KR100365473B1 - 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치에 관한 것이다.

본 발명은, 멀티패키지의 일면 접착을 위한 테이프(F)를 권취시키는 테이프 권취드럼(120)과 풀림되는 테이프(F)로부터 가이드로울러(140)에 의해 분리된 이형지(B)가 권취되는 이형지 권취드럼(130)과 상기 테이프(F) 및 이형지 권취드럼(130)의 풀리(121)(131)를 연결하는 와이어(W)로 구성되어 테이프 당김시 연동되는 와이어(W)에 의해 이형지(B)가 감김될 수 있도록 하기 위한 웨이퍼 마운터용 접착 테이프의 이형지 권취장치에 있어서, 상기 와이어(W)가, 일측은 상기 테이프 권취드럼(120)의 풀리(121)에 감김되어 연결되도록 하고, 타측은 상기 이형지 권취드럼(130)의 풀리(131)에 미끄럼 마찰되도록 연결하는 것을 특징으로 한다.

이상에서와 같은 이형지 권취장치는, 와이어를 연동시키기 위한 테이프 권취드럼의 풀리에는 와이어가 감겨져 연결되고 그리고 이형지 권취드럼의 풀리에는 와이어가 슬립 회전되도록 하므로써, 테이프 인출시 테이프 권취드럼으로부터 풀림되는 테이프의 이형지가 슬립 회전되는 이형지 권취드럼에 안정되게 감겨질 수 있도록 하는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치{SEPARATION PAPER ROLLING DEVICE OF BONDING TAPE FOR WAFER MOUNTER}

본 발명은 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 멀티(Multi) 반도체 패키지와 이를 운반하기 위한 프레임에 인출된 접착테이프를 부착시키고 프레임에 접착된 테이프을 컷팅시키게 되는 종래의 구조 중 접착테이프를 마운터부로 공급하는 구조를 개선하여 접착테이프를 용이하게 인출시킬 수 있도록 함과 동시에 접착테이프 당김시 접착테이프로부터 분리된 이형지가 안정되게 권취될 수 있도록 한 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치에 관한 것이다.

일반적으로, 웨이퍼 소잉(Wafer sawing), 다이 본딩(Die bonding) 등 반도체 제조 공정에 있어서 웨이퍼 상의 수많은 반도체 칩들을 동시에 용이하게 취급하기 위하여 웨이퍼 배면에 접착 테이프을 부착하는데, 여기에 사용되는 장비가 바로 웨이퍼 마운터이다.

상기한 웨이퍼 마운터는 본원 발명인에 의해 다수 제안된 바 있으며, 그 예를 살펴보면 다음과 같다.

국내 공개번호 특허1999-34139호 "반도체 장비용 웨이퍼 마운터"에는, '두루마리 형태로 감겨진 접착테이프가 제1로울러에 설치되고, 이 접착테이프의 선단이 제2로울러와 제3로울러 및 제4로울러를 거쳐 공급되는 접착테이프공급부와, 상기 접착테이프공급부의 선단부에 위치되도록 안착판이 설치되고, 이 안착판의 상부에는 배큠홀이 형성된 웨이퍼안착패드가 고정축의 상단에 고정 설치되며, 상기 웨이퍼안착패드의 외측으로는 링 형상의 프레임이 배큠에 의해 흡착 고정되도록 테이블이 설치된 마운트부와, 상기 마운트부에 안착된 웨이퍼 및 프레임에 접착테이프를 접착시키는 본드로울러가 설치되고, 이 본드로울러를 상기 접착테이프의 상부로 슬라이딩되도록 가이드레일이 설치된 접착부와, 상기 접착부에 의해 접착된 접착테이프를 일정량만큼 횡으로 절단하는 제1칼날과 프레임의 크기로 원형으로 절단하는 제2칼날이 설치된 커팅부로 이루어진 반도체 장비용 웨이퍼 마운터'가 개시된 바 있다.

