CN219445661U - 线切割机 - Google Patents

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CN219445661U CN202320193093.9U CN202320193093U CN219445661U CN 219445661 U CN219445661 U CN 219445661U CN 202320193093 U CN202320193093 U CN 202320193093U CN 219445661 U CN219445661 U CN 219445661U
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张璐
郭党
孙启童
陈宇
孙承政
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Qingdao Gaoce Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及线切割技术领域,具体涉及一种线切割机。本申请旨在解决现有的线切割机因结构布置不合理导致切割腔室的长度受限的问题。为此,本申请的线切割机的切割装置包括框架,框架包括上框架和下框架,上框架和下框架固定连接并共同限定有切割腔室,切割腔室内安装有主辊组件;上框架的顶部安装有能够承载待切割工件朝向主辊组件相对运动的进给机构;下框架设置有绕线腔室,绕线腔室内设置有能够将切割线释放并引导绕设至主辊组件,或将主辊组件绕出的切割线引导并收纳的绕线总成。本申请通过改变线切割机的整体结构布局,将绕线总成设置在框架的内部,减少了横向空间的浪费,能够增大切割腔室的长度,从而能够切割更长尺寸的待切割件。

Description

线切割机
技术领域
本实用新型涉及线切割技术领域,具体涉及一种线切割机。
背景技术
线切割是一种通过切割线高速往复运动,并与待切割件(比如光伏硅棒、半导体、碳化硅、蓝宝石、磁材等材料)相对移动,以使切割线切割待切割件的一种切割加工方法。
现有的线切割机主要包括框架、切割总成、进给总成、绕线总成、液路总成及电控箱等。然而,现有的线切割机一般将切割总成安装在框架内的切割腔室内,而将绕向总成安装在框架的外部,导致线切割机的横向体积较大,使得切割腔室的长度受限,从而使得可切割的待切割件的长度受限。
相应地,本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。
实用新型内容
为了解决现有技术中的上述至少一个问题,即为了解决现有的线切割机因结构布置不合理导致切割腔室的长度受限的问题,本申请提供了一种线切割机,所述线切割机包括切割装置,所述切割装置包括:
框架,所述框架包括上框架和下框架,所述上框架和所述下框架固定连接并共同限定有切割腔室,所述切割腔室内安装有用于布置切割线网的主辊组件;
所述上框架的顶部安装有能够承载待切割工件朝向所述主辊组件相对运动的进给机构;
所述下框架设置有绕线腔室,所述绕线腔室内设置有能够将切割线释放并引导绕设至所述主辊组件,或将所述主辊组件绕出的切割线引导并收纳的绕线总成。
本申请通过改变线切割机的整体结构布局,将绕线总成设置在框架的内部,减少了横向空间的浪费,能够增大切割腔室的长度,从而能够切割更长尺寸的待切割件。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述绕线腔室设置有两个,两个所述绕线腔室均位于所述切割腔室的下方且分别位于所述主辊组件的两侧,所述绕线总成设置为两个,两个所述绕线总成分别位于两个所述绕线腔室内。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述绕线总成包括能够释放或收纳切割线的收放线机构、能够调节切割线张力的张力机构以及与所述收放线机构相配合以实现排线的排线机构,所述收放线机构、所述排线机构和所述张力机构均位于所述绕线腔室内。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述切割装置还包括位于所述切割腔室内且位于所述主辊组件的上方的喷淋机构,所述喷淋机构用于朝向所述切割线网喷淋切割液。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述切割装置还包括安装在所述切割腔室内的冲洗组件,所述冲洗组件用于在切割作业完成后对所述切割腔室进行冲洗。
