JPH11233606A - 樹脂製薄板収納容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自動化の進展や処理内容の複雑化に迅速に対
応でき、黒色等の対象物に対し読み取り可能な識別記号
を確実に書き込む。 【解決手段】 ウエハを複数枚収納して搬送、保管及び
処理等を行うウエハキャリア又はウエハキャリアボック
スである。処理の履歴や管理のためのデータがＸＹ方向
に広がるパターンで記録された面状のデータコードを、
レーザ光によって容器外壁面に直接書き込んだ。小基板
にデータコードを書き込み、ウエハキャリア等に装着、
貼付又は融着してもよい。小基板を光学的に可視のカバ
ーで覆って密封状態で取り付けてもよい。小基板を外面
から光学的に可視の状態でウエハキャリア等と一体成型
してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄板、即ち、ハー
ドメモリディスク（磁気ディスク）、コンパクトディス
ク（ＣＤ）等の基体や、半導体製造用のシリコンウエハ
や、ＬＣＤ用のガラス基板等を、複数枚同時に収納支持
して、搬送、保管及び表面処理等を行う樹脂製薄板収納
容器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シリコンウエハ、コンパクトデ
ィスク等の薄板は樹脂製薄板収納容器（例えばウエハキ
ャリア等）に収納されて取り扱われる。この樹脂製薄板
収納容器は、複数枚の薄板を一定間隔をおいて平行に配
設された状態で収納支持し、これら複数枚の薄板を同時
に取り扱う。

【０００３】薄板を大量に処理するときは、複数枚の薄
板を収納した樹脂製薄板収納容器を多数用い、各樹脂製
薄板収納容器に収納された薄板を一単位として同時に搬
送、保管及び表面処理等を行う。

【０００４】また、薄板はドライ状態で処理される以外
に、純水での洗浄や薬液への浸漬等のウエット状態での
処理も行われる。ウエット状態での処理の場合は、樹脂
製薄板収納容器も同時に純水や薬液に浸される。

【０００５】一方、各樹脂製薄板収納容器には、それぞ
れ処理の履歴（加工履歴）や管理等のためにバーコード
を付しておく場合がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、樹脂製薄板
収納容器にバーコードを付した場合、次のような問題点
がある。

【０００７】最近の製造工程等における自動化の進展や
各種行程での処理内容の複雑化に伴い、多量の情報を管
理する必要性が生じた。これに対して、バーコードでは
情報格納能力が不足し、必要な情報のすべてを格納する
ことが難しい。即ち、バーコードによってすべての情報
を格納しようとすると、バーコード長が極端に長くな
り、樹脂製薄板収納容器の外壁をはみ出す可能性があ
る。

【０００８】また、バーコードでは記載情報が複雑、多
量になると誤読率が高まり、自動化や処理の複雑化に耐
えられなくなる恐れがあるという問題点がある。

【０００９】さらに、レーザ光でバーコードを樹脂製薄
板収納容器の外壁に書き込む場合、この容器の外壁は透
明、半透明又は白色であることが必要である。また、着
色されている場合でも淡色のものに限定される。これ
は、バーコードの読み取りが、バーコードを構成する黒
線の部分と他の部分との濃淡の差を検出することによっ
て行われるためである。このため、容器の外壁を濃色又
は黒色にした場合、バーコードの黒線とその他の部分と
の濃淡の差を検出することは難しく、実際上読み取り不
能となってしまうという問題点がある。

【００１０】これらは、ウエハキャリアに取り付けられ
る小基板（タグ）にバーコードを直接書き込む場合も同
様である。

【００１１】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
で、自動化の進展や処理内容の複雑化に迅速に対応でき
ると共に、濃色又は黒色の対象物に対しても読み取り可
能な情報をレーザ光によって確実に書き込むことができ
る樹脂製薄板収納容器を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に第１の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、薄板を複数
枚収納して搬送、保管及び処理等を行う樹脂製薄板収納
容器において、処理の履歴や管理のためのデータがＸＹ
方向に広がるパターンで記録された面状のデータコード
を、レーザ光によって容器外壁面に直接書き込んだこと
を特徴とする。

