JPH11238751A - 余剰吸着半田ボールの除去方法 - Google Patents
余剰吸着半田ボールの除去方法Info
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- JPH11238751A JPH11238751A JP5266498A JP5266498A JPH11238751A JP H11238751 A JPH11238751 A JP H11238751A JP 5266498 A JP5266498 A JP 5266498A JP 5266498 A JP5266498 A JP 5266498A JP H11238751 A JPH11238751 A JP H11238751A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半田ボール用吸着治具に余剰吸着された半田
ボールを確実かつ容易に除去することができ、しかもこ
れを簡易な装置を用いて実現することができる余剰吸着
半田ボールの除去方法を提供すること。 【解決手段】 半田ボール用吸着冶具１０の吸着面１０
ａに余剰吸着された半田ボールｂの除去方法であって、
余剰吸着された半田ボールｂを静電気の力で吸着可能な
静電吸着装置２０を用いて除去する方法とした。その場
合、吸着冶具１０の吸着面１０ａを下側に位置させた状
態で、その吸着面に余剰吸着された半田ボールｂに静電
吸着装置２０を近づけて吸着することにより除去する。
静電吸着装置２０で余剰半田ボールを吸着する際に、吸
着冶具による半田ボールの吸着力よりも弱い力で吸着す
るのが好適である。
ボールを確実かつ容易に除去することができ、しかもこ
れを簡易な装置を用いて実現することができる余剰吸着
半田ボールの除去方法を提供すること。 【解決手段】 半田ボール用吸着冶具１０の吸着面１０
ａに余剰吸着された半田ボールｂの除去方法であって、
余剰吸着された半田ボールｂを静電気の力で吸着可能な
静電吸着装置２０を用いて除去する方法とした。その場
合、吸着冶具１０の吸着面１０ａを下側に位置させた状
態で、その吸着面に余剰吸着された半田ボールｂに静電
吸着装置２０を近づけて吸着することにより除去する。
静電吸着装置２０で余剰半田ボールを吸着する際に、吸
着冶具による半田ボールの吸着力よりも弱い力で吸着す
るのが好適である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、接続電極となる半
田バンプを形成する際に用いる半田ボール用吸着板への
余剰吸着半田ボールの除去方法に関する。
田バンプを形成する際に用いる半田ボール用吸着板への
余剰吸着半田ボールの除去方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップや配線用リード等に形成さ
れる接続電極として、半田バンプが広く知られている。
れる接続電極として、半田バンプが広く知られている。
【０００３】この半田バンプを形成する場合、例えば図
３に示すように、半田フラッグス３を被着した回路基板
１上の複数箇所（図では５箇所）の所定部２に、それぞ
れ半田ボール４を吸着（搭載）し、その半田ボール４を
溶融させて半田バンプを形成する。
３に示すように、半田フラッグス３を被着した回路基板
１上の複数箇所（図では５箇所）の所定部２に、それぞ
れ半田ボール４を吸着（搭載）し、その半田ボール４を
溶融させて半田バンプを形成する。
【０００４】この工程では、各所定部２に対向する透孔
６を開けた半田ボール用搭載板５と、所定部２に対向し
半田ボール４よりも小径の吸気孔８を形成した半田ボー
ルキャリア（吸着治具）７とを利用する。
６を開けた半田ボール用搭載板５と、所定部２に対向し
半田ボール４よりも小径の吸気孔８を形成した半田ボー
ルキャリア（吸着治具）７とを利用する。
【０００５】図示しない真空装置に接続し、その装置の
作動によって空洞９内の空気が吸引される吸着治具７
は、回路基板１の設置位置と多数の半田ボール４を収容
した半田ボール容器（図示せず）との間を移動し、回路
基板１に搭載した搭載板５の各透孔６に、半田ボール４
を挿入させる。
作動によって空洞９内の空気が吸引される吸着治具７
は、回路基板１の設置位置と多数の半田ボール４を収容
した半田ボール容器（図示せず）との間を移動し、回路
基板１に搭載した搭載板５の各透孔６に、半田ボール４
を挿入させる。
【０００６】そこで、回路基板１と搭載板５とを重ねた
状態で一緒に加熱し、搭載板５の各透孔６に挿入された