本申请通过在切割腔室内安装冲洗组件,便于对切割腔室进行冲洗。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述切割装置还包括安装在所述切割腔室内的碎片盒,所述碎片盒用于收集在加工过程中从待切割件上掉落的碎片。
本申请通过设置碎片盒对碎片进行收集,能够避免碎片掉落至切割线网,从而能够降低切割线跳线或断线的概率。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述主辊组件包括平行设置的第一主辊、第二主辊和第三主辊,所述第一主辊和所述第二主辊沿水平方向间隔分布,所述第三主辊位于所述第一主辊与所述第二主辊的对称轴位置的正下方,所述碎片盒在水平方向上位于所述第一主辊与所述第二主辊之间,所述碎片盒在竖直方向上位于所述第一主辊和所述第二主辊的下方且位于所述第三主辊的上方。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述切割腔室的底部朝向所述切割腔室的排液口倾斜设置。
本申请通过使切割腔室的底部朝向排液口倾斜设置,能够避免切割腔室内有液体残留。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述喷淋机构包括第一喷淋组件和第二喷淋组件,所述第一喷淋组件的喷淋压力小于所述第二喷淋组件的喷淋压力,所述第一喷淋组件用于在切割过程中朝向所述切割线网喷淋切割液,所述第二喷淋组件用于在退刀过程中朝向所述切割线网喷淋切割液。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述第一喷淋组件包括水平设置的第一喷淋管以及安装在所述第一喷淋管上的流量调节板,第一喷淋管上设置有喷淋口,所述流量调节板用于改变所述喷淋口的大小以调节切割液的流量。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述第二喷淋组件包括水平设置的第二喷淋管以及安装在所述第二喷淋管上的多个喷嘴,多个所述喷嘴沿所述第二喷淋管的长度方向间隔分布。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述切割腔室内还设置有防护腔室,所述绕线总成还包括设置在所述防护腔室内的转向机构,所述收放线机构上的切割线通过所述张力机构后进入所述转向机构,然后进入所述切割腔室。
本申请通过将转向机构设置在防护腔室内,能够降低硅粉对转向机构及其上的切割线的影响。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述上框架与所述下框架之间通过螺栓连接。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述切割装置的数量为多个。
在上述线切割机的优选技术方案中,所述线切割机为切片机。
附图说明
下面参照附图来描述本申请的线切割机。附图中:
图1是本实用新型的线切割机的结构示意图;
图2是本实用新型的线切割机的切割装置的结构示意图一;
图3是本实用新型的线切割机的切割线的工作过程示意图;
图4是本实用新型的线切割机的框架的结构示意图;
图5是本实用新型的线切割机的切割装置的结构示意图二;
图6是本实用新型的线切割机的收放线机构的结构示意图;
图7是本实用新型的线切割机的张力机构的结构示意图;
图8是本实用新型的线切割机的转向机构的结构示意图;
图9是本实用新型的线切割机的喷淋组件的结构示意图。
附图标记列表
1、框架;11、切割腔室;12、绕线腔室;13、防护腔室;1A、上框架;1B、下框架;2、主辊组件;21、第一主辊;22、第二主辊;23、第三主辊;3、绕线总成;31、收放线机构;311、线辊;312、第一电机;32、排线机构;33、张力机构;331、张力摆杆;332、张力导轮;333、第二电机;34、转向机构;341、滑轨;342、滑块;343、固定支架;344、转向轮;345、穿线支架;4、切割线;5、碎片盒;6、喷淋机构;61、第一喷淋组件;62、第二喷淋组件;7、冲洗组件;8、螺栓;9、进给机构。
