CN221048763U - 线切割机机架及线切割机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种线切割机机架及线切割机，包括：切割室，用于安装切割机构；张力室，用于安装张力机构，张力室与切割室之间通过过线孔连通，张力室的第一底壁倾斜设置；绕线室，用于安装收放线机构，张力室贯通绕线室的侧壁，且第一底壁与绕线室的侧壁直接连接；绕线室的第二底壁倾斜设置；排液口，排液口与绕线室连通，且连接于第二底壁的最低处，以将第二底壁上的切割液排走；其中，沿张力室朝向绕线室的方向，第一底壁的高度逐渐降低，以将张力室内的切割液引流至绕线室。本实用新型的线切割机机架能够自动将张力室和绕线室中的切割液排出，防止切割液腐蚀机架，和线切割机渗液的问题。

Description

线切割机机架及线切割机

技术领域

本实用新型属于线切割技术领域，特别涉及一种线切割机机架及线切割机。

背景技术

在线切割技术领域，线切割装置利用切割线对待切割件(硅棒、蓝宝石、半导体、碳化硅、磁材等材料)进行切割。以线切割机对硅棒进行切片为例，在对硅棒进行切片时，需要向切割线和硅棒接触的位置喷洒切割液，以降低切割线和硅棒的温度，并有利于实现切割线带液切割，进而提高切割精度。切割液喷洒到切割线上后，切割液会附着在切割线上，切割过程中，切割线往复高速移动，并通过收放线机构实现收线和放线，切割线会在切割室和绕线室之间往复移动，在这过程中，切割线上附着的切割液会被带离切割室，并滴落到切割室之外，例如滴落到张力室和绕线室中。长期以往，会使得张力室和绕线室中存留一定量的切割液，若这部分切割液无法有效排出，会出现腐蚀机架的情形，甚至会造成线切割机出现渗液的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种线切割机机架及线切割机，有利于提高张力室和绕线室中切割液的排出能力，降低切割液腐蚀机架和线切割机渗液的问题。

本实用新型所采用的技术方案为：

一种线切割机机架，包括：

切割室，用于安装切割机构；

张力室，用于安装张力机构，所述张力室与所述切割室之间通过过线孔连通，所述张力室的第一底壁倾斜设置；

绕线室，用于安装收放线机构，所述张力室贯通所述绕线室的侧壁，且所述第一底壁与所述绕线室的侧壁直接连接；所述绕线室的第二底壁倾斜设置；

排液口，设置于所述绕线室的所述第二底壁的最低处，以将所述第二底壁上的切割液排走；

其中，沿所述张力室朝向所述绕线室的方向，所述第一底壁的高度逐渐降低，以将所述张力室内的切割液引流至所述绕线室。

可选地，沿所述绕线室朝向所述张力室的方向，所述第二底壁的高度逐渐降低。

可选地，所述绕线室位于所述切割室的下方。

可选地，在高度方向上，所述张力室的上半部分与所述切割室重叠，所述张力室的下半部分与所述绕线室重叠；

所述过线孔位于所述切割室的侧壁，且与所述切割室的底壁之间留有安全距离。

可选地，所述机架还包括回流块，所述回流块内设有回流通道，所述回流块嵌装于所述过线孔，所述回流通道倾斜设置，且沿所述切割室朝向所述张力室的方向，所述回流通道向上倾斜。

可选地，所述张力室的数量为两个，分别为第一张力室和第二张力室，所述第一张力室与所述第二张力室相对设置；

所述绕线室的数量为两个，分别为第一绕线室和第二绕线室，所述第一张力室贯通所述第一绕线室的侧壁，所述第二张力室贯通所述第二绕线室的侧壁；

所述排液口的数量为两个，分别为第一排液口和第二排液口，所述第一排液口设置于所述第一绕线室的第二底壁的最低处，所述第二排液口设置于所述第二绕线室的第二底壁的最低处。

