JPH11246203A - オゾン発生方法 - Google Patents
オゾン発生方法Info
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- JPH11246203A JPH11246203A JP7318998A JP7318998A JPH11246203A JP H11246203 A JPH11246203 A JP H11246203A JP 7318998 A JP7318998 A JP 7318998A JP 7318998 A JP7318998 A JP 7318998A JP H11246203 A JPH11246203 A JP H11246203A
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- ozone generator
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- electrodes
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 パルスストリーマコロナ放電方式のオゾン発
生装置において、ことさら印加パルス電圧のパルス幅を
短縮化しなくても、ストリーマ放電に後続する過渡グロ
ー放電を抑制して、オゾン生成効率を向上させることの
できるオゾン発生方法を提供する。 【解決手段】 オゾン発生時に、オゾン発生器２の電極
４、６間の原料ガス１４の圧力を絶対圧で２気圧以上に
する。
生装置において、ことさら印加パルス電圧のパルス幅を
短縮化しなくても、ストリーマ放電に後続する過渡グロ
ー放電を抑制して、オゾン生成効率を向上させることの
できるオゾン発生方法を提供する。 【解決手段】 オゾン発生時に、オゾン発生器２の電極
４、６間の原料ガス１４の圧力を絶対圧で２気圧以上に
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液体等の
物質の殺菌、酸化、脱色、脱臭等に用いられる、パルス
ストリーマコロナ放電方式のオゾン発生装置におけるオ
ゾン発生方法に関し、より具体的には、ストリーマ放電
に後続する過渡グロー放電を抑制してオゾン生成効率を
高くする方法に関する。
物質の殺菌、酸化、脱色、脱臭等に用いられる、パルス
ストリーマコロナ放電方式のオゾン発生装置におけるオ
ゾン発生方法に関し、より具体的には、ストリーマ放電
に後続する過渡グロー放電を抑制してオゾン生成効率を
高くする方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】パルスストリーマコロナ放電方式のオゾ
ン発生装置では、著しい不平等電界を発生できる相対向
した電極を備えたオゾン発生器に、酸素を含む原料ガス
を導入し、対向電極間に高速立ち上がりの高電圧のパル
ス電圧を印加することによって、酸素を含む原料ガス中
にストリーマ放電（詳しくは、ストリーマコロナ放電。
以下同じ）を発生させ、このストリーマ放電による放電
プラズマ中で生成される酸素原子ラジカルからオゾンが
生成される。
ン発生装置では、著しい不平等電界を発生できる相対向
した電極を備えたオゾン発生器に、酸素を含む原料ガス
を導入し、対向電極間に高速立ち上がりの高電圧のパル
ス電圧を印加することによって、酸素を含む原料ガス中
にストリーマ放電（詳しくは、ストリーマコロナ放電。
以下同じ）を発生させ、このストリーマ放電による放電
プラズマ中で生成される酸素原子ラジカルからオゾンが
生成される。
【０００３】このようなオゾン発生装置の一例を図１に
示す。このオゾン発生装置は、円筒電極４の中心軸上に
ワイヤ電極６を配置した同軸円筒放電管状のオゾン発生
器２を有しており、このオゾン発生器２の一端側から、
酸素を含む原料ガス１４を原料ガス源１２から供給する
と共に、内外の電極４、６間にパルス電源１８からパル
ス電圧ＶP を印加する構成をしている。これによって、
ワイヤ電極６から円筒電極４に向けてストリーマ放電１
０が進展して放電プラズマが生成され、それによってオ
ゾンが生成され、オゾン発生器２の他端側からオゾン含
有ガス１６が取り出される。