【００１３】前記データコードとしては２次元シンボル
を使用する。例えば、米国Ｉ．Ｄ．Ｍａｔｒｉｘ社が開
発したデータコードを使用する。このデータコードを、
ＣＣＤカメラ等を用いてパターンで認識し、画像処理に
よって処理の履歴や管理のための情報を読み取る。この
データコードの場合は、情報格納能力が極めて高い上
に、誤読率が非常に低い。また、データコードを小さく
しても、カメラの焦点距離や画像処理で調整できるの
で、書き込み占有面積が少なくて済む。

【００１４】さらに、書き込みに際して、対象基材の色
を問題としない。即ち、濃色又は黒色の基材に対して
も、判読可能なデータコードを書き込むことができる。
具体的には、レーザ光によって対象基材の表面を発泡隆
起させて凹凸を付けたり、表面に塗布した淡色又は白色
の塗料をレーザ光で除去したりしてデータコードを書き
込む。凹凸を付ける場合は、照射された光が凹凸で乱反
射する部分と平坦面で直接反射する部分との反射光に違
いが生じ、これをパターン認識することで、情報を読み
取る。

【００１５】また、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴ
ＦＥ）のような、レーザ光での表面への直接書き込みが
困難な基材に対しては、白色基板表面に濃色又は黒色の
塗料を塗布し、レーザ光で塗料部分を除去して白色部分
と濃色又は黒色部分が逆転したデータコードを書き込
み、画像処理によって情報を読み取る。

【００１６】本発明を実施するに当たっては、レーザ光
でデータコードを樹脂製薄板収納容器の外壁表面に直接
書き込む方法が最も簡単で望ましい。

【００１７】この結果、自動化が進展してさまざまな制
御データが必要な場合や、処理内容の複雑化に伴って処
理の履歴や管理のためのデータが多くになる場合でも、
それに迅速に対応することができるようになる。

【００１８】さらに、材質や形状の異なる種々の樹脂に
対してデータコードを書き込むことができるため、自動
化の進展や処理内容の複雑化に迅速に対応できる樹脂製
薄板収納容器を提供することができる。

【００１９】第２の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
容器自体の構成材料が、テトラフルオロエチレン・パー
フルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリ
プロピレン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフタレート（Ｐ
ＢＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミ
ド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）、又はポリエステルエラストマーであることを特徴
とする。

【００２０】これらの材料を用いることにより、その材
料の表面にレーザ光でデータコードを確実に書き込むこ
とができる。

【００２１】第３の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
薄板を複数枚収納して搬送、保管及び処理等を行う樹脂
製薄板収納容器において、小さい板片からなる小基板を
用い、処理の履歴や管理のためのデータがＸＹ方向に広
がるパターンで記録された面状のデータコードをレーザ
光によって前記小基板の表面に書き込み、この小基板を
容器外面に装着、貼付又は融着したことを特徴とする。

【００２２】レーザ光でデータコードを書き込んだ小基
板を樹脂製薄板収納容器に装着、貼付又は融着する具体
的手段としては、次のようなものがある。樹脂製薄板収
納容器に装着用ポケットを設け、その装着用ポケットに
小基板を挿入する。小基板を樹脂製薄板収納容器に、ピ
ン等で機械的に取り付けたり、接着剤で貼り付けたり、
熱融着したりする。また、樹脂製薄板収納容器に予め小
基板用の凹部を設けておき、小基板をこの凹部に嵌め込
み、その周囲を熱融着する。また、光学的に可視の樹脂
板で小基板を覆い、その樹脂板を熱融着する。さらに、
小基板を樹脂製薄板収納容器の成型時に型内に装着して
一体成型する等の方法がある。

【００２３】また、小基板へのデータコードの書き込み
方法としては、レーザ光によって直接書き込む以外に、
白色小基板の表面に濃色又は黒色の塗料を塗布し、塗料
部分をレーザ光で除去することにより白色部分と発色部
分が逆転したデータコードを書き込むことも可能であ
る。

【００２４】樹脂製薄板収納容器が処理工程で強酸化性
の雰囲気または溶液に曝される場合には、ＰＦＡ等の耐
薬品性に優れ且つ光学的に可視のフィルムで前記小基板
を覆い、樹脂製薄板収納容器に密封状態で熱融着するこ
とが望ましい。

