JPH11250798A - プラズマ表示装置用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 隔壁をその高さや形状がバラつくことなく高
精細に形成することができるようにした、プラズマ表示
装置用基板の製造方法の提供が望まれている。 【解決手段】 ストライプ状第１の放電電極及び第２の
放電電極をそれぞれ略平行に並列配置し、第１の放電電
極上に隔壁を積層形成したプラズマ表示装置用の基板の
製造方法である。第１の放電電極及び隔壁の積層形状に
対応する第１の溝部２と、第２の放電電極の形状に対応
する第２の溝部３を形成した刷版１を用意する。刷版１
の第１の溝部２に隔壁材料５を充填し、次に第１の溝部
２の隔壁材料５上に放電電極材料７を充填及び乾燥する
と共に、第２の溝部３に放電電極材料７を充填及び乾燥
する。次いで刷版１の面上に透明下地ガラス層９を形成
し、その後透明ガラス層９にガラス基板１０を接着する
と共に、隔壁材料５、放電電極材料７を焼成して隔壁５
ａ、第１の放電電極７ａ、第２の放電電極７ｂを形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイ装置やプラズマアドレス型液晶表示装置などの、プ
ラズマ表示装置に用いられる基板の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイ装置（Plasma Dis
play Panel；ＰＤＰ）やプラズマアドレス型液晶表示装
置（Plasma Addressed Liquid Crystal ；ＰＡＬＣ）な
どのプラズマ表示装置では、プラズマ放電領域を形成す
るべく、その放電領域側の基板に隔壁が形成される。

【０００３】この隔壁の形成方法としては、スクリーン
印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法などが知
られているが、現在ではスクリーン印刷法が主流となっ
ている。このスクリーン印刷法による隔壁形成方法で
は、低融点ガラスペーストを所定形状のスクライプ状に
スクリーン印刷し、続いてこれを乾燥する二段階の処理
を１０〜１１回繰り返し、該低融点ガラスペーストを所
定の厚さ（高さ）に積層する。その後、これを焼成して
鉛系または亜鉛系ガラスからなる隔壁（バリアリブ）を
形成する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなスクリーン印刷法による方法では、印刷・乾燥の二
段階の処理を多数回繰り返すが、その繰り返しの印刷の
際に十分な位置合わせ精度をだすのが難しいため、位置
ずれによって隔壁の高さや形状にバラつきが生じ易いと
いった不都合がある。また、作業安定性も低いうえに作
業工数も多いため生産性が悪く、このため高精細化や低
コスト化を妨げる一因となっている。

【０００５】サンドブラスト法による隔壁形成方法で
は、隔壁間を削ることによって所望する形状の隔壁を得
るが、削られた隔壁間の底面が平面にならず凹面となっ
てしまうため、形成された基板は光の直進を妨げるもの
となってしまい、これをプラズマアドレス型液晶表示装
置用の基板として用いた場合に光透過率の低下とコント
ラスト低下を招いてしまう。また、加工時のガラスくず
発生と処理も問題になっている。

【０００６】感光性ペーストによる隔壁形成方法は現在
のところ研究開発段階であり、厚いバリアリブ形成には
露光と現像、さらに乾燥条件に課題が残されている。ま
た、近年ではガラス基板上にペーストを塗布し、このペ
ースト層をプレス成形、その後焼成するといった三工程
だけによる隔壁形成方法も提案されている。

【０００７】しかしながら、この方法にあっても、隔壁
間にペーストが残ることからやはりこの隔壁間の底面部
を平面とするのが難しく、サンドブラスト法による方法
と同様に隔壁間底面が平面にならず凹面となってしまう
ため、これをプラズマアドレス型液晶表示装置用の基板
として用いた場合に光透過率の低下とコントラスト低下
を招いてしまう。

【０００８】また、隔壁が透明の場合には、プラズマア
ドレス型液晶表示装置用の基板として用いた場合でも、
またプラズマディスプレイ装置用の基板として用いた場
合でも、隣のチャネルへの光漏れによるクロストーク、
コントラストの低下を招いてしまう。さらに、隔壁間に
ペーストが残ってしまうことから、プラズマアドレス型
液晶表示装置用の基板として用いた場合に、バックライ
トが透過しなくなるため白色や黒色などの着色ペースト
を使用することができない。