可选地，所述机架上设有止挡条，所述止挡条连接于所述第二底壁的外边缘，且所述止挡条的两端分别连接于所述切割室相对的两个侧壁。

可选地，所述机架为一体结构。

本实用新型还涉及一种线切割机，包括：切割机构、张力机构、收放线机构和前述的线切割机机架；

其中，

所述切割机构安装于所述切割室，用于绕设切割线，以对待切割件进行切割；

所述张力机构安装于所述张力室，用于调节切割线的张力；

所述收放线机构安装于所述绕线室，用于存储或释放所述切割线。

进一步地，所述线切割机为切片机。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的线切割机机架中，切割线上所携带的切割液滴落到张力室内时，这部分切割液会滴落在第一底壁上，而第一底壁倾斜设置，使得切割液会顺着第一底壁倾斜方向向下流动，从而流动至绕线室的侧壁上，并顺着绕线室的侧壁向下流动至第二底壁上；位于绕线室内的切割线上的切割液还会滴落到第二底壁上，张力室和绕线室内的切割液最终均汇聚到第二底壁上，而第二底壁也是倾斜设置的，因而第二底壁上的切割液沿着第二底壁的倾斜方向向下流动，排液口位于第二底壁的最低处，因而切割液最终会流入到排液口中，并从排液口排放到外界，从而确保张力室和绕线室内不会长期滞留切割液，有利于降低机架腐蚀和线切割机渗液。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1是线切割机机架的结构示意图；

图2是线切割机的局部结构示意图；

图3是图2中A部分的放大图；

图4是图2中B部分的放大图。

图中：1、机架；2、切割室；21、切割机构；3、张力室；31、张力机构；32、第一底壁；4、绕线室；41、收放线机构；42、第二底壁；43、止挡条；44、右壁；5、过线孔；6、回流块；61、回流通道；7、排液口。

具体实施方式

以下基于实施例对本实用新型进行描述，但是本实用新型并不仅仅限于这些实施例。在下文对本实用新型的细节描述中，详尽描述了一些特定的细节部分，为了避免混淆本实用新型的实质，公知的方法、过程、流程、元件并没有详细叙述。

此外，本领域普通技术人员应当理解，在此提供的附图都是为了说明的目的，并且附图不一定是按比例绘制的。

除非上下文明确要求，否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参见图1-图4，本实用新型的一个实施例提供了一种线切割机机架(为方便描述，下称“机架”)，主要应用于切割线将切割液带出切割室2的应用场景，例如应用于线切割机等。

机架1包括：

切割室2，用于安装切割机构21。

张力室3，用于安装张力机构31，张力室3与切割室2之间通过过线孔5连通，张力室3的第一底壁32倾斜设置。

绕线室4，用于安装收放线机构41，张力室3贯通绕线室4的侧壁，且第一底壁32与绕线室4的侧壁直接连接；绕线室4的第二底壁42倾斜设置。

排液口7，设置于绕线室4的第二底壁42的最低处，以将第二底壁42上的切割液排走。

其中，沿张力室3朝向绕线室4的方向，第一底壁32的高度逐渐降低，以将所述张力室3内的切割液引流至绕线室4。

为方便理解，以机架1应用于线切割机为例进行说明，切割室2内安装有切割机构21，张力室3内安装有张力机构31，绕线室4内安装有收放线机构41，线切割机工作时，切割线绕设于切割机构21，并经张力机构31收纳于收放线机构41或从收放线机构41释放。线切割机切割硅棒的过程为：通过收放线机构41和切割机构21的转动，带动切割线在切割室2内移动，从而在切割室2内切割待切割件(硅棒)；切割过程中，切割室2内还会喷洒切割液，以降低切割区(切割线与待切割件接触的位置)的温度，并提高切割线的带液能力，进而提高切割精度。这就导致切割线上会附着一定的切割液，相对于处于收线状态的收放线机构41，切割室2内的部分切割线先经过过线孔5，再经过张力机构31，最终缠绕在收放线机构41上，因而这部分切割线会离开切割室2，并经过张力室3最终进入到绕线室4内。在该过程中，切割线上所附着的切割液会出现滴落的情况，这就使得张力室3的底壁(即第一底壁32)和绕线室4的底壁(即第二底壁42)上会残留一定的切割液。

