JPH112350A - 液圧式伝達比変更装置を備えた電気式固体アクチュエータ - Google Patents

液圧式伝達比変更装置を備えた電気式固体アクチュエータ

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JPH112350A
JPH112350A JP10129176A JP12917698A JPH112350A JP H112350 A JPH112350 A JP H112350A JP 10129176 A JP10129176 A JP 10129176A JP 12917698 A JP12917698 A JP 12917698A JP H112350 A JPH112350 A JP H112350A
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JP10129176A
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Gunter Guerich
グンター・ギユリッヒ
Hermann Josef Laumen
ヘルマン・ヨーゼフ・ラウメン
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FEV Motorentechnik GmbH and Co KG
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 漏洩のないように形成され、同時に、温度
補償を可能にする、液圧式伝達比変更装置を備えた電気
式固体アクチュエータを提供する。 【解決手段】 本発明は、操作手段を操作するため、特
に弁を操作するための液圧式伝達比変更装置を備えた電
気式固体アクチュエータに関する。このアクチュエータ
は液体を充填した予圧室4を備え、この予圧室の一方の
側がアクチュエータ本体2に連結されたダイヤフラム3
によって画成され、予圧室の他方の側が大きな面積の弾
性的なプレート本体5によって画成されている。プレー
ト本体は伝達室7の一方の側を画成し、伝達室の他方の
側は弾性的に支持された小さな面積のピストン本体8に
よって画成されている。このピストン本体は操作手段1
4に作用し、プレート本体5に弁開口21が設けられ、
この弁開口は予圧室4と伝達室7を接続し、かつダイヤ
フラム3に連結された弁体22によって閉鎖可能であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、操作手段を操作す
るため、特に弁を操作するための液圧式伝達比変更装置
を備えた電気式固体アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】圧電式または磁歪式アクチュエータの形
をした固体アクチュエータは、供給される電気エネルギ
ーが高い効率でかつ摩擦、遊びおよび摩耗なしに変換可
能であるという利点がある。1500μ/mまでのオー
ダーの、供することができるアクチュエータ操作ストロ
ークは、一連の用途では小さすぎるので、大きな操作ス
トロークを達成するために、伝達比の変更が行われる。
この場合、液体、すなわち非圧縮性媒体を用いて操作ス
トロークを大きくすることができる伝達比変更装置が有
利であることが判った。しかし、長期間の使用のために
は、例えばJend-ritza およびSchroeder 著の“構造(Ko
nstruktion)46”(1994年)第376〜380頁
に示されているような漏洩を回避することが重要であ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の根底をなす課
題は、漏洩のないように形成され、同時に、温度補償を
可能にし、それによって例えば後続配置の操作手段の操
作が長期間にわたって所定の切換え位置で可能である、
液圧式伝達比変更装置を備えた電気式固体アクチュエー
タを提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】この課題は本発明に従
い、液体を充填した予圧室を備え、この予圧室の一方の
側がアクチュエータ本体に連結されたダイヤフラムによ
って画成され、予圧室の他方の側が大きな面積の弾性的
なプレート本体によって画成され、プレート本体が伝達
室の一方の側を画成し、伝達室の他方の側が弾性的に支
持された小さな面積のピストン本体によって画成され、
このピストン本体が操作手段に作用し、プレート本体に
弁開口が設けられ、この弁開口が予圧室と伝達室を接続
し、かつダイヤフラムに連結された弁体によって閉鎖可
能であることを特徴とする、操作手段を操作するため、
特に弁を操作するための液圧式伝達比変更装置を備えた
電気式固体アクチュエータによって解決される。この場
合、互いに連通する予圧室と伝達室は、密封閉鎖された
系として形成され、アクチュエータ本体が電気的エネル
ギーで付勢されたときに、アクチュエータ本体の長さ変
更の結果、アクチュエータ本体がダイヤフラムに作用
し、このダイヤフラムが更に、大きな面積のプレート本
体に作用し、ダイヤフラムの弁体によってプレート本体
の弁開口が閉鎖されるという利点がある。その際、伝達
室に閉じ込められた液体はその非圧縮性に基づいて、操
作手段がプレート本体とピストン本体の面積の比によっ
て定められる伝達比に相応して摺動し、アクチュエータ
本体が電気的エネルギーで継続付勢されると、この位置
に保持される。アクチュエータ本体が非作用になると、
ダイヤフラムが弁体と共に後退するので、プレート本体
とピストン本体が弾性作用で後退すると、予圧室と伝達
室の間で液体の交換が生じ得る。これにより、伝達室に
常に所定の量の液体が充填され、従って長期間の使用で
も再現可能な操作ストロークが達成される。ダイヤフラ
