JPH11235647A - Automatic carrier system - Google Patents
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- JPH11235647A JPH11235647A JP10037384A JP3738498A JPH11235647A JP H11235647 A JPH11235647 A JP H11235647A JP 10037384 A JP10037384 A JP 10037384A JP 3738498 A JP3738498 A JP 3738498A JP H11235647 A JPH11235647 A JP H11235647A
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、自動搬送システム
に係り、特に複数の工程にかかる加工設備を所定の順序
でライン状に配列し、前記ライン状配列の中央通路から
前記加工設備に対して被加工物を搬入すると共に加工済
の被加工物を他の加工設備に搬送する自動搬送システム
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an automatic transfer system, and more particularly to processing equipment for a plurality of processes arranged in a line in a predetermined order. The present invention relates to an automatic transport system that carries in a workpiece and transports a processed workpiece to another processing facility.
【0002】[0002]
【従来の技術】被加工物を複数の工程順に加工設備に通
すことで所要の製品を製造する製造装置では、各加工設
備の処理時間は同一でない場合が殆どである。このよう
な場合、加工設備と次の加工設備または他の加工設備の
間にストッカを設置し、ある加工設備から搬出された被
加工物をこのストッカに一時的に退避させ、次段または
他の加工設備による加工が可能となった時点で当該被加
工物をストッカから搬出して次段の加工設備または他の
加工設備に搬入するようにしている。2. Description of the Related Art In a manufacturing apparatus for manufacturing a required product by passing a workpiece through a processing facility in a plurality of process steps, the processing time of each processing facility is often not the same. In such a case, a stocker is installed between the processing equipment and the next processing equipment or another processing equipment, and the work carried out from one processing equipment is temporarily evacuated to this stocker, and the next or other processing equipment is removed. When processing by the processing equipment becomes possible, the workpiece is carried out of the stocker and carried into the next processing equipment or another processing equipment.
【0003】上記の被加工物の加工設備への搬入、搬出
は人手によるか、あるいは複数の加工設備を折り返しラ
イン状に配列した中央通路に長円形の搬送路を周回移動
する自動運転台車(一般に、AGVと称する)で搬送
し、適宜の移載機を用いて行っている。また、上記のス
トッカも加工設備と同様に前記ラインに沿って1または
複数配置される。[0003] The above-mentioned workpieces are carried into and out of the processing equipment by hand or by an automatic driving trolley (generally, an orbiting vehicle) which moves around an elliptical transport path in a central passage in which a plurality of processing equipment are arranged in a folded line. , AGV) and using a suitable transfer machine. In addition, one or more stockers are arranged along the line similarly to the processing equipment.
【0004】図4は従来の製造装置における自動搬送装
置の一構成例を説明する模式図であって、液晶パネルの
基板を加工するための製造装置である。図4において、
1〜8は折り返しライン状に配列された加工設備、9a
〜9fはストッカ、20はAGV、21は搬送路を示
す。FIG. 4 is a schematic diagram for explaining an example of the configuration of an automatic transfer device in a conventional manufacturing apparatus, and is a manufacturing apparatus for processing a substrate of a liquid crystal panel. In FIG.
1 to 8 are processing equipment arranged in a folded line shape, 9a
9f indicates a stocker, 20 indicates an AGV, and 21 indicates a transport path.
【0005】例えば、加工設備1は基板洗浄装置、加工
設備2は成膜装置、加工設備3はレジスト塗布装置、加
工設備4はエッチング装置、加工設備5はレジスト剥離
装置、加工設備7,8,9はここでは検査装置である。
また、搬送路21はレールである。For example, the processing equipment 1 is a substrate cleaning apparatus, the processing equipment 2 is a film forming apparatus, the processing equipment 3 is a resist coating apparatus, the processing equipment 4 is an etching apparatus, the processing equipment 5 is a resist peeling apparatus, and the processing equipments 7, 8,. 9 is an inspection device here.
The transport path 21 is a rail.