示す。このオゾン発生装置は、円筒電極４の中心軸上に
ワイヤ電極６を配置した同軸円筒放電管状のオゾン発生
器２を有しており、このオゾン発生器２の一端側から、
酸素を含む原料ガス１４を原料ガス源１２から供給する
と共に、内外の電極４、６間にパルス電源１８からパル
ス電圧ＶP を印加する構成をしている。これによって、
ワイヤ電極６から円筒電極４に向けてストリーマ放電１
０が進展して放電プラズマが生成され、それによってオ
ゾンが生成され、オゾン発生器２の他端側からオゾン含
有ガス１６が取り出される。
【０００４】なお、これと同様の原理に基づくオゾン発
生装置の一例が特公平３−６４４４３号公報に開示され
ている。
生装置の一例が特公平３−６４４４３号公報に開示され
ている。
【０００５】この種のオゾン発生装置においては、一般
的に、放電プラズマ中の換算電界強度Ｅ／Ｎ（Ｅは電
界、Ｎはガス粒子密度）が高いほど、オゾン生成に好適
となる。高速立ち上がりのパルス電圧ＶP を印加する
と、電極４、６間に強力なストリーマ放電が形成され
る。ストリーマ放電では空間電荷密度が著しく偏在した
形態となり、その空間電荷による空間電界によって著し
く強い換算電界が局所的に形成され、これが電極４、６
間を進展する。このように著しく強い換算電界強度を持
ったストリーマ放電を利用することによって、オゾンを
高効率に生成することができるというのが、パルススト
リーマコロナ放電方式のオゾン発生装置の特徴である。
的に、放電プラズマ中の換算電界強度Ｅ／Ｎ（Ｅは電
界、Ｎはガス粒子密度）が高いほど、オゾン生成に好適
となる。高速立ち上がりのパルス電圧ＶP を印加する
と、電極４、６間に強力なストリーマ放電が形成され
る。ストリーマ放電では空間電荷密度が著しく偏在した
形態となり、その空間電荷による空間電界によって著し
く強い換算電界が局所的に形成され、これが電極４、６
間を進展する。このように著しく強い換算電界強度を持
ったストリーマ放電を利用することによって、オゾンを
高効率に生成することができるというのが、パルススト
リーマコロナ放電方式のオゾン発生装置の特徴である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ストリーマ放電は急峻
な電圧変化の部分に発生するので、パルスストリーマコ
ロナ放電方式のオゾン発生装置では、一般的に、ストリ
ーマ放電は印加パルス電圧ＶP の立上り部分にのみ形成
される。その持続時間は高々数十ｎｓである。印加パル
ス電圧ＶP のパルス幅がストリーマ放電の持続時間より
も長いと、ストリーマ放電に後続して過渡グロー放電が
形成される。対向電極４、６間に印加されるパルス電圧
ＶP によって電極４、６間に生じた著しい不平等電界
は、先行ストリーマ放電による空間電荷の再配置によっ
て緩和されるため、過渡グロー放電プラズマにおける換
算電界強度Ｅ／Ｎは低い。このため、過渡グロー放電に
おけるオゾン生成効率はストリーマ放電における場合よ
りも低く、過渡グロー放電が十分に抑制できないとオゾ
ン生成効率が低下する。
な電圧変化の部分に発生するので、パルスストリーマコ
ロナ放電方式のオゾン発生装置では、一般的に、ストリ
ーマ放電は印加パルス電圧ＶP の立上り部分にのみ形成
される。その持続時間は高々数十ｎｓである。印加パル
ス電圧ＶP のパルス幅がストリーマ放電の持続時間より
も長いと、ストリーマ放電に後続して過渡グロー放電が
形成される。対向電極４、６間に印加されるパルス電圧
ＶP によって電極４、６間に生じた著しい不平等電界
は、先行ストリーマ放電による空間電荷の再配置によっ
て緩和されるため、過渡グロー放電プラズマにおける換
算電界強度Ｅ／Ｎは低い。このため、過渡グロー放電に
おけるオゾン生成効率はストリーマ放電における場合よ
りも低く、過渡グロー放電が十分に抑制できないとオゾ
ン生成効率が低下する。
【０００７】従来のオゾン発生装置においてオゾン発生
器２の電極４、６間に導入される原料ガス１４のガス圧
（絶対圧。以下同じ）はほぼ１気圧（大気圧）である
が、この圧力条件下で観測される放電電流ＩP のパルス
幅は、短くても約１５０ｎｓ程度もあり、上記のストリ
ーマ持続時間（数十ｎｓ）よりも遙かに長い。つまり従