또한, 국내 공개번호 실용신안99-16501호 "웨이퍼 마운터의 테이프롤러 역회전 방지 구조"에는 '웨이퍼 마운터의 바디에 일측이 회전 가능하게 설치되어 있으며 두루마기 형태의 접착 테이프가 끼워져 회전됨으로서 웨이퍼마운트부에 일정 길이의 접착테이프를 제공하는 웨이퍼마운터의 테이프롤러 구조에 있어서, 상기 바디에 지지된 테이프롤러의 외측 연장선에는 역회전 방지용 롤러가 더 설치되어 있고, 상기 역회전 방지용 롤러의 양측면에는 마찰력을 제공하도록 클램프가 각각 더 설치되어 있으며, 상기 클램프들의 끝단은 바디에 고정된 브라켓에 일정 각도로 회동가능하도록 하나의 클램프 지지축에 지지되어 있는 웨이퍼 마운터의 테이프롤러 역회전 방지 구조'가 개시되어 있으며, 상기한 구조는 제3롤러상에 위치하는 접착테이프의 선단을 소정 길이 잡아당긴후 놓게 되면 상기 테이프롤러는 일정횟수 회전한 후 멈추게 된다. 이때 상기 테이프롤러, 제1롤러, 제2롤러, 제3롤러, 및 테이프회수용 롤러에 지지되어 있는 테이프의 장력에 의해 상기 테이프롤러가 역회전하려하지만 상기 테이프롤러의 바디 외측 연장선에는 역회전방지용 롤러가 설치되어 있고 이것을 클램프의 러버가 마찰력에 의해 역회전력을 상쇄시킴으로서 결국 테이프롤러는 역회전되지 않는다. 즉 사용자가 접착테이프를 당기는 힘보다 그 테이프롤러의 역회전력이 작음으로서 웨이퍼마운터 쪽으로 회전되지만 그 회전이 멈춘후 상기 테이프롤러가 역회전 하려고 할 때는 그 역회전력보다 상기 클램프와 역회전방지용롤러 사이에 작용하는 마찰력이 더 크게 설정되어 있어 테이프롤러의 역회전을 방지할 수 있게 된다.

상술한 바와 같은 종래의 웨이퍼 마운터는, 통상 도 1에 도시된 바와같이 테이프공급부(10)로부터 마운터부(20)로 접착테이프(F)를 인출시키는 테이프롤러(11)와, 접착테이프(F)로부터 분리되는 이형지(B)를 권취시키는 이형지 권취롤러(13)와, 이들 사이에서 접착테이프(F)를 안내 및 이형지(B)를 분리시키는 롤러(12)와, 상기 롤러(12)의 회전시 이형지 권취롤러(13)를 연동회전시키게 되는 와이어(W)로 구성되어, 접착테이프(F)의 당김시 롤러(12)에 의해 이형지(B)가 분리되고 동시에 와이어(W)의 연동에 의해 이형지(B)가 이형지 권취롤러(13)에 감겨질 수 있게 된다.

하지만 상기와 같은 구조는, 사용자가 접착테이프(F) 당김시 접착테이프(F)의 당김력에 의해 롤러(12)가 회전되고 또한 롤러(12)의 회전에 의해 와이어(W)가 연동되어 이형지 권취롤러(13)를 회전시켜야만 하는데, 와이어(W)가 회전되지 못하고 롤러(12)의 풀리에서 미끄럼 되거나 또는 접착테이프(F)가 롤러(12)에 미끄럼 되는 경우에는 이형지(B)가 접착테이프(F)로 부터 분리되지 못하는 현상이 빈번하게 발생되는 문제점이 있었다.