半田ボール４を溶融させると、回路基板１の所定部２に
半田バンプが形成される。
状態で一緒に加熱し、搭載板５の各透孔６に挿入された
半田ボール４を溶融させると、回路基板１の所定部２に
半田バンプが形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半田ボール
用吸着冶具７の吸着面７ａ側に、図示のように半田ボー
ル４を吸着させる場合、多数の半田ボール４を収容した
半田ボール容器内に吸着面７ａ部分を入れてエアーの吸
引力で吸着させる。その際、所定数の半田ボール４が吸
気孔８の下側に正確かつ円滑に吸着されるように、超音
波にて半田ボールを振動させつつ吸着させる方法が採ら
れている。
用吸着冶具７の吸着面７ａ側に、図示のように半田ボー
ル４を吸着させる場合、多数の半田ボール４を収容した
半田ボール容器内に吸着面７ａ部分を入れてエアーの吸
引力で吸着させる。その際、所定数の半田ボール４が吸
気孔８の下側に正確かつ円滑に吸着されるように、超音
波にて半田ボールを振動させつつ吸着させる方法が採ら
れている。
【０００８】ところが、この超音波を使用する方法には
弱点がある。即ち、超音波により振動する半田ボールど
うしの摩擦によって静電気が発生し、半田ボールどうし
が引き合い、余剰吸着ボールｂが発生してしまう問題が
ある。
弱点がある。即ち、超音波により振動する半田ボールど
うしの摩擦によって静電気が発生し、半田ボールどうし
が引き合い、余剰吸着ボールｂが発生してしまう問題が
ある。
【０００９】この点の対策として、その余剰吸着ボール
ｂに超音波振動を与えて振り落とす方法もあるが、あま
り効果的ではない。なぜなら、元々、半田ボール４はエ
アーにより冶具側に吸着されているため、余剰ボールｂ
の除去はかなり弱めの力で振り落とさなければならない
のに対し、半田ボールに超音波振動を与えるほど静電気
が発生するばかりか、正常に吸着されている半田ボール
まで振り落とさないように加える超音波の強さ、即ち振
動の強さをコントロールするのが難しいからである。
ｂに超音波振動を与えて振り落とす方法もあるが、あま
り効果的ではない。なぜなら、元々、半田ボール４はエ
アーにより冶具側に吸着されているため、余剰ボールｂ
の除去はかなり弱めの力で振り落とさなければならない
のに対し、半田ボールに超音波振動を与えるほど静電気
が発生するばかりか、正常に吸着されている半田ボール
まで振り落とさないように加える超音波の強さ、即ち振
動の強さをコントロールするのが難しいからである。
【００１０】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、吸着治具に余剰吸着された半田ボールを確
実かつ容易に除去することができ、しかもこれを簡易な
装置を用いて実現することができる余剰吸着半田ボール
の除去方法を提供することを課題とする。
れたもので、吸着治具に余剰吸着された半田ボールを確
実かつ容易に除去することができ、しかもこれを簡易な
装置を用いて実現することができる余剰吸着半田ボール
の除去方法を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明では、半田ボール用吸着冶具の吸着面に余剰
吸着された半田ボールの除去方法であって、余剰吸着さ
れた半田ボールを静電気の力で吸着可能な静電吸着装置
を用いて除去する方法とした。その場合、吸着冶具の吸
着面を下側に位置させた状態で、その吸着面に余剰吸着
された半田ボールに静電吸着装置を近づけて吸着するこ
とにより除去することもできる。また、静電吸着装置で
余剰半田ボールを吸着する際に、吸着冶具による半田ボ
ールの吸着力よりも弱い力で吸着するのが好適である。
また、静電吸着装置で余剰半田ボールを吸着する際に、
その静電吸着装置を＋帯電状態と−帯電状態でそれぞれ
行うこともできる。また、吸着冶具は、複数の半田ボー
ルをエアーの吸引力を利用して吸着する機能を有するも
のが好適である。また、静電吸着装置は、平坦な静電気
帯電面を有するように構成するのが好適である。その場
合、静電気帯電面を、半田ボール吸着冶具の吸着面とほ
ぼ同じ面積にすることもできる。
め、本発明では、半田ボール用吸着冶具の吸着面に余剰
吸着された半田ボールの除去方法であって、余剰吸着さ
れた半田ボールを静電気の力で吸着可能な静電吸着装置
を用いて除去する方法とした。その場合、吸着冶具の吸
着面を下側に位置させた状態で、その吸着面に余剰吸着
された半田ボールに静電吸着装置を近づけて吸着するこ
とにより除去することもできる。また、静電吸着装置で