【0006】被加工物である基板(初期投入基板)は矢
印Aに示したように、この製造装置の最初のストッカ9
aに搬入される。ストッカ9aに貯蔵された基板はAG
V20に移載されて加工設備1に搬入され、洗浄が施さ
れる。なお、AGV20はレール21上を矢印C方向に
巡回しながら基板を加工設備に搬入し、搬出すると共に
必要に応じてストッカ9a〜9fに退避させ、退避され
た基板を取り出して所定の加工設備に搬入する。加工設
備1〜8は、それぞれ同種の加工機を複数収容して複数
の基板を並列加工できるようにした所謂ジョブショップ
方式である場合が一般的である。As shown by an arrow A, a substrate to be processed (initial input substrate) is the first stocker 9 of this manufacturing apparatus.
a. The substrate stored in the stocker 9a is AG
The wafer is transferred to the processing facility 1 and cleaned. The AGV 20 carries the substrate into and out of the processing facility while circulating on the rail 21 in the direction of arrow C, and retreats the substrate to the stockers 9a to 9f as necessary. Bring in. The processing equipments 1 to 8 generally employ a so-called job shop method in which a plurality of processing machines of the same type are accommodated so that a plurality of substrates can be processed in parallel.
【0007】加工設備1で加工が済んだ基板は次段の加
工設備2に搬入されて配線用の成膜がなされる。ここで
は、洗浄工程での処理時間が短いものとして次段の成膜
工程の間にストッカは設置されていない。The substrate processed by the processing equipment 1 is carried into the processing equipment 2 at the next stage, where a film for wiring is formed. Here, assuming that the processing time in the cleaning step is short, no stocker is installed between the next film forming steps.
【0008】成膜工程が完了した基板はさらに次の加工
設備3(レジスト塗布装置)に渡されるが、このレジス
ト塗布装置での処理工程は時間がかかるために、加工設
備2から搬出された基板は一旦ストッカ9bに退避され
る。The substrate on which the film forming process has been completed is further passed to the next processing equipment 3 (resist coating apparatus). However, since the processing step in this resist coating apparatus takes time, the substrate carried out of the processing equipment 2 is required. Is temporarily evacuated to the stocker 9b.
【0009】以下、同様にして、順に配置された加工設
備4、・・・およびストッカ9c、・・を経て所要の加
工が完了した基板は搬出ストッカ9fに貯留される。搬
出ストッカ9fに貯留された基板は図示しない移載機や
搬出装置を用いて他の製造ライン等に搬送される。In the same manner, the substrates which have been subjected to the required processing through the processing equipments 4,... And the stockers 9c,... Arranged sequentially are stored in the unloading stocker 9f. The substrates stored in the unloading stocker 9f are transferred to another manufacturing line or the like using a transfer machine or unloading device (not shown).
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】このように、液晶パネ
ルの製造等、一般に多工程を必要とする被加工物の製造
装置では、その製造工程、設備ごとに処理時間(加工時
間)が異なる。したがって、その時間差を吸収するため
に各工程間(各加工設備間)あるいは所定の工程ごとに
ストッカを必要とする。As described above, in an apparatus for manufacturing a workpiece which generally requires multiple steps such as manufacturing of a liquid crystal panel, the processing time (processing time) differs depending on the manufacturing process and equipment. Therefore, in order to absorb the time difference, a stocker is required between each process (between each processing equipment) or every predetermined process.
【0011】しかし、上記従来の製造装置においては、
工場建屋の限られたレイアウト内にストッカを複数配置
するために、広大なスペースを要する。また、ストッカ
の数を少なくするとAGVの搬送距離が長くなると共
に、本来なら隣りの加工設備に搬送すべき被加工物が、
ストッカに退避したことでAGVをレールに沿って一周
させることになり、搬送効率が著しく低下し、製造装置
として極めて低効率とならざるを得ないという問題があ
った。However, in the above-mentioned conventional manufacturing apparatus,
A large space is required to arrange a plurality of stockers in a limited layout of a factory building. In addition, when the number of stockers is reduced, the transport distance of the AGV is increased, and the workpiece to be transported to an adjacent processing facility is originally required.
The retreat to the stocker causes the AGV to make one round along the rail, which significantly lowers the transport efficiency, resulting in a problem that the manufacturing apparatus must be extremely low in efficiency.
【0012】本発明の目的は、上記従来の問題点を解消
し、最小限のスペースで各加工設備から最も近い位置に
ストッカを配置して被加工物を高効率で搬送可能とした
自動搬送システムを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to provide an automatic transfer system in which a stocker is arranged at a position closest to each processing equipment in a minimum space so that a workpiece can be transferred with high efficiency. Is to provide.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、複数の加工設備を所定の順序で少なくと
も1本ライン、または2本以上の折り返しライン状に配
列した製造装置の前記ライン状に配列した側面または中
央通路にストッカを設置し、このストッカと各加工設備
間に移載機を設けて被加工物の移載を行うように構成し
た。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention relates to a manufacturing apparatus in which a plurality of processing facilities are arranged in at least one line or two or more folded lines in a predetermined order. A stocker is installed on the side surface or the central passage arranged in a shape, and a transfer machine is provided between the stocker and each processing equipment to transfer the workpiece.
