JPH11254287A - ワイヤソー切断装置 - Google Patents
ワイヤソー切断装置Info
- Publication number
- JPH11254287A JPH11254287A JP6295298A JP6295298A JPH11254287A JP H11254287 A JPH11254287 A JP H11254287A JP 6295298 A JP6295298 A JP 6295298A JP 6295298 A JP6295298 A JP 6295298A JP H11254287 A JPH11254287 A JP H11254287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- tension
- roller
- abnormal tension
- damper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0069—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for tensioning saw wires
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワイヤに加わる異常張力を解消し、安定条件
下でワイヤソー切断装置を稼動させる。 【構成】 グルーブローラ１〜３に周回させたワイヤ５
でインゴット９をスライスし、ウェーハを切り出す。グ
ルーブローラ１，２と入側及び出側デフレクタローラ１
８との間にある異常張力吸収機構２０は、周面がワイヤ
走行経路に接するダンパローラ２１を備え、ダンパロー
ラ２１のフレーム２２が方向性弁２４のピストンに連絡
されている。ワイヤに付与されている張力が急激に上昇
する異常張力発生時には、ダンパローラ２１をワイヤ走
行経路から瞬時に退避し、ワイヤ５を弛ませて異常張力
を解消する。 【効果】 ワイヤ５の走行方向切替え時等に発生しがち
な異常張力でワイヤ５が破断することが防止され、安定
した条件下でワイヤソー切断が続行される。
下でワイヤソー切断装置を稼動させる。 【構成】 グルーブローラ１〜３に周回させたワイヤ５
でインゴット９をスライスし、ウェーハを切り出す。グ
ルーブローラ１，２と入側及び出側デフレクタローラ１
８との間にある異常張力吸収機構２０は、周面がワイヤ
走行経路に接するダンパローラ２１を備え、ダンパロー
ラ２１のフレーム２２が方向性弁２４のピストンに連絡
されている。ワイヤに付与されている張力が急激に上昇
する異常張力発生時には、ダンパローラ２１をワイヤ走
行経路から瞬時に退避し、ワイヤ５を弛ませて異常張力
を解消する。 【効果】 ワイヤ５の走行方向切替え時等に発生しがち
な異常張力でワイヤ５が破断することが防止され、安定
した条件下でワイヤソー切断が続行される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤの破断を防止し
ながらインゴットをワイヤソー切断する装置に関する。
ながらインゴットをワイヤソー切断する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】引上げ法等で製造したインゴットは、ト
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、一
般的には図１に示すように３本のグルーブローラ１〜３
を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４に連結さ
れている。グルーブローラ１〜３に複数回周回させるこ
とにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワイヤリー
ル６から巻き出され、他方のワイヤリール７に巻き取ら
れる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態でローラ
１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与さ
れる。
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、一
般的には図１に示すように３本のグルーブローラ１〜３
を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４に連結さ
