CN116728627B - 切片设备及其绕线方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种切片设备及其绕线方法，该切片设备包括切割室和主辊。主辊均至少部分设置于切割室中；切片设备还包括用于在主辊上布置切割线的绕线装置，绕线装置至少部分设置于切割室中，绕线装置包括绕线环、储线件和驱动机构。绕线环围绕至少两个主辊设置；储线件设置于绕线环上，储线件上可绕设切割线；驱动机构至少部分设置在切割室上，驱动机构还与绕线环连接，驱动机构驱动绕线环沿主辊的轴向移动；在驱动机构驱动绕线环沿主辊轴向移动的情况下，储线件环绕主辊周向转动，以使储线件将切割线绕设于主辊上。通过上述设置，可以实现自动布线。

Description

切片设备及其绕线方法

技术领域

本发明涉及晶棒加工技术领域，尤其是指一种切片设备及其绕线方法。

背景技术

多线切片机用于对晶棒进行切片，从而得到符合生产需求的晶片。现有技术中，多线切片机的金刚石线的绕线一般采用人工绕线的形式，具体地，使用者通过手动将金刚石线网缠绕在主辊上，然后使用胶带缠绕，并固定金刚石线的线头，最终将金刚石线网布满主辊。

但是，人工绕线耗时耗力，不利于减少人工工作量，同时也会降低切片机的工作效率。因此，为提高切片机的工作效率，如何实现绕线自动化是本领域技术人员所要解决的技术问题。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种切片设备及其绕线方法，其绕线装置可以实现自动布线。

为实现上述目的，本发明采用如下的技术方案：

一种切片设备，用于切割晶棒。该切片设备包括切割室和至少两个主辊，主辊设置于切割室内。切片设备还包括用于在主辊上布置切割线的绕线装置，绕线装置至少部分设置于切割室内。绕线装置包括绕线环、储线件和驱动机构。绕线环围绕至少两个主辊设置；储线件设置于绕线环上，储线件上可绕设切割线；驱动机构至少部分设置在切割室上，驱动机构还与绕线环连接，驱动机构驱动绕线环沿主辊的轴向移动；在驱动机构驱动绕线环沿主辊轴向移动的情况下，储线件环绕主辊周向转动，以使储线件将切割线绕设于主辊上。

进一步地，驱动机构包括驱动件和第一传动结构，驱动件用于驱动第一传动结构转动并驱动第一传动结构沿主辊的轴向移动，绕线环上设置有第二传动结构，第一传动结构和第二传动结构配合连接，以使驱动件通过第一传动结构驱动绕线环移动和转动。

进一步地，驱动件包括丝杆和驱动丝杆的第一驱动电机，丝杆和切割室转动连接，第一驱动电机和丝杆传动连接，第一传动结构设置为螺母，螺母套设于丝杆上并与丝杆螺纹连接，螺母还和第二传动结构配合连接；螺母远离丝杆轴线的外表面上设置有配合部，配合部与第二传动结构配合连接。

进一步地，驱动件包括滑轨和与滑轨滑动连接的第二驱动电机，滑轨和切割室固定连接，第一传动结构设置为齿轮结构，齿轮结构和第二驱动电机传动连接，以使第二驱动电机驱动齿轮结构转动，齿轮结构还和第二传动结构配合连接。

进一步地，绕线装置还包括从动机构，从动机构包括导向结构和导向轮，导向结构和切割室固定连接，导向轮与导向结构滑动连接，导向轮还具有沿导向轮轴线转动的转动自由度，导向轮和第二传动结构配合连接；导向结构设置为导向滑轨或导向杆。

进一步地，绕线装置还包括驱动组件，驱动组件驱动储线件沿第一转动方向转动或沿第二转动方向转动，当储线件沿第一转动方向转动时，切割线绕设于储线件上，当储线件沿第二转动方向转动时，储线件将切割线绕设于主辊上；其中，第一转动方向和第二转动方向相反。