具体实施方式
下面参照附图来描述本申请的优选实施方式。本领域技术人员应当理解的是,这些实施方式仅仅用于解释本申请的技术原理,并非旨在限制本申请的保护范围。
需要说明的是,在本申请的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,还需要说明的是,在本申请的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言,可根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
具体地,如图1所示,本申请的线切割机包括两个切割装置,两个切割装置采用相同的结构组成,每个切割装置均能够独立的执行切割作业。
需要说明的是,切割装置的数量并不限于上述的两个,例如,本领域技术人员也可以根据实际需求将切割装置的数量设置为一个、三个或者四个等等,这种对切割装置的具体数量的调整和改变并不偏离本申请的原理和范围,均应限定在本申请的保护范围之内。
如图1至图3所示,本申请的切割装置包括框架1、用于布置切割线网的主辊组件2、能够将切割线4释放并引导绕设至主辊组件2,或将主辊组件2绕出的切割线4引导并收纳的绕线总成3以及能够承载待切割工件朝向主辊组件2相对运动的进给机构9。
其中,进给机构9安装在框架1的顶部,在框架1内设置有切割腔室11、绕线腔室12、防护腔室13,切割腔室11位于绕线腔室12的上方,防护腔室13与切割腔室11相邻设置,主辊组件2设置在切割腔室11内,绕线总成3设置在绕线腔室12和防护腔室13内。
优选地,如图2和图3所示,绕线腔室12设置有两个,两个绕线腔室12均位于切割腔室11的下方,并且分别位于主辊组件2的两侧,绕线总成3的数量也为两个,两个绕线总成3分别位于两个绕线腔室12内,并且分别布置在主辊组件2的左右两侧。
优选地,如图2和图3所示,本申请的绕线总成3包括收放线机构31、排线机构32、张力机构33和转向机构34,收放线机构31、排线机构32、张力机构33均设置在绕线腔室12内,转向机构34设置在防护腔室13内。
其中,收放线机构31能够释放或收纳切割线4,张力机构33能够调节切割线4张力,排线机构32能够与收放线机构31相配合以实现排线。
如图3所示,收放线机构31上的切割线4通过排线机构32后导入到张力机构33上,之后通过张力机构33进入防护腔室13内并导入到转向机构34上,然后从防护腔室13内穿出并进入切割腔室11内,缠绕在主辊组件2上形成切割线网,主辊组件2能够通过切割线网进行切割作业。
线切割机主要用于对晶硅等硬脆性材料进行切割加工,此过程主要通过切割线4的反复切削来实现,本实用新型的线切割机包括框架1,框架1内设置有三个腔室,包括切割腔室11、绕线腔室12和防护腔室13。
绕线腔室12内设置有收放线机构31,收放线机构31用于收放切割线4,切割线4在线切割机上的运动过程如图3所示,当对晶硅棒进行切割时,位于主辊组件2左侧的收放线机构31先放切割线4,之后切割线4被排线机构32引导至张力机构33,张力机构33对切割线4进行张力拉紧,从而给以切割线4稳定的张力值,进而确保切割线网始终处于最佳张紧状态,切割线4被张力机构33拉紧以后向防护腔室13内的转向机构34运动,转向机构34根据切割线4需要的方向和角度对切割线4进行调整以将切割线4引导至切割腔室11内,从而将切割线4以合适的位置缠绕在主辊组件2上形成切割线网。
切割线网形成后,切割线4从切割腔室11的另一端穿出,经过切割腔室11另一端(此处指切割线4的出线端)的转向机构34,并经过张力机构33和排线机构32后回到另一侧的收放线机构31(此处的收放线机构31的作用是收线)。
其中,切割腔室11的另一端(此处指切割线4的出线端)的转向机构34、张力机构33和排线机构32的作用与切割腔室11的进线端中介绍的转向机构34、张力机构33和排线机构32的原理相同,在对晶硅棒进行切割时,切割线4通过第一端的收放线机构31放线、第二端的收放线机构31收线使切割线4向一个方向运动,之后通过第二端的收放线机构31放线、第一端的收放线机构31收线使切割线4向反方向运动,通过收放线机构31的收、放线可以实现切割线4在主辊组件2上的往复运动,切割线4形成的切割线网在往复运动下实现对晶硅棒的切割。
