JPH11256392A - めっき装置 - Google Patents
めっき装置Info
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- JPH11256392A JPH11256392A JP8036398A JP8036398A JPH11256392A JP H11256392 A JPH11256392 A JP H11256392A JP 8036398 A JP8036398 A JP 8036398A JP 8036398 A JP8036398 A JP 8036398A JP H11256392 A JPH11256392 A JP H11256392A
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- plated
- plating
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- positioning
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的強度の弱い被めっき材例えばリードフ
レーム材に腰折れやガイドホ−ルにキズやバリを生じさ
せることなく、精度よく位置決めして所定箇所にめっき
でき、また生産性を向上できるめっき装置を得る。 【解決手段】 被めっき材を位置決めピンにより位置決
めしてめっきする装置において、前記位置決めピン４を
マスクプレ−ト１に設け、前記位置きめピン４が入出す
るパイロット孔９と被めっき材２の通板ガイド部８を設
けたガイドレ−ル７をバックプレ−ト部１３に弾性体１
１を介在して設ける。また必要に応じて、ロケ−タ５を
前記マスクプレ−ト１に設け、前記ガイドレ−ル７にロ
ケ−タ５が入出するガイド孔１０を設ける。
レーム材に腰折れやガイドホ−ルにキズやバリを生じさ
せることなく、精度よく位置決めして所定箇所にめっき
でき、また生産性を向上できるめっき装置を得る。 【解決手段】 被めっき材を位置決めピンにより位置決
めしてめっきする装置において、前記位置決めピン４を
マスクプレ−ト１に設け、前記位置きめピン４が入出す
るパイロット孔９と被めっき材２の通板ガイド部８を設
けたガイドレ−ル７をバックプレ−ト部１３に弾性体１
１を介在して設ける。また必要に応じて、ロケ−タ５を
前記マスクプレ−ト１に設け、前記ガイドレ−ル７にロ
ケ−タ５が入出するガイド孔１０を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は位置決めしてめっき
する装置に関する。
する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】めっきには被めっき材の所定箇所への部
分めっき或は全面的なめっきがある。例えばリードフレ
ームは全面めっきされることもあるが、半導体チップを
搭載するパッド、及びワイヤ−ボンディングされるイン
ナーリード先端部に貴金属が部分めっきされる。
分めっき或は全面的なめっきがある。例えばリードフレ
ームは全面めっきされることもあるが、半導体チップを
搭載するパッド、及びワイヤ−ボンディングされるイン
ナーリード先端部に貴金属が部分めっきされる。
【０００３】リードフレームは半導体装置の高集積度
化、高機能化、小型化等により多ピンになりリ−ドピッ
チが微細化している。これらリードフレームへの部分め
っきは所定箇所だけに位置精度よく行う必要があるか
ら、めっき時に位置決めピンを用いてリードフレーム材
を位置決めして部分めっきを施している。
化、高機能化、小型化等により多ピンになりリ−ドピッ
チが微細化している。これらリードフレームへの部分め
っきは所定箇所だけに位置精度よく行う必要があるか
ら、めっき時に位置決めピンを用いてリードフレーム材
を位置決めして部分めっきを施している。
【０００４】
【この発明が解決しようとする課題】被めっきリードフ
レーム材の位置決めピンが入出するリードフレームのガ
イドホ−ルは、めっき位置精度を高めるために位置決め
ピンとなすクリアランスを小さくして穿設されている。
従って、めっきに際して位置決めピンを被めっきリード
フレーム材のガイドホ−ルに挿入する場合、当該ガイド
ホ−ルにキズがついたりバリを生じることがある。ま
た、めっき後、ガイドホ−ルから位置決めピンを抜く場
合に、当該ガイドホ−ルから抜けず、或は被めっきリー
ドフレーム材の前後を位置決めしている片方が抜けず、
被めっきリードフレーム材が腰折れする等の問題があ
る。
レーム材の位置決めピンが入出するリードフレームのガ
イドホ−ルは、めっき位置精度を高めるために位置決め
ピンとなすクリアランスを小さくして穿設されている。
従って、めっきに際して位置決めピンを被めっきリード
フレーム材のガイドホ−ルに挿入する場合、当該ガイド