为了解决张力室3内绕线室4内切割液残留的问题，本实用新型所提供的机架1将张力室3的第一底壁32和绕线室4的第二底壁42均倾斜设置；为方便理解，以绕线室4位于张力室3左侧为例进行说明(图2所示方向)。第一底壁32与绕线室4的右壁44直接连接，此处的“直接连接”是指第一底壁32所形成的底面与右壁44所形成的侧面相互直接连接(图3示)，另外，第一底壁32为由张力室3朝向绕线室4的方向高度逐渐降低，以图2为例，为右高左低的形式，因而第一底壁32上的切割液便会沿着第一底壁32的倾斜方向向左流动，并流动至绕线室4的右壁44上，该右壁44基本竖直设置，因而切割液便会沿着右壁44向下流动至绕线室4的底壁(即第二底壁42)上，并与第二底壁42上原有的切割液(从切割线上直接滴落到绕线室4的这部分切割液)汇合；而第二底壁42也是倾斜设置的，因而切割液会沿着第二底壁42的倾斜方向，向第二底壁42的最低处流动；排液口7连接于第二底壁42的最低处并与排液机构连通，如此，切割液便会自然地流动到排液口7中，并可通过排液口7对外排出，从而实现了自动将张力室3和绕线室4内的切割液排出的目的，因而张力室3和绕线室4内基本不会残留切割液，降低了切割液腐蚀机架1和线切割机渗液的可能性。

需要说明的是，第一底壁32和第二底壁42均整体倾斜，而不会出现局部低洼(中间低四周高)的情形，从而有利于切割液顺利排出。

在一个优选的实施例中，沿绕线室4朝向张力室3的方向，第二底壁42的高度逐渐降低。如图2所示实施例，第二底壁42为左高右低的形式，这就使得右壁44与第二底壁42的交界处为第二底壁42的最低处，因而由第一底壁32流出的切割液，直接流动至右壁44，沿着右壁44向下流动，在流动至右壁44的最下侧时，也就同时到达第二底壁42的最低处(排液口7位于该位置)，使得这部分切割液(特指由第一底壁32流出的切割液)能够以最短路径排出，使得切割液能够更高效地排出机架1。

当然，如此设置，排液口7基本位于张力室3的下侧，切割室2、张力室3、绕线室4和排液口7的排布更为紧凑，使得机架1的尺寸能够设计得更小，方便线切割机的空间摆放。

当然，在其他可替代的实施例中，第二底壁42可以为其他的倾斜方式，例如为左低右高、前低后高或者后低前高等。此处的前后方向为水平方向且垂直于左右方向。

在一个优选的实施例中，绕线室4位于所述切割室2的下方(优选正下方)。切割室2和绕线室4在左右方向上所占的空间较大，因而将切割室2和绕线室4上下排布，使得机架1在左右方向上所占用的空间较小；而且绕线室4位于切割室2的下侧，使得绕线室4基本处于最低位置，方便由绕线室4最终承接切割液，并向外排出切割液。

而且，如此设置，使得切割室2、张力室3和绕线室4这三者呈“品”字形排布，使得这三者结构更为紧凑，使得整个机架1的尺寸(尤其是在水平方向上的尺寸)能够设计得更小，方便线切割机的空间摆放。

当然，在其他实施例中，绕线室4和切割室2在水平面上的投影，可以完全错开或者仅有小部分重叠。

在高度方向上，张力室3的上半部分与切割室2重叠，张力室3的下半部分与绕线室4重叠。切割室2、张力室3和绕线室4呈“品”字形排布，因而切割室2与张力室3可以共用部分侧壁，过线孔5设置在共用的这部分侧壁上，使得切割线能够从切割室2直接进入到张力室3内。