ムからプレート本体へのアクチュエータ本体の長さ変化
の伝達は基本的には、中間に配置された伝達手段によっ
て行われる。しかし、本発明の実施形に従って、弁体が
同時に、ダイヤフラムとプレート本体の間で伝達手段を
形成していると合目的である。これにより、アクチュエ
ータ本体の操作力によって同時に、弁体と弁開口の間に
必要なシール力が加えられる。
【0005】アクチュエータ本体の側で予圧室を閉鎖す
るダイヤフラムは一般的に薄く形成されるので、予圧室
の或る程度の容積縮小を伝達室内への液体の吸込み補充
によって補償するために、ダイヤフラムの変形は充分で
ある。この場合更に、温度変動による液体の容積変化
も、或る程度まで、操作精度に悪影響を与えずに、補償
可能である。
【0006】本発明の好ましい実施形では、予圧室が容
積を補償する手段に接続されている。これは例えば、予
圧室に付設された貯蔵室によって行われる。この貯蔵室
は例えばガス泡貯蔵器のように形成されているので、ア
クチュエータの静止状態で、予圧室と伝達室の充填が同
じ圧力で不変である。プレート本体とピストン本体の弾
性的な支持部を適切に設計すると、容積を補償して予圧
を調節する際に、大きな温度上昇による液体の容積増大
が操作精度の影響を与えない。このような容積補償の構
造は更に、アクチュエータが電流供給部との接続を除い
て、液体供給に関して独立した系として形成可能である
という利点がある。
【0007】本発明の他の実施形では、予圧室が圧力媒
体供給部に接続されている。このような構造により、予
め設定可能な液体の予圧を維持しながら、液体交換を行
うことができるという利点がある。特に有利な実施形で
は、液体管路内の弁を操作するための電気的な固体アク
チュエータのために、本発明に従い、予圧室が漏洩室に
接続されている。これにより、高い切換え頻度およびま
たは高い切換え速度を有する、液体管路を備えた弁、特
にスライド弁を、液体を漏らさぬように形成する必要が
なく、液体管路から液体の一部が漏洩部を経て弁範囲に
常に流出するという利点がある。漏洩室を弁に適切に配
置し、漏洩室と予圧室を接続することにより、一方で
は、予圧室と、それに接続された伝達室に常に液体が充
填される。他方では、漏洩液体を排出するために弁の他
の漏洩範囲に絞り作用が生じるので、この範囲が圧力保
持弁のように作用し、予圧室内で充分な圧力の保持が保
証される。
【0008】漏洩室と予圧室の少なくとも一方が、圧力
保持弁を介して液体排出部に接続されていると特に有利
である。これにより、予圧室内で所定の予圧を生じるこ
とができる。
【0009】
【発明の実施の形態】実施の形態の概略図に基づいて本
発明を詳しく説明する。図1に示した電気式固体アクチ
ュエータはアクチュエータケーシング1を備え、このア
クチュエータケーシング内にはアクチュエータ本体2が
設けられている。この場合、アクチュエータ本体2は圧
電装置として形成してもよいし、磁歪装置として形成し
てもよい。しかし、圧電装置は、構造が簡単で、実際に
損失を生じることなく作動し、そして冷却が不要である
という利点がある。圧電装置の他の利点は切換え速度が
高速であるということにある。
【0010】アクチュエータケーシング2は比較的に薄
いダイヤフラム3によって閉鎖されている。このダイヤ
フラムはアクチュエータ本体2に直接作用連結されてい
る。ダイヤフラム3はアクチュエータ本体2と反対の側
で、予圧室4を密封閉鎖している。この予圧室4は他方
では、大きな面積の弾性的なプレート本体5によって同
様に密封閉鎖されている。このプレート本体は弾性ベロ
ー6の底側を形成している。伝達室7が弾性ベロー6に
よって予圧室4に対して閉鎖されている。この伝達室は
他方の側が弾性ベロー9の一部としてのピストン本体8
によって画成されている。弾性ベロー6と弾性ベロー9
は支持体10に固定されている。この支持体は接続通路
11を備え、この接続通路は同時に伝達室7の一部を形
成している。
【0011】図示した実施の形態の場合には、操作すべ
き操作手段12として、液圧滑り弁が設けられている。
この滑り弁はスライドケーシング13を備えている。こ
のスライドケーシング内で弁スライダ(弁体、スライダ
本体)14が戻しばね15の力に抗して軸方向に摺動可
能に案内されている。弁スライダ14は突起16を備え
ている。この突起には、伝達室7を閉鎖するピストン本
体8が支持されている。スライドケーシング13内には
流入通路17と流出通路18が設けられている。図には
弁の閉鎖位置が示してある。弁スライダ14が戻しばね
15の力に抗して矢印19の方向に摺動すると、弁スラ
イダ14内の環状溝20によって、流入通路17と流出
通路18が直接的に連通する。
【0012】プレート本体5は弁開口21を備えてい
る。この弁開口には、ダイヤフラム3に連結された弁体
22が付設されている。静止位置において、弾性ベロー
6を介して弾性的に支持されたプレート本体5はその弁
開口21が弁体22に押し付けられている。それによっ
て、弁体22は同時に、アクチュエータ本体2の長さ変
化をプレート本体5に直接伝達する伝達手段としての働
きをする。予圧室4と伝達室7には、液体、すなわち非
圧縮性媒体が充填されている。アクチュエータ本体2に
電圧が印加され、アクチュエータ本体の長さが変化する
と、同じ寸法だけプレート本体5も摺動する。プレート
本体5の面積がピストン本体8の面積よりも大きく、所
望の伝達比であるので、液体が予圧室7.1の上側部分
から押されて接続通路11を通過する。電圧室の下側部
分7.2の容積が小さいので、この液体の量はピストン
本体8を大きく摺動させることになる。これに応じて、
スライド本体14は同じ寸法だけ摺動し、それによって
液体流入通路17と液体流出通路18を連通する。
【0013】アクチュエータ本体2の電圧が除去される