ホ−ルにキズがついたりバリを生じることがある。ま
た、めっき後、ガイドホ−ルから位置決めピンを抜く場
合に、当該ガイドホ−ルから抜けず、或は被めっきリー
ドフレーム材の前後を位置決めしている片方が抜けず、
被めっきリードフレーム材が腰折れする等の問題があ
る。
【０００５】また、前記のように半導体装置の多ピン化
に応じてリードフレームは板厚が薄い金属板からプレス
或はエッチングにより形成されているので、機械的強度
が低くく前記腰折れが多発し易い。かかる問題から多ピ
ンの被めっきリードフレームは帯状材としてリ−ルツ−
リ−ルめっきラインでめっきするのが非常に難しく生産
性を高めるが難しい問題がある。
に応じてリードフレームは板厚が薄い金属板からプレス
或はエッチングにより形成されているので、機械的強度
が低くく前記腰折れが多発し易い。かかる問題から多ピ
ンの被めっきリードフレームは帯状材としてリ−ルツ−
リ−ルめっきラインでめっきするのが非常に難しく生産
性を高めるが難しい問題がある。
【０００６】本発明は機械的強度の弱い被めっき材例え
ばリードフレーム材に腰折れやガイドホ−ルにキズやバ
リを生じさせることなく、精度よく位置決めして所定箇
所にめっきする装置を目的とする。また、めっきの生産
性を高め得るめっき装置を目的とする。
ばリードフレーム材に腰折れやガイドホ−ルにキズやバ
リを生じさせることなく、精度よく位置決めして所定箇
所にめっきする装置を目的とする。また、めっきの生産
性を高め得るめっき装置を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、被めっ
き材を位置決めピンにより位置決めしてめっきする装置
において、前記位置決めピンをマスクプレ−トに設け、
前記位置きめピンが入出するパイロット孔を設け且つ被
めっき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ルを、バッ
クプレ−ト部に弾性体を介在して設けためっき装置にあ
る。また、他の要旨は、前記位置決めピンとロケ−タを
マスクプレ−トに設け、前記位置決めピンとロケ−タが
それぞれ入出するパイロット孔とガイド孔を設け且つ被
めっき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ルを、バッ
クプレ−ト部に弾性体を介在して設けためっき装置にあ
る。
き材を位置決めピンにより位置決めしてめっきする装置
において、前記位置決めピンをマスクプレ−トに設け、
前記位置きめピンが入出するパイロット孔を設け且つ被
めっき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ルを、バッ
クプレ−ト部に弾性体を介在して設けためっき装置にあ
る。また、他の要旨は、前記位置決めピンとロケ−タを
マスクプレ−トに設け、前記位置決めピンとロケ−タが
それぞれ入出するパイロット孔とガイド孔を設け且つ被
めっき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ルを、バッ
クプレ−ト部に弾性体を介在して設けためっき装置にあ
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の１実施例について図面を
参照して説明する。図面において、１はマスクプレ−ト
で、被めっき材２に当接する部分にはマスクゴム３が設
けられている。マスクプレ−ト１及びマスクゴム３は被
めっき材２にめっきする部分は公知のように開口されて
いる。４は位置決めピンで、被めっき材２をめっきする
際に位置決めするものでマスクゴム３を挟んで上下に、
且つ通板方向に間隔をおいてマスクプレ−ト１に設けら
れている。
参照して説明する。図面において、１はマスクプレ−ト
で、被めっき材２に当接する部分にはマスクゴム３が設
けられている。マスクプレ−ト１及びマスクゴム３は被
めっき材２にめっきする部分は公知のように開口されて
いる。４は位置決めピンで、被めっき材２をめっきする
際に位置決めするものでマスクゴム３を挟んで上下に、
且つ通板方向に間隔をおいてマスクプレ−ト１に設けら
れている。
【０００９】５はロケ−タで、被めっき材２の通板時に
上下方向の位置決め案内するものであり、該ロケ−タ５
はこの実施例ではマスクプレ−ト１に設けているが、マ
スクプレ−ト１でなくマスクプレ−ト１の前後に設けて
もよい。この実施例のようにロケ−タ５を前記位置決め
ピン４ともどもマスクプレ−ト１内に設けると被めっき
材２の上下方向すなわち幅方向の揺動が規制され位置決
めが一層容易となる。
上下方向の位置決め案内するものであり、該ロケ−タ５
はこの実施例ではマスクプレ−ト１に設けているが、マ
スクプレ−ト１でなくマスクプレ−ト１の前後に設けて
もよい。この実施例のようにロケ−タ５を前記位置決め
ピン４ともどもマスクプレ−ト１内に設けると被めっき
