (ja) | 1997-12-25 | 1998-12-24 | 流体用容器と配管とを接続する接続具、該接続具による接続方法及び該方法に用いられる容器 |
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|---|---|---|---|
| JP9-366302 | 1997-12-25 | ||
| JP36630297 | 1997-12-25 | ||
| JP37626098A JP4588814B2 (ja) | 1997-12-25 | 1998-12-24 | 流体用容器と配管とを接続する接続具、該接続具による接続方法及び該方法に用いられる容器 |
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| JP37626098A Expired - Fee Related JP4588814B2 (ja) | 1997-12-25 | 1998-12-24 | 流体用容器と配管とを接続する接続具、該接続具による接続方法及び該方法に用いられる容器 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110778831A (zh) * | 2018-07-27 | 2020-02-11 | 沙巴斯工业株式会社 | 用于移送流体的连接器 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61124787U (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-06 | ||
| JPS63109089U (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-13 | ||
| JPS644991U (ja) * | 1987-06-30 | 1989-01-12 | ||
| JPH0547748A (ja) * | 1991-08-19 | 1993-02-26 | Fujitsu Ltd | 薬液供給装置 |
| JPH0733196A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-02-03 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 液体の自動移送装置及び液体の自動移送方法 |
| JPH08334189A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Maruyama Mfg Co Ltd | 管継手装置 |
| EP0548570B1 (de) * | 1991-12-21 | 1997-04-02 | BURDOSA Ing. Herwig Burgert i.K. | Befüll- und Entleerungsvorrichtung |
-
1998
- 1998-12-24 JP JP37626098A patent/JP4588814B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61124787U (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-06 | ||
| JPS63109089U (ja) * | 1987-01-06 | 1988-07-13 | ||
| JPS644991U (ja) * | 1987-06-30 | 1989-01-12 | ||
| JPH0547748A (ja) * | 1991-08-19 | 1993-02-26 | Fujitsu Ltd | 薬液供給装置 |
| EP0548570B1 (de) * | 1991-12-21 | 1997-04-02 | BURDOSA Ing. Herwig Burgert i.K. | Befüll- und Entleerungsvorrichtung |
| JPH0733196A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-02-03 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 液体の自動移送装置及び液体の自動移送方法 |
| JPH08334189A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Maruyama Mfg Co Ltd | 管継手装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110778831A (zh) * | 2018-07-27 | 2020-02-11 | 沙巴斯工业株式会社 | 用于移送流体的连接器 |
| US11435022B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-09-06 | Surpass Industry Co., Ltd. | Fluid transfer connector |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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