【０００９】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、隔壁をその高さや形状が
バラつくことなく高精細にしかも高生産性に形成するこ
とができるようにした、プラズマ表示装置用基板の製造
方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明における請求項１
記載のプラズマ表示装置用基板の製造方法では、複数の
ストライプ状第１の放電電極および第２の放電電極をそ
れぞれ略平行に並列配置し、第１の放電電極上に隔壁を
積層形成してなるプラズマ表示装置用の基板を製造する
に際し、まず、前記第１の放電電極および隔壁の積層形
状に対応する複数の第１の溝部と、前記第２の放電電極
の形状に対応する複数の第２の溝部とを形成してなる刷
版を用意し、この刷版の第１の溝部に、前記隔壁の材料
を該第１の溝部が満たされない状態に充填及び乾燥し、
次に、前記第１の溝部の隔壁材料上に放電電極の材料を
該第１の溝部がほぼ満たされるように充填及び乾燥する
とともに、前記第２の溝部に放電電極の材料を該第２の
溝部がほぼ満たされるように充填及び乾燥し、次いで、
前記刷版の各溝部の開口側の面上に、前記放電電極の材
料に連続した状態で透明下地ガラス層を印刷及び乾燥
し、その後、前記透明ガラス層にガラス基板を接着する
とともに、前記隔壁材料、放電電極材料及び下地ガラス
材料を焼成して隔壁、第１の放電電極、第２の放電電極
を形成することを前記課題の解決手段とした。

【００１１】この製造方法によれば、第１の溝部に隔壁
材料と放電電極材料とを充填及び乾燥するとともに、第
２の溝部に放電電極材料を充填及び乾燥し、これら材料
を焼成して隔壁および放電電極を形成するので、これら
隔壁や放電電極を所望する形状に形成するのが容易にな
り、また作業性も良くなる。

【００１２】本発明における請求項７記載のプラズマ表
示装置用基板の製造方法では、複数のストライプ状第１
の放電電極および第２の放電電極をそれぞれ略平行に並
列配置し、第１の放電電極上に隔壁を形成してなるプラ
ズマ表示装置用の基板を製造するに際し、前記隔壁の形
状に対応する溝部を形成してなる刷版を用意し、この刷
版の溝部に、前記隔壁の材料を該溝部がほぼ満たされる
ように充填及び乾燥し、次に、前記溝部内の隔壁材料上
に放電電極の材料を塗布して前記第１の放電電極の形状
に対応した第１の放電電極パターンを形成するととも
に、該溝部間における刷版の面上に放電電極の材料を塗
布及び乾燥して前記第２の放電電極の形状に対応した第
２の放電電極パターンを形成し、次いで、前記刷版にお
ける前記第１の放電電極パターン、第２の放電電極パタ
ーンを形成した側の面に、これら第１の放電電極パター
ン、第２の放電電極パターンを覆った状態で透明下地ガ
ラス層を印刷及び乾燥し、その後、前記透明ガラス層に
ガラス基板を接着するとともに、前記隔壁材料、第１の
放電電極パターン、第２の放電電極パターン及び透明下
地ガラス材料を焼成して隔壁、第１の放電電極、第２の
放電電極を形成することを前記課題の解決手段とした。

【００１３】この製造方法によれば、溝部に隔壁材料を
充填及び乾燥し、この隔壁材料を焼成して隔壁を形成す
るようにしたので、隔壁を所望する形状に形成するのが
容易になり、また作業性も良くなる。

【００１４】本発明における請求項１３記載のプラズマ
表示装置用基板の製造方法では、複数のストライプ状デ
ータ電極を略平行に並列配置し、これらデータ電極にお
ける隣合うデータ電極間にストライプ状の隔壁を該デー
タ電極に対し略平行に形成してなるプラズマ表示装置用
の基板を製造するに際し、前記隔壁の形状に対応する溝
部を形成してなる刷版を用意し、この刷版の溝部に、前
記隔壁の材料を該溝部がほぼ満たされるように充填及び
乾燥し、次に、前記刷版の溝部の開口側の面上に、前記
隔壁の材料に連続した状態で誘電体層を印刷及び乾燥
し、次いで、前記誘電体層上の、前記溝部における隣合
う溝部間に前記データ電極の形状に対応したデータ電極
パターンを印刷及び乾燥し、次いで、前記誘電体層上に
前記データ電極パターンを覆った状態で透明下地ガラス
層を印刷及び乾燥し、その後、前記隔壁材料、データ電
極パターン及び透明下地ガラス材料を焼成して隔壁、デ
ータ電極を形成することを前記課題の解決手段とした。

【００１５】この製造方法によれば、溝部に隔壁材料を
充填及び乾燥し、この隔壁材料を焼成して隔壁を形成す
るようにしたので、隔壁を所望する形状に形成するのが
容易になり、また作業性も良くなる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明のプラズマ表示装置
用基板の製造方法を詳しく説明する。まず、本発明にお
ける請求項１記載のプラズマ表示装置用基板の製造方法
の一実施形態例について図１（ａ）〜（ｄ）、図２
（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。この例は、プラズ
マアドレス型液晶表示装置（ＰＡＬＣ）用のプラズマ基
板を製造する方法であり、まず、図１（ａ）に示すよう
に刷版（スクリーン印刷版）１を用意する。