进一步地，绕线环上设置有环形滑动槽，储线件与环形滑动槽滑动连接，在驱动机构驱动绕线环沿主辊轴向移动的情况下，储线件通过环形滑动槽环绕主辊周向转动。

一种切片设备的绕线方法，包括：根据主辊上相邻两个线槽之间的距离以及绕所有主辊一圈的周长，确定储线件的放线速度和绕线环沿主辊轴向的移动速度；通过调节放线速度和/或移动速度，以控制相邻第一槽体之间的第二槽体的数量；其中，定义设置有切割线的线槽为第一槽体，未设置有切割线的线槽为第二槽体。

进一步地，根据主辊上相邻两个线槽之间的距离以及绕所有主辊一圈的周长，确定储线件的放线速度和绕线环沿主辊轴向的移动速度包括：定义任意两个相邻线槽之间的距离为线槽间隔，定义绕所有主辊一圈的周长为线槽长度，在一预设时间内，当放线速度为第一速度，且移动速度为第二速度时，储线件的放线长度为线槽长度，绕线环沿主辊轴向移动的距离为线槽间隔。

进一步地，通过调节放线速度和/或移动速度，以控制相邻第一槽体之间的第二槽体的数量包括：在预设时间内，当放线速度为第一速度，移动速度为第二速度的N倍时，相邻两个第一槽体之间设置有N-1个第二槽体；或当移动速度为第二速度，放线速度为第一速度的1/N倍时，相邻两个第一槽体之间设置有N-1个第二槽体；其中，N为大于等于2的整数。

上述切片设备可以通过设置绕线装置，以使绕线装置用于将切割线布置于主辊上，从而实现切片设备的自动布线，进而减少人工工作量，并提高切片设备的工作效率。

附图说明

图1为本申请切片设备的结构示意图。

图2为本申请切片设备的具有第一种主辊的结构示意图。

图3为本申请切片设备的具有第二种主辊的结构示意图。

图4为本申请切片设备的绕线装置的结构示意图。

图5为本申请切片设备的第一种驱动机构和绕线环的结构连接图。

图6为本申请切片设备的第二种驱动机构和绕线环的结构连接图。

图7为本申请切片设备的第三种结构连接图。

图8为本申请图2中A处的局部放大图。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1示出了一种切片设备100，该切片设备100用于切割晶棒。切片设备100包括机架11、切割室12、主辊电机13和主辊14。其中，机架11作为切片设备100的基本框架，用于支撑切割室12、主辊电机13和主辊14。主辊14均至少部分设置于切割室12中。主辊14至少设置有两个，主辊14上绕设有切割线200，切割线200可以设置为金刚石线。具体地，切割线200缠绕至少两个主辊14设置，主辊14与切割室12转动连接，主辊电机13设置在切割室12上并驱动主辊14转动，从而使绕设于主辊14上的切割线200能够切割晶棒。更具体地，切割室12上设置有进料口121，晶棒从进料口121进入切割室12，并通过切割线200对晶棒进行切割。为了清楚说明本发明的技术方案，还定义了如图1所示的前侧、后侧、左侧、右侧、上侧、下侧。作为一种可选择的实现方式，主辊14基本设置为圆柱体，主辊14的轴线沿切片设备100的左右方向延伸，进料口121和主辊电机13分布于切片设备100的左右两侧。具体地，主辊电机13固定连接至切割室12左右两侧中的一侧，主辊14至少部分穿过切割室12后和主辊电机13传动连接，以使主辊电机13能够驱动主辊14转动，从而使位于主辊14上的切割线200能够切割晶棒。

作为一种实现方式，切片设备100还包括绕线装置16，绕线装置16至少部分设置于切割室12中，绕线装置16用于将切割线200布置于主辊14上，从而实现切片设备100的自动布线，进而减少人工工作量，并提高切片设备100的工作效率。

如图2至图4所示，具体地，绕线装置16包括绕线环161、储线件162和驱动机构163。储线件162上可绕设切割线200，储线件162设置于绕线环161上并和绕线环161转动连接，以使储线件162具有转动自由度，从而能够便于储线件162的收放线。绕线环161围绕至少两个主辊14设置，驱动机构163至少部分设置在切割室12上，驱动机构163还与绕线环161连接，从而使得驱动机构163可以驱动绕线环161沿主辊14的轴向移动。其中，在驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的情况下，储线件162环绕主辊14周向转动，以使储线件162将切割线200绕设于主辊14上。在本实施方式中，驱动机构163还可以用于固定绕线环161，以使驱动机构163可以兼备固定和驱动绕线环161的作用，从而减少额外的固定和驱动结构，进而简化绕线装置16的结构，并提高绕线装置16的结构紧凑性。可以理解的，绕线环161也可以通过其他固定结构固定，仅需满足绕线环161在被其他固定结构固定的同时，绕线环161还能够具备沿主辊14轴向的移动自由度即可。