【0014】すなわち、本発明は、下記(1)(2)お
よび(3)に記載の構成としたことを特徴とする。That is, the present invention is characterized by having the following configurations (1), (2) and (3).
【0015】(1)複数の加工設備を所定の順序でライ
ン状に配列し、前記ライン状配列の側面通路から前記加
工設備に対して被加工物を搬入すると共に、加工済の被
加工物を次段の加工設備に搬送する自動搬送システムに
おいて、前記側面通路に前記複数の加工設備の配列ライ
ンに沿って前記被加工物を一時的に退避させるためのス
トッカと、前記加工設備と前記ストッカの間に前記加工
設備の配列方向に対して順方向および逆方向に移動し
て、前記加工設備と前記ストッカの間で前記被加工物を
受け渡すための搬送移載機を設置したことを特徴とす
る。(1) A plurality of processing facilities are arranged in a line in a predetermined order, and a workpiece is carried into the processing facility from a side passage in the line arrangement, and the processed workpiece is removed. In an automatic transfer system for transferring to the next stage processing equipment, a stocker for temporarily retreating the workpiece along the array line of the plurality of processing equipment in the side passage, and a storage device for the processing equipment and the stocker Moving in the forward and reverse directions with respect to the arrangement direction of the processing equipment, and installing a transfer machine for transferring the workpiece between the processing equipment and the stocker. I do.
【0016】(2)複数の加工設備を所定の順序で少な
くとも2本の折り返しライン状に配列し、前記折り返し
ライン状に配列の中央通路から前記加工設備に対して被
加工物を搬入すると共に、加工済の被加工物を次段の加
工設備に搬送する自動搬送システムにおいて、前記中央
通路に前記複数の加工設備の配列ラインに沿って前記被
加工物を一時的に退避させるためのストッカと、前記加
工設備と前記ストッカの間に前記加工設備の配列方向に
対して順方向および逆方向に移動して、前記加工設備と
前記ストッカの間で前記被加工物を受け渡すための搬送
移載機を設置したことを特徴とする。(2) A plurality of processing equipment is arranged in at least two return lines in a predetermined order, and a workpiece is carried into the processing equipment from a central passage arranged in the return line shape. In an automatic transfer system for transferring the processed workpiece to the next processing equipment, a stocker for temporarily retracting the workpiece along an array line of the plurality of processing equipment in the central passage, A transfer and transfer machine that moves between the processing equipment and the stocker in the forward and reverse directions with respect to the arrangement direction of the processing equipment and transfers the workpiece between the processing equipment and the stocker. It is characterized by having been installed.
【0017】上記ストッカは各加工設備の搬入面に近接
して配置され、ストッカからの搬出時間が短縮されると
共に、各加工設備間の被加工物の搬送をストッカを介す
ることで自動搬送が実現される。The above-mentioned stocker is arranged close to the loading surface of each processing equipment, so that the time for unloading from the stocker is shortened, and the transfer of the workpiece between the respective processing equipment is realized by the automatic transfer through the stocker. Is done.
【0018】従来のAGVを用いた被加工物の搬送で
は、AGVの走行方向が一定方向に定義されているた
め、逆方向への搬送には搬送ライン(レール)上を一周
する必要があるのに対し、上記本発明の構成ではストッ
カに退避された被加工物は順/逆いずれの方向への搬送
可能であるため、搬送距離が短縮され、搬送効率が著し
く向上する。In the conventional transfer of a workpiece using an AGV, since the traveling direction of the AGV is defined in a fixed direction, it is necessary to make a round on the transfer line (rail) for the transfer in the reverse direction. On the other hand, in the configuration of the present invention, since the workpiece retreated to the stocker can be transported in either the forward or reverse direction, the transport distance is shortened and the transport efficiency is significantly improved.
【0019】(3)(1)または(2)における前記ス
トッカに前記ストッカに退避された前記被加工物を当該
ストッカ内で移動させる収納移載機を設置したとを特徴
とする。(3) The stocker according to (1) or (2) is provided with a storage / transfer machine for moving the workpiece retreated to the stocker in the stocker.