余剰半田ボールを吸着する際に、吸着冶具による半田ボ
ールの吸着力よりも弱い力で吸着するのが好適である。
また、静電吸着装置で余剰半田ボールを吸着する際に、
その静電吸着装置を＋帯電状態と−帯電状態でそれぞれ
行うこともできる。また、吸着冶具は、複数の半田ボー
ルをエアーの吸引力を利用して吸着する機能を有するも
のが好適である。また、静電吸着装置は、平坦な静電気
帯電面を有するように構成するのが好適である。その場
合、静電気帯電面を、半田ボール吸着冶具の吸着面とほ
ぼ同じ面積にすることもできる。
【００１２】本発明によれば、余剰半田ボールを静電気
の力により吸着することで、吸着治具に吸着された半田
ボール全体に、必要以上の余分な力（振動等）を加える
ことなく余剰半田ボールの除去が可能になる。これによ
り、確実かつリアルタイムに余剰半田ボールの除去する
ことができる。
の力により吸着することで、吸着治具に吸着された半田
ボール全体に、必要以上の余分な力（振動等）を加える
ことなく余剰半田ボールの除去が可能になる。これによ
り、確実かつリアルタイムに余剰半田ボールの除去する
ことができる。
【００１３】さらに、静電吸着装置は極めて簡単な原理
及び構成で済むので、安価に得られ、コスト低減を図る
ことができる。
及び構成で済むので、安価に得られ、コスト低減を図る
ことができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の
実施の形態に係る余剰半田ボールの除去方法を示す概略
説明図であり、図２は余剰半田ボールが除去された状態
を示す概略説明図である。
について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の
実施の形態に係る余剰半田ボールの除去方法を示す概略
説明図であり、図２は余剰半田ボールが除去された状態
を示す概略説明図である。
【００１５】図１において、１０は半田ボール用吸着治
具であり、その吸着治具１０の吸着面１０ａに多数の半
田ボール１１がエアーの吸引力によって吸着されてい
る。これらの半田ボール１１は、図示例では複数ある吸
気孔１２のそれぞれの下部に一個づつ吸着されている。
即ち、正常に吸着されている。
具であり、その吸着治具１０の吸着面１０ａに多数の半
田ボール１１がエアーの吸引力によって吸着されてい
る。これらの半田ボール１１は、図示例では複数ある吸
気孔１２のそれぞれの下部に一個づつ吸着されている。
即ち、正常に吸着されている。
【００１６】それに対し、余剰半田ボールｂは、静電気
の存在による吸着力あるいは湿度等による付着力によっ
て、正常に吸着されている半田ボール１１に付着してぶ
ら下がるような形態で吸着されている。
の存在による吸着力あるいは湿度等による付着力によっ
て、正常に吸着されている半田ボール１１に付着してぶ
ら下がるような形態で吸着されている。
【００１７】そこで、本実施の形態では、この余剰半田
ボールｂに対し、静電吸着装置２０を近づけてこれを静
電気の＋、−が吸引し合う力を利用して吸着（図２参
照）することにより除去する方法を採用している。
ボールｂに対し、静電吸着装置２０を近づけてこれを静
電気の＋、−が吸引し合う力を利用して吸着（図２参
照）することにより除去する方法を採用している。
【００１８】静電吸着装置２０は、吸着治具１０の吸着
面１０ａ部分とほぼ同じ面積の平坦な静電気帯電面２１
を有し、例えば比較的高い電圧をかけてその静電気帯電
面２１を＋帯電状態と、−帯電状態に交互に切り替える
ことができる機能を有する。
面１０ａ部分とほぼ同じ面積の平坦な静電気帯電面２１
を有し、例えば比較的高い電圧をかけてその静電気帯電
面２１を＋帯電状態と、−帯電状態に交互に切り替える
ことができる機能を有する。
【００１９】これにより、静電気帯電面２１に余剰半田
ボールｂを吸着させる際に、＋帯電状態で吸着する操作
と、−帯電状態で吸着する操作とを行うことで、余剰半
田ボールｂが＋−のいずれの帯電状態に拘わらずこれを
吸着することができる。
ボールｂを吸着させる際に、＋帯電状態で吸着する操作
と、−帯電状態で吸着する操作とを行うことで、余剰半
田ボールｂが＋−のいずれの帯電状態に拘わらずこれを
吸着することができる。
【００２０】この静電吸着装置２０で余剰半田ボールｂ
を吸着する力は、ここでは半田ボール１１を吸着治具１
０がエアーにて吸着する力よりも弱く設定してある。こ
うすることで、正常に吸着されている半田ボール１１ま
で吸着することが無いからである。この場合の設定は、
余剰半田ボールｂと静電気帯電面２１とが接した状態で