材２の上下方向すなわち幅方向の揺動が規制され位置決
めが一層容易となる。
【００１０】６はスパ−ジャで、前記マスクプレ−ト１
が設置されているとともに、めっき液噴射装置（図示し
ない）が内部に設けられている。該スパ−ジャ６は被め
っき材２側に進退駆動装置（図示しない）により進退自
在である。
が設置されているとともに、めっき液噴射装置（図示し
ない）が内部に設けられている。該スパ−ジャ６は被め
っき材２側に進退駆動装置（図示しない）により進退自
在である。
【００１１】７はガイドレ−ルで、被めっき材２の通板
ラインの上下に、且つ通板方向に間隔をおいてバックプ
レ−トホルダ−１３に設けられ、被めっき材２の通板を
ガイドするとともにめっきに際して前記位置決めピン４
と共同して位置決めするものである。該ガイドレ−ル７
には通板ガイド部８と、前記位置決めピン４が入出する
パイロット孔９と、この実施例では前記ロケ−タ５が入
出するガイド孔１０が設けられている。なお、前記ガイ
ド孔１０は前記ロケ−タ５がマスクプレ−ト１に設置さ
れない場合はガイドレ−ル７に設けられない。
ラインの上下に、且つ通板方向に間隔をおいてバックプ
レ−トホルダ−１３に設けられ、被めっき材２の通板を
ガイドするとともにめっきに際して前記位置決めピン４
と共同して位置決めするものである。該ガイドレ−ル７
には通板ガイド部８と、前記位置決めピン４が入出する
パイロット孔９と、この実施例では前記ロケ−タ５が入
出するガイド孔１０が設けられている。なお、前記ガイ
ド孔１０は前記ロケ−タ５がマスクプレ−ト１に設置さ
れない場合はガイドレ−ル７に設けられない。
【００１２】該ガイドレ−ル７は弾性体１１例えばスプ
リングを取付け杆１２に介在させてバックプレ−トホル
ダ−１３に設けられ、外力が付加すると前記弾性体１１
の反発力に抗して前記バックプレ−トホル−ダ１３側に
移行し、外力が解けると元の状態に戻るようになってい
る。
リングを取付け杆１２に介在させてバックプレ−トホル
ダ−１３に設けられ、外力が付加すると前記弾性体１１
の反発力に抗して前記バックプレ−トホル−ダ１３側に
移行し、外力が解けると元の状態に戻るようになってい
る。
【００１３】１４はバックプレ−トで、被めっき材２を
めっきする際に前記マスクプレ−ト１とで挟持するもの
であり、被めっき材２との当接部にはバックゴム１５が
設けられている。
めっきする際に前記マスクプレ−ト１とで挟持するもの
であり、被めっき材２との当接部にはバックゴム１５が
設けられている。
【００１４】前記ガイドレ−ル７及びバックプレ−ト１
４が設けられたバックプレ−トホルダ−１３は、被めっ
き材２の通板ラインに対して進退駆動装置（図示しな
い）により進退自在である。
４が設けられたバックプレ−トホルダ−１３は、被めっ
き材２の通板ラインに対して進退駆動装置（図示しな
い）により進退自在である。
【００１５】１６は被めっき材２への通電電極で、前記
スパ−ジャ６の前後の通板ラインに設けられ、めっきの
際に被めっき材２に通電し、一方、スパ−ジャ６に設け
ためっき液噴射装置（図示せず）からめっき液を被めっ
き材２に噴出してめっきを施すようになっている。
スパ−ジャ６の前後の通板ラインに設けられ、めっきの
際に被めっき材２に通電し、一方、スパ−ジャ６に設け
ためっき液噴射装置（図示せず）からめっき液を被めっ
き材２に噴出してめっきを施すようになっている。
【００１６】次に、作用について述べる。被めっき材２
が間欠的に搬送されめっき装置１７内に設けたガイドレ
−ル７の通板ガイド部８で案内されて来ると、スパ−ジ
ャ６を被めっき通板ライン側へ前進させることにより、
位置決めピン４が前記ガイドレ−ル７に穿設したパイロ
ット孔９に入り込む。また、この実施例ではロケ−タ５
がガイド孔１０に入り込んで行く。さらに位置決めピン
４、ロケ−タ５が前進して、当該位置決めピン４は被め
っき材２のガイドホ−ル２ａに入り位置決めを開始し、
ロケ−タ５は被めっき材２の上下方向の動きを規制す
る。さらに前進し、当該位置決めピン４、ロケ−タ５を
設けたマスクプレ−ト１がガイドレ−ル７の頭部に当り
弾性体１１の反発力に抗して進み、位置決めピン４とパ
イロット孔９により被めっき材２が位置決めされる。こ
の位置決め時、ガイドレ−ル７は弾性体１１を介在して
バックプレ−トホルダ−１３に設けられ被めっき材通板
ラインの直交方向に動けるので、位置決めピン４とパイ
ロット孔９のクリアランスが小さくともキズやバリを生
じることなく位置決めピン４が入り込んで行く。
が間欠的に搬送されめっき装置１７内に設けたガイドレ
−ル７の通板ガイド部８で案内されて来ると、スパ−ジ
ャ６を被めっき通板ライン側へ前進させることにより、
位置決めピン４が前記ガイドレ−ル７に穿設したパイロ
ット孔９に入り込む。また、この実施例ではロケ−タ５
がガイド孔１０に入り込んで行く。さらに位置決めピン