【0020】この構成により、1加工設備への移載点が
複数化しても搬送が可能となり、高効率の搬送が可能と
なる。According to this configuration, even if there are a plurality of transfer points to one processing facility, the transfer can be performed, and the transfer can be performed with high efficiency.
【0021】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図1は本
発明の自動搬送システムの一実施例を説明する液晶パネ
ルの製造装置の構成を示す模式図であって、1〜8はジ
ョブショップ方式の加工設備で、1は基板洗浄装置、2
は成膜装置、3はレジスト塗布装置、4はエッチング装
置、5はレジスト剥離装置、6,7,8は検査装置であ
る。また、9は第1のストッカ、10は第2のストッ
カ、11,12は搬送移載機、13は搬送移載機の移動
用レール、14,15は第1の収納移載機、16は第1
の収納移載機用の移動レール、17,18は第2の収納
移載機、19は第2の収納移載機用の移動レールを示
す。そして、90はストッカの入庫口、91は同出庫
口、92は素基板入庫口、93は完成基板出庫口であ
る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus for explaining an embodiment of an automatic transport system according to the present invention, wherein 1 to 8 are processing equipment of a job shop system, 1 is a substrate cleaning apparatus,
Denotes a film forming apparatus, 3 denotes a resist coating apparatus, 4 denotes an etching apparatus, 5 denotes a resist stripping apparatus, and 6, 7, and 8 denote inspection apparatuses. Further, 9 is a first stocker, 10 is a second stocker, 11 and 12 are transfer / transfer machines, 13 is a transfer rail of the transfer / transfer machine, 14 and 15 are first storage / transfer machines, and 16 is a transfer / transfer machine. First
, A moving rail for the second storing and transferring machine, and 19 and a moving rail for the second storing and transferring machine. Reference numeral 90 denotes a stocker entrance, 91 denotes the same exit, 92 denotes a substrate entrance, and 93 denotes a finished substrate exit.
【0022】本実施例では、複数の加工設備である基板
洗浄装置1、成膜装置2、レジスト塗布装置3、および
エッチング装置4をこの順序で一方向にライン配置し、
またレジスト剥離装置5、検査装置6,7,8とをこの
順序で上記ラインと逆方向にライン配置した2本の折り
返しライン状に配列して製造装置を構成してある。In this embodiment, a plurality of processing equipment, ie, a substrate cleaning apparatus 1, a film forming apparatus 2, a resist coating apparatus 3, and an etching apparatus 4 are arranged in one line in this order.
The manufacturing apparatus is constructed by arranging the resist stripping device 5, the inspection devices 6, 7, and 8 in this order in two folded lines arranged in the direction opposite to the above-mentioned line.
【0023】そして、この折り返しライン状に配列した
複数の加工設備の中央通路に、前記各ライン配置した各
加工設備に対して被加工物を搬入すると共に、加工済の
被加工物を次段の加工設備に搬送する第1のストッカ9
と第2のストッカ10をそれぞれ配置する。Then, the workpieces are loaded into the central passages of the plurality of processing facilities arranged in the folded line shape, and the processed workpieces are carried into the next stage at the next stage. First stocker 9 transported to processing equipment
And the second stocker 10 are arranged.
【0024】第1のストッカ9には各加工設備に対して
基板を授受するための入庫口90と出庫口91を有する
と共に、その素基板搬入部に素基板入庫口92を有す
る。また、第2のストッカ10にも各加工設備に対して
基板を授受するための多数の入庫口90と多数の出庫口
91を有し、その素基板搬出部に素基板出庫口93を有
する。The first stocker 9 has an entrance 90 and an exit 91 for transferring substrates to and from each processing facility, and has an entrance 92 for a substrate at the substrate loading portion. Further, the second stocker 10 also has a number of entrances 90 and a number of exits 91 for transferring substrates to and from each processing facility, and has a substrate exit 93 at the substrate exit portion.