【００２５】第４の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
前記小基板の構成材料が、金属、ガラス、セラミック
ス、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラ
フルオロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共
重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブチ
レンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエ
ーテルケトン（ＰＥＥＫ）又はポリエステルエラストマ
ーであることを特徴とする。

【００２６】これらの材料を用いることにより、その材
料の表面にレーザ光でデータコードを確実に書き込むこ
とができる。

【００２７】第５の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
前記小基板が、光学的に可視のカバーで覆われて、容器
外面に密封状態で取り付けられたことを特徴とする。

【００２８】小基板を密封することにより、薬液や純粋
等に樹脂製薄板収納容器を浸す場合でも、小基板が薬液
等に晒されず、データコードの経年劣化が最小限に抑え
られる。これにより、光学的に可視のカバー越しにデー
タコードを確実に認識することができる。

【００２９】第６の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
前記カバーの構成材料が、光学的に可視のテトラフルオ
ロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体
（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン
（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又は
ポリカーボネート（ＰＣ）であることを特徴とする。

【００３０】これらの材料を用いることにより、小基板
を確実に密封した状態で樹脂製薄板収納容器に取り付け
ることができる。

【００３１】第７の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
薄板を複数枚収納して搬送、保管及び処理等を行う樹脂
製薄板収納容器において、処理の履歴や管理のためのデ
ータコードが、レーザ光によって表面に書き込まれた小
基板を、容器外面から光学的に可視の状態で一体成型し
たことを特徴とする。

【００３２】この場合、小基板を樹脂製薄板収納容器の
成型時に型内に装着して一体成型する。これにより、小
基板が樹脂製薄板収納容器に確実に取り付けられる。小
基板は、外部から光学的に可視であれば、樹脂製薄板収
納容器内に埋設してもよい。また、データコードが書き
込まれた小基板の表面が樹脂製薄板収納容器から外部に
現れるようにしてもよい。

【００３３】第８の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
容器自体の構成材料が、テトラフルオロエチレン・パー
フルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリ
プロピレン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフタレート（Ｐ
ＢＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミ
ド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）、又はポリエステルエラストマーであることを特徴
とする。

【００３４】これらの材料を用いることにより、小基板
を樹脂製薄板収納容器に、貼付又は融着により確実に取
り付けることができる。

【００３５】第９の発明に係る樹脂製薄板収納容器は、
前記小基板の構成材料が、金属、ガラス、セラミック
ス、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラ
フルオロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共
重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブチ
レンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエ
ーテルケトン（ＰＥＥＫ）又はポリエステルエラストマ
ーであることを特徴とする。

【００３６】これらの材料を用いることにより、その材
料の表面にレーザ光でデータコードを確実に書き込むこ
とができる。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例について
図面を参照しながら説明する。

【００３８】［第１実施形態］本実施形態に係る樹脂製
薄板収納容器は、ハードメモリーディスク（磁気ディス
ク）及びコンパクトディスク（ＣＤ）等の基体や、半導
体製造用のシリコンウエハや、ＬＣＤ用のガラス基板等
の薄板を支持するものである。本実施例ではこれらの薄
板のうち半導体製造用のシリコンウエハを用い、これを
直接支持するウエハキャリア及びこのウエハキャリアを
収納支持するウエハキャリアボックスを用いた場合を例
に図１に基づいて説明する。なお、ここでいう樹脂製薄
板収納容器とは、このウエハキャリア及びウエハキャリ
アボックスの両方を含む概念である。

【００３９】ウエハキャリア１は、複数のウエハ（図示
せず）を収納支持してウエハの処理工程に投入された
り、ウエハキャリアボックス２内に収納されてウエハの
搬送や保管等に供される。このウエハキャリア１は上方
が開口した籠状に形成され、その内側には一定間隔を置
いて複数の歯板部３が並列に配設され、複数枚のウエハ
を一定間隔をおいて並行に支持するようになっている。
４は取っ手、５は下部に形成された足部である。

【００４０】ウエハキャリアボックス２は主に、前方を
開口して形成されウエハキャリア１を収納する筐体７
と、この筐体７の開口部８を塞ぐ蓋体９とから構成され
ている。ウエハキャリアボックス２の上側にはこのボッ
クス２を持ち運ぶための取っ手１０が着脱可能に取り付
けられる。