【００１７】この刷版１は、後述するアノード電極（第
１の放電電極）および隔壁の積層形状に対応する複数の
第１の溝部２…と、カソード電極（第２の放電電極）の
形状に対応する複数の第２の溝部３…とをほぼ平行に並
列して形成した、ポリイミド等の高耐熱性硬質樹脂から
なる厚さ２ｍｍ程度のもので、これら第１の溝部２…、
第２の溝部３…を形成した側の面およびこれら溝部２、
３…の内面には、高耐熱性で高剥離性の樹脂膜４がコー
ティングされている。

【００１８】第１の溝部２…はその深さが２００μｍ程
度に形成されたもので、その開口部の幅が５０μｍ程
度、底部の幅が３０μｍ程度のテーパ形状に形成された
ものである。また、第２の溝部３…はその深さが５０μ
ｍ程度に形成されたもので、その開口部の幅が５０μｍ
程度、底部の幅が４０μｍ程度のテーパ形状に形成され
たものである。なお、第１の溝部２…および第２の溝部
３…の底面は平滑及び平坦面となっている。また、第１
の溝部２、２間、第２の溝部３、３間の距離は、いずれ
も６００μｍ程度となっている。

【００１９】樹脂膜４は、フッ素系樹脂、フッ素系ポリ
イミド樹脂またはフッ素系シリコーン樹脂などの高剥離
性でかつ高耐熱性の樹脂からなるもので、５〜１０μｍ
程度の膜厚に形成されたものである。ここで、このよう
な構成の刷版１の作製方法について説明すると、刷版１
を作製するには、まず、図３（ａ）に示すようにこの刷
版１に対応した形状の金型４０ａ、４０ｂを用意し、こ
れら金型４０ａ、４０ｂ間に、矩形のアルミ枠内にステ
ンレス線または超高強力繊維（２００メッシュ、線径４
０μｍ）からなる線材を張って形成されたスクリーン４
１を挟持させる。

【００２０】次に、射出成形、ポッティング等の金型成
形（１８０〜２００℃で加熱処理）により、スクリーン
４１に高耐熱性の熱硬化性ポリイミドまたは熱可塑性ポ
リイミドを接着成形する。次いで、金型４０ａ、４０ｂ
から取り出した刷版１の、第１の溝部２…、第２の溝部
３…を形成した側の面およびこれら溝部２、３…の内面
に、高耐熱性で高剥離性の前記樹脂膜４をコーティング
し、図３（ｂ）、図３（ｃ）に示すような刷版１を得
る。

【００２１】このとき、このコーティング面には、コロ
ナ放電や紫外線照射処理等の密着性向上のための表面改
質処理を行っておく。また、コーティング方法としては
スプレー法又はディッピング法が採用され、その場合に
は逆さにしてスピンさせるのが好ましい。また、コーテ
ィング後の密着については、例えば２００℃で１０分間
程度加熱処理することによって行う。なお、図３（ｃ）
において符号４２はアルミ枠、４３はステンレス線ある
いは超高強力繊維からなる線材である。

【００２２】このようにして刷版１を用意したら、次
に、この刷版１の第１の溝部２…に、黒色の低融点鉛ガ
ラスペーストからなる隔壁材料５を、図１（ｂ）に示す
ように該第１の溝部２…が満たされない状態に、具体的
には１６５〜１７０μｍの深さ（高さ）となるように充
填する。このとき、第１の溝部２…の数だけノズルを有
して構成されたマルチディスペンサー６を用いるのが、
作業性を良くするうえで好ましい。

【００２３】そして、隔壁材料５を充填した後、加圧脱
泡処理を行い、さらにその後、１２０〜１３０℃で１０
分間以上熱処理を施してこれを乾燥する。なお、加圧脱
泡処理については、高圧空気が３〜５ｋｇ／ｃｍ² のオ
ートクレーブで処理することによってペースト中および
塗布時巻き込みエアーを脱泡するが、このとき、７０〜
８０℃程度の温度に加熱するのが、より脱泡を速めるう
えで好ましい。または、１〜１０Ｔｏｒｒ、７０〜８０
℃の真空脱泡処理を行ってもよい。

【００２４】次いで、図１（ｃ）に示すように刷版１の
第１の溝部２…内の前記各塀材料５上に、Ｎｉ電極ペー
ストからなる放電電極材料７を該第１の溝部２…がほぼ
満たされるように、具体的には３０〜３５μｍの深さ
（高さ）になるように充填するとともに、第２の溝部３
…に、同じく放電電極材料６を該第２の溝部３…がほぼ
満たされるように３０〜３５μｍの深さ（高さ）で充填
する。そして、放電電極材料６を充填した後、先と同様
に加圧脱泡又は真空脱泡処理を行い、さらにその後、１
２０〜１３０℃で１０分間以上熱処理を施してこれを乾
燥する。なお、このときにも、第１の溝部２…と第２の
溝部３…との合計の数だけノズルを有して構成されたマ
ルチディスペンサー８を用いるのが、作業性を良くする
うえで好ましい。

【００２５】次いで、刷版１の各溝部２…、３…の開口
側の面上に、放電電極材料７に連続した状態に低融点鉛
ガラスペーストをスクリーン印刷で塗布し、厚さ４０〜
４５μｍ程度の透明下地ガラス層９を形成する。この透
明下地ガラス層９は、隔壁材料５および放電電極材料７
と後述するガラス基板とを良好に接続させるためのもの
で、双方の熱膨張係数差によるストレスを吸収し、ガラ
ス基板にクラックや割れが発生しないようにするために
無機フィラーを混入したものである。この後、先と同様
に加圧脱泡又は真空脱泡処理を行い、さらに１２０〜１
３０℃で１０分間以上熱処理を施してこれを乾燥する。

【００２６】次いで、図２（ａ）に示すように前記透明
ガラス層９に厚さ１．９ｍｍ程度のガラス基板１０を接
着するとともに、刷版１の底面（透明ガラス層９形成面
と反対の側の面）上にガラスやステンレス及び黒鉛シー
トからなる重し１１を載せ、その状態で２００〜２５０
℃を１０〜２０分間保持するように加熱して仮焼成を行
う。このとき、刷版１は３００〜４００℃程度まで耐え
得る高耐熱性のポリイミドからなっているため。何等支
障がない。続いて、重し１１を刷版１上から外し、さら
に刷版１をガラス基板１０側から外す。

【００２７】このようにして刷版１を外したら、ガラス
基板１０上の仮焼成済の透明下地ガラス層９および隔壁
材料５、放電電極材料７を、３００〜３５０℃で１５分
間以上、さらに５５０〜５８０℃で２０分間以上加熱し
て本焼成を行う。そして、このようにして本焼成を行う
ことにより、図２（ｂ）に示すように隔壁材料５から隔
壁５ａを、また放電電極材料７からアノード電極となる
第１の放電電極７ａおよびカソード電極となる第２の放
電電極７ｂを形成し、プラズマアドレス型液晶表示装置
用のプラズマ基板１２を得る。

【００２８】このようなプラズマ基板１２の製造方法に
あっては、刷版１の第１の溝部２…に隔壁材料５と放電
電極材料７とを充填及び乾燥するとともに、第２の溝部
３…に放電電極材料７を充填及び乾燥し、これら材料を
焼成して隔壁および放電電極を形成するので、これら隔
壁や放電電極を所望する形状に形成するのが容易にな
り、また作業性も良くなることから、高歩留を達成する
ことができる。また、刷版１の第１の溝部２…、第２の
溝部３…を形成した側の面およびこれら溝部２、３…の
内面に高耐熱性で高剥離性の樹脂膜４をコーティングし
ているので、隔壁材料５や放電電極材料７の刷版１から
の離型が容易になり、したがって作業性が良好になるこ
とから、高歩留および生産性の向上を達成することがで
きる。

【００２９】また、刷版１の第１の溝部２…および第２
の溝部３…の底面が平滑面となっているので、これら溝
部２、３…の形状に対応して形成された隔壁および第２
の放電電極７ｂはその頂部の面が平滑及び平坦面となっ
ており、したがってこの頂部面を研磨する必要がなく、
よって工数が削減されることにより大幅なコストダウン
を達成することができる。なお、隔壁材料５や透明下地
ガラス層９を形成するための低融点ガラスペーストとし
ては、密着力を向上するためにシランカップリング剤を
混合して用いるのが好ましい。

【００３０】次に、本発明における請求項７記載のプラ
ズマ表示装置用基板の製造方法の一実施形態例について
図４（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。この例は、先
の例と同様にプラズマアドレス型液晶表示装置（ＰＡＬ
Ｃ）用のプラズマ基板を製造する方法であり、まず、図
４（ａ）に示すような刷版（スクリーン印刷版）２０を
用意する。

【００３１】この刷版２０は、後述する隔壁形状に対応
する複数の溝部２１…をほぼ平行に並列して形成した、
ポリイミド等の高耐熱性硬質樹脂からなる厚さ２ｍｍ程
度のもので、これら溝部２１…を形成した側の面および
これら溝部２１…の内面には、前記刷版１と同様の高耐
熱性で高剥離性の樹脂膜２２がコーティングされてい
る。

【００３２】溝部２１…はその深さが２００μｍ程度に
形成されたもので、その開口部の幅が５０μｍ程度、底
部の幅が３０μｍ程度のテーパ形状に形成されたもので
ある。ここで、溝部２１…の底面は平滑及び平坦面とな
っており、また、溝部２１、２１間の距離は６００μｍ
程度となっている。なお、このような構成の刷版２０の
作製は、図３（ａ）〜（ｃ）に示した方法と同様にして
なされる。

【００３３】このようにして刷版２０を用意したら、こ
の刷版２０の溝部２１…に、黒色の低融点鉛ガラスペー
ストからなる隔壁材料５を、図４（ｂ）に示すように該
溝部２１…がほぼ満たされるように充填する。このとき
にも、溝部２１…の数だけノズルを有して構成されたマ
ルチディスペンサー６を用いるのが、作業性を良くする
うえで好ましい。なお、溝部２１…への隔壁材料５の充
填については、該隔壁材料５を刷版２０の溝部２１…形
成面の全面にコーティングし、その後表面の余分な隔壁
材料５をスキージで取り除くようにして行ってもよい。
そして、隔壁材料５を充填した後、先の例と同様に加圧
脱泡又は真空脱泡処理を行い、さらにその後、１２０〜
１３０℃で１０分間以上熱処理を施してこれを乾燥す
る。

【００３４】次いで、前記溝部２１…内の隔壁材料５上
にＮｉ電極ペーストからなる放電電極材料７をスクリー
ン印刷し、図４（ｃ）に示すように形成するアノード電
極（第１の放電電極）の形状に対応したストライプ状の
第１の放電電極パターン２３を形成すると同時に、該溝
部２１、２１間における刷版２０の面上に放電電極材料
７をスクリーン印刷してカソード電極（第２の放電電
極）の形状に対応したストライプ状の第２の放電電極パ
ターン２４を形成する。そして、１２０〜１３０℃で１
０分間以上熱処理を施してこれを乾燥する。

【００３５】ここで、第１の放電電極パターン２３、第
２の放電電極パターン２４の形成については、スクリー
ン印刷によって行うことによりその厚みや幅について自
由にかつ容易に調整することができる。なお、この例で
は、厚みについては共に３０〜３５μｍとし、幅につい
ては第１の放電電極パターン２３を１００μｍ程度に、
また第２の放電電極パターン２４を５０μｍ程度にして
いる。

【００３６】次いで、刷版２０の、第１の放電電極パタ
ーン２３…と第２の放電電極パターン２４…とを形成し
た側の面に、第１の放電電極パターン２３…、第２の放
電電極パターン２４…を覆った状態で透明の低融点ガラ
スペーストをスクリーン印刷によって全面塗布し、図４
（ｄ）に示すように厚さ４０〜４５μｍ程度の透明下地
ガラス層２５を形成する。そして、１２０〜１３０℃で
１０分間以上熱処理を施し、これを乾燥する。

【００３７】続いて、図２（ａ）、（ｂ）に示した先の
例と同様にしてガラス基板の接着、仮焼成、本焼成を行
い、図４（ｅ）に示すように第１の放電電極パターン２
３…からなるアノード電極（第１の放電電極）２６と、
第２の放電電極パターン２４…からなるカソード電極
（第２の放電電極）２７とを形成し、さらに隔壁２８を
形成してなる、プラズマアドレス型液晶表示装置用のプ
ラズマ基板２９を形成する。

【００３８】このようなプラズマ基板２９の製造方法に
あっても、刷版２０の溝部２１…に隔壁材料５を充填及
び乾燥し、これを焼成して隔壁２８を形成するので、隔
壁２８を所望する形状に形成するのが容易になり、また
作業性も良くなることから、高歩留を達成することがで
きる。また、刷版２０の溝部２１…を形成した側の面お
よびこれら溝部２１…の内面に高耐熱性で高剥離性の樹
脂膜２２をコーティングしているので、隔壁材料５の離
型が容易になり、したがって作業性が良好になることか
ら、高歩留および生産性の向上を達成することができ
る。

【００３９】次に、本発明における請求項１３記載のプ
ラズマ表示装置用基板の製造方法の一実施形態例につい
て図５（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。この例は、
ＡＣ型プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）用の背面
ガラス基板を製造する方法であり、まず、図５（ａ）に
示すような刷版（スクリーン印刷版）３０を用意する。

【００４０】この刷版３０は、後述する隔壁形状に対応
する複数の溝部３１…をほぼ平行に並列して形成した、
ポリイミド等の高耐熱性硬質樹脂からなる厚さ２ｍｍ程
度のもので、これら溝部３１…を形成した側の面および
これら溝部３１…の内面には、前記刷版２０と同様に高
耐熱性で高剥離性の樹脂膜３２がコーティングされてい
る。

【００４１】溝部３１…はその深さが２００μｍ程度に
形成されたもので、その開口部の幅が５０μｍ程度、底
部の幅が３０μｍ程度のテーパ形状に形成されたもので
ある。ここで、溝部３１…の底面は平滑面となってい
る。なお、このような構成の刷版３０の作製も、図３
（ａ）〜（ｃ）に示した方法と同様にしてなされる。

【００４２】このようにして刷版３０を用意したら、こ
の刷版３０の溝部３１…に、白色の低融点鉛ガラスペー
ストからなう隔壁材料３３を、図５（ｂ）に示すように
該溝部３１…がほぼ満たされるように充填する。このと
きにも、溝部３１…の数だけノズルを有して構成された
マルチディスペンサー６を用いるのが、作業性を良くす
るうえで好ましい。なお、溝部３１…への隔壁材料３３
の充填については、該隔壁材料３３を刷版３０の溝部３
１…形成面の全面にコーティングし、その後表面の余分
な隔壁材料３３をスキージで取り除くようにして行って
もよい。そして、隔壁材料３３を充填した後、先の例と
同様に加圧脱泡又は真空脱泡処理を行い、さらにその
後、１２０〜１３０℃で１０分間以上熱処理を施してこ
れを乾燥する。

【００４３】次いで、刷版３０における溝部３１…の開
口側の面上に、前記隔壁材料３３に連続した状態で低融
点鉛ガラスペーストをスクリーン印刷して厚さ２０〜２
５μｍの誘電体層３４を形成する。この誘電体層３４と
しては、後述する蛍光体の反射のため白色のものにする
のが好ましい。

【００４４】続いて、この誘電体層３４上の、前記溝部
３１…のうちの隣合う溝部３１、３１間に銀ペーストか
らなる電極材料をスクリーン印刷し、図５（ｃ）に示す
ように形成するデータ電極の形状に対応したストライプ
状のデータ電極パターン３５を形成する。そして、１２
０〜１３０℃で１０分間以上熱処理を施してこれを乾燥
する。ここで、データ電極パターン３５の形成について
は、スクリーン印刷によって行うことによりその厚みや
幅について自由にかつ容易に調整することができる。な
お、この例では、厚みについては２０〜２５μｍとし、
幅については１００μｍ程度としている。

【００４５】次いで、誘電体層３４上に、データ電極パ
ターン３５を覆った状態で低融点ガラスペーストをスク
リーン印刷によって全面塗布し、図５（ｄ）に示すよう
に厚さ２０〜２５μｍ程度の下地ガラス層３６を形成す
る。そして、１２０〜１３０℃で１０分間以上熱処理を
施し、これを乾燥する。

【００４６】続いて、図２（ａ）、（ｂ）に示した先の
例と同様にして仮焼成、本焼成を行うことにより、図５
（ｅ）に示すようにデータ電極パターン３５からデータ
電極３５ａを得るとともに、隔壁材料３３から隔壁３３
ａを得、さらに、隔壁３３ａ、３３ａ間に蛍光体３８を
設けることにより、ＡＣ型プラズマディスプレイパネル
（ＰＤＰ）用の背面ガラス基板３７を形成する。

【００４７】このような背面ガラス基板３７の製造方法
にあっても、刷版３０の溝部３１…に隔壁材料３３を充
填及び乾燥し、これを焼成して隔壁３３ａを形成するの
で、隔壁３３ａを所望する形状に形成するのが容易にな
り、また作業性も良くなることから、高歩留を達成する
ことができる。また、刷版３０の溝部３１…を形成した
側の面およびこれら溝部３１…の内面に高耐熱性で高剥
離性の樹脂膜３２をコーティングしているので、隔壁材
料３３の離型が容易になり、したがって作業性が良好に
なることから、高歩留および生産性の向上を達成するこ
とができる。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明のプラズマ表
示装置用基板の製造方法は、溝部に隔壁材料を充填及び
乾燥し、この隔壁材料を焼成して隔壁を形成するように
した方法であるから、隔壁を所望する形状に形成するの
が容易になり、また作業性も良くなることから、高歩留
を達成することができる。

【００４９】また、刷版の溝部を形成した側の面および
これら溝部の内面に高耐熱性で高剥離性の樹脂膜をコー
ティングしておけば、隔壁材料の刷版からの離型が容易
になり、したがって作業性が良好になることから、高歩
留および生産性の向上を達成することができる。また、
このように樹脂膜をコーティングしておけば、汚れが少
なくなることから洗浄メンテナンスが容易になり、再使
用する際の工数が少なくなってコストダウンを図ること
ができる。また、刷版の溝部の底面を平滑及び平坦面に
しておけば、これら溝部の形状に対応して形成された隔
壁はその頂部の面が平滑及び平坦面となるので、この頂
部面を研磨する必要がなくなり、したがって工数が削減
されることにより大幅なコストダウンを達成することが
きる。

【００５０】また、刷版の溝部をその開口部側が広く底
部側が狭くなるようなテーパ形状に形成すれば、隔壁材
料の刷版からの離型が容易になり、これにより型くずれ
や欠けなどを確実に防止することができる。さらに、こ
のようなテーパ形状の溝部に対応した形状で形成された
隔壁は、その頂部の幅が狭く底部の幅が広いテーパ形状
となることから、隔壁間に形成される開口部が広くな
り、これによりこの基板を用いたＰＤＰ型プラズマ表示
装置の輝度を向上することができる。