れている。グルーブローラ１〜３に複数回周回させるこ
とにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワイヤリー
ル６から巻き出され、他方のワイヤリール７に巻き取ら
れる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態でローラ
１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与さ
れる。
【０００３】スライスされるインゴット９は、接着治具
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】インゴット９を一定条
件下でスライシングするためワイヤ５に張力が付与され
る。張力付与には、振り子式のテンショナー８（図１）
の外にバランスウェイト１７（図２），パウダークラッ
チ等も使用されている。バランスウェイト１７で張力を
付与する場合、図２に示すように新線用ワイヤリール６
からワイヤ５を巻き出した後、デフレクタローラ１８，
１８・・を経てグルーブローラ１〜３に送り込み、一方
向ｄ1 に走行してインゴット９の切断に使用され、デフ
レクタローラ１８，１８・・を経て巻取り用ワイヤリー
ル７に巻き取られる。或いは、逆方向ｄ2 の走行を周期
的に繰り返しながら、トータルとして巻取り用リール７
に巻き取られていく双方向切断も採用されている。走行
中のワイヤ５に所定の張力が加えられるように、出側及
び入側デフレクタローラ１８と１８との間に配置したダ
ンサローラ１９を周回する走行軌跡を取らせる。ダンサ
ローラ１９に吊り下げられたバランスウェイト１７によ
り、ワイヤ５に所定の張力が付与される。
件下でスライシングするためワイヤ５に張力が付与され
る。張力付与には、振り子式のテンショナー８（図１）
の外にバランスウェイト１７（図２），パウダークラッ
チ等も使用されている。バランスウェイト１７で張力を
付与する場合、図２に示すように新線用ワイヤリール６
からワイヤ５を巻き出した後、デフレクタローラ１８，
１８・・を経てグルーブローラ１〜３に送り込み、一方
向ｄ1 に走行してインゴット９の切断に使用され、デフ
レクタローラ１８，１８・・を経て巻取り用ワイヤリー
ル７に巻き取られる。或いは、逆方向ｄ2 の走行を周期
的に繰り返しながら、トータルとして巻取り用リール７
に巻き取られていく双方向切断も採用されている。走行
中のワイヤ５に所定の張力が加えられるように、出側及
び入側デフレクタローラ１８と１８との間に配置したダ
ンサローラ１９を周回する走行軌跡を取らせる。ダンサ
ローラ１９に吊り下げられたバランスウェイト１７によ
り、ワイヤ５に所定の張力が付与される。
【０００５】ワイヤ５の走行中に、ワイヤ５に加えられ
ている張力が上昇することがある。なかでも、ワイヤ５
の走行方向がｄ1 →ｄ2 又はｄ2 →ｄ1 と切り替わると
き、張力の上昇が生じ易い。張力の上昇分は、テンショ
ナー８（図１）が上方に旋回し、ダンサローラ１９（図
２）が上昇し、或いはパウダクラッチ（図示せず）の旋
回運動によってある程度吸収される。しかし、テンショ
ナー８，ダンサローラ１９，パウダクラッチ等では、張
力の急激な上昇に対応できない。その結果、テンショナ
ー８，ダンサローラ１９，パウダクラッチ等の張力調整
機構を備えたものでも、異常な張力によってワイヤ５が
破断する虞れがある。ワイヤ５の破断は、ワイヤソー切
断装置の稼動中断を意味するばかりでなく、破断したワ
イヤ５を取り外し、新規なワイヤ５をセッティングする
ために、多大の作業や時間が消費され、生産性も低下す
る。
ている張力が上昇することがある。なかでも、ワイヤ５
の走行方向がｄ1 →ｄ2 又はｄ2 →ｄ1 と切り替わると
き、張力の上昇が生じ易い。張力の上昇分は、テンショ
ナー８（図１）が上方に旋回し、ダンサローラ１９（図
２）が上昇し、或いはパウダクラッチ（図示せず）の旋
回運動によってある程度吸収される。しかし、テンショ
ナー８，ダンサローラ１９，パウダクラッチ等では、張
力の急激な上昇に対応できない。その結果、テンショナ
ー８，ダンサローラ１９，パウダクラッチ等の張力調整
機構を備えたものでも、異常な張力によってワイヤ５が
破断する虞れがある。ワイヤ５の破断は、ワイヤソー切
断装置の稼動中断を意味するばかりでなく、破断したワ