过线孔5位于切割室2的侧壁，且与切割室2的底壁之间留有安全距离(图3示)。

线切割机实际工作时，会向切割室2内喷洒大量的切割液，大部分切割液会流到切割室2的底壁上(为区分前面的第一底壁32、第二底壁42，称切割室2的底壁为“第三底壁”)，安全距离的设置，使得第三底壁上的切割液不会从过线孔5进入到张力室3内，从而避免过量的切割液进入到张力室3内。

该安全距离具体数值可以为1-10cm，例如为1cm、3cm、5cm、7cm、8cm或10cm等。

当然，在其他实施例中，第三底壁可以为倾斜设置，使得第三底壁中越靠近张力室3的位置，其高度越高，使得第三底壁中靠近过线孔5的位置基本不会积存切割液，因而此时安全距离可以为0，第三底壁上的切割液也基本不会从过线孔5进入到张力室3内。

机架1还包括回流块6，回流块6内设有回流通道61，回流块6嵌装于过线孔5，回流通道61倾斜设置，且沿切割室2朝向张力室3的方向，回流通道61向上倾斜。

切割线从切割室2经过线孔5进入到张力室3内，随着切割线逐渐远离切割室2，切割线上所附着的切割液会逐渐滴落，也就是说，切割线越远离切割室2，切割液的滴落速度越慢，越靠近切割室2，切割液的滴落速度越快，因而切割线在离开切割室2的瞬间，切割液的滴落速度最快，也就是说，切割线在经过过线孔5时，会有很多的切割液滴落到过线孔5内。本实用新型在过线孔5内设置回流块6，回流块6内形成回流通道61，也即，切割线经过回流通道61进入张力室3，因而切割线经过回流通道61时，切割线所滴落的切割液会进入到回流通道61内，而回流通道61为左低右高，因而回流通道61内的切割液会向左流动，并重新流到切割室2内，从而减少进入到张力室3内的切割液的量(质量或体积)，降低从排液口7排出的切割液的量，降低切割液滞留在张力室3、绕线室4的可能性。

在其他实施例中，可以取消前述的回流块6，切割线直接穿过过线孔5。

张力室3的数量为两个，分别为第一张力室和第二张力室，第一张力室3与第二张力室相对设置。

绕线室4的数量为两个，分别为第一绕线室和第二绕线室，第一张力室贯通第一绕线室的侧壁，第二张力室贯通第二绕线室的侧壁。

排液口7的数量为两个，分别为第一排液口和第二排液口，第一排液口设置于第一绕线室的第二底壁42的最低处，第二排液口设置于第二绕线室的第二底壁42的最低处。

也即两个张力室3分别位于切割室2的两侧，使得从切割室2移动出的切割线所滴落的切割液均能够被有效排出，有利于降低机架腐蚀和线切割机渗液。

机架1上设有止挡条43，止挡条43连接于第二底壁42的外边缘，且止挡条43的两端分别连接于切割室2相对的两个侧壁。止挡条43的设置，能够阻挡第二底壁42上的切割液从第二底壁42的外边缘处流出，确保切割液均从排液口7处流出。

机架1整体为一体结构。使得切割液只能按照预设的路径流动，即张力室3内的切割液能够流动到绕线室4内，并最终从排液口7流出，防止线切割机出现渗液的现象。

当然，在其他实施例中，机架1可以包括底座和上框架，上框架可拆卸地连接到底座，切割室2位于上框架内(或者切割室2由上框架与底座拼接而成)，张力室3和绕线室4位于底座内。

本实用新型还提供了一种线切割机，包括切割机构21、张力机构31、收放线机构41、切割线和前述的线切割机机架1。

其中，切割机构21安装于切割室2，用于绕设切割线，以对待切割件进行切割；张力机构31安装于张力室3，用于调节切割线的张力；收放线机构41安装于绕线室4，用于存储或释放切割线。在实际使用线切割机时，切割线与切割机构21缠绕，切割线穿过过线孔5、经张力机构31与收放线机构41缠绕。

