CN220313804U - 一种切割液喷淋装置及切割设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种切割液喷淋装置及切割设备，属于晶棒加工技术领域，解决了现有技术中晶棒切割过程中，切割液无法全程覆盖切割区域的问题。本实用新型包括切割液槽和移动装置，通过设置移动装置带动切割液槽远离或靠近切割区域，使得切割液能够随切割区域的位置改变，使得切割液的覆盖区域与切割区域匹配；通过设置导向机构使得切割液槽具有一移动路径，切割液槽可沿移动路径移动以靠近或远离切割区域；通过设置驱动机构以驱动切割液槽移动，设置导流板对切割液引流，使得切割液准确喷淋至切割区域。

Description

一种切割液喷淋装置及切割设备

技术领域

本实用新型属于晶棒加工技术领域，特别涉及一种切割液喷淋装置及切割设备。

背景技术

由于全球功率节能器件和光电子器件需求的大幅度上升，单晶硅棒在未来几年内将保持较高的增长率。单晶硅棒切割设备的原理如下:将单晶硅棒固定于切割室内，然后使用高速运行的金刚线切割晶棒，在切割过程中使用喷淋设备将切割液喷淋至切割位置，切割液可冷却线网，且切割液可带走晶棒切割后产生的硅泥。

然而在切割过程中由于晶棒不断下压线网而产生线弓，线网会逐渐向下偏移，但是喷淋设备位置固定，喷淋设备逐渐无法喷淋至切割位置，从而导致晶棒局部过热而形成“硅落”现象，且喷淋设备无法喷淋至切割位置还会导致切割产生的硅泥无法及时被切割液带走而导致切割线网跳线断线，降低加工效率。

因此，本申请要解决的技术问题是：如何保证切割液覆盖区域始终与切割区域相匹配。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种切割液喷淋装置及切割设备，解决了现有技术中晶棒切割过程中，喷淋液无法全程覆盖切割区域的问题，本申请方案的技术效果是：切割液覆盖区域始终与切割区域相匹配。

本实用新型可通过以下技术方案来实现：一种切割液喷淋装置，包括：切割液槽，所述切割液槽上设置有喷淋机构，所述喷淋机构具有一喷淋覆盖区域，用于喷淋覆盖切割设备的切割区域；移动装置，所述移动装置设置于所述切割液槽的一侧，可带动切割液槽水平移动，使得喷淋机构随切割液槽靠近或远离切割区域。

进一步地，所述的移动装置包括驱动机构，所述驱动机构设置于切割液槽的一侧，且具有一伸缩端，所述伸缩端与所述切割液槽连接或抵接，可伸缩以带动切割液槽水平移动以靠近或远离切割区域。

进一步地，所述移动装置还包括一固定架，所述固定架设置于驱动机构下方，且所述固定架与切割液槽之间设有第一导向机构，所述第一导向机构可对切割液槽移动导向。

进一步地，所述第一导向机构包括：第一导向件，所述第一导向件设置于切割液槽上；第二导向件，所述第二导向件设置于固定架上；其中，所述第一导向件与第二导向件滑动连接。

更优的，还包括移动架，所述移动架与切割液槽连接，且所述移动架与所述驱动机构伸缩端连接，所述驱动机构的伸缩端可带动移动架水平移动；其中，所述第二导向件设置于所述移动架上。

进一步地，作为另一种方案，所述的切割液槽下方设有第二导向机构，所述第二导向机构可对切割液槽的移动进行导向。

进一步地，所述第二导向机构包括：第三导向件，所述第三导向件设置于切割液槽的底部；第四导向件，所述第四导向件设置于第三导向件的下方；其中，所述第三导向件与第四导向件滑动连接。

进一步地，所述的驱动机构为电动推杆或气缸或液压缸，所述电动推杆或气缸或液压缸具有上述伸缩端，可伸缩运动以带动所述切割液槽移动。

进一步地，所述的喷淋机构包括设置于切割液槽上的溢流口和设置于溢流口上的导流板，所述导流板倾斜向下延伸。

本申请的另一个目的还在于提供一种切割设备，包括：如上所述的切割液喷淋装置，还包括：切割室，所述切割室内设有所述切割液喷淋装置。通过设置移动机构使得切割液槽的位置可调，保证喷淋机构的喷淋覆盖区域与切割区域匹配。

与现有技术相比，本申请具有如下的技术效果：通过设置移动装置以调节切割液槽的位置，使得喷淋设备随切割液槽靠近或远离切割区域；通过设置驱动机构以带动切割液槽移动；通过设置第一导向机构和/或第二导向机构，可对切割液槽移动进行导向；通过在切割液槽上设置溢流口和导流板，使得切割液能够积满溢出并被导流抛射至切割区域。