イヤ５を取り外し、新規なワイヤ５をセッティングする
ために、多大の作業や時間が消費され、生産性も低下す
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題を解消すべく案出されたものであり、何らかの原因で
急激に上昇した張力の増加分を瞬時に吸収する機構をワ
イヤの走行経路に設けることにより、ワイヤの破断を防
止し、安定条件下でワイヤソー切断装置を稼動させるこ
とを目的とする。本発明のワイヤソー切断装置は、その
目的を達成するため、インゴット切断用のワイヤが周回
する多数の溝を周面にもつ複数のグルーブローラと、グ
ルーブローラにデフレクタローラを経てワイヤを送り出
す新線用ワイヤリールと、グルーブローラからデフレク
タローラを経て送り出されたワイヤを巻き取る巻取り用
ワイヤリールと、走行するワイヤに所定の張力を付与す
る張力調整機構と、新線用ワイヤリールから巻き出され
たワイヤがグルーブローラを周回して巻取り用ワイヤリ
ールに巻き取られるワイヤ走行経路の途中でワイヤ走行
経路に周面が接するダンパローラをもつ異常張力吸収機
構とを備えている。
題を解消すべく案出されたものであり、何らかの原因で
急激に上昇した張力の増加分を瞬時に吸収する機構をワ
イヤの走行経路に設けることにより、ワイヤの破断を防
止し、安定条件下でワイヤソー切断装置を稼動させるこ
とを目的とする。本発明のワイヤソー切断装置は、その
目的を達成するため、インゴット切断用のワイヤが周回
する多数の溝を周面にもつ複数のグルーブローラと、グ
ルーブローラにデフレクタローラを経てワイヤを送り出
す新線用ワイヤリールと、グルーブローラからデフレク
タローラを経て送り出されたワイヤを巻き取る巻取り用
ワイヤリールと、走行するワイヤに所定の張力を付与す
る張力調整機構と、新線用ワイヤリールから巻き出され
たワイヤがグルーブローラを周回して巻取り用ワイヤリ
ールに巻き取られるワイヤ走行経路の途中でワイヤ走行
経路に周面が接するダンパローラをもつ異常張力吸収機
構とを備えている。
【０００７】異常張力吸収機構は、ワイヤに付与されて
いる張力が急激に上昇する異常張力発生時にダンパロー
ラをワイヤ走行経路から瞬時に退避させる。異常張力吸
収機構としては、たとえばダンパローラを軸支するフレ
ームに連絡されているピストン側から排出口側への流動
抵抗が小さく、逆方向への流動抵抗が大きな方向性弁を
備えているものが使用される。
いる張力が急激に上昇する異常張力発生時にダンパロー
ラをワイヤ走行経路から瞬時に退避させる。異常張力吸
収機構としては、たとえばダンパローラを軸支するフレ
ームに連絡されているピストン側から排出口側への流動
抵抗が小さく、逆方向への流動抵抗が大きな方向性弁を
備えているものが使用される。
【０００８】
【実施の形態】本発明に従ったワイヤソー切断装置は、
図３に示すようにグルーブローラ１〜３に対するワイヤ
５の入側及び出側に異常張力吸収機構２０を備えてい
る。その他の設備構成は、図２と同様であるので、以下
の説明では適宜図２を参照する。また、張力調整機構と
してテンショナー８（図１），パウダクラッチ等を用い
た装置に対しても同様に適用される。異常張力吸収機構
２０は、ワイヤ５の走行軌跡に周面が位置するダンパロ
ーラ２１を備えている。ダンパローラ２１を軸支するフ
レーム２２は、スプリング２３及び方向性弁２４に連絡
されている。スプリング２３は、定常状態ではダンパロ
ーラ２１をワイヤ５に押し付ける。方向性弁２４は、一
方向特性の強い弁であり、ワイヤ５に異常に高い張力が
加わったとき、その張力を受けてダンパローラ２１をワ
イヤ５の走行軌跡から後退させる。
図３に示すようにグルーブローラ１〜３に対するワイヤ
５の入側及び出側に異常張力吸収機構２０を備えてい
る。その他の設備構成は、図２と同様であるので、以下
の説明では適宜図２を参照する。また、張力調整機構と
してテンショナー８（図１），パウダクラッチ等を用い
た装置に対しても同様に適用される。異常張力吸収機構
２０は、ワイヤ５の走行軌跡に周面が位置するダンパロ
ーラ２１を備えている。ダンパローラ２１を軸支するフ
レーム２２は、スプリング２３及び方向性弁２４に連絡
されている。スプリング２３は、定常状態ではダンパロ
ーラ２１をワイヤ５に押し付ける。方向性弁２４は、一
方向特性の強い弁であり、ワイヤ５に異常に高い張力が
加わったとき、その張力を受けてダンパローラ２１をワ