４、ロケ−タ５が前進して、当該位置決めピン４は被め
っき材２のガイドホ−ル２ａに入り位置決めを開始し、
ロケ−タ５は被めっき材２の上下方向の動きを規制す
る。さらに前進し、当該位置決めピン４、ロケ−タ５を
設けたマスクプレ−ト１がガイドレ−ル７の頭部に当り
弾性体１１の反発力に抗して進み、位置決めピン４とパ
イロット孔９により被めっき材２が位置決めされる。こ
の位置決め時、ガイドレ−ル７は弾性体１１を介在して
バックプレ−トホルダ−１３に設けられ被めっき材通板
ラインの直交方向に動けるので、位置決めピン４とパイ
ロット孔９のクリアランスが小さくともキズやバリを生
じることなく位置決めピン４が入り込んで行く。
【００１７】位置決めし且つマスクプレ−ト１のマスク
ゴム３とバックプレ−ト１４のバックゴム１５で被めっ
き材７を挟持してから、めっき液がスパ−ジャ６のめっ
き液噴射装置（図示しない）よりめっき必要箇所に噴出
してめっきされる。
ゴム３とバックプレ−ト１４のバックゴム１５で被めっ
き材７を挟持してから、めっき液がスパ−ジャ６のめっ
き液噴射装置（図示しない）よりめっき必要箇所に噴出
してめっきされる。
【００１８】めっき後、マスクプレ−ト１とバックプレ
−ト１４による前記被めっき材２の挟持を解くため、前
記マスクプレ−ト１をバックプレ−ト１４に対してスパ
−ジャ６とともに退行させる。また必要に応じてバック
プレ−ト１４を退行させる。該退行により位置決めピン
４がパイロット孔９から抜け初めるとき、ガイドレ−ル
７に設けた弾性体１１の反発力により該ガイドレ−ル７
の頭部が当たっていたマスクプレ−ト１を押し或は微小
振動し、被めっき材２に接していたマスクプレ−ト１の
マスクゴム３との接触が全面的に解かれる。またバック
プレ−ト１４のバックゴム１５も被めっき材２より離れ
る。従って、被めっき材２は機械的強度が弱いもので腰
折れ等は生じない。
−ト１４による前記被めっき材２の挟持を解くため、前
記マスクプレ−ト１をバックプレ−ト１４に対してスパ
−ジャ６とともに退行させる。また必要に応じてバック
プレ−ト１４を退行させる。該退行により位置決めピン
４がパイロット孔９から抜け初めるとき、ガイドレ−ル
７に設けた弾性体１１の反発力により該ガイドレ−ル７
の頭部が当たっていたマスクプレ−ト１を押し或は微小
振動し、被めっき材２に接していたマスクプレ−ト１の
マスクゴム３との接触が全面的に解かれる。またバック
プレ−ト１４のバックゴム１５も被めっき材２より離れ
る。従って、被めっき材２は機械的強度が弱いもので腰
折れ等は生じない。
【００１９】位置決めピン４がパイロット孔９から退出
したら、被めっき材２は間欠搬送され、次のめっき箇所
に前述と同様にしてめっきされる。
したら、被めっき材２は間欠搬送され、次のめっき箇所
に前述と同様にしてめっきされる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によると、マスクプレ−トに設け
た位置決めピンが入出するパイロット孔を設け且つ被め
っき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ルを、バック
プレ−トに弾性体を介在して設けているので、めっきに
際してマスクプレ−トとバックプレ−トを被めっき材の
通板ライン側へ互いに前進させ、前記位置決めピンを前
記ガイドレ−ルのパイロット孔に入れ込んで位置決めす
るとき、弾性体の反発力に抗してその進行方向と反方向
に当該ガイドレ−ルが退行するから位置決めピンが被め
っき材のガイドホ−ルにキズやバリを生じることなく位
置決めできる。また、めっき後に位置決めピンをパイロ
ット孔から抜き出す際には、前記ガイドレ−ルに設けた
弾性体の反発力によりマスクプレ−トを被めっき材より
全面的に同時に離し腰折れ等が生じない。機械的強度が
弱い被めっき材でも腰折れが生じないので、リ−ルツ−
リ−ル方式でめっきが生産性よくできる等の効果があ
る。
た位置決めピンが入出するパイロット孔を設け且つ被め
っき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ルを、バック
プレ−トに弾性体を介在して設けているので、めっきに
際してマスクプレ−トとバックプレ−トを被めっき材の
通板ライン側へ互いに前進させ、前記位置決めピンを前
記ガイドレ−ルのパイロット孔に入れ込んで位置決めす
るとき、弾性体の反発力に抗してその進行方向と反方向
に当該ガイドレ−ルが退行するから位置決めピンが被め
っき材のガイドホ−ルにキズやバリを生じることなく位
置決めできる。また、めっき後に位置決めピンをパイロ
ット孔から抜き出す際には、前記ガイドレ−ルに設けた
弾性体の反発力によりマスクプレ−トを被めっき材より
全面的に同時に離し腰折れ等が生じない。機械的強度が
弱い被めっき材でも腰折れが生じないので、リ−ルツ−