【００５１】また、特に請求項１記載の製造方法によれ
ば、第１の放電電極、第２の放電電極の幅を狭くすると
ともに厚さを厚く形成することができるので、開口率を
上げることができ、これによりこの基板を用いたＰＡＬ
Ｃ型プラズマ表示装置の輝度を向上することができる。
また、特に請求項７記載の製造方法によれば、放電電極
の高さを自由に設計できるので、放電電極と封入ガス
（Ｘｅガス、Ｈｅガス）との接触面積を大きくすること
ができ、これによりプラズマ放電を安定化することがで
き、したがってＰＡＬＣの品質のおよび信頼性の向上を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）〜（ｄ）は請求項１記載のプラズマ表示
装置用基板の製造方法の一実施形態例を工程順に説明す
るための要部断面図である。

【図２】（ａ）、（ｂ）は請求項１記載のプラズマ表示
装置用基板の製造方法の一実施形態例を説明するための
図であり、図１（ｄ）に続く工程を説明するための要部
側断面図である。

【図３】（ａ）、（ｂ）は刷版の作製方法を説明するた
めの側断面図であり、（ｃ）は得られた刷版の平面図で
ある。

【図４】（ａ）〜（ｅ）は請求項７記載のプラズマ表示
装置用基板の製造方法の一実施形態例を工程順に説明す
るための要部断面図である。

【図５】（ａ）〜（ｅ）は請求項１３記載のプラズマ表
示装置用基板の製造方法の一実施形態例を工程順に説明
するための要部断面図である。

【符号の説明】

１，２０，３０…刷版、２…第１の溝部、３…第２の溝
部、４，２２，３２…樹脂膜、５，３３…隔壁材料、５
ａ，３３ａ…隔壁、６，８…マルチディスペンサー、７
…放電電極材料、７ａ…第１の放電電極、７ｂ…第２の
放電電極、９…透明下地ガラス層、１０…ガラス基板、
１２，２９…プラズマ基板、２１，３１…溝部、２３…
第１の放電電極パターン、２４…第２の放電電極パター
ン、２５…透明下地ガラス層、２６…アノード電極（第
１の放電電極）、２７…カソード電極（第２の放電電
極）、２８…隔壁、３４…誘電体層、３５…データ電極
パターン、３５ａ…データ電極、３７…背面ガラス基板