と、アクチュエータ本体は直ちに収縮するので、ダイフ
ラム3の弁体22はプレート本体5の弁開口21を短時
間開放し、それによってプレート本体5が戻るときに、
予圧室4と伝達室7の間で液体の交換が生じ得る。従っ
て、伝達室7には常に同じ量の液体が充填され、操作時
にスライダ本体14が常に同じ操作ストロークを行うこ
とが保証される。予圧室4と伝達室7のために選択され
た空間形状に応じて、予圧室4が供給管路23を介して
容積を補償するための手段24に接続されていると合目
的である。この手段は図示のように、例えばガス泡貯蔵
器のような小さな貯蔵室によって形成可能である。この
貯蔵室により、一方では、弁21,22の開放時に予圧
室4と伝達室7内に同じ圧力が生じる。これによって同
時に、大きな温度変化の際に、使用される液体の膨張が
軸方向における伝達形状を変化させることがなく、貯蔵
室の範囲において吸収されるので、予圧室4と伝達室7
の容積が不変である。
【0014】スライダ本体14の範囲に生じる漏洩液体
は、突起16の範囲の漏洩管路25と、戻しばね15の
範囲の漏洩管路26を経て排出される。図2の実施の形
態は原理的には、図1に基づいて説明した実施の形態と
同じように形成されている。従って、図1の実施の形態
を参照することができる。図1に示した、例えばガス泡
貯蔵器の形をした容積補償のための手段24の個所に、
圧力媒体供給部を接続することができる。この圧力媒体
供給部によって、予め設定可能な予圧が予圧室4と伝達
室7内で維持される。図2の実施の形態の場合には、予
圧室4の圧力媒体供給は溢流管路29によって行われ
る。この溢流管路によって、漏洩液体の一部がスライダ
本体20の漏洩捕集室30から予圧室4に圧力媒体供給
のように導かれる。漏洩捕集室30と漏洩液体排出管路
28の間に、圧力保持弁27を設けたことにより、この
系の場合には、予圧室4が一定の予圧に保たれるので、
熱に起因する圧力液体の容積の変化は、伝達系に不利な
作用を及ぼさない。
【0015】図2の実施の形態の場合には、支持体10
が予圧室4の上側部分7.1内に達する突出部7.3を
備えている。この突出部によって、この部分の全体の容
積が小さくなる。図1と異なり、ダイヤフラム3は弁体
を形成している。これは例えば、ダイヤフラム3寄りの
弁開口32の側が、リング状突出部によって画成される
ことによって可能である。この突出部はプレート本体5
の面から幾分突出し、ダイヤフラムの弁座を形成してい
る。
【0016】更に、プレート本体5およびまたはピスト
ン本体8をそれぞれダイヤフラム状に形成し、変形でき
るようにおよび弾性的に撓むことができるようにするこ
とができる。その際、弾性ベローの配置を省略すること
ができる。大きな操作ストロークの場合には、プレート
本体5、特にピストン本体8をいわゆる条溝ダイヤフラ
ムとして形成し、それによって大きく曲がるようにする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】弁スライダを操作するためのアクチュエータの
基本原理を示す図である。
【図2】圧力媒体供給部を備えた図1の実施の形態の変
形例を示す図である。
【符号の説明】
2 アクチュエータ本体 3 ダイヤフラム 4 予圧室 5 プレート本体 6,9 弾性ベロー 7 伝達室 8 ピストン本体 10 支持体 14 操作手段 21 弁開口 22 弁体 24 容積補償手段 27 圧力保持弁 28 液体排出部 29 溢流管路 30 漏洩室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 グンター・ギユリッヒ ドイツ連邦共和国、52074 アーヒエン、 エブロネンウインケル、6 (72)発明者 ヘルマン・ヨーゼフ・ラウメン ドイツ連邦共和国、52525 ハインスベル ク、ニイゲン、21

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液体を充填した予圧室(4)を備え、こ
    の予圧室の一方の側がアクチュエータ本体(2)に連結
    されたダイヤフラム(3)によって画成され、予圧室の
    他方の側が大きな面積の弾性的なプレート本体(5)に
    よって画成され、プレート本体(5)が伝達室(7)の
    一方の側を画成し、伝達室の他方の側が弾性的に支持さ
    れた小さな面積のピストン本体(8)によって画成さ
    れ、このピストン本体が操作手段(14)に作用し、プ
    レート本体(5)に弁開口(21)が設けられ、この弁
    開口が予圧室(4)と伝達室(7)を接続し、かつダイ
    ヤフラム(3)に連結された弁体(22)によって閉鎖
    可能であることを特徴とする、操作手段を操作するた
    め、特に弁を操作するための液圧式伝達比変更装置を備
    えた電気式固体アクチュエータ。
  2. 【請求項2】 弁体(22)がダイヤフラム(3)とプ
    レート本体(5)の間で伝達手段を形成していることを
    特徴とする請求項1記載の固体アクチュエータ。
  3. 【請求項3】 予圧室(4)が容積を補償する手段(2
    4;29,30)に接続されていることを特徴とする請
    求項1または2記載の固体アクチュエータ。
  4. 【請求項4】 予圧室(4)が圧力媒体供給部に接続さ
    れていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つ
    に記載の固体アクチュエータ。
  5. 【請求項5】 予圧室(4)が漏洩室(30)に接続さ
    れていることを特徴とする液体管路内の弁(14)を操
    作するための固体アクチュエータ。
  6. 【請求項6】 漏洩室(30)と予圧室(4)の少なく