【0025】そして、第1のストッカ9と加工設備1〜
4の間には、各加工設備1〜4間および各加工設備1〜
4との間で基板を移載する搬送移載機14,15がレー
ル16上を順/逆方向に走行可能に配置される。そし
て、第2のストッカ10と加工設備5〜8の間には、各
加工設備5〜8間および各加工設備5〜8との間で基板
を移載する搬送移載機17,18がレール19上を順/
逆方向に走行可能に配置されている。これらの搬送移載
機14,15および17,18はそれぞれ少なくとも1
台宛配置される。この配置台数は製造装置の規模によ
る。上記の搬送移載機は、所謂トラバーサと称するロボ
ットである。Then, the first stocker 9 and the processing equipment 1
4, between each processing equipment 1-4 and each processing equipment 1
Transfer transfer machines 14 and 15 for transferring a substrate between the transfer rails 4 and 4 are arranged so as to be able to travel on rails 16 in forward / reverse directions. Further, between the second stocker 10 and the processing equipments 5 to 8, transport transfer machines 17, 18 for transferring substrates between the processing equipments 5 to 8 and between the processing equipments 5 to 8 are provided. 19 on top /
It is arranged so that it can run in the opposite direction. Each of the transfer machines 14, 15 and 17, 18 has at least one
It is arranged for the table. This number depends on the scale of the manufacturing apparatus. The transfer machine described above is a robot called a traverser.
【0026】また、第1のストッカ9と第2のストッカ
10の間には、各ストッカ内に退避された基板を所要の
入庫口/出庫口から他の入庫口/出庫口に移動さるため
の収納移載機11,12が移動用レール13上を順/逆
方向に走行可能に配置されている。これらの収納移載機
11,12は製造装置の規模によっては1台でよく、ま
た必要により複数台配置される。上記の収納移載機は、
所謂クレーンと称するロボットであり、ストッカの棚の
間を移動しつつ、基板を移動または第1と第2のストッ
カ間で移送する。Further, between the first stocker 9 and the second stocker 10, the substrate retreated in each stocker is moved from a required entrance / exit to another entrance / exit. The storage and transfer machines 11 and 12 are arranged so as to be able to travel on a moving rail 13 in forward / reverse directions. The number of the storage and transfer machines 11 and 12 may be one depending on the scale of the manufacturing apparatus, and a plurality of storage and transfer machines may be arranged as necessary. The above storage transfer machine,
The robot is a so-called crane, and moves a substrate or transfers a substrate between first and second stockers while moving between shelves of a stocker.
【0027】第1のストッカ9および第2のストッカ1
0には、基板を保管する多数の棚が少なくとも1段有
し、収納移載機11,12、搬送移載機14,15、お
よび17,18はこの棚の間を上下に移動し、あるいは
順/逆方向に移動して基板の搬入と搬出を行う。First stocker 9 and second stocker 1
0 has a plurality of shelves for storing substrates at least one stage, and the storage and transfer machines 11, 12 and the transfer and transfer machines 14, 15 and 17, 18 move up and down between the shelves, or The substrate is loaded and unloaded by moving in the forward / reverse direction.
【0028】このような構成において、矢印Aから素基
板入庫口92に搬入された素基板は搬送移載機14によ
り加工設備1に搬入され、所定の加工が成される。加工
設備1での加工が終了した基板は搬送移載機14または
15により搬出され、加工設備2に搬入される。このと
き、加工設備2がその基板を受け入れるタイミングにな
いときは、搬送移載機14または15は当該基板を第1
のストッカ9の入庫口90に搬入して退避させる。そし
て、加工設備2が基板の受入可能となった時点で搬送移
載機14または15は当該基板を第1のストッカ9の出
庫口91から搬出し、加工設備2に搬入する。In such a configuration, the substrate transferred from the arrow A into the substrate storage port 92 is transferred into the processing equipment 1 by the transfer and transfer machine 14 and is subjected to a predetermined processing. The substrate that has been processed by the processing equipment 1 is carried out by the transfer machine 14 or 15 and is carried into the processing equipment 2. At this time, when the processing equipment 2 is not at the timing of receiving the substrate, the transfer / transfer machine 14 or 15 transfers the substrate to the first position.
Of the stocker 9 of the stocker 9 and retracted. Then, at the time when the processing equipment 2 can receive the substrate, the transfer machine 14 or 15 carries out the substrate from the outlet 91 of the first stocker 9 and carries it into the processing equipment 2.
【0029】以下、同様の手順で加工設備4までの加工
処理が完了した基板は、搬送移載機14または15によ
り第1のストッカ9に移載され、収納移載機11,12
で第2のストッカ10に保管される。第2のストッカ1
0に保管された基板は加工設備5の移載要求に応じてそ
の出庫口91から搬送移載機17または18により搬出
されて当該加工設備5に搬入され、所要の加工がなされ
る。Thereafter, the substrate, which has been processed up to the processing equipment 4 in the same procedure, is transferred to the first stocker 9 by the transfer / transfer machine 14 or 15, and stored and transferred by the storage and transfer machines 11, 12.