の設定である。
を吸着する力は、ここでは半田ボール１１を吸着治具１
０がエアーにて吸着する力よりも弱く設定してある。こ
うすることで、正常に吸着されている半田ボール１１ま
で吸着することが無いからである。この場合の設定は、
余剰半田ボールｂと静電気帯電面２１とが接した状態で
の設定である。
【００２１】したがって、余剰半田ボールｂを吸着する
際に両者間に距離を持たせて行う場合には、その距離に
対応して静電吸着装置２０の吸着力を設定することにな
る。静電気の＋と−が引き合う力は距離の２乗に反比例
するので、この点を考慮すると、距離が大きい場合に
は、静電吸着装置２０で余剰半田ボールｂを吸着する力
を、半田ボール１１を吸着治具１０がエアーにて吸着す
る力よりも強く設定する場合も考えられる。
際に両者間に距離を持たせて行う場合には、その距離に
対応して静電吸着装置２０の吸着力を設定することにな
る。静電気の＋と−が引き合う力は距離の２乗に反比例
するので、この点を考慮すると、距離が大きい場合に
は、静電吸着装置２０で余剰半田ボールｂを吸着する力
を、半田ボール１１を吸着治具１０がエアーにて吸着す
る力よりも強く設定する場合も考えられる。
【００２２】いずれにしても、半田ボール１１がエアー
にて吸着される力よりも、その半田ボール１１に付着し
ている余剰半田ボールｂを引き離す力は弱く設定され
る。この点については特に問題はない。なぜなら、半田
ボールどうしが吸着し合う力に対して、半田ボールをエ
アーで吸着する力は充分に大きいからである。
にて吸着される力よりも、その半田ボール１１に付着し
ている余剰半田ボールｂを引き離す力は弱く設定され
る。この点については特に問題はない。なぜなら、半田
ボールどうしが吸着し合う力に対して、半田ボールをエ
アーで吸着する力は充分に大きいからである。
【００２３】図示例においては、説明の便宜上、静電吸
着装置２０を余剰半田ボールｂに近づける例を示した
が、どちらを近づけても構わない。通常、吸着治具１０
は半田ボール容器と回路基板設置位置との間を往復する
ので、その途中に静電吸着装置２０を配置しておき、そ
こへ吸着治具１０を近づける方法としてもよい。
着装置２０を余剰半田ボールｂに近づける例を示した
が、どちらを近づけても構わない。通常、吸着治具１０
は半田ボール容器と回路基板設置位置との間を往復する
ので、その途中に静電吸着装置２０を配置しておき、そ
こへ吸着治具１０を近づける方法としてもよい。
【００２４】この近づけ方としては、吸着治具１０の吸
着面１０ａ部分が図示のように下側になるようにして近
づけるのが好適である。その場合、吸着面１０ａと静電
気帯電面２１とを上下で平行状態体として真っ直ぐ近づ
ける方法、あるいは平行状態ですれ違うように行き会う
形態で近づける方法などがある。
着面１０ａ部分が図示のように下側になるようにして近
づけるのが好適である。その場合、吸着面１０ａと静電
気帯電面２１とを上下で平行状態体として真っ直ぐ近づ
ける方法、あるいは平行状態ですれ違うように行き会う
形態で近づける方法などがある。
【００２５】このように、余剰半田ボールｂを静電吸着
装置２０で吸着することにより、吸着治具１０に正常に
吸着されている半田ボール１１に、超音波振動などの余
分な外的力を加えることなく、余剰半田ボールｂのみを
除去することができる。その際に、半田ボール１１と余
剰半田ボールｂとが湿度等の付着力で吸着されている場
合でも、これを容易に引き離して除去することができ
る。
装置２０で吸着することにより、吸着治具１０に正常に
吸着されている半田ボール１１に、超音波振動などの余
分な外的力を加えることなく、余剰半田ボールｂのみを
除去することができる。その際に、半田ボール１１と余
剰半田ボールｂとが湿度等の付着力で吸着されている場
合でも、これを容易に引き離して除去することができ
る。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明に係る余剰吸着半
田ボールの除去方法によれば、吸着治具に余剰吸着され
た半田ボールを静電気の力を利用して除去する方法とし
たので、余剰半田ボールを確実かつ容易に除去すること
ができ、しかもこれを簡易な装置を用いて実現すること
ができるという優れた効果を奏する。
田ボールの除去方法によれば、吸着治具に余剰吸着され
た半田ボールを静電気の力を利用して除去する方法とし
たので、余剰半田ボールを確実かつ容易に除去すること
ができ、しかもこれを簡易な装置を用いて実現すること
ができるという優れた効果を奏する。
【図１】本発明の実施の形態に係る余剰吸着半田ボール