イヤ５の走行軌跡から後退させる。
【０００９】方向性弁２４としては、たとえば図４
（ａ）に示すように小孔２５を開けた弁体２６をシリン
ダ２７内に組み込んだものが使用される。シリンダ２７
内には、フレーム２２から延びたロッド２８の先端に固
着されているピストン２９が収容される。また、ロッド
２８の反対側で、シリンダ２７に第２ピストン３０が組
み込まれており、第２ピストンとシリンダ２７の奥壁面
との間にバネ３１が介装されている。今、ワイヤ５に加
わっている異常に高い張力がダンパローラ２１にかかっ
たとと仮定すると、ダンパローラ５の変位がフレーム２
２，ロッド２８を介してピストン２９に伝えられ、ピス
トン２９に図４（ａ）で上向きに力が働く。弁体２６は
排出口３０側に開いているので、ピストン２９に働く上
向きの力で弁口が容易に開き、ピストン２９が瞬時に上
昇する。すなわち、図５に示すように時刻ｔ1でワイヤ
５の張力が急上昇する（ａ）と、その時刻ｔ1 と同時期
にダンパローラ２１が変位する（ｂ）。また、時刻ｔ2
で僅かに張力の急上すると、その急上昇分に応じてダン
パローラ２１も僅かに変位する。
（ａ）に示すように小孔２５を開けた弁体２６をシリン
ダ２７内に組み込んだものが使用される。シリンダ２７
内には、フレーム２２から延びたロッド２８の先端に固
着されているピストン２９が収容される。また、ロッド
２８の反対側で、シリンダ２７に第２ピストン３０が組
み込まれており、第２ピストンとシリンダ２７の奥壁面
との間にバネ３１が介装されている。今、ワイヤ５に加
わっている異常に高い張力がダンパローラ２１にかかっ
たとと仮定すると、ダンパローラ５の変位がフレーム２
２，ロッド２８を介してピストン２９に伝えられ、ピス
トン２９に図４（ａ）で上向きに力が働く。弁体２６は
排出口３０側に開いているので、ピストン２９に働く上
向きの力で弁口が容易に開き、ピストン２９が瞬時に上
昇する。すなわち、図５に示すように時刻ｔ1でワイヤ
５の張力が急上昇する（ａ）と、その時刻ｔ1 と同時期
にダンパローラ２１が変位する（ｂ）。また、時刻ｔ2
で僅かに張力の急上すると、その急上昇分に応じてダン
パローラ２１も僅かに変位する。
【００１０】変位したダンパローラ２１は、ワイヤ５の
走行軌跡から後退し、ダンパローラ２１で変位していた
分だけワイヤ５を弛ませる。このとき、張力の急上昇と
ダンパローラ２１との間に実質的な時間差がないので、
ワイヤ５の弛みによって異常張力が解消され、ワイヤ５
の破断が未然に防がれる。ピストン２９側から排出口３
０側に逃げたオイル３１は、加圧源Ｐからの圧力によっ
て弁体２６の小孔２５を経由してピストン２９側に復流
する。オイル３２の復流経路は、小孔２５を経由する流
動抵抗の大きな経路である。したがって、バネ３１で付
勢された第２ピストン３０がオイル３２をピストン２９
側に押し出し、ピストン２９側のシリンダ２７内をオイ
ル３２で満たすまでには時間がかかる。その結果、図５
（ｂ）の曲線で示すようにダンパローラ２１は徐々に当
初の位置に復帰する。この経過時間の間に、ワイヤ５に
加わっていた異常張力の影響が完全に無くなっている。
また、ダンパローラ２１が瞬時にワイヤ５に押し当てら
れないため、ワイヤ５は、緩やかな張力変動を経て設定
張力レベルに復帰する。
走行軌跡から後退し、ダンパローラ２１で変位していた
分だけワイヤ５を弛ませる。このとき、張力の急上昇と
ダンパローラ２１との間に実質的な時間差がないので、
ワイヤ５の弛みによって異常張力が解消され、ワイヤ５
の破断が未然に防がれる。ピストン２９側から排出口３
０側に逃げたオイル３１は、加圧源Ｐからの圧力によっ
て弁体２６の小孔２５を経由してピストン２９側に復流
する。オイル３２の復流経路は、小孔２５を経由する流
動抵抗の大きな経路である。したがって、バネ３１で付
勢された第２ピストン３０がオイル３２をピストン２９
側に押し出し、ピストン２９側のシリンダ２７内をオイ
ル３２で満たすまでには時間がかかる。その結果、図５
（ｂ）の曲線で示すようにダンパローラ２１は徐々に当
初の位置に復帰する。この経過時間の間に、ワイヤ５に
加わっていた異常張力の影響が完全に無くなっている。
また、ダンパローラ２１が瞬時にワイヤ５に押し当てら
れないため、ワイヤ５は、緩やかな張力変動を経て設定
張力レベルに復帰する。
【００１１】方向性弁２４としては、一方向特性の強い