Is stored in the second stocker 10. Second stocker 1
In response to a transfer request from the processing equipment 5, the substrate stored at 0 is carried out from the outlet 91 by the transfer / transfer machine 17 or 18, carried into the processing equipment 5, and subjected to required processing.
【0030】同様にして、各加工設備6,7,8での加
工が終了した基板は第2のストッカ10を介して完成基
板出庫口93から矢印Bに示したように他の工程ライン
に搬送される。Similarly, the substrates that have been processed in each of the processing equipments 6, 7, and 8 are transported from the completed substrate outlet 93 through the second stocker 10 to another process line as shown by the arrow B. Is done.
【0031】図2は本発明の自動搬送システムの一実施
例を説明する図1に示した液晶パネルの製造装置の構成
を示す概略斜視図であって、図1と同一符号は同一部分
に対応する。なお、同図では図1における加工設備、搬
送移載機、収納移載機は最小限の数のみを示してある。
また、第2のストッカ側の加工設備は図示を省略してあ
る。FIG. 2 is a schematic perspective view showing the structure of the liquid crystal panel manufacturing apparatus shown in FIG. 1 for explaining an embodiment of the automatic transfer system of the present invention, and the same symbols as those in FIG. 1 correspond to the same parts. I do. Note that FIG. 1 shows only the minimum number of processing equipment, transfer and transfer machines, and storage and transfer machines in FIG.
The processing equipment on the second stocker side is not shown.
【0032】図2に示したように、被加工物である基板
は加工設備1、2、3、・・・による加工処理を矢印D
に示したU字形の順に経て所定の加工がなされる。この
構成では、各加工設備の処理時間の差を第1のストッカ
9と第2のストッカ10を介在させることで調整するこ
とにより製造装置全体としての稼働効率を向上させるこ
とができるが、特定の加工設備が特に基板に対する加工
順序にこだわらない場合には収納移載機11あるいは搬
送移載機14,17で空きの加工設備に搬入するように
追い越し搬送、あるいは逆搬送して、加工設備の遊び時
間を無くすことが可能である。As shown in FIG. 2, the substrate to be processed is processed by the processing equipment 1, 2, 3,.
The predetermined processing is performed in the order of the U-shape shown in FIG. In this configuration, the operation efficiency of the entire manufacturing apparatus can be improved by adjusting the difference in the processing time of each processing facility by interposing the first stocker 9 and the second stocker 10. When the processing equipment does not particularly adhere to the processing order for the substrate, the storage transfer machine 11 or the transfer transfer machines 14 and 17 pass or carry over the empty processing equipment so that the processing equipment is loaded into an empty processing equipment. It is possible to save time.
【0033】図3は図1、図2における収納移載機ある
いは搬送移載機の一例の説明図である。収納移載機11
と搬送移載機14,17は基本的には同一の移載ロボッ
トでよく、図3に示したものは収納移載機11を例とし
て示し、以下、その機能を説明する。FIG. 3 is an explanatory view of an example of the storage transfer machine or the transfer machine shown in FIGS. Storage transfer machine 11
The transfer robots 14 and 17 may be basically the same transfer robot. The one shown in FIG. 3 is an example of the storage transfer machine 11, and its function will be described below.
【0034】この収納移載機11は第1のストッカ9と
第2のストッカ10の間に、当該各ストッカ9、10に
沿って敷設されたレール13上を順/逆方向に移動する
と共に、基板を取り扱う部分(ハンド)が昇降し、かつ
平面の2方向、面内で回転可能である。上記ハンドの構
成および機能は既知であるので説明は省略する。The storage / transfer machine 11 moves between the first stocker 9 and the second stocker 10 on rails 13 laid along the respective stockers 9 and 10 in the forward / reverse direction. A part (hand) for handling the substrate moves up and down and can rotate in two plane directions. Since the configuration and function of the hand are known, the description is omitted.
【0035】なお、この収納移載機11は第1のストッ
カ9と第2のストッカ10の基板収納用の多数の棚の間
を移動する必要があるため、特にその昇降量が大きいも
のであり、一般に“スタッカクレーン”と呼ばれている
移載機である。これに対し、搬送移載機14,17はラ
イン配列された複数の加工設備と第1のストッカ9およ
び第2のストッカ10の間に敷設されたレール16、1
9上を順/逆方向に移動して隣接あるいは所定の加工設
備の間、加工設備と第1のストッカ9と第2のストッカ
10の間で基板を搬入し搬出するロボットであり、一般
にトラバーサと呼ばれている移載機である。Since the storage and transfer machine 11 needs to move between a number of shelves for storing the substrates of the first stocker 9 and the second stocker 10, the lifting and lowering amount is particularly large. This is a transfer machine generally called a "stacker crane". On the other hand, the transfer / transfer machines 14 and 17 are rails 16 and 1 laid between a plurality of processing facilities arranged in a line and the first stocker 9 and the second stocker 10.