线切割机具体工作过程，在前文中已经描述完毕，在此就不再赘述。

本实用新型的线切割机机架1中，切割线上所携带的切割液滴落到张力室3内时，这部分切割液会滴落在第一底壁32上，而第一底壁32倾斜设置，使得切割液会顺着第一底壁32倾斜方向向下流动，从而流动至绕线室4的侧壁上，并顺着绕线室4的侧壁向下流动至第二底壁42上；位于绕线室4内的切割线上的切割液会滴落到第二底壁42上，张力室3和绕线室4内的切割液最终均汇聚到第二底壁42上，而第二底壁42也是倾斜设置的，因而第二底壁42上的切割液沿着第二底壁42的倾斜方向向下流动，排液口7位于第二底壁42的最低处，因而切割液最终会流入到排液口7中，并从排液口7排放到外界，从而确保张力室3和绕线室4内不会长期滞留切割液，避免切割液腐蚀机架1，有利于降低机架腐蚀和线切割机渗液。

进一步地，线切割机可以为切片机。

应当理解，上述的实施方式仅是示例性的，而非限制性的，在不偏离本实用新型的基本原理的情况下，本领域的技术人员可以针对上述细节做出的各种明显的或等同的修改或替换，都将包含于本实用新型的权利要求范围内。

Claims (10)

1.一种线切割机机架，其特征在于，包括：

切割室，用于安装切割机构；

张力室，用于安装张力机构，所述张力室与所述切割室之间通过过线孔连通，所述张力室的第一底壁倾斜设置；

绕线室，用于安装收放线机构，所述张力室贯通所述绕线室的侧壁，且所述第一底壁与所述绕线室的侧壁直接连接；所述绕线室的第二底壁倾斜设置；

排液口，设置于所述绕线室的所述第二底壁的最低处，以将所述第二底壁上的切割液排走；

其中，沿所述张力室朝向所述绕线室的方向，所述第一底壁的高度逐渐降低，以将所述张力室内的切割液引流至所述绕线室。

2.根据权利要求1所述的线切割机机架，其特征在于，沿所述绕线室朝向所述张力室的方向，所述第二底壁的高度逐渐降低。

3.根据权利要求1所述的线切割机机架，其特征在于，所述绕线室位于所述切割室的下方。

4.根据权利要求1所述的线切割机机架，其特征在于，在高度方向上，所述张力室的上半部分与所述切割室重叠，所述张力室的下半部分与所述绕线室重叠；

所述过线孔位于所述切割室的侧壁，且与所述切割室的底壁之间留有安全距离。

5.根据权利要求1-4任一项所述的线切割机机架，其特征在于，所述机架还包括回流块，所述回流块内设有回流通道，所述回流块嵌装于所述过线孔，所述回流通道倾斜设置，且沿所述切割室朝向所述张力室的方向，所述回流通道向上倾斜。

6.根据权利要求1-4任一项所述的线切割机机架，其特征在于，所述张力室的数量为两个，分别为第一张力室和第二张力室，所述第一张力室与所述第二张力室相对设置；

所述绕线室的数量为两个，分别为第一绕线室和第二绕线室，所述第一张力室贯通所述第一绕线室的侧壁，所述第二张力室贯通所述第二绕线室的侧壁；

所述排液口的数量为两个，分别为第一排液口和第二排液口，所述第一排液口设置于所述第一绕线室的第二底壁的最低处，所述第二排液口设置于所述第二绕线室的第二底壁的最低处。

7.根据权利要求1-4任一项所述的线切割机机架，其特征在于，所述机架上设有止挡条，所述止挡条连接于所述第二底壁的靠近外界的边缘，且所述止挡条的两端分别连接于所述切割室相对的两个侧壁。

8.根据权利要求1-4任一项所述的切割机机架，其特征在于，所述机架为一体结构。

9.一种线切割机，其特征在于，包括：切割机构、张力机构、收放线机构和权利要求1-8任一项所述的线切割机机架；

其中，

所述切割机构安装于所述切割室，用于绕设切割线，以对待切割件进行切割；

所述张力机构安装于所述张力室，用于调节切割线的张力；

所述收放线机构安装于所述绕线室，用于存储或释放所述切割线。

10.根据权利要求9所述的线切割机，其特征在于，所述线切割机为切片机。