弁である限り、種々の弁機構が採用される。たとえば、
図４（ｂ）では、ピストン２９と反対側のシリンダ２７
の内室を可撓性チューブ３３を介してリザーバタンク３
４に接続している。リザーバタンク３４は、所定圧力で
オイル３２をシリンダ２７に供給するように加圧されて
いる。ワイヤ５に異常張力が加わった場合、ダンパロー
ラ２１を介して伝達された圧力によりシリンダ２７から
リザーバタンク３４にオイル３２が流出し、図４（ａ）
と同様にダンパローラ２１が後退する。ダンパローラ２
１からの圧力伝達がなくなると、リザーバタンク３４か
らシリンダ２７にオイル３２が還流しようとするが、弁
体２６による流動抵抗が大きいため、オイル３２の還流
は徐々に進行する。その結果、この場合にもダンパロー
ラ２１は徐々に当初の位置に復帰する。ワイヤ５が設定
張力レベルに復帰した後、ワイヤソー切断装置は定常状
態で稼動される。このようにして、ワイヤ５に付与され
ている張力が急激に上昇した場合にあっても、異常張力
を瞬時に解消し、ワイヤ５の破断を未然に防止してイン
ゴット９のスライシングを続行させることができる。以
上の例においては、ダンサローラ１９とグルーブローラ
１〜３との間に異常張力吸収機構２０を設けている。し
かし、本発明は、これに拘束されるものではなく、ワイ
ヤ５にかかる異常張力を瞬時に解消できる限り、ダンサ
ローラ１９とトラバーサ３５等、種々の箇所に組み込む
ことも可能である。
弁である限り、種々の弁機構が採用される。たとえば、
図４（ｂ）では、ピストン２９と反対側のシリンダ２７
の内室を可撓性チューブ３３を介してリザーバタンク３
４に接続している。リザーバタンク３４は、所定圧力で
オイル３２をシリンダ２７に供給するように加圧されて
いる。ワイヤ５に異常張力が加わった場合、ダンパロー
ラ２１を介して伝達された圧力によりシリンダ２７から
リザーバタンク３４にオイル３２が流出し、図４（ａ）
と同様にダンパローラ２１が後退する。ダンパローラ２
１からの圧力伝達がなくなると、リザーバタンク３４か
らシリンダ２７にオイル３２が還流しようとするが、弁
体２６による流動抵抗が大きいため、オイル３２の還流
は徐々に進行する。その結果、この場合にもダンパロー
ラ２１は徐々に当初の位置に復帰する。ワイヤ５が設定
張力レベルに復帰した後、ワイヤソー切断装置は定常状
態で稼動される。このようにして、ワイヤ５に付与され
ている張力が急激に上昇した場合にあっても、異常張力
を瞬時に解消し、ワイヤ５の破断を未然に防止してイン
ゴット９のスライシングを続行させることができる。以
上の例においては、ダンサローラ１９とグルーブローラ
１〜３との間に異常張力吸収機構２０を設けている。し
かし、本発明は、これに拘束されるものではなく、ワイ
ヤ５にかかる異常張力を瞬時に解消できる限り、ダンサ
ローラ１９とトラバーサ３５等、種々の箇所に組み込む
ことも可能である。
【００１２】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のワイヤ
ソー切断装置においては、ワイヤ走行方向切替え時等で
ワイヤの張力が急激に上昇した場合にあっても、ダンパ
ローラを瞬時に退避させてワイヤに弛みを持たせること
により、異常張力を解消している。そのため、ワイヤの
破断が防止され、ワイヤソー切断装置を定常稼動に移行
させることができる。
ソー切断装置においては、ワイヤ走行方向切替え時等で
ワイヤの張力が急激に上昇した場合にあっても、ダンパ
ローラを瞬時に退避させてワイヤに弛みを持たせること
により、異常張力を解消している。そのため、ワイヤの
破断が防止され、ワイヤソー切断装置を定常稼動に移行
させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ワイヤソー切断装置の全体概略図
【図２】 ワイヤの走行経路を示す図
【図３】 本発明に従った異常張力吸収機構を組み込ん
だワイヤ走行経路の一部
だワイヤ走行経路の一部
【図４】 異常張力吸収機構に使用される方向性弁の断
面図
面図
【図５】 ワイヤの張力上昇（ａ）に対応してダンパロ
ーラが瞬時に変位する（ｂ）ことを示すグラフ
ーラが瞬時に変位する（ｂ）ことを示すグラフ
１〜３：グルーブローラ ４：駆動モータ ５：ワ
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダー １１：スラリ
ー １２：スラリータンク １３：供給管 １