9 is a robot that moves in the forward / reverse direction to load and unload substrates between adjacent or predetermined processing equipment and between the processing equipment and the first stocker 9 and the second stocker 10. It is called a transfer machine.
【0036】このような構成および機能をもつ収納移載
機と搬送移載機を設置することにより、複数の加工設備
の間、加工設備と第1と第2のストッカの間、第1と第
2のストッカの間で基板の受け渡しを行うことにより、
加工時間の異なる加工設備を高効率で稼働させることが
可能となる。By installing the storage and transfer machine and the transfer and transfer machine having such a configuration and function, the plurality of processing facilities, the space between the processing facility and the first and second stockers, and the first and second stockers can be provided. By transferring the board between the two stockers,
Processing equipment with different processing times can be operated with high efficiency.
【0037】そして、図1にも示したように、本実施例
のレイアウトは、加工設備やストッカの設置のために広
大なスペースを要しないため、工場建屋のスペースを有
効に活用できる。また、レイアウトも単純なライン配置
であるため、加工設備の増設、変更が容易である。As shown in FIG. 1, the layout of this embodiment does not require a large space for installing processing equipment and stockers, so that the space of the factory building can be effectively utilized. Further, since the layout is also a simple line arrangement, it is easy to add and change processing equipment.
【0038】なお、上記実施例ではU字形に沿って折り
返しライン状に設置した加工設備の中央通路に第1と第
2のストッカを上記加工設備のそれぞれに対面させて設
置したが、複数の加工設備をI字状ラインに設置して、
この加工設備の設置ラインに沿った側面通路に1つのス
トッカのみを配置することもできる。In the above-described embodiment, the first and second stockers are installed in the central passage of the processing equipment installed in a folded line along the U-shape so as to face each of the processing equipment. Install the equipment on the I-shaped line,
It is also possible to arrange only one stocker in the side passage along the installation line of this processing equipment.
【0039】また、U字形ラインに設置した加工設備の
中央通路に1つのストッカのみを配置し、搬送移載機の
みで各加工設備間、加工設備とストッカ間、ストッカの
各棚間で基板の搬入、搬出を行うようにも構成できる。Further, only one stocker is arranged in the central passage of the processing equipment installed on the U-shaped line, and only the transfer and transfer machine is used to transfer the substrate between the processing equipment, between the processing equipment and the stocker, and between the shelves of the stocker. It can be configured to carry in and carry out.
【0040】上記した自動搬送システムを備えた製造装
置の制御は従来と同様の図示しないホストコンピュータ
で集中して行うことができるが、本実施例のように構成
した場合は、各加工設備と搬送移載機と収納移載機の動
作データから全ての工程を把握することができるため、
小規模のコンピュータで工程管理が可能となり、ホスト
コンピュータの負荷を軽減できる。The control of the manufacturing apparatus provided with the above-described automatic transfer system can be centrally performed by a host computer (not shown) similar to the conventional one. Because all processes can be grasped from the operation data of the transfer machine and the storage transfer machine,
Process management can be performed with a small computer, and the load on the host computer can be reduced.
【0041】[0041]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
最小限の設置スペースで各加工設備から最も近い位置に
ストッカを配置できるため、被加工物を高効率に搬送す
ることが可能であり、加工時間の異なる複数の加工設備
を効率よく稼働させ、全体の工程時間を短縮することが
できる。As described above, according to the present invention,
Since the stocker can be placed at the closest position from each processing equipment with minimum installation space, it is possible to transport workpieces with high efficiency, efficiently operate multiple processing equipment with different processing times, and Can be shortened.
【図1】本発明の自動搬送システムの一実施例を説明す
る液晶パネルの製造装置の構成を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a liquid crystal panel manufacturing apparatus for explaining an embodiment of an automatic transport system according to the present invention.
【図2】本発明の自動搬送システムの一実施例を説明す
る図1に示した液晶パネルの製造装置の構成を示す概略
斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a configuration of the liquid crystal panel manufacturing apparatus shown in FIG. 1 for explaining an embodiment of the automatic transport system of the present invention.