    とも一方が、圧力保持弁(27)を介して液体排出部
    (28)に接続されていることを特徴とする請求項1〜
    5のいずれか一つに記載の固体アクチュエータ。
  7. 【請求項7】 弁体(22)がダイヤフラム(3)の一
    体の構成要素を形成していることを特徴とする請求項1
    〜6のいずれか一つに記載の固体アクチュエータ。
  8. 【請求項8】 プレート本体(5)とピストン本体
    (8)の少なくとも一方がそれぞれ、弾性ベロー(6,
    9)を介して支持体(10)に固定されていることを特
    徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の固体アク
    チュエータ。
  9. 【請求項9】 プレート本体(5)とピストン本体
    (8)の少なくとも一方がダイヤフラム状に形成されて
    いることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記
    載の固体アクチュエータ。
JP10129176A 1997-05-14 1998-05-12 液圧式伝達比変更装置を備えた電気式固体アクチュエータ Withdrawn JPH112350A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE29708546U DE29708546U1 (de) 1997-05-14 1997-05-14 Elektrischer Festkörperaktuator mit hydraulischer Übersetzung
DE29708546:8 1997-05-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH112350A true JPH112350A (ja) 1999-01-06

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ID=8040310

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10129176A Withdrawn JPH112350A (ja) 1997-05-14 1998-05-12 液圧式伝達比変更装置を備えた電気式固体アクチュエータ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6062532A (ja)
JP (1) JPH112350A (ja)
DE (2) DE29708546U1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005513334A (ja) * 2001-12-05 2005-05-12 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 燃料噴射弁
KR100806058B1 (ko) * 1999-09-30 2008-02-21 로베르트 보쉬 게엠베하 유체 제어 밸브
WO2009004748A1 (ja) * 2007-07-02 2009-01-08 Daikin Industries, Ltd. 電動弁及び冷凍装置

Families Citing this family (49)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19726481A1 (de) * 1997-06-21 1998-12-24 Bosch Gmbh Robert Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
DE19727992C2 (de) * 1997-07-01 1999-05-20 Siemens Ag Ausgleichselement zur Kompensation temperaturbedingter Längenänderungen von elektromechanischen Stellsystemen
JP4186135B2 (ja) * 1998-05-15 2008-11-26 Smc株式会社 シリンダ用速度制御装置
DE19854348C1 (de) * 1998-11-25 2000-04-27 Fortuna Werke Maschf Ag Spindel für eine Werkzeugmaschine sowie Verfahren zum Einstellen einer Vorspannung eines in der Spindel angeordneten Wälzlagers
DE19914715C2 (de) * 1999-03-31 2002-08-14 Siemens Ag Vorrichtung zum Übertragen einer Aktorbewegung
DE19921242C1 (de) 1999-05-07 2000-10-26 Siemens Ag Verfahren zum Positionieren des Stellantriebs in einem Kraftstoffinjektor und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE19940056A1 (de) * 1999-08-24 2001-03-22 Siemens Ag Dosiervorrichtung und Verfahren zur Dosierung
DE19946827C1 (de) * 1999-09-30 2001-06-21 Bosch Gmbh Robert Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