此外，在绕线环161沿主辊14的轴向移动的过程中，通过上述设置，可以使得储线件162能够跟随绕线环161移动，并通过储线件162环绕主辊14的周向转动，从而使储线件162上的切割线200能够绕设于主辊14上，进而实现切片设备100的自动布线，以减少人工工作量，并提高切片设备100的工作效率。

在本实施方式中，绕线环161基本设置为圆环体结构，从而便于绕线环161围绕主辊14设置，进而有利于设置于绕线环161上的储线件162的自动布线。

如图3和图4所示，作为一种实现方式，驱动机构163包括驱动件1631和第一传动结构1632，驱动件1631用于驱动第一传动结构1632转动并驱动第一传动结构1632沿主辊14的轴向移动，绕线环161上设置有第二传动结构1611，第一传动结构1632和第二传动结构1611配合连接，以使驱动件1631通过第一传动结构1632驱动绕线环161移动和转动。具体地，第一传动结构1632上设置有第一配合部（图未示），第二传动结构1611设置有第二配合部1611a，第一配合部和第二配合部1611a配合连接，且第一配合部和第二配合部1611a配合连接后，第一传动结构1632能够带动第二传动结构1611移动和转动。其中，第一配合部设置在第一传动结构1632靠近第二传动结构1611的表面上，第二配合部1611a设置在第二传动结构1611靠近第一传动结构1632的表面上，从而便于第一配合部和第二配合部1611a的配合连接。

在本申请中，第一配合部可以设置为凹槽结构，第二配合部1611a可以设置为凸起结构；或第一配合部可以设置为凸起结构，第二配合部1611a可以设置为凹槽结构；或第一配合部可以设置为锯齿状结构，第二配合部1611a可以设置为与第一配合部相适应的锯齿状结构，从而第一配合部和第二配合部1611a在沿主辊14轴向上具有相互作用力，且上述相互作用力能够使得第一配合部推动第二配合部1611a沿主辊14轴向移动，进而使得第一传动结构1632能够驱动第二传动结构1611沿主辊14轴向的移动。其中，第一配合部和第二配合部1611a配合连接后，第一配合部和第二配合部1611a至少能够具有足够的摩擦力或其他作用力，以使第一传动结构1632能够带动第二传动结构1611转动。

可以理解的，第一配合部和第二配合部1611a也可以设置为其他结构，仅需满足第一配合部和第二配合部1611a配合连接后，能够实现第一传动结构1632带动第二传动结构1611转动和移动即可。

如图5所示，作为一种可选择的实现方式，驱动件1631包括丝杆1631a和第一驱动电机1631b，丝杆1631a和切割室12转动连接，第一驱动电机1631b和丝杆1631a传动连接，以使第一驱动电机1631b能够驱动丝杆1631a的运动。其中，第一传动结构1632设置为螺母1632a，即驱动机构163可以设置为丝杆螺母机构；第一驱动电机1631b可以设置为伺服电机，以提高第一驱动电机1631b的控制精确性。具体地，螺母1632a套设于丝杆1631a上并与丝杆1631a螺纹连接，螺母1632a还和第二传动结构1611配合连接。通过上述设置，可以使丝杆1631a的转动带动螺母1632a的转动以及沿丝杆1631a轴向的移动，从而使得驱动机构163能够带动绕线环161的移动，以使储线件162能够将切割线200绕设于主辊14上，进而实现绕线装置16的自动布线，以减少人工工作量，并提高切片设备100的工作效率。

在本实施方式中，螺母1632a远离丝杆1631a轴线的外表面上设置有第一配合部，第一配合部与第二传动结构1611配合连接，即第一配合部和第二配合部1611a配合连接。