또한, 종래 실시예와 같이 인출되는 접착테이프의 컷팅시 테이프롤러의 역회전을 방지하고자 별도의 역회전방지용 롤러를 추가로 설치해야만 하는 문제점이 발생된다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 본 발명의 목적은 접착테이프를 권취시킨 권취드럼과 접착테이프로부터 분리되는 이형지를 권취시키는 이형지 권취드럼이 이들 풀리를 연결한 와이어의 연동에 의해 동시에 회전되도록 하고 이때 테이프 권취드럼에서 인출된 접착테이프의 길이 만큼 접착테이프로부터 분리된 이형지가 이형지 권취드럼에 안정되게 감겨질 수 있도록 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치를 도시한 측면 구성도,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치를 도시한 요부 측면도,

도 3은 도 2의 정면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 접착테이프공급부 110: 본체

120: 접착테이프 권취드럼 121,131: 풀리

130: 이형지 권취드럼 140: 이형지 분리용 가이드드럼

141: 이형지 안내용 가이드드럼 142: 접착테이프 안내용 가이드드럼

W: 와이어 F: 접착테이프

B: 이형지

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 멀티패키지의 일면 접착을 위한 테이프를 권취시키는 테이프 권취드럼과 풀림되는 테이프로부터 가이드로울러에 의해 분리된 이형지가 권취되는 이형지 권취드럼과 상기 테이프 및 이형지 권취드럼의 풀리를 연결하는 와이어로 구성되어 테이프 당김시 연동되는 와이어에 의해 이형지가 감김될 수 있도록 하기 위한 웨이퍼 마운터용 접착 테이프의 이형지 권취장치에 있어서, 상기 와이어가, 일측은 상기 테이프 권취드럼의 풀리에 감김되어 연결되도록 하고, 타측은 상기 이형지 권취드럼의 풀리에 미끄럼 마찰되도록 연결하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이형지 권취드럼의 외경이, 테이프가 권취된 상태에서의 상기 테이프 권취드럼의 외경과 동일크기로 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 와이어가 상기 테이프 권취드럼의 회전축에 2회 감겨져 연결되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 테이프 권취드럼의 풀리에는 상기 와이어가 안내되면서 감김되도록 외주면에 나선의 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 테이프 권취드럼의 풀리와 이형지 권취드럼의 풀리를 연결하는 와이어의 중간부에 와이어의 장력조절을 위한 텐션용 로울러를 추가하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 테이프 권취드럼의 풀리와 이형지 권취드럼의 풀리를 연결하는 와이어의 양단이 X 자형으로 연결되는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 측면 구성도로서 웨이퍼 마운터 장치에 있어서 접착테이프의 이형지 권취장치를 도시한 것이다.

본 발명은, 권취롤러로 부터 테이프을 공급하는 테이프공급부와 패키지를 안착시키는 마운터부와 테이프과 패키지를 접착시키는 본딩롤러부 및 패키지를 접착한 테이프을 컷팅시키는 테이프컷팅부로 구성되는 통상의 웨이퍼 마운터 장치중 테이프공급부(100)에 포함되는 접착테이프의 이형지 권취장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 테이프공급부(100)는, 테이프 권취드럼(120)과 이형지 권취드럼(130)과, 이형지 분리용 가이드드럼(140)과, 이형지 안내용 가이드드럼(141)으로 구성되며, 이들 드럼은 공지 구성과 같이 본체(110)의 일측에 각기 회전가능하게 결합된다.

그리고, 상기 테이프 권취드럼(120)과 이형지 권취드럼(130)의 양단 중 각각 일측에는 풀리(121)(131)가 구비되며 상기 풀리(121)(131)에는 이들을 회전시키기 위한 와이어(W)의 양단이 감겨져 연결된다.

상기 와이어(W)는, 상기 테이프 권취드럼(120)의 풀리(121)에는 감김 연결되고, 이형지 권취드럼(130)의 풀리(131)에는 미끄럼회전 가능하도록 연결된다.

여기서, 상기 테이프 권취드럼(120)의 풀리(121) 외주면에는 와이어(W)를 감을 수 있도록 나선의 홈이 형성되도록 함이 가능할 것이다. 또한, 상기 이형지 권취드럼(130)의 풀리(131) 외주면에는 와이어(W)가 미끄럼 운동하도록 외주면이 중실형상으로 이루어진다.