【００４１】そして、前記ウエハキャリア１の側壁１１
にはデータコード１２がレーザ光によって直接書き込ま
れている。このデータコード１２は、ウエハの表面処理
等の種々の加工の履歴を記録したり、大量のウエハを正
確に管理するための識別記号である。データコード１２
は、ウエハキャリア１に収納されたウエハの処理の履歴
や管理のための情報がＸＹ方向に広がる面状のパターン
で記録された２次元シンボルによって構成されている。
例えば、米国Ｉ．Ｄ．Ｍａｔｒｉｘ社が開発したデータ
コードやベリテック社が開発したベリコードや日本ＩＤ
テック社が開発したシーピーコード等を使用する。この
データコード１２を、ＣＣＤカメラ等を用いてパターン
で認識し、画像処理によって処理の履歴や管理のための
情報を読み取る。このデータコード１２の場合は、情報
格納能力が極めて高い上に、誤読率が非常に低い。ま
た、データコード１２を小さくしても、カメラの焦点距
離や画像処理で調整できるので、書き込み占有面積を小
さくすることができる。

【００４２】さらに、データコード１２の書き込みに際
しては、ウエハキャリア１等の色を問題としない。即
ち、濃色又は黒色のウエハキャリア１等に対しても、判
読可能なデータコード１２を書き込むことができる。具
体的には、レーザ光によってウエハキャリア１等の書き
込み対象部分の表面を発泡隆起させて凹凸を付けたり、
表面に塗布した淡色又は白色の塗料を乾燥、焼き付けし
た後、レーザ光で除去してデータコード１２を書き込
む。凹凸を付ける場合は、照射された光が凹凸で乱反射
する部分と平坦面で直接反射する部分との反射光に違い
が生じ、これをパターン認識することで、情報を読み取
る。

【００４３】このデータコード１２はウエハの処理工程
の途中に設けられた読み取り専用ＣＣＤカメラ（図示せ
ず）によって読み取られ、そのデータコード１２の情報
に沿って処理、搬送、保管等がなされる。

【００４４】また、ウエハキャリアボックス２の側壁１
３にも、前記ウエハキャリア１の側壁１１に付されたデ
ータコード１２と同様のデータコード１４が付されてい
る。このデータコード１４にも前記データコード１２と
同様の情報や、特にこのボックス２の搬送、保管に関す
る情報等が記録される。

【００４５】次にウエハキャリア１及びウエハキャリア
ボックス２を構成する材料、及びレーザ光によってウエ
ハキャリア１及びウエハキャリアボックス２にデータコ
ード１２，１４を付す場合の態様について説明する。

【００４６】ウエハキャリア１及びウエハキャリアボッ
クス２の材料としては、テトラフルオロエチレン・パー
フルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリ
プロピレン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフタレート（Ｐ
ＢＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミ
ド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）、又はポリエステルエラストマー等が用いられる。
これらテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルコキ
シエチレン共重合体（ＰＦＡ）等の材料に発熱体として
Ｓｉ，Ｃａ，Ｂａ，Ｎａ，Ｋ，Ｃ，Ｔｉ，Ａｌ又はＭｇ
を０．０００１〜０．５重量％、好ましくは０．０３〜
０．５重量％包含する。

【００４７】このテトラフルオロエチレン・パーフルオ
ロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）等からなるウ
エハキャリア１の側壁１１及びウエハキャリアボックス
２の側壁１３にレーザ装置によってデータコード１２，
１４を書込む。

【００４８】レーザ光の照射条件は次の通りである。

【００４９】 (1)レーザの種類： ｎｄ：ＹＡＧレーザ (2)レーザ波長 ： １．０６μｍ (3)印字速度 ： ４００μｍ／ｓｅｃ〜１００ｍｍ／ｓｅｃ (4)レーザ容量（出力）：３０Ｗ（最大） 以上の態様でレーザ光を照射すると、このレーザ光は発
熱体に吸収されこの発熱体が発熱する。これにより、発
熱体の周囲の樹脂が発泡、炭化して白黒の濃淡や凹凸が
でき、これを利用してデータコード１２，１４を書き込
む。

【００５０】なお、前記発熱体として用いるＳｉ，Ｃ
ａ，Ｂａ，Ｎａ，Ｋ，Ｃ，Ｔｉ，Ａｌ又はＭｇは、その
うちの一種類を用いても二種類以上を用いてもよい。ま
た、発熱体の包含率は、ポリプロピレンの場合０．５
％，ポリブチレンテレフタレートの場合０．０３％が好
ましい。