【図3】図1、図2における収納移載機あるいは搬送移
載機の一例の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of an example of a storage transfer machine or a transfer machine in FIGS. 1 and 2;
【図4】従来の製造装置における自動搬送装置の一構成
例を説明する模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a configuration example of an automatic transfer device in a conventional manufacturing apparatus.
1〜8 加工設備 9 第1のストッカ 10 第2のストッカ 11,12 搬送移載機 13 搬送移載機の移動用レール 14,15 第1の収納移載機 16 第1の収納移載機用の移動レール 17,18 第2の収納移載機 19 第2の収納移載機用の移動レール 90 ストッカの入庫口 91 ストッカの出庫口 92 素基板入庫口 93 完成基板出庫口。 1-8 processing equipment 9 first stocker 10 second stocker 11,12 transfer / transfer machine 13 transfer rail of transfer / transfer machine 14,15 first storage / transfer machine 16 for first storage / transfer machine Movement rails 17, 18 Second storage / transfer machine 19 Moving rail for second storage / transfer machine 90 Stocker entrance 91 Stocker exit 92 Substrate entrance 93 Completed substrate exit.
Claims (3)
配列し、前記ライン状配列の側面通路から前記加工設備
に対して被加工物を搬入すると共に、加工済の被加工物
を次段の加工設備に搬送する自動搬送システムにおい
て、 前記側面通路に前記複数の加工設備の配列ラインに沿っ
て前記被加工物を一時的に退避させるためのストッカ
と、前記加工設備と前記ストッカの間に前記加工設備の
配列方向に対して順方向および逆方向に移動して、前記
加工設備と前記ストッカの間で前記被加工物を受け渡す
ための搬送移載機を設置したことを特徴とする自動搬送
システム。1. A plurality of processing facilities are arranged in a line in a predetermined order, a workpiece is carried into the processing facility from a side passage in the line arrangement, and a processed workpiece is placed in the next position. In the automatic transfer system for transferring to the processing equipment of a step, a stocker for temporarily retreating the workpiece along the array line of the plurality of processing equipment in the side passage, and between the processing equipment and the stocker And a transfer machine for transferring the workpiece between the processing equipment and the stocker by moving in a forward direction and a reverse direction with respect to the arrangement direction of the processing equipment. Automatic transfer system.
2本の折り返しライン状に配列し、前記折り返しライン
状に配列の中央通路から前記加工設備に対して被加工物
を搬入すると共に、加工済の被加工物を次段の加工設備
に搬送する自動搬送システムにおいて、 前記中央通路に前記複数の加工設備の配列ラインに沿っ
て前記被加工物を一時的に退避させるためのストッカ
と、前記加工設備と前記ストッカの間に前記加工設備の
配列方向に対して順方向および逆方向に移動して、前記
加工設備と前記ストッカの間で前記被加工物を受け渡す
ための搬送移載機を設置したことを特徴とする自動搬送
システム。2. A plurality of processing equipment is arranged in at least two return lines in a predetermined order, and a workpiece is carried into the processing equipment from a central passage arranged in the return line shape and processed. An automatic transport system for transporting a processed workpiece to a next-stage processing facility, comprising: a stocker for temporarily retracting the workpiece along an array line of the plurality of processing facilities in the central passage; and A transfer and transfer machine for moving between the processing equipment and the stocker in a forward direction and a reverse direction with respect to the arrangement direction of the processing equipment, and transferring the workpiece between the processing equipment and the stocker. Automatic transfer system characterized by being installed.
当該ストッカ内で移動させる収納移載機を設置したとを
特徴とする請求項1または2に記載の自動搬送システ
ム。3. The automatic transport system according to claim 1, further comprising a storage / transfer machine for moving the workpiece retreated to the stocker in the stocker.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10037384A JPH11235647A (en) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | Automatic carrier system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10037384A JPH11235647A (en) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | Automatic carrier system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11235647A true JPH11235647A (en) | 1999-08-31 |
Family
ID=12496042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10037384A Pending JPH11235647A (en) | 1998-02-19 | 1998-02-19 | Automatic carrier system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11235647A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080904A (en) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Inotera Memories Inc | Automated wafer temporary storage system and control method thereof |
-
1998
- 1998-02-19 JP JP10037384A patent/JPH11235647A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010080904A (en) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Inotera Memories Inc | Automated wafer temporary storage system and control method thereof |
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