リ−ル方式でめっきが生産性よくできる等の効果があ
る。
【００２１】また、前記ロケ−タがマスクプレ−トに位
置決めピンとともに設けられ、前記ガイドレ−ルにロケ
−タが入出するガイド孔を設けた場合は、被めっき材の
通板時に上下方向の揺動が規制され、位置決めの精度、
及び作業性が向上する。
置決めピンとともに設けられ、前記ガイドレ−ルにロケ
−タが入出するガイド孔を設けた場合は、被めっき材の
通板時に上下方向の揺動が規制され、位置決めの精度、
及び作業性が向上する。
【図１】本発明の１実施例におけるめっき装置の断面
図。
図。
【図２】本発明の１実施例におけるめっき装置の上面
図。
図。
１ マスクプレ−ト ２ 被めっき材 ３ マスクゴム ４ 位置決めピン ５ ロケ−タ ６ スパ−ジャ ７ ガイドレ−ル ８ 通板ガイド部 ９ パイロット孔 １０ ガイド孔 １１ 弾性体 １２ 取付け杆 １３ バックプレ−トホルダ− １４ バックプレ−ト １５ バックゴム １６ 通電電極 １７ めっき装置
Claims (2)
- 【請求項１】 被めっき材を位置決めピンにより位置決
めしてめっきする装置において、前記位置決めピンをマ
スクプレ−トに設け、前記位置きめピンが入出するパイ
ロット孔を設け且つ被めっき材の通板ガイド部を設けた
ガイドレ−ルをバックプレ−ト部に弾性体を介在して設
けたことを特徴とするめっき装置。 - 【請求項２】 被めっき材を位置決めピンにより位置決
めしてめっきする装置において、前記位置決めピンとロ
ケ−タをマスクプレ−トに設け、前記位置決めピンとロ
ケ−タがそれぞれ入出するパイロット孔とガイド孔を設
け且つ被めっき材の通板ガイド部を設けたガイドレ−ル
をバックプレ−ト部に弾性体を介在して設けたことを特
徴とするめっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8036398A JP3451391B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8036398A JP3451391B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | めっき装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11256392A true JPH11256392A (ja) | 1999-09-21 |
| JP3451391B2 JP3451391B2 (ja) | 2003-09-29 |
Family
ID=13716187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8036398A Expired - Fee Related JP3451391B2 (ja) | 1998-03-11 | 1998-03-11 | めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3451391B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1149936A3 (en) * | 2000-04-27 | 2002-11-27 | Shinko Electric Industries Co. Ltd. | Plating system |
| KR101029369B1 (ko) | 2009-01-23 | 2011-04-13 | (주) 에스에스피 | 자동화 장비의 자재 정렬장치 |
| KR20190051387A (ko) * | 2017-11-06 | 2019-05-15 | 주식회사 티지오테크 | 전력 공급용 지그 |
-
1998
- 1998-03-11 JP JP8036398A patent/JP3451391B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1149936A3 (en) * | 2000-04-27 | 2002-11-27 | Shinko Electric Industries Co. Ltd. | Plating system |
| KR101029369B1 (ko) | 2009-01-23 | 2011-04-13 | (주) 에스에스피 | 자동화 장비의 자재 정렬장치 |
| KR20190051387A (ko) * | 2017-11-06 | 2019-05-15 | 주식회사 티지오테크 | 전력 공급용 지그 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3451391B2 (ja) | 2003-09-29 |
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