来は、過渡グロー放電による電力投入が抑制できておら
ず、このためオゾン生成効率が良くなかった。
器２の電極４、６間に導入される原料ガス１４のガス圧
（絶対圧。以下同じ）はほぼ１気圧（大気圧）である
が、この圧力条件下で観測される放電電流ＩP のパルス
幅は、短くても約１５０ｎｓ程度もあり、上記のストリ
ーマ持続時間（数十ｎｓ）よりも遙かに長い。つまり従
来は、過渡グロー放電による電力投入が抑制できておら
ず、このためオゾン生成効率が良くなかった。
【０００８】印加パルス電圧ＶP のパルス幅をストリー
マ放電の持続時間程度以下に抑制できれば過渡グロー放
電は抑制できるけれども、実用的な装置において印加パ
ルス電圧ＶP のパルス幅を数十ｎｓ程度以下にすること
は困難である。これは、オゾン発生器２は等価回路的に
はＣＲの並列回路と見ることができ（Ｃは電極４、６間
の静電容量、Ｒは放電による抵抗）、しかもこのＣおよ
びＲがかなり大きくて時定数がかなり大きく、このよう
なＣＲ並列回路がパルス電源１８に並列に接続された形
になっているので、パルス電源１８からいくら短パルス
のパルス電圧ＶP を印加しようとしても、このＣＲ並列
回路の時定数で決まる時間以下にパルス幅を短くするこ
とは困難だからである。また、仮に、電極４、６間に抵
抗器を並列接続して回路全体の合成抵抗値を無理に小さ
くしようとしても、上記抵抗器で電力損失が発生するの
で、オゾン生成効率を上げることはできない。
マ放電の持続時間程度以下に抑制できれば過渡グロー放
電は抑制できるけれども、実用的な装置において印加パ
ルス電圧ＶP のパルス幅を数十ｎｓ程度以下にすること
は困難である。これは、オゾン発生器２は等価回路的に
はＣＲの並列回路と見ることができ（Ｃは電極４、６間
の静電容量、Ｒは放電による抵抗）、しかもこのＣおよ
びＲがかなり大きくて時定数がかなり大きく、このよう
なＣＲ並列回路がパルス電源１８に並列に接続された形
になっているので、パルス電源１８からいくら短パルス
のパルス電圧ＶP を印加しようとしても、このＣＲ並列
回路の時定数で決まる時間以下にパルス幅を短くするこ
とは困難だからである。また、仮に、電極４、６間に抵
抗器を並列接続して回路全体の合成抵抗値を無理に小さ
くしようとしても、上記抵抗器で電力損失が発生するの
で、オゾン生成効率を上げることはできない。
【０００９】そこでこの発明は、ことさら印加パルス電
圧のパルス幅を短縮化しなくても、ストリーマ放電に後
続する過渡グロー放電を抑制して、オゾン生成効率を向
上させることのできるオゾン発生方法を提供することを
主たる目的とする。
圧のパルス幅を短縮化しなくても、ストリーマ放電に後
続する過渡グロー放電を抑制して、オゾン生成効率を向
上させることのできるオゾン発生方法を提供することを
主たる目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明のオゾン発生方
法は、オゾン発生時に、前記オゾン発生器の電極間の原
料ガス圧を絶対圧で２気圧以上にすることを特徴として
いる。
法は、オゾン発生時に、前記オゾン発生器の電極間の原
料ガス圧を絶対圧で２気圧以上にすることを特徴として
いる。
【００１１】発明者達は、オゾン発生器の電極間の原料
ガス圧を高圧力化する、具体的には２気圧以上にするこ
とによって、ことさら印加パルス電圧のパルス幅を短縮
化しなくても、ストリーマ放電に後続する過渡グロー放
電を抑制できることを実験的に見い出した。この方法に
よって、オゾン生成効率を向上させることができる。
ガス圧を高圧力化する、具体的には２気圧以上にするこ
とによって、ことさら印加パルス電圧のパルス幅を短縮
化しなくても、ストリーマ放電に後続する過渡グロー放
電を抑制できることを実験的に見い出した。この方法に
よって、オゾン生成効率を向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】図１に示した構成のオゾン発生装
置において、直径（内径）４０ｍｍ、長さ１ｍの円筒電
極４と直径０．４ｍｍのワイヤ電極６とから成る同軸円
筒放電管状のオゾン発生器２を用いて、このオゾン発生
器２にパルス電源１８から図２Ａに示すような約１５０
ｎｓのパルス幅のパルス電圧ＶP を印加した。パルス電