如图6所示，作为另一种可选择的实现方式，驱动件1631包括滑轨1631c和第二驱动电机1631d，滑轨1631c和切割室12固定连接，第二驱动电机1631d与滑轨1631c滑动连接，即第二驱动电机1631d能够根据实际需求沿滑轨1631c的延伸方向移动。其中，滑轨1631c的延伸方向基本和主辊14的轴线方向一致；第二驱动电机1631d可以设置为伺服电机，以提高第二驱动电机1631d的控制精确性。第一传动结构1632设置为齿轮结构1632b，齿轮结构1632b和第二驱动电机1631d传动连接，以使第二驱动电机1631d驱动齿轮结构1632b转动，齿轮结构1632b还和第二传动结构1611配合连接。具体地，齿轮结构1632b可以套设于第二驱动电机1631d的输出轴上并和第二驱动电机1631d的输出轴固定连接，齿轮结构1632b和第二驱动电机1631d的输出轴之间也可以通过其他传动齿轮传动连接，仅需满足第二驱动电机1631d能够驱动齿轮结构1632b转动并带动齿轮结构1632b沿主辊14轴向移动即可。通过上述设置，可以使第二驱动电机1631d带动齿轮结构1632b的转动，并通过第二驱动电机1631d在滑轨1631c上的移动以实现齿轮结构1632b沿主辊14轴向的移动，从而使得驱动机构163能够带动绕线环161的移动，以使储线件162能够将切割线200绕设于主辊14上，进而实现绕线装置16的自动布线，以减少人工工作量，并提高切片设备100的工作效率。

如图4所示，作为一种实现方式，绕线装置16还包括从动机构164，从动机构164包括导向结构1641和导向轮1642，导向结构1641的两端和切割室12固定连接，导向轮1642与导向结构1641滑动连接，导向轮1642还具有沿导向轮1642轴线转动的转动自由度，导向轮1642和第二传动结构1611配合连接。具体地，导向结构1641可以设置为导向杆，导向轮1642可以套设于导向结构1641上并和导向结构1641转动连接，以实现导向轮1642的转动和移动，从而使导向轮1642跟随绕线环161移动和转动。作为另一种实现方式，导向轮1642可以设置为导向滑轨，导向轮1642可以通过一连接件和导向滑轨滑动连接，导向轮1642和连接件可以设置为转动连接，从而使导向轮1642跟随绕线环161移动和转动。

需要说明的是，当绕线环161仅通过驱动机构163固定时，且驱动机构163至少设置为两个及以上，从而能够实现驱动机构163对绕线环161的固定和驱动作用。通过上述设置，可以使得绕线环161的移动更加稳定，从而提高绕线装置16的工作稳定性。作为另一种实现方式，当绕线环161仅通过驱动机构163固定，且驱动机构163设置为一个时，驱动机构163和绕线环161之间可以通过一连接件连接，仅需满足上述连接件能够实现驱动机构163和绕线环161的连接作用和相对移动即可。

可以理解的，当绕线环161通过驱动机构163和从动机构164共同固定时，此时，驱动机构163至少设置一个，从而能够使得驱动机构163实现对绕线环161的驱动作用的同时，使得驱动机构163能够和从动机构164配合固定绕线环161。驱动机构163的结构相对于从动机构164的结构较为复杂，且驱动机构163的空间占用率相对于从动机构164的空间占用率更高，通过上述设置，可以简化绕线装置16的结构，提高绕线装置16的结构紧凑性，从而有利于提高切片设备100的空间利用率。

作为一种实现方式，绕线装置16还包括驱动组件（图未示），驱动组件驱动储线件162沿第一转动方向转动或沿第二转动方向转动，当储线件162沿第一转动方向转动时，切割线200绕设于储线件162上，当储线件162沿第二转动方向转动时，储线件162将切割线200绕设于主辊14上。其中，第一转动方向和第二转动方向相反；驱动组件可以设置为伺服电机，以提高驱动组件的控制精确性。通过上述设置，可以实现储线件162的收放线，并有利于提高储线件162收纳切割线200和布置切割线200的效率，从而提高绕线装置16的绕线效率。