DE19958704C2 (de) * 1999-12-06 2002-10-02 Siemens Ag Vorrichtung zum Übertragen einer Aktorbewegung und Fluiddosierer mit einer solchen Vorrichtung
DE19962177A1 (de) * 1999-12-22 2001-07-12 Siemens Ag Hydraulische Vorrichtung zum Übertragen einer Aktorbewegung
DE10019765B4 (de) * 2000-04-20 2004-12-09 Robert Bosch Gmbh Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
DE10019764B4 (de) * 2000-04-20 2004-09-23 Robert Bosch Gmbh Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
DE10028768A1 (de) * 2000-06-09 2001-12-20 Bosch Gmbh Robert Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
DE10039424A1 (de) * 2000-08-11 2002-02-28 Siemens Ag Dosierventil mit einem hydraulischen Übertragungselement
DE10048430A1 (de) * 2000-09-29 2002-04-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE50206891D1 (de) * 2001-02-22 2006-06-29 Continental Teves Ag & Co Ohg Ventil, insbesondere für hydraulische kraftfahrzeug-bremsanlagen
GB0108927D0 (en) * 2001-04-10 2001-05-30 Newlands Technology Ltd Actuator with hydraulics
DE10124365B4 (de) * 2001-05-18 2005-05-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren und Fixieren eines Objektes
US6454238B1 (en) * 2001-06-08 2002-09-24 Hoerbiger Kompressortechnik Services Gmbh Valve
DE10136186A1 (de) * 2001-07-25 2003-02-06 Bosch Gmbh Robert Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
DE10162045B4 (de) * 2001-12-17 2005-06-23 Siemens Ag Vorrichtung zum Übersetzen einer Auslenkung eines Aktors, insbesondere für ein Einspritzventil
US6792921B2 (en) * 2001-12-17 2004-09-21 Caterpillar Inc Electronically-controlled fuel injector
US6983894B2 (en) 2002-02-13 2006-01-10 Siemens Vdo Automotive Inc. Piezo-electrically actuated canister purge valve with a hydraulic amplifier
US6811133B2 (en) * 2002-04-30 2004-11-02 The Regents Of The University Of California Hydraulically amplified PZT mems actuator
US7218035B2 (en) * 2002-09-27 2007-05-15 University Of Waterloo Micro-positioning device
JP4344164B2 (ja) * 2003-04-18 2009-10-14 株式会社サタケ 圧電式エアバルブおよび複合圧電式エアバルブ
DE10321693A1 (de) * 2003-05-14 2004-12-02 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE10332874A1 (de) * 2003-07-19 2005-02-10 Robert Bosch Gmbh Hydraulischer Koppler und Kraftstoffeinspritzventil
DE10343488A1 (de) * 2003-09-12 2005-04-07 Siemens Ag Hydrauliksystem mit Ausgleichsspeicher
JP2005140223A (ja) * 2003-11-06 2005-06-02 Nippon M K S Kk 制御弁
EP1591656B1 (en) * 2004-04-26 2008-03-12 Isuzu Motors Limited Differential expansion absorption mechanism and fuel injection valve comprising same