附图说明

图1是本实用新型切割液喷淋装置的立体结构示意图一；

图2是本实用新型切割液喷淋装置的立体结构示意图二；

图3是本实用新型切割液喷淋装置隐藏移动装置的立体结构示意图；

图4是图3中X区域的结构放大示意图；

图5是本实用新型切割设备的立体结构示意图；

图中，100、切割液槽；110、喷淋机构；111、溢流口；112、导流板；120、进水管；130、第一侧板；140、第二侧板；200、移动装置；210、驱动机构；220、固定架；230、移动架；300、第一导向机构；310、第一导向件；320、第二导向件；400、第二导向机构；410、第三导向件；420、第四导向件；A、切割室；B、切割区域。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

本申请的一个实施例提供了一种切割液喷淋装置，参见图1和图2，具体包括：切割液槽100和移动装置200，切割液槽100上设置有喷淋机构110，喷淋机构110具有一喷淋覆盖区域，用于喷淋覆盖切割设备的切割区域B，移动装置200设置于所述切割液槽100的一侧，可带动切割液槽100水平移动，使得喷淋机构110随切割液槽100靠近或远离切割区域B。

可以理解的是，在对工件进行线切割的过程中，工件会下压切割线，切割区域B向下产生偏移，此时通过移动装置200带动切割液槽100远离切割区域B，使得切割液的覆盖区域匹配切割区域B。

移动装置200包括驱动机构210，参见图2，驱动机构210设置于切割液槽100的一侧，且具有一伸缩端，伸缩端与所述切割液槽100连接或抵接，可伸缩以带动切割液槽100水平移动以靠近或远离切割区域B。示例性的，驱动机构210可通过连接板或其他中间连接件与切割液槽100连接。驱动机构210的伸缩端与切割液槽100连接，使得切割液槽100随伸缩端伸缩运动，以靠近或远离切割区域B。在另一些实施例中，驱动机构210的伸缩端呈环状或倒钩状，对应的，切割液槽100上也配置有倒钩状或环状的部位，比如，倒钩状的伸缩端可套入切割液槽100的环状部位，两者相互抵接，伸缩端可推动切割液槽100向某一方向移动或拉动切割液槽100复位移动。

移动装置200还包括一固定架220，请继续参照图2，固定架220设置于驱动机构210下方，且所述固定架220与切割液槽100之间设有第一导向机构300，所述第一导向机构300可对切割液槽100移动导向。可以理解的是，通过设置第一导向机构300，使得切割液槽100具有一移动路径，切割液槽100可沿移动路径移动靠近或远离切割区域B。

第一导向机构300包括：第一导向件310和第二导向件320，第一导向件310设置于固定架220上，第二导向件320设置于切割液槽100上；其中，第一导向件310与第二导向件320滑动连接。请继续参照图2，在本实施例中，第一导向件310为导轨，第二导向件320为滚轮，其中，滚轮与切割液槽100固定连接，滚轮可沿导轨滚动，以带动切割液槽100靠近或远离切割区域B。

移动架230，移动架230与切割液槽100连接，且移动架230与驱动机构210伸缩端连接，驱动机构210的伸缩端可带动移动架230水平移动；其中，第二导向件320设置于移动架230上。

可以理解的是，移动架230分别与驱动机构210的伸缩端和切割液槽100连接，通过驱动机构210的伸缩端带动移动架230移动，移动架230移动带动切割液槽100移动。移动架230可通过连接件与切割液槽100和驱动机构210的伸缩端连接。

切割液槽100下方设有第二导向机构400，参见图3和图4，第二导向机构400可对切割液槽100的移动进行导向。第二导向机构400包括：第三导向件410和第四导向件420，第三导向件410设置于切割液槽100的底部，第四导向件420设置于第三导向件410的下方；其中，第三导向件410与第四导向件420滑动连接。

第三导向件410与切割液槽100固定连接，请继续参照图4，在本实施例中，可以理解的是，第三导向件410配置为滑动轮，第四导向件420配置为滑槽，滑动轮可沿滑槽滑动，以带动切割液槽100靠近或远离切割区域B。

可以理解的是，在某些实施例中，驱动机构210为电动推杆或气缸或液压缸，电动推杆或气缸或液压缸具有上述伸缩端，可伸缩运动以带动所述切割液槽100移动。

喷淋机构110包括设置于切割液槽100上的溢流口111和设置于溢流口111上的导流板112，导流板112倾斜向下延伸。可以理解的是，切割液槽100上设置的溢流口111使得切割液槽100能够溢流切割液，通过设置导流板112使得切割液能够随导流板112流至切割区域B。