如图4所示，作为一种实现方式，绕线装置16还包括视觉检测机构165，视觉检测机构165用于检测切割线200是否按照实际需求绕设于主辊14上。视觉检测机构165设置于绕线环161、储线件162、驱动机构163和从动机构164中至少之一。即视觉检测机构165可以设置在绕线环161上、储线件162上、驱动机构163上、从动机构164上或者切片设备100的其他零部件上，仅需满足视觉检测机构165能够检测切割线200是否按照实际需求绕设于主辊14上即可。其中，视觉检测机构165可以设置为图像采集设备，例如摄像机、照相机等等，视觉检测机构165可以将采集到的图像或视频传递至外部终端上，从而通过图像处理技术判断切割线200是否按照实际需求绕设于主辊14上，进而提高绕线装置16的绕线精确性，并提高切片设备100的可靠性。

如图7所示，作为另一种可选择的实现方式，绕线环161上设置有环形滑动槽1612，储线件162和环形滑动槽1612滑动连接，在驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的情况下，储线件162通过环形滑动槽1612环绕主辊14周向转动。具体地，环形滑动槽1612和储线件162之间可以设置有一驱动结构，驱动结构用于驱动储线件162沿环形滑动槽1612移动，从而实现储线件162环绕主辊14的周向转动。其中，储线件162环绕主辊14的周向转动是指储线件162能够环绕主辊14做周向运动。在驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14的轴向移动的过程中，通过上述设置，可以使得储线件162能够跟随绕线环161移动，并使储线件162通过环形滑动槽1612环绕主辊14的周向转动，从而使储线件162上的切割线200能够绕设于主辊14上，进而实现切片设备100的自动布线，以减少人工工作量，并提高切片设备100的工作效率。

在本实施方式中，驱动机构163仅驱动绕线环161沿主辊14轴向移动。具体地，驱动机构163可以包括导轨和由若干驱动电机组成的驱动组合，上述导轨沿主辊14轴向延伸，驱动组合和导轨滑动连接，驱动组合能够提供驱动力以带动驱动组合沿导轨移动，驱动电机还可以驱动绕线环161沿主辊14轴向移动，从而实现绕线环161沿主辊14的轴向移动。其中，驱动组合中的驱动电机可以设置为直线驱动电机；驱动组合和绕线环161之间的作用力仅为沿主辊14轴向的作用力，从而仅使驱动组合带动绕线环161移动而不带动绕线环161转动。

如图2和图8所示，作为一种实现方式，主辊14上设置有若干线槽141，线槽141用于切割线200绕设于主辊14上。上述视觉检测机构165主要用于检测切割线200是否按照实际需求绕设于线槽141中。其中，驱动机构163驱动绕线环161移动，以使储线件162将切割线200绕设于线槽141中。在本申请中，线槽141等间距设置于主辊14上，即线槽141均匀分布于主辊14上。

在本申请中，还提供了一种切片设备100的绕线方法，该绕线方法包括：

S1：根据主辊14上相邻两个线槽141之间的距离以及绕所有主辊14一圈的周长，确定储线件162的放线速度和绕线环161沿主辊14轴向的移动速度；

S2：通过调节储线件162的放线速度和/或绕线环161沿主辊14轴向的移动速度，以控制相邻第一槽体之间的第二槽体的数量；

其中，定义设置有切割线200的线槽141为第一槽体，未设置有切割线200的线槽141为第二槽体；绕所有主辊14一圈的周长即切割线200绕所有主辊14一圈的总长度，且上述切割线200至少部分设置于所有主辊14的线槽141中。

具体地，步骤S1包括：

定义任意两个相邻线槽141之间的距离为线槽间隔，定义绕所有主辊14一圈的周长为线槽长度，在一预设时间内，当储线件162的放线速度为第一速度，且驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的速度为第二速度时，储线件162的放线长度为线槽长度，绕线环161沿主辊14轴向移动的距离为线槽间隔。其中，第一速度为储线件162释放切割线200的速度，即储线件162的转动速度；第二速度为驱动机构163进给速度，具体地，第二速度为第一驱动电机1631b或第二驱动电机1631d的进给速度；储线件162的放线长度为在预设时间内绕主辊14一周。通过上述设置，可以根据线槽间隔和线槽长度，并通过控制驱动机构163的进给速度和储线件162的放线速度，从而使切割线200能够均匀绕设于主辊14上，进而实现绕线装置16的自动布线，并提高绕线装置16的工作效率。

在切片设备100的实际工作过程中，由于晶棒的长度不同，若切割线200在线槽141中等距设置时，会使得在切割线200切割晶棒至晶棒的两端边缘处时，无法切全晶棒的两端，且经切割后的晶棒的两端较为锋利，从而容易使得切割线200断裂。因此，为避免上述问题，在绕线装置16的绕线过程中，需要使切割线200根据晶棒的实际长度布置在主辊14上，使得主辊14上的部分线槽141中设置有切割线200，部分线槽141中不设置切割线200，即在第一槽体中设置有切割线200，在第二槽体中不设置切割线200。

具体地，步骤S2包括：

在预设时间内，当储线件162的放线速度为第一速度，驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的速度为第二速度的N倍时，相邻两个第一槽体之间设置有N-1个第二槽体；或当驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的速度为第二速度，储线件162的放线速度为第一速度的1/N倍时，相邻两个第一槽体之间设置有N-1个第二槽体。其中，N为大于等于2的整数。通过上述设置，可以根据晶棒的实际长度将切割线200布置在主辊14上，从而避免经切割后的晶棒的两端导致切割线200的断裂，进而可以使绕线装置16能够根据晶棒的实际长度进行绕线布置，有利于提高绕线装置16的通用性和适用性，并有利于提高切割线200的使用寿命。

例如，将线槽长度设置为2m，线槽间隔设置为0.6mm，在预设时间内，若当储线件162的放线速度为第一速度，且驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的速度为第二速度时，储线件162的放线长度为2m，即储线件162释放的切割线200长度为2m，绕线环161沿主辊14轴向移动的距离为0.6mm。在预设时间内，当储线件162的放线速度为第一速度，驱动机构163驱动绕线环161沿主辊14轴向移动的速度为第二速度的2倍时，线槽141中切割线200的布置情况为：相邻两个线槽141中，一个线槽141中绕设有切割线200，另一个线槽141未设置有切割线200。

在本申请中，绕线装置16的工作原理如下：

通过外部的送线机构将切割线200输送至储线件162上，具体地，将送线机构的切割线200的线头绕设于储线件162上，驱动组件控制储线件162绕第一转动方向转动，从而将所需的切割线200绕设于储线件162上。在储线件162绕第一转动方向转动时，送线机构同步将切割线200输送至储线件162上。其中，绕设于储线件162上的切割线200需要满足切片设备100的布线需求。

当所需的切割线200绕设于储线件162上后，驱动组件控制储线件162绕第二转动方向转动，同时，驱动机构163控制绕线环161沿主辊14轴线移动，以使储线件162能够跟随绕线环161的移动而移动，并通过储线件162环绕主辊14的周向转动，从而将切割线200绕设于主辊14上。在切割线200绕设于主辊14上的过程中，根据线槽间隔和线槽长度，并通过控制驱动机构163的进给速度和储线件162的放线速度，从而使切割线200能够均匀绕设于主辊14上。

当需要切割不同长度的晶棒时，通过控制驱动机构163的进给速度和储线件162的放线速度，以使线槽141中切割线200的布置情况满足不同长度晶棒的切割需求。

当需要同时切割若干个晶棒时，通过控制驱动机构163的进给速度和储线件162的放线速度，以使切割线200绕设于至少两个主辊14上并形成若干个切割区域，且每个切割区域对应一个晶棒，从而同时满足若干个晶棒的切割需求。具体地，根据若干个晶棒的长度，控制驱动机构163的进给速度和储线件162的放线速度，从而可以根据每个切割区域所要切割的晶棒的长度，以控制相邻切割区域之间需要间隔的线槽141的个数，进而避免经切割后的晶棒的两端导致切割线200的断裂；同时又可以使绕线装置16根据若干个晶棒的实际长度进行绕线布置，从而实现若干个晶棒的同时切割，进而提高切片设备100的切割效率。

应当理解的是，对于本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种切片设备，用于切割晶棒，包括：

切割室；

至少两个主辊，所述主辊设置于切割室内；

其特征在于，

所述切片设备还包括用于在所述主辊上布置切割线的绕线装置，所述绕线装置至少部分设置于所述切割室内，所述绕线装置包括：

绕线环，所述绕线环围绕至少两个所述主辊设置；

储线件，所述储线件设置于所述绕线环上，所述储线件上可绕设所述切割线；以及

驱动机构，所述驱动机构至少部分设置在所述切割室上，所述驱动机构还与所述绕线环连接，所述驱动机构驱动所述绕线环沿所述主辊的轴向移动；

在所述驱动机构驱动所述绕线环沿所述主辊轴向移动的情况下，所述储线件环绕所述主辊周向转动，以使所述储线件将所述切割线绕设于所述主辊上；

所述驱动机构包括驱动件和第一传动结构，所述驱动件用于驱动所述第一传动结构转动并驱动所述第一传动结构沿所述主辊的轴向移动，所述绕线环上设置有第二传动结构，所述第一传动结构和所述第二传动结构配合连接，以使所述驱动件通过所述第一传动结构驱动所述绕线环移动和转动；

所述驱动件包括滑轨和与所述滑轨滑动连接的第二驱动电机，所述滑轨和所述切割室固定连接，所述第一传动结构设置为齿轮结构，所述齿轮结构和所述第二驱动电机传动连接，以使所述第二驱动电机驱动所述齿轮结构转动，所述齿轮结构还和所述第二传动结构配合连接。

2.根据权利要求1所述的切片设备，其特征在于，所述齿轮结构上设置有第一配合部，所述第二传动结构上设置有与所述第一配合部配合连接的第二配合部，所述第一配合部和所述第二配合部连接后，所述齿轮结构带动所述第二传动结构移动和转动。

3.根据权利要求1所述的切片设备，其特征在于，所述齿轮结构套设于所述第二驱动电机的输出轴上并与所述第二驱动电机的输出轴固定连接。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的切片设备，其特征在于，所述绕线装置还包括从动机构，所述从动机构包括导向结构和导向轮，所述导向结构和所述切割室固定连接，所述导向轮与所述导向结构滑动连接，所述导向轮还具有沿所述导向轮轴线转动的转动自由度，所述导向轮和所述第二传动结构配合连接；所述导向结构设置为导向滑轨或导向杆。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的切片设备，其特征在于，所述绕线装置还包括驱动组件，所述驱动组件驱动所述储线件沿第一转动方向转动或沿第二转动方向转动，当所述储线件沿所述第一转动方向转动时，所述切割线绕设于所述储线件上，当所述储线件沿所述第二转动方向转动时，所述储线件将所述切割线绕设于所述主辊上；

其中，所述第一转动方向和所述第二转动方向相反。

6.根据权利要求1所述的切片设备，其特征在于，所述绕线装置还包括视觉检测机构，所述视觉检测机构设置于所述绕线环、所述储线件、所述驱动机构中至少之一。

7.一种切片设备的绕线方法，适用于权利要求1至6任意一项所述的切片设备，其特征在于，所述绕线方法包括：

根据主辊上相邻两个线槽之间的距离以及绕所有所述主辊一圈的周长，确定储线件的放线速度和绕线环沿所述主辊轴向的移动速度；

通过调节所述放线速度和/或所述移动速度，以控制相邻第一槽体之间的第二槽体的数量；

在预设时间内，当所述放线速度为第一速度，所述移动速度为第二速度的N倍时，相邻两个所述第一槽体之间设置有N-1个所述第二槽体；或当所述移动速度为第二速度，所述放线速度为第一速度的1/N倍时，相邻两个所述第一槽体之间设置有N-1个所述第二槽体；其中，N为大于等于2的整数；定义设置有切割线的所述线槽为所述第一槽体，未设置有所述切割线的所述线槽为所述第二槽体。

8.根据权利要求7所述的切片设备的绕线方法，其特征在于，所述根据主辊上相邻两个线槽之间的距离以及绕所有所述主辊一圈的周长，确定储线件的放线速度和绕线环沿所述主辊轴向的移动速度包括：

定义任意两个相邻所述线槽之间的距离为线槽间隔，定义绕所有所述主辊一圈的周长为线槽长度，在所述预设时间内，当所述放线速度为所述第一速度，且所述移动速度为所述第二速度时，所述储线件的放线长度为所述线槽长度，所述绕线环沿所述主辊轴向移动的距离为线槽间隔。