４：ノズル １５：パン １６：熱交換器 １７：バランスウェ
イト １８：デフレクタローラ １９：ダンサロー
ラ ２０：異常張力吸収機構 ２１：ダンパローラ ２
２：フレーム ２３：スプリング ２４：方向性弁 ２５：小孔
２６：弁体 ２７：シリンダ ２８：ロッド ３０：ピストン
３１：排出口 ３２：オイル
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダー １１：スラリ
ー １２：スラリータンク １３：供給管 １
４：ノズル １５：パン １６：熱交換器 １７：バランスウェ
イト １８：デフレクタローラ １９：ダンサロー
ラ ２０：異常張力吸収機構 ２１：ダンパローラ ２
２：フレーム ２３：スプリング ２４：方向性弁 ２５：小孔
２６：弁体 ２７：シリンダ ２８：ロッド ３０：ピストン
３１：排出口 ３２：オイル
Claims (2)
- 【請求項１】 インゴット切断用のワイヤが周回する多
数の溝を周面にもつ複数のグルーブローラと、グルーブ
ローラにデフレクタローラを経てワイヤを送り出す新線
用ワイヤリールと、グルーブローラからデフレクタロー
ラを経て送り出されたワイヤを巻き取る巻取り用ワイヤ
リールと、走行するワイヤに所定の張力を付与する張力
調整機構と、新線用ワイヤリールから巻き出されたワイ
ヤがグルーブローラを周回して巻取り用ワイヤリールに
巻き取られるワイヤ走行経路の途中でワイヤ走行経路に
周面が接するダンパローラをもつ異常張力吸収機構とを
備え、異常張力吸収機構は、ワイヤに付与されている張
力が急激に上昇する異常張力発生時にダンパローラをワ
イヤ走行経路から瞬時に退避させることを特徴とするワ
イヤソー切断装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の異常張力吸収機構はダン
パローラを軸支するフレームに連絡されているピストン
側から排出口側への流動抵抗が小さく、逆方向への流動
抵抗が大きな方向性弁を備えているワイヤソー切断装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6295298A JPH11254287A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ワイヤソー切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6295298A JPH11254287A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ワイヤソー切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11254287A true JPH11254287A (ja) | 1999-09-21 |
Family
ID=13215175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6295298A Pending JPH11254287A (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ワイヤソー切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11254287A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100831747B1 (ko) | 2006-11-10 | 2008-05-23 | 삼정엔지니어링 (주) | 와이어 소우 장치 및 이 와이어 소우 장치를 이용한 피가공물 가공방법 |
| JP2009090387A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Denso Corp | 炭化珪素基板製造用ワイヤーソー装置 |
| KR101087001B1 (ko) * | 2009-10-01 | 2011-11-29 | 주식회사 엘지실트론 | 와이어 쏘잉 장치 및 이를 위한 와이어 쏘잉용 바텀 빔 |