또한, 테이프 권취드럼(120)에 감겨진 접착테이프(F)는 이형지 권취드럼(140)과 테이프 안내용 가이드 드럼(142)에 안내된 후 접착테이프(F)는 마운터부(200)로 안내되고, 저면의 이형지(B)는 분리되어 이형지 권취드럼(130)에 감겨지며, 사용자가 테이프(F)를 잡아당기게 되면 이들 드럼(120)(130)은 동시에 회전 동작을 하게 된다.

여기서, 링형의 로프로 이루어진 상기 와이어(W)의 일단이 상기 테이프 권취드럼(120)의 풀리(121)에는 감김 되도록 하고, 타단이 상기 이형지 권취드럼(130)의 풀리(131)에 미끄럼 회전하도록 하며, 동시에 이형지 권취드럼(130)의 외경(φ1)을 테이프 권취드럼(120)에 접착테이프(F)가 권취된 상태에서의 외경(φ2)와 적어도 같거나 크게 형성해야 한다.

이는 도 3에 도시된 바와같이 접착테이프(F)의 계속된 인출시에 상기 테이프 권취드럼(120)에 감겨진 접착테이프(F)는 그 부피가 축소되게 되고 이와는 반대로 이형지 권취드럼(130)은 이형지(B)의 감김으로 인해 부피가 점차적으로 늘어나 이형지(B)가 채 감기지 못하게 되는 현상을 방지 즉, 테이프 권취드럼(120)의 풀리(121) 회전시에 연동되는 와이어(W)의 타단이 이형지 권취드럼(130)의 풀리(131)에서는 슬립되면서 이형지(B)를 감도록 하여 테이프(F)의 풀림량과 이형지 권취량을 조절하기 위한 것이다. 따라서, 테이프 권취와 이형지 권취를 위한 별도의 텐션장치가 필요없게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 마운터용 접착 테이프의 이형지 권취장치는, 와이어를 연동시키기 위한 테이프 권취드럼의 풀리에는 와이어가 감겨져 연결되고 그리고 이형지 권취드럼의 풀리에는 와이어가 슬립 회전되도록 하므로써, 테이프 인출시 테이프 권취드럼으로부터 풀림되는 테이프의 이형지가 슬립 회전되는 이형지 권취드럼에 안정되게 감겨질 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 멀티패키지의 일면 접착을 위한 접착테이프를 권취시키는 테이프 권취드럼과 풀림되는 테이프로부터 가이드로울러에 의해 분리된 이형지가 권취되는 이형지 권취드럼과 상기 접착테이프 및 이형지 권취드럼의 풀리를 연결하는 와이어로 구성되어 테이프 당김시 연동되는 와이어에 의해 이형지가 감김될 수 있도록 하기 위한 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치에 있어서,

   상기 와이어가, 일측은 상기 테이프 권취드럼의 풀리에 감김되어 연결되도록 하고, 타측은 상기 이형지 권취드럼의 풀리에 미끄럼 마찰되도록 연결하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 이형지 권취드럼의 외경이, 테이프가 권취된 상태에서의 상기 테이프 권취드럼의 외경과 동일크기로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 이형지 권취드럼의 외경이, 테이프가 권취된 상태에서의 상기 테이프 권취드럼의 외경 보다 적어도 크게 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 와이어가, 상기 테이프 권취드럼의 풀리에 2회 감겨져 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 테이프 권취드럼의 풀리에는 상기 와이어가 안내되면서 감김되도록 외주면에 와이어 안내를 위한 나선의 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 테이프 권취드럼의 풀리와 이형지 권취드럼의 풀리를 연결하는 와이어의 중간부에 와이어의 장력조절을 위한 텐션용 로울러를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 테이프 권취드럼의 풀리와 이형지 권취드럼의 풀리를 연결하는 와이어의 양쪽 중간부가 X 자형으로 교차 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운터용 접착테이프의 이형지 권취장치.