需要说明的是,排线机构32一般设置于收放线机构31的上方,可沿收放线机构31的线辊311的轴向移动,用于引导切割线4按一定螺距绕设于收放线机构31中的线辊311上,或引导切割线4从收放线机构31放出,避免切割线4产生打卷摩擦等现象。张力机构33设置于排线机构32与主辊组件2之间,用于切割线4的张力。转向机构34设置于主辊组件2的侧面,切割线4从张力机构33放出后经过转向机构34改变方向,绕设于主辊组件2上。
在现有技术中,收放线机构31和张力机构33均设置在框架1的外面,导致线切割机的横向体积较大,使得切割室的长度受限,从而使得可切割的晶硅棒的长度受限,本申请改变了线切割机的整体结构布局,将收放线机构31和张力机构33均设置在框架1的内部,减少了横向空间的浪费,能够增大切割腔室11的长度,从而能够切割更长尺寸的晶硅棒。
此外,本申请将收放线机构31、排线机构32、张力机构33和转向机构34均设置在框架1内部,有利于进行穿线工作,从而提高了工作效率。
另外,现有技术中,转向机构34设置在切割腔室11内,由于切割腔室11内存在一部分颗粒粉末如硅粉,会对转向机构34及其上的切割线4造成损伤。本实用新型将转向机构34设置在防护腔室13内,减少了硅粉对转向机构34及其上的切割线4的影响。
需要说明的是,由于转向机构34设置在防护腔室13内且转向机构34需要接收来自张力机构33引导的切割线4,因此,在防护腔室13上设置有穿线孔(图中未示出)。
此外,还需要说明的是,主辊组件2包括的主辊的数量可以是两个、三个或者四个等等,这种对主辊的具体数量的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围,均应限定在本实用新型的保护范围之内。
优选地,如图3所示,本申请的主辊组件2包括平行设置的第一主辊21、第二主辊22和第三主辊23,第一主辊21和第二主辊22沿水平方向间隔分布,第三主辊23位于第一主辊21与第二主辊22的对称轴位置的正下方。
其中,第一主辊21和第二主辊22均为主支撑辊,第三主辊23为辅助支撑辊,在加工过程中,通过第一主辊21与第二主辊22之间的切割线4对待切割件(例如晶硅棒)进行切割。
优选地,如图5所示,本申请的线切割机还包括安装在切割腔室11内的碎片盒5,碎片盒5用于收集在加工过程中从待切割件(例如晶硅棒)上掉落的碎片。
其中,碎片盒5在水平方向上位于第一主辊21与第二主辊22之间,碎片盒5在竖直方向上位于第一主辊21和第二主辊22的下方且位于第三主辊23的上方。
在切割加工的过程中,位于第一主辊21和第二主辊22之间的切割线4对晶硅棒进行切割,在晶硅棒被切割以及退刀的过程中,从晶硅棒上掉落的碎片会自动落入下方的碎片盒5内。
优选地,如图3和图6所示,本申请的收放线机构31包括线辊311以及用于驱动线辊311转动的第一电机312。
线辊311与第一主辊21平行设置,切割线4被收纳在线辊311上,第一电机312驱动线辊311正向转动时,线辊311进行放线作业,第一电机312驱动线辊311反向转动时,线辊311进行收线作业。
优选地,如图7所示,本申请的张力机构33包括张力摆杆331、张力导轮332以及用于驱动张力摆杆331摆动的第二电机333,张力摆杆331的底端与第二电机333的输出轴固定连接,张力导轮332可旋转地安装在张力摆杆331的顶端。
优选地,如图8所示,本申请的转向机构34包括滑轨341、滑块342、固定支架343、转向轮344和穿线支架345。
其中,滑轨341固定安装在框架1上且与第一主辊21平行设置,滑块342可滑动地安装在滑轨341上,固定支架343固定设置在滑块342上,穿线支架345固定设置在固定支架343上,转向轮344可自转地设置在固定支架343上。
由于转向机构34可以将切割线4引导到切割腔室11内,因此,转向机构34需包括可以将其进行方向调节的结构,转向机构34包括滑轨341和滑块342,滑块342可以在滑轨341的长度方向上滑动,转向机构34的固定支架343设置在滑块342上,并将转向轮344可自转设置在固定支架343上,可以保证转向轮344能转动的同时还能在滑轨341的长度方向,从而可以根据切割线4进入到切割腔室11的位置需要来调整转向轮344的位置。
为了保证切割线4进入到切割腔室11的位置的准确性,在固定支架343上还设置有穿线支架345,此时,经过转向轮344的切割线4需要经过穿线支架345的引导才能进入到切割腔室11内。切割线4经过穿线支架345上的穿线凹槽,由于穿线凹槽为固定的结构,因此,切割线4从转向轮344进入到穿线支架345的穿线凹槽内的角度固定,因此,穿线支架345与转向轮344设置在固定支架343上的相对位置固定。
优选地,如图5和图9所示,本申请的线切割机的切割装置还包括设置在切割腔室11内的喷淋机构6,喷淋机构6位于主辊组件2的上方,喷淋机构6用于朝向主辊组件2上的切割线网喷淋切割液(例如水)。
优选地,如图9所示,本申请的喷淋机构6包括第一喷淋组件61和第二喷淋组件62,第一喷淋组件61的喷淋压力小于第二喷淋组件62的喷淋压力,第一喷淋组件61用于在切割过程中朝向切割线网喷淋切割液,第一喷淋组件61用于在退刀过程中朝向切割线网喷淋切割液。
在切割晶硅棒的过程中,使第一喷淋组件61朝向切割线网及硅棒喷淋切割液(例如清水),起到降温和带走硅粉的作用。切割完晶硅棒后,在进刀机构(安装在框架1的上方)控制硅棒退刀的过程中,使第二喷淋组件62朝向切割线网及硅棒喷淋切割液(例如清水),以减少退刀阻力。
优选地,如图9所示,第一喷淋组件61包括水平设置的第一喷淋管以及安装在第一喷淋管上的流量调节板,第一喷淋管上设置有喷淋口,流量调节板用于改变喷淋口的大小以调节切割液的流量。
示例性地,第一喷淋管的数量为两个且沿水平方向相对设置,两个第一喷淋管分别位于主辊组件2的左右两侧,喷淋口设置在第一喷淋管朝向主辊组件2的一侧,流量调节板能够相对于第一喷淋管沿竖直方向上下移动,以改变喷淋口的大小,从而调节切割液的流量。
优选地,如图9所示,第二喷淋组件62包括水平设置的第二喷淋管以及安装在第二喷淋管上的多个喷嘴,多个喷嘴沿第二喷淋管的长度方向间隔分布。
示例性地,第二喷淋管的数量也为两个且沿水平方向相对设置,两个第二喷淋管分别位于主辊组件2的左右两侧,喷嘴安装在第二喷淋管朝向主辊组件2的一侧。
优选地,如图5所示,本申请的线切割机还包括安装在切割腔室11内的冲洗组件7,冲洗组件7用于在切割作业完成后对切割腔室11进行冲洗。
卸出切割完成后的晶硅棒后,使冲洗组件7朝向切割腔室11内喷出具有一定压力的水柱,清洁切割腔室11内部的硅泥,为下一刀的切割做好准备。
需要说明的是,在实际应用中,本领域技术人员可以将冲洗组件7安装在靠近切割腔室11的底部的位置,或者,也可以将冲洗组件7安装在靠近切割腔室11的顶部的位置,再或者,还可以在靠近切割腔室11的底部和顶部的位置各安装一组冲洗组件7,等等,这种对冲洗组件7的具体安装位置的调整和改变并不偏离本实用新型的原理和范围,均应限定在本实用新型的保护范围之内。
示例性地,如图5所示,冲洗组件7包括水平设置的主管道以及设置在主管道上的多个冲洗支管,多个冲洗支管沿主管道的长度方向间隔分布。主管道与线切割机的供液缸连通,当需要对切割腔室11进行清洗时,由供液缸向主管道供应清水,以对切割腔室11进行冲洗。
优选地,切割腔室11的底部朝向切割腔室11的排液口倾斜设置。
通过使切割腔室11的底部朝向排液口倾斜设置,能够避免切割腔室11内有液体残留。
优选地,如图2和图4所示,本申请的框架1包括上框架1A和下框架1B,上框架1A和下框架1B固定连接并共同限定出切割腔室11,绕线腔室12位于下框架1B,进给机构9安装在上框架1A的顶部。
优选地,如图4所示,上框架1A和下框架1B之间通过螺栓8固定连接。
最后,需要说明的是,本申请的线切割机优选为切片机。
此外,本领域的技术人员能够理解,尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征,但是不同实施例的特征的组合意味着处于本申请的范围之内并且形成不同的实施例。例如,在本申请的权利要求书中,所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
当然,上述线切割机的具体布置形式和组成仅仅为一种优选的实施方式,在不偏离本申请原理的前提下,本领域技术人员可以对上述线切割机的组成和设置方式进行调整。
至此,已经结合附图所示的优选实施方式描述了本申请的技术方案,但是,本领域技术人员容易理解的是,本申请的保护范围显然不局限于这些具体实施方式。在不偏离本申请的原理的前提下,本领域技术人员可以对相关技术特征作出等同的更改或替换,这些更改或替换之后的技术方案都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种线切割机,其特征在于,包括切割装置,所述切割装置包括:
框架,所述框架包括上框架和下框架,所述上框架和所述下框架固定连接并共同限定有切割腔室,所述切割腔室内安装有用于布置切割线网的主辊组件;
所述上框架的顶部安装有能够承载待切割工件朝向所述主辊组件相对运动的进给机构;
所述下框架设置有绕线腔室,所述绕线腔室内设置有能够将切割线释放并引导绕设至所述主辊组件,或将所述主辊组件绕出的切割线引导并收纳的绕线总成。
2.根据权利要求1所述的线切割机,其特征在于,所述绕线腔室设置有两个,两个所述绕线腔室均位于所述切割腔室的下方且分别位于所述主辊组件的两侧,所述绕线总成设置为两个,两个所述绕线总成分别位于两个所述绕线腔室内。
3.根据权利要求2所述的线切割机,其特征在于,所述绕线总成包括能够释放或收纳切割线的收放线机构、能够调节切割线张力的张力机构以及与所述收放线机构相配合以实现排线的排线机构,所述收放线机构、所述排线机构和所述张力机构均位于所述绕线腔室内。
4.根据权利要求1所述的线切割机,其特征在于,所述切割装置还包括位于所述切割腔室内且位于所述主辊组件的上方的喷淋机构,所述喷淋机构用于朝向所述切割线网喷淋切割液。
5.根据权利要求1所述的线切割机,其特征在于,所述切割装置还包括安装在所述切割腔室内的冲洗组件,所述冲洗组件用于在切割作业完成后对所述切割腔室进行冲洗。
6.根据权利要求1所述的线切割机,其特征在于,所述切割装置还包括安装在所述切割腔室内的碎片盒,所述碎片盒用于收集在加工过程中从待切割件上掉落的碎片。
7.根据权利要求6所述的线切割机,其特征在于,所述主辊组件包括平行设置的第一主辊、第二主辊和第三主辊,所述第一主辊和所述第二主辊沿水平方向间隔分布,所述第三主辊位于所述第一主辊与所述第二主辊的对称轴位置的正下方,所述碎片盒在水平方向上位于所述第一主辊与所述第二主辊之间,所述碎片盒在竖直方向上位于所述第一主辊和所述第二主辊的下方且位于所述第三主辊的上方。
8.根据权利要求4所述的线切割机,其特征在于,所述切割腔室的底部朝向所述切割腔室的排液口倾斜设置。
9.根据权利要求4所述的线切割机,其特征在于,所述喷淋机构包括第一喷淋组件和第二喷淋组件,所述第一喷淋组件的喷淋压力小于所述第二喷淋组件的喷淋压力,所述第一喷淋组件用于在切割过程中朝向所述切割线网喷淋切割液,所述第二喷淋组件用于在退刀过程中朝向所述切割线网喷淋切割液。
10.根据权利要求9所述的线切割机,其特征在于,所述第一喷淋组件包括水平设置的第一喷淋管以及安装在所述第一喷淋管上的流量调节板,所述第一喷淋管上设置有喷淋口,所述流量调节板用于改变所述喷淋口的大小以调节切割液的流量。
11.根据权利要求9所述的线切割机,其特征在于,所述第二喷淋组件包括水平设置的第二喷淋管以及安装在所述第二喷淋管上的多个喷嘴,多个所述喷嘴沿所述第二喷淋管的长度方向间隔分布。
12.根据权利要求3所述的线切割机,其特征在于,所述切割腔室内还设置有防护腔室,所述绕线总成还包括设置在所述防护腔室内的转向机构,所述收放线机构上的切割线通过所述张力机构后进入所述转向机构,然后进入所述切割腔室。
13.根据权利要求1所述的线切割机,其特征在于,所述上框架与所述下框架之间通过螺栓连接。
14.根据权利要求1所述的线切割机,其特征在于,所述切割装置的数量为多个。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的线切割机,其特征在于,所述线切割机为切片机。
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