| ITVR20130088A1 (it) * | 2013-04-16 | 2014-10-17 | Pelmine S R L | Macchina per il taglio a filo di materiale lapideo |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP6295298A patent/JPH11254287A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100831747B1 (ko) | 2006-11-10 | 2008-05-23 | 삼정엔지니어링 (주) | 와이어 소우 장치 및 이 와이어 소우 장치를 이용한 피가공물 가공방법 |
| JP2009090387A (ja) * | 2007-10-04 | 2009-04-30 | Denso Corp | 炭化珪素基板製造用ワイヤーソー装置 |
| KR101087001B1 (ko) * | 2009-10-01 | 2011-11-29 | 주식회사 엘지실트론 | 와이어 쏘잉 장치 및 이를 위한 와이어 쏘잉용 바텀 빔 |
| ITVR20130088A1 (it) * | 2013-04-16 | 2014-10-17 | Pelmine S R L | Macchina per il taglio a filo di materiale lapideo |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4049900B2 (ja) | ワイヤソー切断装置 | |
| EP2535144B1 (en) | Wire saw | |
| JPS61209870A (ja) | ワイヤ式のこぎり機 | |
| JP3084879B2 (ja) | ワイヤ放電加工機 | |
| JPH11254287A (ja) | ワイヤソー切断装置 | |
| RU2587697C2 (ru) | Конструкция устройства для подачи проволоки в сварочной машине и способ обеспечения движения сварочной проволоки | |
| CN111924606B (zh) | 接带装置及叠片设备 | |
| JPH07195358A (ja) | ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズル | |
| JPH1128655A (ja) | 鋸ワイヤの巻き戻し又は巻き取り方法及び装置 | |
| JP2714344B2 (ja) | テープ巻き取り装置 | |
| JP2004122287A (ja) | 停電時ワイヤ断線防止機構付きワイヤソー | |
| WO2004000707A8 (en) | Spooling apparatus | |
| WO2001091982A1 (en) | Method and apparatus for cutting an ingot | |
| JP5415221B2 (ja) | 半田供給装置および半田供給方法 | |
| CH641991A5 (en) | Device for taking hold of the wire electrode of a machine for cutting using erosive electrical discharges | |
| JP3658920B2 (ja) | 半導体インゴットのスライス装置 | |
| JPH0929607A (ja) | ワイヤソーのワイヤ張力制御方法及び装置 | |
| JP2000084824A (ja) | ワイヤソーのスラリ供給方法及び装置 | |
| JP3084699B2 (ja) | ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造 | |
| WO2017141523A1 (ja) | ウェーハの製造方法 | |
| KR100365473B1 (ko) | 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치 | |
| CN221048763U (zh) | 线切割机机架及线切割机 | |
| JP2000218503A (ja) | ワイヤソーのワイヤ巻掛方法 | |
| KR102668177B1 (ko) | 이차전지 전극 제조공정용 언와인딩 장치 | |
| JPH0847852A (ja) | ワイヤーソー |