切割液槽100内设有进水管120，且切割液槽100具有第一侧板130和第二侧板140，第一侧板130设置于远离切割区域B的一侧，第二侧板140设置于靠近切割区域B的一侧，第一侧板130高于第二侧板140。可以理解的是，切割液槽100内设置的进水管120用于使切割液流入切割液槽100内，第一侧板130高于第二侧板140使得切割液能够朝切割区域B所在方向单向溢流。

本实用新型的一个实施例提供了一种切割设备，参见图5，具体包括切割室A，切割室内配置多个切割轴，切割轴之间形成切割区域B，切割室内还设有切割液喷淋装置，用于将切割液喷淋至切割区域B。

工作原理：当工件接触切割线时开始进行切割，此时切割液从切割液槽100内溢流至导流板112，导流板112将切割液抛射至切割区域B。切割过程中，工件逐渐下压切割线，切割线的位置逐渐下移，通过导流板112抛射的切割液逐渐无法覆盖全部的切割区域B，此时需要通过移动装置200使切割液槽100逐渐远离切割区域B，以使得切割液的覆盖区域匹配切割区域B；驱动机构210的伸缩端可伸缩以顶推切割液槽100，使切割液槽100上的第二导向件320沿第一导向件310移动，使得喷淋机构110的位置随切割液槽100位置移动；或者切割液槽100上的第三导向件410沿第四导向件420移动，使得喷淋机构110随切割液槽100位置移动。

有益效果：本实用新型通过设置移动装置200，使得切割液槽100能够靠近或远离切割区域B；设置驱动机构210以驱动切割液槽100移动；通过设置第一导向机构300和/或第二导向机构400，使得切割液槽100具有一移动路径，切割液槽100可沿移动路径运动靠近或远离切割区域B；通过使切割液槽100上的第一侧板130高于第二侧板140，使得切割液单向溢流，通过设置导流板112，使得切割液随导流板112流至切割区域B，实现切割液能够覆盖切割区域B。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (10)

1.一种切割液喷淋装置，其特征在于，包括：

切割液槽(100)，所述切割液槽(100)上设置有喷淋机构(110)，所述喷淋机构(110)具有一喷淋覆盖区域，用于喷淋覆盖切割设备的切割区域(B)；以及

移动装置(200)，所述移动装置(200)设置于所述切割液槽(100)的一侧，可带动切割液槽(100)移动，使得喷淋机构(110)随切割液槽(100)靠近或远离切割区域(B)。

2.根据权利要求1所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述移动装置(200)包括驱动机构(210)，所述驱动机构(210)设置于切割液槽(100)的一侧，且具有一伸缩端，所述伸缩端与所述切割液槽(100)连接或抵接，可伸缩带动切割液槽(100)水平移动以靠近或远离切割区域(B)。

3.根据权利要求2所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述移动装置(200)还包括一固定架(220)，所述固定架(220)设置于驱动机构(210)下方，且所述固定架(220)与切割液槽(100)之间设有第一导向机构(300)，所述第一导向机构(300)可对切割液槽(100)移动导向。

4.根据权利要求3所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述第一导向机构(300)包括：

第一导向件(310)，所述第一导向件(310)设置于切割液槽(100)上；

第二导向件(320)，所述第二导向件(320)设置于固定架(220)上；

其中，所述第一导向件(310)与第二导向件(320)滑动连接。

5.根据权利要求4所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述移动装置(200)还包括移动架(230)，所述移动架(230)与切割液槽(100)连接，且所述移动架(230)与所述驱动机构(210)的伸缩端连接，所述驱动机构(210)的伸缩端可带动移动架(230)水平移动；

其中，所述第一导向件(310)设置于所述移动架(230)上。

6.根据权利要求2所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述切割液槽(100)下方设有第二导向机构(400)，所述第二导向机构(400)可对切割液槽(100)的移动进行导向。

7.根据权利要求6所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述第二导向机构(400)包括：

第三导向件(410)，所述第三导向件(410)设置于切割液槽(100)的底部；

第四导向件(420)，所述第四导向件(420)设置于第三导向件(410)的下方；

其中，所述第三导向件(410)与第四导向件(420)滑动连接。

8.根据权利要求2所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述驱动机构(210)为电动推杆或气缸或液压缸，所述电动推杆或气缸或液压缸具有上述伸缩端，可伸缩运动以带动所述切割液槽(100)移动。

9.根据权利要求1-8任一所述的切割液喷淋装置，其特征在于，所述喷淋机构(110)包括设置于切割液槽(100)上的溢流口(111)和设置于溢流口(111)上的导流板(112)，所述导流板(112)倾斜向下延伸。

10.一种切割设备，其特征在于，包括：

切割液喷淋装置，如权利要求1-9任一所述；还包括：

切割室(A)，所述切割室(A)内设有所述切割液喷淋装置。