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のストライプ状第１の放電電極およ
   び第２の放電電極をそれぞれ略平行に並列配置し、第１
   の放電電極上に隔壁を積層形成してなるプラズマ表示装
   置用の基板を製造する方法であって、 前記第１の放電電極および隔壁の積層形状に対応する複
   数の第１の溝部と、前記第２の放電電極の形状に対応す
   る複数の第２の溝部とを形成してなる刷版を用意し、 この刷版の第１の溝部に、前記隔壁の材料を該第１の溝
   部が満たされない状態に充填及び乾燥し、 次に、前記第１の溝部の隔壁材料上に放電電極の材料を
   該第１の溝部がほぼ満たされるように充填及び乾燥する
   とともに、前記第２の溝部に放電電極の材料を該第２の
   溝部がほぼ満たされるように充填及び乾燥し、 次いで、前記刷版の各溝部の開口側の面上に、前記放電
   電極の材料に連続した状態で透明下地ガラス層を印刷及
   び乾燥し、 その後、前記透明ガラス層にガラス基板を接着するとと
   もに、前記隔壁材料、放電電極材料及び透明下地ガラス
   材料を焼成して隔壁、第１の放電電極、第２の放電電極
   を形成することを特徴とするプラズマ表示装置用基板の
   製造方法。
2. 【請求項２】 前記刷版の第１の溝部、第２の溝部を形
   成した側の面およびこれら溝部の内面に、 高耐熱性で高剥離性の樹脂膜がコーティングされてなる
   ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示装置用基
   板の製造方法。
3. 【請求項３】 前記刷版の第１の溝部、第２の溝部を形
   成した側の面およびこれら溝部の内面に、前記樹脂膜の
   コーティングがなされる前に該内面の密着性向上のため
   の表面改質処理がなされていることを特徴とする請求項
   ２記載のプラズマ表示装置用基板の製造方法。
4. 【請求項４】 前記隔壁材料、放電電極材料及び透明下
   地ガラス材料の焼成処理が仮焼成と本焼成の二段階によ
   ってなされ、仮焼成と本焼成との間に刷版からの離型が
   なされることを特徴とする請求項１記載のプラズマ表示
   装置用基板の製造方法。
5. 【請求項５】 前記第１の溝部および第２の溝部は、そ
   の開口部側が広く底部側が狭くなるようなテーパ形状に
   形成されてなることを特徴とする請求項１記載のプラズ
   マ表示装置用基板の製造方法。
6. 【請求項６】 前記第１の溝部および第２の溝部の底面
   を平滑及び平坦面としたことを特徴とする請求項１記載
   のプラズマ表示装置用基板の製造方法。
7. 【請求項７】 複数のストライプ状第１の放電電極およ
   び第２の放電電極をそれぞれ略平行に並列配置し、第１
   の放電電極上に隔壁を形成してなるプラズマ表示装置用
   の基板を製造する方法であって、 前記隔壁の形状に対応する溝部を形成してなる刷版を用
   意し、 この刷版の溝部に、前記隔壁の材料を該溝部がほぼ満た
   されるように充填及び乾燥し、 次に、前記溝部内の隔壁材料上に放電電極の材料を塗布
   及び乾燥して前記第１の放電電極の形状に対応した第１
   の放電電極パターンを形成するとともに、該溝部間にお
   ける刷版の面上に放電電極の材料を塗布及び乾燥して前
   記第２の放電電極の形状に対応した第２の放電電極パタ
   ーンを形成し、 次いで、前記刷版における前記第１の放電電極パター
   ン、第２の放電電極パターンを形成した側の面に、これ
   ら第１の放電電極パターン、第２の放電電極パターンを
   覆った状態で透明下地ガラス層を印刷及び乾燥し、 その後、前記透明ガラス層にガラス基板を接着するとと
   もに、前記隔壁材料、第１の放電電極パターン、第２の
   放電電極パターン及び透明下地ガラス材料を焼成して隔
   壁、第１の放電電極、第２の放電電極を形成することを
   特徴とするプラズマ表示装置用基板の製造方法。
8. 【請求項８】 前記刷版の溝部を形成した側の面および
   溝部の内面に、 高耐熱性で高剥離性の樹脂膜がコーティングされてなる
   ことを特徴とする請求項７記載のプラズマ表示装置用基
   板の製造方法。
9. 【請求項９】 前記刷版の溝部を形成した側の面および
   これら溝部の内面に、前記樹脂膜のコーティングがなさ
   れる前に該内面の密着性向上のための表面改質処理がな
   されていることを特徴とする請求項８記載のプラズマ表
   示装置用基板の製造方法。
10. 【請求項１０】 前記隔壁材料、放電電極パターン及び
    透明下地ガラス材料の焼成処理が仮焼成と本焼成の二段
    階によってなされ、仮焼成と本焼成との間に刷版からの
    離型がなされることを特徴とする請求項７記載のプラズ
    マ表示装置用基板の製造方法。
11. 【請求項１１】 前記溝部は、その開口部側が広く底部
    側が狭くなるようなテーパ形状に形成されてなることを
    特徴とする請求項７記載のプラズマ表示装置用基板の製
    造方法。
12. 【請求項１２】 前記溝部の底面を平滑及び平坦面とし
    たことを特徴とする請求項７記載のプラズマ表示装置用
    基板の製造方法。
13. 【請求項１３】 複数のストライプ状データ電極を略平
    行に並列配置し、これらデータ電極における隣合うデー
    タ電極間にストライプ状の隔壁を該データ電極に対し略
    平行に形成してなるプラズマ表示装置用の基板を製造す
    る方法であって、 前記隔壁の形状に対応する溝部を形成してなる刷版を用
    意し、 この刷版の溝部に、前記隔壁の材料を該溝部がほぼ満た
    されるように充填及び乾燥し、 次に、前記刷版の溝部の開口側の面上に、前記隔壁の材
    料に連続した状態で誘電体層を印刷及び乾燥し、 次いで、前記誘電体層上の、前記溝部における隣合う溝
    部間に前記データ電極の形状に対応したデータ電極パタ
    ーンを形成し、 次いで、前記誘電体層上に前記データ電極パターンを覆
    った状態で透明下地ガラス層を印刷及び乾燥し、 その後、前記隔壁材料、データ電極パターン及び透明下
    地ガラス材料を焼成して隔壁、データ電極を形成するこ
    とを特徴とするプラズマ表示装置用基板の製造方法。
14. 【請求項１４】 前記刷版の溝部を形成した側の面およ
    び溝部の内面に、 高耐熱性で高剥離性の樹脂膜がコーティングされてなる
    ことを特徴とする請求項１３記載のプラズマ表示装置用
    基板の製造方法。
15. 【請求項１５】 前記刷版の溝部を形成した側の面およ
    びこれら溝部の内面に、前記樹脂膜のコーティングがな
    される前に該内面の密着性向上のための表面改質処理が
    なされていることを特徴とする請求項１４記載のプラズ
    マ表示装置用基板の製造方法。
16. 【請求項１６】 前記隔壁材料、データ電極パターン及
    び透明下地ガラス材料の焼成処理が仮焼成と本焼成の二
    段階によってなされ、仮焼成と本焼成との間に刷版から
    の離型がなされることを特徴とする請求項１３記載のプ
    ラズマ表示装置用基板の製造方法。
17. 【請求項１７】 前記溝部は、その開口部側が広く底部
    側が狭くなるようなテーパ形状に形成されてなることを
    特徴とする請求項１３記載のプラズマ表示装置用基板の
    製造方法。
18. 【請求項１８】 前記溝部の底面を平滑及び平坦面とし
    たことを特徴とする請求項１３記載のプラズマ表示装置
    用基板の製造方法。