の除去方法を示す概略説明図である。
の除去方法を示す概略説明図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る余剰吸着半田ボール
を除去した状態を示す概略説明図である。
を除去した状態を示す概略説明図である。
【図３】従来の吸着治具を用いた半田バンプ形成方法を
示す概略説明図である。
示す概略説明図である。
１ 回路基板 ２ 所定部 ３ 半田フラッグス ４ 半田ボール ５ 吸着治具 ６ 透孔 ７ キャリア ８ 吸気口 ９ 空洞 １０ 吸着治具 １０ａ 吸着面 １１ 半田ボール １２ 吸引孔 ２０ 静電吸着装置 ２１ 静電気帯電面
Claims (7)
- 【請求項１】 半田ボール用吸着冶具の吸着面に余剰吸
着された半田ボールの除去方法であって、余剰吸着され
た半田ボールを静電気の力で吸着可能な静電吸着装置を
用いて除去することを特徴とする、余剰吸着半田ボール
の除去方法。 - 【請求項２】 前記吸着冶具の吸着面を下側に位置させ
た状態で、その吸着面に余剰吸着された半田ボールに前
記静電吸着装置を近づけて吸着することにより除去する
ことを特徴とする請求項１記載の余剰吸着半田ボールの
除去方法。 - 【請求項３】 前記静電吸着装置で余剰半田ボールを吸
着する際に、前記吸着冶具による半田ボールの吸着力よ
りも弱い力で吸着することを特徴とする請求項１又は２
記載の余剰半田ボールの除去方法。 - 【請求項４】 前記静電吸着装置で余剰半田ボールを吸
着する際に、その静電吸着装置を＋帯電状態と−帯電状
態でそれぞれ行うことを特徴とする、請求項１〜３の何
れかに記載の余剰半田ボールの除去方法。 - 【請求項５】 前記吸着冶具は、複数の半田ボールをエ
アーの吸引力を利用して吸着する機能を有することを特
徴とする、請求項１〜４の何れかに記載の余剰半田ボー
ルの除去方法。 - 【請求項６】 前記静電吸着装置は、平坦な静電気帯電
面を有することを特徴とする、請求項１〜５の何れかに
記載の余剰吸着半田ボールの除去方法。 - 【請求項７】 前記静電気帯電面を、前記半田ボール吸
着冶具の吸着面とほぼ同じ面積にしてあることを特徴と
する、請求項６記載の余剰吸着半田ボールの除去方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052664A JP3087717B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | 余剰吸着半田ボールの除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10052664A JP3087717B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | 余剰吸着半田ボールの除去方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11238751A true JPH11238751A (ja) | 1999-08-31 |
| JP3087717B2 JP3087717B2 (ja) | 2000-09-11 |
Family
ID=12921147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10052664A Expired - Fee Related JP3087717B2 (ja) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | 余剰吸着半田ボールの除去方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3087717B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7979921B2 (en) | 2004-03-02 | 2011-07-19 | Broadmark, Inc. | Holding system for headwear |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP10052664A patent/JP3087717B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3087717B2 (ja) | 2000-09-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |