JPH11221748A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
- Publication number
- JPH11221748A JPH11221748A JP4132598A JP4132598A JPH11221748A JP H11221748 A JPH11221748 A JP H11221748A JP 4132598 A JP4132598 A JP 4132598A JP 4132598 A JP4132598 A JP 4132598A JP H11221748 A JPH11221748 A JP H11221748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- cut
- wire saw
- rollers
- cooling liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワイヤを効率良く冷却することができ、結果
的に被切断部材の冷却効果を向上させることできるワイ
ヤソーを提供することである。 【解決手段】 複数のガイド溝を有するロール３、４、
５を相平行するように３本配置し、各ロール３、４、５
のガイド溝にワイヤ２１を複数回周回させるように張設
せしめ、ロール３、４間に張設されたワイヤー群に被切
断部材５０を摺接させて該被切断部材５０を切断するワ
イヤソーにおいて、複数列、複数行の冷却液吐出用のノ
ズルを有する冷却液供給手段１２をローラ３、５間およ
びローラ４、５間のワイヤ２１の上部に位置するように
配設せしめた構成にしてある。
的に被切断部材の冷却効果を向上させることできるワイ
ヤソーを提供することである。 【解決手段】 複数のガイド溝を有するロール３、４、
５を相平行するように３本配置し、各ロール３、４、５
のガイド溝にワイヤ２１を複数回周回させるように張設
せしめ、ロール３、４間に張設されたワイヤー群に被切
断部材５０を摺接させて該被切断部材５０を切断するワ
イヤソーにおいて、複数列、複数行の冷却液吐出用のノ
ズルを有する冷却液供給手段１２をローラ３、５間およ
びローラ４、５間のワイヤ２１の上部に位置するように
配設せしめた構成にしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はセラミックス、単結
晶シリコン、多結晶シリコン等の脆性材料の塊のような
被切断部材を多数の薄板に切断するワイヤソーに関する
ものである。
晶シリコン、多結晶シリコン等の脆性材料の塊のような
被切断部材を多数の薄板に切断するワイヤソーに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】セラミックス、単結晶シリコン、多結晶
シリコン等の脆性材料である円柱状あるいは角柱状の塊
のような被切断部材を多数の薄板に切断するワイヤソー
においては、実開昭５７ー１９３３４９号公報に記載さ
れているようなワイヤーに脆性材料の塊である被切断部
材を摺接させながら被切断部材の両側において砥粒を含
む加工液兼冷却液を供給管から噴出させて切断する構成
のワイヤソー、特開平５−２１２７２０号公報に記載さ
れているようなワイヤに被切断部材を摺接させながら被
切断部材の両側に設置された逆Ｔ字型スリツトノズルの
スリット部における水幕状の加工液中にワイヤ群を浸漬
させて切断する構成のワイヤソー、あるいは特開平２−
１５２７６４号公報に記載されているような砥粒を含む
加工液中においてワイヤーに被切断部材を摺接させなが
ら切断する構成のワイヤソーがある。
シリコン等の脆性材料である円柱状あるいは角柱状の塊
のような被切断部材を多数の薄板に切断するワイヤソー
においては、実開昭５７ー１９３３４９号公報に記載さ
れているようなワイヤーに脆性材料の塊である被切断部
材を摺接させながら被切断部材の両側において砥粒を含
む加工液兼冷却液を供給管から噴出させて切断する構成
のワイヤソー、特開平５−２１２７２０号公報に記載さ
れているようなワイヤに被切断部材を摺接させながら被
切断部材の両側に設置された逆Ｔ字型スリツトノズルの
スリット部における水幕状の加工液中にワイヤ群を浸漬
させて切断する構成のワイヤソー、あるいは特開平２−
１５２７６４号公報に記載されているような砥粒を含む
加工液中においてワイヤーに被切断部材を摺接させなが
ら切断する構成のワイヤソーがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】円柱状あるいは角柱状
の被切断部材をワイヤソーによって切断加工する場合、
被切断部材が塊状であるため、ワイヤによる加工点が被
切断部材の奥深くまで達し、加工点を直接冷却すること
は困難であり、加工点で発生した熱は一部が被切断部材
の内部を伝わって被切断部材の表面から放出され、残り
の部分が加工部を走行するワイヤおよび随伴する加工液
に伝達されて外部へ放出される。
の被切断部材をワイヤソーによって切断加工する場合、
被切断部材が塊状であるため、ワイヤによる加工点が被
切断部材の奥深くまで達し、加工点を直接冷却すること
は困難であり、加工点で発生した熱は一部が被切断部材
の内部を伝わって被切断部材の表面から放出され、残り
の部分が加工部を走行するワイヤおよび随伴する加工液
に伝達されて外部へ放出される。
【０００４】該被切断部材の冷却方法としては被切断部
材の表面に冷却液をかけて表面の放熱を促進することが
考えられるが、被切断部材の大きさは年々大型化する傾
向にあり、体積当たりの表面積が減少して表面からの除
熱効果のみに頼るのには限界がある。
材の表面に冷却液をかけて表面の放熱を促進することが
考えられるが、被切断部材の大きさは年々大型化する傾
向にあり、体積当たりの表面積が減少して表面からの除
熱効果のみに頼るのには限界がある。
【０００５】一方、ワイヤは常に加工点に接触しており
かつ高速度で走行しているため、加工点において伝達さ
れた熱は速やかに被切断部材の外部に持ち去る働きを
し、ワイヤを複数の溝付きローラに複数回周回させるマ
ルチワイヤソーにおいては、ワイヤがローラ群を周回す
る毎に何度も加工点を通過する。そのため、ワイヤがロ
ーラ群を一回周回する毎に加工熱を除去してやれば結果
的に被切断部材に蓄積される加工熱が低減できると推測
することができる。
かつ高速度で走行しているため、加工点において伝達さ
れた熱は速やかに被切断部材の外部に持ち去る働きを
し、ワイヤを複数の溝付きローラに複数回周回させるマ
ルチワイヤソーにおいては、ワイヤがローラ群を周回す
る毎に何度も加工点を通過する。そのため、ワイヤがロ
ーラ群を一回周回する毎に加工熱を除去してやれば結果
的に被切断部材に蓄積される加工熱が低減できると推測
することができる。
【０００６】上述のような従来のワイヤソーにおいては
一般的に加工液をワイヤにかける目的は、加工液をワイ
ヤに付着させて加工点に運ぶことであり、加工ツールで
あるワイヤを冷却することを目的とするものではない。
しかしながら必然的に加工液がワイヤに接触することに
よってワイヤに対する冷却効果は生じるが、ワイヤを積
極的に冷却するには不十分である。
一般的に加工液をワイヤにかける目的は、加工液をワイ
ヤに付着させて加工点に運ぶことであり、加工ツールで
あるワイヤを冷却することを目的とするものではない。
しかしながら必然的に加工液がワイヤに接触することに
よってワイヤに対する冷却効果は生じるが、ワイヤを積
極的に冷却するには不十分である。
【０００７】すなわち、第１のワイヤソーにおいては被
切断材の切断部の近傍に切断加工のための加工液兼冷却
液が供給されているため、走行するワイヤに接触した加
工液は粘度に応じてワイヤに随伴するが図８に示される
ように、ワイヤの熱は随伴する量の加工液との間でしか
主に熱交換せずワイヤを殆ど冷却することができない。
また、ワイヤの走行速度が高速になればなるほど、液体
がワイヤに接触した時の衝撃で飛散する度合いが多く、
供給する加工液量に対して実際にワイヤに随伴する量が
少なくなって高速化に対処することができないと言う問
題がある。
切断材の切断部の近傍に切断加工のための加工液兼冷却
液が供給されているため、走行するワイヤに接触した加
工液は粘度に応じてワイヤに随伴するが図８に示される
ように、ワイヤの熱は随伴する量の加工液との間でしか
主に熱交換せずワイヤを殆ど冷却することができない。
また、ワイヤの走行速度が高速になればなるほど、液体
がワイヤに接触した時の衝撃で飛散する度合いが多く、
供給する加工液量に対して実際にワイヤに随伴する量が
少なくなって高速化に対処することができないと言う問
題がある。
【０００８】また、第２のワイヤソーにおいては加工液
の供給量が貯留部高さによって限定されるため、ワイヤ
の走行速度を変更する場合に逆Ｔ字型スリツトノズルを
交換しなければならないと言う問題がある。また、Ｔ字
型形状であるため水平な状態でしか設置することができ
ず、設置箇所が限定されると言う問題がある。
の供給量が貯留部高さによって限定されるため、ワイヤ
の走行速度を変更する場合に逆Ｔ字型スリツトノズルを
交換しなければならないと言う問題がある。また、Ｔ字
型形状であるため水平な状態でしか設置することができ
ず、設置箇所が限定されると言う問題がある。
【０００９】さらに、第３のワイヤソーにおいては被切
断部材の表面を冷却するためには有効であるが、被切断
部材が加工液中に位置するためワイヤの張設操作、被切
断材料の出し入れ等に手間がかかると共に加工液供給装
置の構成が複雑になると言う問題がある。また、ほぼ静
止状態の加工液中をワイヤが走行するため、上流側から
下流側に向かって境界層が発達してワイヤの回りの加工
液体を随伴させることになり、切断加工により加熱され
たワイヤの熱は随伴している限られた容量の加工液体に
は伝導するがその周囲の大容量の加工液体には伝達され
にくく第１のワイヤソーの場合より冷却容量は大きいが
その差は殆ど変わらないと言う問題がある。
断部材の表面を冷却するためには有効であるが、被切断
部材が加工液中に位置するためワイヤの張設操作、被切
断材料の出し入れ等に手間がかかると共に加工液供給装
置の構成が複雑になると言う問題がある。また、ほぼ静
止状態の加工液中をワイヤが走行するため、上流側から
下流側に向かって境界層が発達してワイヤの回りの加工
液体を随伴させることになり、切断加工により加熱され
たワイヤの熱は随伴している限られた容量の加工液体に
は伝導するがその周囲の大容量の加工液体には伝達され
にくく第１のワイヤソーの場合より冷却容量は大きいが
その差は殆ど変わらないと言う問題がある。
【００１０】本発明はワイヤを効率良く冷却することが
でき、結果的に被切断部材の冷却効果を向上させること
できるワイヤソーを提供することである。
でき、結果的に被切断部材の冷却効果を向上させること
できるワイヤソーを提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の課題を達成するた
めに本発明のワイヤソーは請求項１に記載のように複数
列、複数行の冷却液吐出用のノズルを有する冷却液供給
手段を前記ローラ間におけるワイヤ群またはローラ上の
ワイヤ群の内の少なくとも一箇所に近接して配設せしめ
た構成にしてある。
めに本発明のワイヤソーは請求項１に記載のように複数
列、複数行の冷却液吐出用のノズルを有する冷却液供給
手段を前記ローラ間におけるワイヤ群またはローラ上の
ワイヤ群の内の少なくとも一箇所に近接して配設せしめ
た構成にしてある。
【００１２】また、本発明のワイヤソーは請求項２に記
載のように冷却液供給手段を、冷却液が複数の孔ノズ
ル、複数のスリットノズル、複数の細管群の内の少なく
とも一つから吐出される構成にしてある。
載のように冷却液供給手段を、冷却液が複数の孔ノズ
ル、複数のスリットノズル、複数の細管群の内の少なく
とも一つから吐出される構成にしてある。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明のワイヤソーの構成
の１実施例を示す概略正面図、図２は図１におけるＩ−
Ｉ矢視図、図３は図２におけるＩＩ−ＩＩ矢視図、図４
は図３におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図であって、ワイヤ
ソーは機枠１に形成された枠体２と、該枠体２に逆三角
形の頂点に位置し、且つ平行な状態になるよう両持ちの
状態で軸受け（図示せず）によって回転自在に取り付け
られた溝付きローラ３、４、５と、該溝付きローラ３、
４の上方に機枠１に形成されたガイドレール１ａに沿っ
て垂直方向に昇降自在に取り付けられた昇降枠体６と、
被切断部材５０を支持し該昇降枠体６の所定位置に取り
付ける被切断部材取付台７と、溝付きローラ３、４の上
方に位置するよう機枠１に取り付けられた加工液供給ノ
ズル管８、９と、戻し管１１を有し溝付きローラ５の下
方に位置するように機枠１に取り付けられたトレー１０
と、溝付きローラ３、４のした方に位置するよう配置さ
れた冷却液供給手段１２と、溝付きローラ３、４、５の
溝に巻回されたワイヤ２１とにより構成されている。
の１実施例を示す概略正面図、図２は図１におけるＩ−
Ｉ矢視図、図３は図２におけるＩＩ−ＩＩ矢視図、図４
は図３におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図であって、ワイヤ
ソーは機枠１に形成された枠体２と、該枠体２に逆三角
形の頂点に位置し、且つ平行な状態になるよう両持ちの
状態で軸受け（図示せず）によって回転自在に取り付け
られた溝付きローラ３、４、５と、該溝付きローラ３、
４の上方に機枠１に形成されたガイドレール１ａに沿っ
て垂直方向に昇降自在に取り付けられた昇降枠体６と、
被切断部材５０を支持し該昇降枠体６の所定位置に取り
付ける被切断部材取付台７と、溝付きローラ３、４の上
方に位置するよう機枠１に取り付けられた加工液供給ノ
ズル管８、９と、戻し管１１を有し溝付きローラ５の下
方に位置するように機枠１に取り付けられたトレー１０
と、溝付きローラ３、４のした方に位置するよう配置さ
れた冷却液供給手段１２と、溝付きローラ３、４、５の
溝に巻回されたワイヤ２１とにより構成されている。
【００１４】上述の冷却液供給手段１２は冷却液供給用
管１３と、溝付きローラ３と溝付きローラ５の間に位置
するワイヤ２１群に所定の間隔を有するようブラケット
１７によって枠体２に取り付けられた冷却液供給ノズル
箱１４と、溝付きローラ４と溝付きローラ５の間に位置
するワイヤ２１群に所定の間隔を有するようブラケット
１７によって枠体２に取り付けられた冷却液供給ノズル
箱１５と、冷却液供給用管１３と冷却液供給ノズル箱１
４、１５を連結する冷却液供給用枝管１６、１７とによ
り構成されている。
管１３と、溝付きローラ３と溝付きローラ５の間に位置
するワイヤ２１群に所定の間隔を有するようブラケット
１７によって枠体２に取り付けられた冷却液供給ノズル
箱１４と、溝付きローラ４と溝付きローラ５の間に位置
するワイヤ２１群に所定の間隔を有するようブラケット
１７によって枠体２に取り付けられた冷却液供給ノズル
箱１５と、冷却液供給用管１３と冷却液供給ノズル箱１
４、１５を連結する冷却液供給用枝管１６、１７とによ
り構成されている。
【００１５】冷却液供給ノズル箱１４、１５は箱体のワ
イヤ２０と対向する板部に複数の丸孔ノズル１４ａ、１
５ａが複数列、複数行（格子状あるいは千鳥状）に穿設
された多孔板（パンチングメタル）を使用するか、図５
に示されるような吐出板部にワイヤ２０の走行方向に所
定の間隔をもって細巾スリットノズル１４ｂが穿設され
たもの、あるいは複数本の細管を束ねてワイヤ群に対向
するように設けたものを使用する。上述の多孔板の丸孔
に代えて正方形、長方形、楕円形等にすることができ
る。
イヤ２０と対向する板部に複数の丸孔ノズル１４ａ、１
５ａが複数列、複数行（格子状あるいは千鳥状）に穿設
された多孔板（パンチングメタル）を使用するか、図５
に示されるような吐出板部にワイヤ２０の走行方向に所
定の間隔をもって細巾スリットノズル１４ｂが穿設され
たもの、あるいは複数本の細管を束ねてワイヤ群に対向
するように設けたものを使用する。上述の多孔板の丸孔
に代えて正方形、長方形、楕円形等にすることができ
る。
【００１６】上述の冷却液供給用管１３は貯槽（図示せ
ず）から送液用ポンプによって所定量の冷却液を冷却液
供給ノズル箱１４、１５に送るようになっており、該冷
却液供給用管１３には、流量計、送り量調節弁、バイパ
ス用管、仕切弁、冷却液の温度を調節する加熱冷却器等
を設けることができる。また、トレー１０に流れ落ちた
冷却済み液は戻り管１１から貯槽（図示せず）に戻され
る。
ず）から送液用ポンプによって所定量の冷却液を冷却液
供給ノズル箱１４、１５に送るようになっており、該冷
却液供給用管１３には、流量計、送り量調節弁、バイパ
ス用管、仕切弁、冷却液の温度を調節する加熱冷却器等
を設けることができる。また、トレー１０に流れ落ちた
冷却済み液は戻り管１１から貯槽（図示せず）に戻され
る。
【００１７】加工液を冷却液として使用する場合は冷却
液供給用管１３から分岐して加工液供給ノズル管８、９
に供給するようにすることができる。
液供給用管１３から分岐して加工液供給ノズル管８、９
に供給するようにすることができる。
【００１８】冷却液は砥粒が入っていない加工液と異な
るもの（砥粒が入っていないもの）を使用できることは
言うまでもない。
るもの（砥粒が入っていないもの）を使用できることは
言うまでもない。
【００１９】また、実施例においてはワイヤ２１に対し
て被切断部材５０を押し当てるようにしたが、被切断部
材５０に対してワイヤ２１を押し当てる構成のワイヤソ
ーに適用できることは言うまでもない。
て被切断部材５０を押し当てるようにしたが、被切断部
材５０に対してワイヤ２１を押し当てる構成のワイヤソ
ーに適用できることは言うまでもない。
【００２０】
ワイヤ径：０．１８ｍｍ ワイヤピッチ：１．１ｍｍ、２８０列 ワイヤ走行速度：１０００ｍ／ｍｉｎ 冷却液供給ノズル形状：１ｍｍ丸孔、孔ピッチ開口率：
２０％千鳥孔パンチングメタル（巾：３００ｍｍ、巾：
２５０ｍｍ） 冷却液吐出流量：５０ｌ／ｍｉｎ 冷却液温度：２３℃ 冷却液供給ノズルとワイヤ群の間隔寸法：０．５ｍｍ〜
１ｍｍ 被切断部材：直径８インチ、長さ１００ｍｍ 切断加工室温：２３℃ 上述の条件でワイヤ２１群に冷却液を供給しながら被切
断部材５０の切断操作を行うと、ワイヤ部における冷却
液の状態は図７に示されるような略面状の状態になり、
被切断部材５０の最大直径部を切断中の被切断部材５０
の上昇温度を測定すると１３℃であり、従来のワイヤソ
ーのように加工液供給ノズル管８、９からのみ加工液を
供給した場合の被切断部材５０の上昇温度は１９℃であ
り、ワイヤ２１の走行速度が７００ｍ／ｍｉｎの場合に
は被切断部材５０の上昇温度が１３℃であった。
２０％千鳥孔パンチングメタル（巾：３００ｍｍ、巾：
２５０ｍｍ） 冷却液吐出流量：５０ｌ／ｍｉｎ 冷却液温度：２３℃ 冷却液供給ノズルとワイヤ群の間隔寸法：０．５ｍｍ〜
１ｍｍ 被切断部材：直径８インチ、長さ１００ｍｍ 切断加工室温：２３℃ 上述の条件でワイヤ２１群に冷却液を供給しながら被切
断部材５０の切断操作を行うと、ワイヤ部における冷却
液の状態は図７に示されるような略面状の状態になり、
被切断部材５０の最大直径部を切断中の被切断部材５０
の上昇温度を測定すると１３℃であり、従来のワイヤソ
ーのように加工液供給ノズル管８、９からのみ加工液を
供給した場合の被切断部材５０の上昇温度は１９℃であ
り、ワイヤ２１の走行速度が７００ｍ／ｍｉｎの場合に
は被切断部材５０の上昇温度が１３℃であった。
【００２１】このため、ワイヤ２１の走行速度が高速化
されても被切断部材５０が確実に冷却されていることが
判る。該ワイヤ２１が冷却されることにより、被切断部
材の温度上昇が押さえられるものと推測される。
されても被切断部材５０が確実に冷却されていることが
判る。該ワイヤ２１が冷却されることにより、被切断部
材の温度上昇が押さえられるものと推測される。
【００２２】また、従来のワイヤソーにおける被切断部
材の温度までワイヤの走行速度を上昇させると、ワイヤ
走行速度を約４０％以上アップすることができ、生産性
を大幅に向上させることができる。
材の温度までワイヤの走行速度を上昇させると、ワイヤ
走行速度を約４０％以上アップすることができ、生産性
を大幅に向上させることができる。
【００２３】本発明のワイヤソーは図６に示されるよう
なローラ３、４の外周部に冷却液を供給する円弧上の冷
却液供給ノズル箱１９、２０を設けた構成にすることが
できる。
なローラ３、４の外周部に冷却液を供給する円弧上の冷
却液供給ノズル箱１９、２０を設けた構成にすることが
できる。
【００２４】これ等の冷却液供給ノズル箱１４、１５、
１９、２０は冷却容量等に基づいて設置箇所、設置数等
を設定することができ、ローラ３、５間、ローラ４、５
間、ローラ４、５部の内の少なくとも一箇所に設ければ
よい。
１９、２０は冷却容量等に基づいて設置箇所、設置数等
を設定することができ、ローラ３、５間、ローラ４、５
間、ローラ４、５部の内の少なくとも一箇所に設ければ
よい。
【００２５】
【発明の効果】本発明のワイヤソーは請求項１に記載の
ように複数列、複数行の冷却液吐出用のノズルを有する
冷却液供給手段を前記ローラ間におけるワイヤ群または
ローラ上のワイヤ群の内の少なくとも一箇所に近接して
配設せしめた構成にしているため、切断加工により加熱
されたワイヤ表面に常に温調された新しい冷却液が接触
することになり、ワイヤ回りの境界層の成長を押さえ、
ワイヤを効率良く冷却することができ、結果的に被切断
部材の冷却効果を上げることができる。
ように複数列、複数行の冷却液吐出用のノズルを有する
冷却液供給手段を前記ローラ間におけるワイヤ群または
ローラ上のワイヤ群の内の少なくとも一箇所に近接して
配設せしめた構成にしているため、切断加工により加熱
されたワイヤ表面に常に温調された新しい冷却液が接触
することになり、ワイヤ回りの境界層の成長を押さえ、
ワイヤを効率良く冷却することができ、結果的に被切断
部材の冷却効果を上げることができる。
【００２６】また、請求項２に記載のように冷却液供給
手段を、冷却液が複数の孔ノズル、複数のスリットノズ
ル、複数の細管群の内の少なくとも一つから吐出される
構成にすると、冷却液を略面状に確実に吐出させること
ができる。
手段を、冷却液が複数の孔ノズル、複数のスリットノズ
ル、複数の細管群の内の少なくとも一つから吐出される
構成にすると、冷却液を略面状に確実に吐出させること
ができる。
【図１】本発明のワイヤソーの構成の１実施例を示す概
略正面図である。
略正面図である。
【図２】図１におけるＩ−Ｉ矢視図である。
【図３】図２におけるＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【図４】図３におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図５】本発明のワイヤソーの構成の他の実施例を示す
概略正面図である。
概略正面図である。
【図６】冷却液供給手段の冷却液吐出孔の他の実施例を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図７】本発明のワイヤソーのワイヤ部における冷却液
の状態を示す概略図である。
の状態を示す概略図である。
【図８】従来のワイヤソーのワイヤ部における冷却液の
状態を示す概略図である。
状態を示す概略図である。
１ 機枠 ２ 枠体 ３、４、５ 溝付きローラ ６ 昇降枠体 ７ 被切断部材取付台 ８、９ 加工液供給ノズル管 １０ トレー １１ 戻り管 １２ 冷却液供給手段 １３ 冷却液供給管 １４、１５、１９、２０ 冷却液供給ノズル箱 １６、１７ 冷却液供給枝管 １８ ブラケット ２１ ワイヤ １４ａ、１５ａ 細孔
Claims (2)
- 【請求項１】複数のガイド溝を有するロールを相平行す
るように複数本配置し、各ロールにわたってガイド溝に
ワイヤを複数回周回させるように張設せしめ、所定のロ
ール間に張設されたワイヤ群に被切断部材をまたは被切
断部材にワイヤ群を摺接させて該被切断部材を切断する
ワイヤソーにおいて、複数列、複数行の冷却液吐出用の
ノズルを有する冷却液供給手段を前記ローラ間における
ワイヤ群またはローラ上のワイヤ群の内の少なくとも一
箇所に近接して配設せしめたことを特徴とするワイヤソ
ー。 - 【請求項２】冷却液供給手段を、冷却液が複数の孔ノズ
ル、複数のスリットノズル、複数の細管群の内の少なく
とも一つから吐出される構成にせしめたことを特徴とす
る請求項１に記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4132598A JPH11221748A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4132598A JPH11221748A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11221748A true JPH11221748A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12605381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4132598A Pending JPH11221748A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | ワイヤソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11221748A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000043162A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Fil helicoidal et procede de decoupe |
| KR100942144B1 (ko) | 2007-12-12 | 2010-02-16 | 주식회사 실트론 | 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치 |
| WO2011050945A1 (de) * | 2009-10-28 | 2011-05-05 | Meyer Burger Ag | Drahtsäge mit drahtfeld und reinigungsdüsen |
| CN102059750A (zh) * | 2010-12-13 | 2011-05-18 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺 |
| CN102501324A (zh) * | 2011-11-03 | 2012-06-20 | 昆山翰辉电子科技有限公司 | 线形切割机的导轮的线槽结构 |
| CN102729350A (zh) * | 2011-04-02 | 2012-10-17 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 | 用在切割晶片的开方机上的冷却系统 |
| KR102432869B1 (ko) * | 2021-09-28 | 2022-08-12 | 정도영 | 건식절단용 다이아몬드 와이어쏘 냉각장치 및 이를 이용한 구조물 건식절단 및 해체공법 |
| CN115107177A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-27 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP4132598A patent/JPH11221748A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000043162A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Fil helicoidal et procede de decoupe |
| US6652356B1 (en) | 1999-01-20 | 2003-11-25 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Wire saw and cutting method |
| KR100942144B1 (ko) | 2007-12-12 | 2010-02-16 | 주식회사 실트론 | 더블 쏘우 와이어 잉곳 절단장치 |
| WO2011050945A1 (de) * | 2009-10-28 | 2011-05-05 | Meyer Burger Ag | Drahtsäge mit drahtfeld und reinigungsdüsen |
| CN102059750A (zh) * | 2010-12-13 | 2011-05-18 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺 |
| CN102729350A (zh) * | 2011-04-02 | 2012-10-17 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 | 用在切割晶片的开方机上的冷却系统 |
| CN102501324A (zh) * | 2011-11-03 | 2012-06-20 | 昆山翰辉电子科技有限公司 | 线形切割机的导轮的线槽结构 |
| KR102432869B1 (ko) * | 2021-09-28 | 2022-08-12 | 정도영 | 건식절단용 다이아몬드 와이어쏘 냉각장치 및 이를 이용한 구조물 건식절단 및 해체공법 |
| CN115107177A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-27 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101622083B (zh) | 热轧钢带的冷却装置和方法 | |
| JP4958463B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JP4839137B2 (ja) | ワイヤソー | |
| JPH11221748A (ja) | ワイヤソー | |
| US8511126B2 (en) | Cooling device for cooling a metal strip | |
| AU2001283736B2 (en) | Belt-cooling and guiding means for continuous belt casting of metal strip | |
| AU2001283736A1 (en) | Belt-cooling and guiding means for continuous belt casting of metal strip | |
| JP3323621B2 (ja) | ワイヤソーのスラリ供給方法およびスラリ供給ノズル | |
| US20130206163A1 (en) | Methods and Systems For Removing Contaminants From A Wire Of A Saw | |
| KR101105920B1 (ko) | 연속주조기의 주조 벨트의 표면 집합조직 | |
| JP5640648B2 (ja) | 熱鋼板の下面冷却方法及び装置 | |
| JP2003165046A (ja) | ワイヤソー及び切断方法 | |
| JP2674227B2 (ja) | 脆性材料の切断加工方法 | |
| JP4888124B2 (ja) | 鋼材の冷却装置および冷却方法 | |
| CN204160642U (zh) | 包括用于产生流体射流的喷嘴的半导体丝锯 | |
| KR100640134B1 (ko) | 편평 제품과의 열교환용 장치 및 편평 제품용 냉각 장치 | |
| JPH0810821A (ja) | 熱板冷却装置 | |
| CN109129949B (zh) | 硅片多线切割机 | |
| RU2302314C1 (ru) | Устройство вторичного охлаждения слитков | |
| US20100101243A1 (en) | Multipart roller | |
| CN112372862A (zh) | 晶棒工件板及晶棒切割方法 | |
| JPH05212720A (ja) | 脆性材料の切断装置 | |
| CN214491135U (zh) | 用作多线锯布置的润滑剂系统的设备 | |
| KR20120090267A (ko) | 단결정 잉곳 절단장치 | |
| CN208759270U (zh) | 一种多线切割机冷却装置 |