圧ＶPの極性は正負どちらでも良いが、通常はワイヤ電
極６が正となる正パルス電圧である。この場合のオゾン
発生器２内の、即ち電極４、６間の原料ガス１４のガス
圧を１．２気圧から２．５気圧まで変化させたときの放
電電流ＩP の観測波形を図２Ｂに示す。ストリーマ放電
域は、前述したように高々数十ｎｓであり（図２Ｂでは
約５０ｎｓで図示）、それ以降が過渡グロー放電域であ
る。
置において、直径（内径）４０ｍｍ、長さ１ｍの円筒電
極４と直径０．４ｍｍのワイヤ電極６とから成る同軸円
筒放電管状のオゾン発生器２を用いて、このオゾン発生
器２にパルス電源１８から図２Ａに示すような約１５０
ｎｓのパルス幅のパルス電圧ＶP を印加した。パルス電
圧ＶPの極性は正負どちらでも良いが、通常はワイヤ電
極６が正となる正パルス電圧である。この場合のオゾン
発生器２内の、即ち電極４、６間の原料ガス１４のガス
圧を１．２気圧から２．５気圧まで変化させたときの放
電電流ＩP の観測波形を図２Ｂに示す。ストリーマ放電
域は、前述したように高々数十ｎｓであり（図２Ｂでは
約５０ｎｓで図示）、それ以降が過渡グロー放電域であ
る。
【００１３】この図２Ｂから分かるように、パルス電圧
ＶP の立ち上がり部分に生じるストリーマ放電による電
流成分は原料ガス圧を変えても殆ど変わらないけれど
も、ストリーマ放電に後続する過渡グロー放電による電
流成分は、原料ガス圧の上昇に伴い抑制されている。特
に、原料ガス圧を２気圧以上にすることによって、過渡
グロー放電電流成分が効果的に抑制されることが分か
る。
ＶP の立ち上がり部分に生じるストリーマ放電による電
流成分は原料ガス圧を変えても殆ど変わらないけれど
も、ストリーマ放電に後続する過渡グロー放電による電
流成分は、原料ガス圧の上昇に伴い抑制されている。特
に、原料ガス圧を２気圧以上にすることによって、過渡
グロー放電電流成分が効果的に抑制されることが分か
る。
【００１４】電極４、６間の原料ガス圧を上記のように
高めた場合のオゾン生成効率の実測例を図３に示す。使
用した原料ガスは、露点−６０度以下の乾燥空気であ
る。使用したオゾン発生器２および印加パルス電圧ＶP
のパルス幅は、図２の例の場合と同じである。同じ原料
ガス圧で複数のデータ点が存在するのは、原料ガス流量
等のパラメータを変えて測定したからである。
高めた場合のオゾン生成効率の実測例を図３に示す。使
用した原料ガスは、露点−６０度以下の乾燥空気であ
る。使用したオゾン発生器２および印加パルス電圧ＶP
のパルス幅は、図２の例の場合と同じである。同じ原料
ガス圧で複数のデータ点が存在するのは、原料ガス流量
等のパラメータを変えて測定したからである。
【００１５】この図３から分かるように、原料ガス圧が
１．２気圧〜１．７気圧の場合は、オゾン発生器２から
出力されるオゾン含有ガス１６中のオゾン濃度を高める
ためには多くの投入電力を必要とするのに対して、原料
ガス圧が２気圧以上の場合は、投入電力を高めなくても
オゾン含有ガス１６中のオゾン濃度を高めることができ
る。即ち、原料ガス圧を２気圧以上にすることによっ
て、過渡グロー放電が抑制され、オゾン生成効率が向上
していることが分かる。その結果、従来よりも安価にオ
ゾンを製造することができる。
１．２気圧〜１．７気圧の場合は、オゾン発生器２から
出力されるオゾン含有ガス１６中のオゾン濃度を高める
ためには多くの投入電力を必要とするのに対して、原料
ガス圧が２気圧以上の場合は、投入電力を高めなくても
オゾン含有ガス１６中のオゾン濃度を高めることができ
る。即ち、原料ガス圧を２気圧以上にすることによっ
て、過渡グロー放電が抑制され、オゾン生成効率が向上
していることが分かる。その結果、従来よりも安価にオ
ゾンを製造することができる。
【００１６】なお、図２Ｂから、電極４、６間の原料ガ
ス圧を高くするほど、ストリーマ放電に後続する過渡グ
ロー放電をより効果的に抑制できることが分かるけれど
も、３気圧以上のガスを扱う場合は、高圧ガス取締法に
よる認可が必要になるので、この認可を不要にする観点
からは、電極４、６間の原料ガス圧は２気圧以上３気圧
未満にするのが好ましい。
ス圧を高くするほど、ストリーマ放電に後続する過渡グ