WO2006044458A2 (en) 2004-10-13 2006-04-27 University Of Virginia Patent Foundation Electrostatic actuation for management of flow
DE102006013958B4 (de) * 2006-03-27 2016-11-10 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE102008000425A1 (de) * 2008-02-28 2009-09-03 Zf Friedrichshafen Ag Elektromagnetischer Aktor
CN100535486C (zh) * 2008-03-11 2009-09-02 浙江大学 压电晶体驱动高速开关阀
DE102008037276B4 (de) * 2008-08-11 2011-02-10 Continental Automotive Gmbh Einspritzventil
GB0822163D0 (en) * 2008-12-05 2009-01-14 Rolls Royce Plc A valve
DE102010027278B4 (de) * 2010-07-15 2020-07-02 Metismotion Gmbh Thermisch volumenneutraler Hubübertrager sowie Dosierventil mit einem solchen Hubübertrager und Verwendung des Dosierventils
DE102010040612A1 (de) 2010-09-13 2012-03-15 Siemens Aktiengesellschaft Hydraulischer Temperaturkompensator und hydraulischer Hubübertrager
EP2500550A1 (en) * 2011-03-16 2012-09-19 Siemens Aktiengesellschaft Stroke transmitter for gas turbine
CN102242743B (zh) * 2011-07-11 2013-08-21 南京航空航天大学 多喷嘴挡板电液伺服阀及其工作方法
CN102242742B (zh) * 2011-07-11 2013-08-21 南京航空航天大学 两级射流喷嘴串联式超磁致伸缩射流伺服阀及工作方法
US9316323B2 (en) * 2012-06-14 2016-04-19 Fisher Controls International Llc Hydraulic mechanism for valves
CN103398203A (zh) * 2013-08-17 2013-11-20 刘勇 微型液力压电开关阀
AT517391B1 (de) * 2015-07-03 2018-11-15 Sonderhoff Eng Gmbh Ventileinrichtung
EP3236123A1 (de) 2016-04-19 2017-10-25 Primetals Technologies Austria GmbH Betätigungseinrichtung für einen steuerkolben eines hydraulikventils
CN110985157B (zh) * 2019-12-25 2021-05-18 潍柴动力股份有限公司 一种排气制动系统及其控制方法和车辆
CN112196756B (zh) * 2020-10-04 2022-03-29 长春工业大学 一种摆动放大的压电叠堆双柱塞泵
WO2023018724A1 (en) * 2021-08-10 2023-02-16 Electric Power Research Institute, Inc. Servo-controlled metering valve and fluid injection system

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5417142A (en) * 1992-12-18 1995-05-23 Caterpillar Inc. Hydraulic amplifier
DE4412948C2 (de) * 1994-04-14 1998-07-23 Siemens Ag Elektrohydraulische Absperrvorrichtung
US5758862A (en) * 1996-08-27 1998-06-02 Sturman Industries Solenoid pump operated valve

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100806058B1 (ko) * 1999-09-30 2008-02-21 로베르트 보쉬 게엠베하 유체 제어 밸브
JP2005513334A (ja) * 2001-12-05 2005-05-12 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 燃料噴射弁
WO2009004748A1 (ja) * 2007-07-02 2009-01-08 Daikin Industries, Ltd. 電動弁及び冷凍装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6062532A (en) 2000-05-16
DE19803842A1 (de) 1998-11-19
DE29708546U1 (de) 1998-09-10

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