ロー放電をより効果的に抑制できることが分かるけれど
も、３気圧以上のガスを扱う場合は、高圧ガス取締法に
よる認可が必要になるので、この認可を不要にする観点
からは、電極４、６間の原料ガス圧は２気圧以上３気圧
未満にするのが好ましい。
【００１７】また、通常の原料ガス源１２の吐出圧力は
最高でも７気圧であるので、特殊な原料ガス源１２を用
いなくて済む観点からは、電極４、６間の原料ガス圧は
２気圧以上７気圧以下にするのが好ましい。
最高でも７気圧であるので、特殊な原料ガス源１２を用
いなくて済む観点からは、電極４、６間の原料ガス圧は
２気圧以上７気圧以下にするのが好ましい。
【００１８】オゾン発生器２は、上記例のような同軸円
筒放電管状のもの以外でも良い。例えば、角筒電極の
中心軸にワイヤ電極を配置した構造のもの、２枚の平
行平板電極の間に１本以上のワイヤ電極を配置した構造
のもの、等でも良く、これらの場合も上記とほぼ同様の
結果が得られる。
筒放電管状のもの以外でも良い。例えば、角筒電極の
中心軸にワイヤ電極を配置した構造のもの、２枚の平
行平板電極の間に１本以上のワイヤ電極を配置した構造
のもの、等でも良く、これらの場合も上記とほぼ同様の
結果が得られる。
【００１９】また、オゾン発生器２は、図４に示す例の
ように、円筒電極４の中心軸にワイヤ電極６を配置した
同軸円筒放電管を、容器８内に複数本並設した構造のも
のでも良い。そのようにすれば、一度に大量の原料ガス
１４の処理が可能であり、オゾン製造能力が向上する。
この場合の各円筒電極４は支持板９によって容器８ひい
てはパルス電源１８に電気的に接続されている。各ワイ
ヤ電極６は、図示例のように互いに並列接続しても良い
し、直列接続しても良い。
ように、円筒電極４の中心軸にワイヤ電極６を配置した
同軸円筒放電管を、容器８内に複数本並設した構造のも
のでも良い。そのようにすれば、一度に大量の原料ガス
１４の処理が可能であり、オゾン製造能力が向上する。
この場合の各円筒電極４は支持板９によって容器８ひい
てはパルス電源１８に電気的に接続されている。各ワイ
ヤ電極６は、図示例のように互いに並列接続しても良い
し、直列接続しても良い。
【００２０】パルスストリーマコロナ放電方式のオゾン
発生装置では、通常は、オゾン生成効率の観点から、原
料ガス１４として低露点の乾燥空気または酸素ガスが使
用される。低露点の乾燥空気や酸素ガスの供給源は、産
業用途としては膜式の精製装置や液化タンクが使用され
るので、その供給源からの原料ガス１４の吐出圧力は３
気圧以上ある。従って、オゾン含有ガス１６を供給する
負荷２２の実効的圧力損失（＝負荷の圧力損失＋負荷の
背圧）が２気圧未満の場合は、図５に示す例のようにオ
ゾン発生器２のガス出口側に背圧弁２０を設ければ良
い。そのようにすればオゾン発生器２での原料ガス圧を
簡単に２気圧以上に調整することができる。一般的用途
では、負荷の実効的圧力損失が２気圧以上となることは
少ないが、２気圧以上となる場合には、原料ガス源１２
の吐出圧力を高めれば良い。また、オゾン発生器２での
圧力損失は通常０．１気圧程度以下なので、この場合の
原料ガス源１２は、負荷の実効的圧力損失よりも０．１
気圧以上高い吐出圧力にすれば良い。
発生装置では、通常は、オゾン生成効率の観点から、原
料ガス１４として低露点の乾燥空気または酸素ガスが使
用される。低露点の乾燥空気や酸素ガスの供給源は、産
業用途としては膜式の精製装置や液化タンクが使用され
るので、その供給源からの原料ガス１４の吐出圧力は３
気圧以上ある。従って、オゾン含有ガス１６を供給する
負荷２２の実効的圧力損失（＝負荷の圧力損失＋負荷の
背圧）が２気圧未満の場合は、図５に示す例のようにオ
ゾン発生器２のガス出口側に背圧弁２０を設ければ良
い。そのようにすればオゾン発生器２での原料ガス圧を
簡単に２気圧以上に調整することができる。一般的用途
では、負荷の実効的圧力損失が２気圧以上となることは
少ないが、２気圧以上となる場合には、原料ガス源１２
の吐出圧力を高めれば良い。また、オゾン発生器２での
圧力損失は通常０．１気圧程度以下なので、この場合の
原料ガス源１２は、負荷の実効的圧力損失よりも０．１
気圧以上高い吐出圧力にすれば良い。
【００２１】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、オゾン
発生時にオゾン発生器の電極間の原料ガス圧を２気圧以
上にするので、ことさら印加パルス電圧のパルス幅を短
縮化しなくても、ストリーマ放電に後続する過渡グロー
放電を抑制して、オゾン生成効率を向上させることがで
きる。その結果、従来よりも安価にオゾンを製造するこ
とができる。
発生時にオゾン発生器の電極間の原料ガス圧を２気圧以
上にするので、ことさら印加パルス電圧のパルス幅を短
縮化しなくても、ストリーマ放電に後続する過渡グロー
放電を抑制して、オゾン生成効率を向上させることがで
きる。その結果、従来よりも安価にオゾンを製造するこ
とができる。
【図１】オゾン発生装置の一例を示す概略図である。
【図２】パルス電圧波形（Ａ）および原料ガス圧を変え
た場合の放電電流波形（Ｂ）の観測例を示す図である。
た場合の放電電流波形（Ｂ）の観測例を示す図である。
【図３】原料ガス圧を変えた場合のオゾン生成効率の実
測例を示す図である。
測例を示す図である。
【図４】オゾン発生器の他の例を示す断面図である。
【図５】オゾン発生装置に負荷を接続した例を示す図で
ある。
ある。
２ オゾン発生器 ４ 円筒電極 ６ ワイヤ電極 １２ 原料ガス源 １４ 原料ガス １６ オゾン含有ガス １８ パルス電源
Claims (1)
- 【請求項１】 相対向する電極を有していてストリーマ
放電によってオゾンを発生するオゾン発生器と、このオ
ゾン発生器に酸素を含む原料ガスを供給する原料ガス源
と、前記オゾン発生器の電極間にパルス電圧を印加する
パルス電源とを備えるオゾン発生装置において、オゾン
発生時に、前記オゾン発生器の電極間の原料ガス圧を絶
対圧で２気圧以上にすることを特徴とするオゾン発生方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07318998A JP3982044B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | オゾン発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07318998A JP3982044B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | オゾン発生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11246203A true JPH11246203A (ja) | 1999-09-14 |
| JP3982044B2 JP3982044B2 (ja) | 2007-09-26 |
Family
ID=13510957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07318998A Expired - Lifetime JP3982044B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | オゾン発生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3982044B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5745858B2 (ja) * | 2008-12-27 | 2015-07-08 | 隆男 浪平 | パルス放電発生方法 |
-
1998
- 1998-03-06 JP JP07318998A patent/JP3982044B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5745858B2 (ja) * | 2008-12-27 | 2015-07-08 | 隆男 浪平 | パルス放電発生方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3982044B2 (ja) | 2007-09-26 |
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