【００５１】また、発熱体を含まないテトラフルオロエ
チレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体（Ｐ
ＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフ
タレート（ＰＢＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリ
エーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケト
ン（ＰＥＥＫ）、又はポリエステルエラストマー等が用
いられる。これらテトラフルオロエチレン・パーフルオ
ロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）等のみを材料
としてウエハキャリア１等を構成した場合についても前
記レーザ光によるデータコード１２，１４の書込みを行
った。このテトラフルオロエチレン・パーフルオロアル
コキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）等は生産される際
に、触媒として２０〜３０ｐｐｍ程度のＡｌやＭｇが混
入している。これは生産上混入が避けられない触媒であ
るが、この触媒は発熱体としての機能を有するため、積
極的に発熱体を含有させないで、既存の触媒を利用す
る。

【００５２】この場合のレーザ光の照射条件は前述した
発熱体を包含する場合と同様である。

【００５３】このデータコード１２，１４は、大量に製
造されるウエハキャリア１及びウエハキャリアボックス
２の製造ラインの最終段階で、各ウエハキャリア１、ウ
エハキャリアボックス２の一つ一つにそれぞれを識別で
きる記号として書込まれる。

【００５４】以上のように構成されたウエハキャリア１
及びウエハキャリアボックス２は、ウエハの処理工程に
投入される前に純水によって洗浄される。また、ウエハ
キャリア１は、処理工程において複数枚のウエハを支持
してこのウエハと共に薬液等に浸漬される。そして、ウ
エハキャリア１等のデータコード１２，１４はウエハの
処理工程の途中に設けられた読み取り専用のＣＣＤカメ
ラによって読み取られ、データコード１２の情報に沿っ
てウエハキャリア１の処理、搬送、保管等がなされた
り、ウエハキャリア１がウエハキャリアボックス２に収
納された状態でデータコード１４の情報に沿ってウエハ
キャリアボックス２が搬送、運搬されたりする。

【００５５】以下に、３つの材料に対して具体的にデー
タコード１２，１４をレーザ光で書き込み、読み取り専
用のＣＣＤカメラで読み取った結果を説明する。

【００５６】［実施例１］ＰＢＴ製ウエハキャリア１の
外壁に、前記レーザ光で前記データコード１２，１４を
２０ｍｍ×２０ｍｍの大きさで書き込んだ。このデータ
コード１２，１４を読み取り専用のＣＣＤカメラで読み
取りを行ったところ、問題無く読み取ることができた。

【００５７】［実施例２］ＰＦＡ製ウエハキャリア１の
外壁に、前記レーザ光で前記データコード１２，１４を
２０ｍｍ×２０ｍｍの大きさで書き込んだ。このデータ
コード１２，１４を読み取り専用のＣＣＤカメラで読み
取りを行ったところ、問題無く読み取ることができた。

【００５８】［実施例３］カーボンパウダー入りＰＥＥ
Ｋ製ウエハキャリア１の外壁に、前記レーザ光で前記デ
ータコード１２，１４を２０ｍｍ×２０ｍｍの大きさで
書き込んだ。このデータコード１２，１４を読み取り専
用のＣＣＤカメラで読み取りを行ったところ、問題無く
読み取ることができた。

【００５９】［効果］この結果、ウエハの処理工程等に
おいて、自動化が進展してさまざまな制御データが必要
な場合や、処理内容の複雑化に伴って処理の履歴や管理
のためのデータが多くになる場合でも、それに対して確
実かつ迅速に対応することができるようになる。

【００６０】さらに、材質や形状の異なる種々の樹脂に
対してデータコードを書き込むことができるため、自動
化の進展や処理内容の複雑化に迅速に対応したウエハキ
ャリア１又はウエハキャリアボックス２を提供すること
ができる。

【００６１】また、ウエハキャリア１及びウエハキャリ
アボックス２を前記材料で構成したので、その材料の表
面にレーザ光でデータコード１２，１４を確実に書き込
むことができるようになる。

【００６２】［第２実施形態］次に第２実施形態につい
て説明する。

【００６３】本実施形態に係るウエハキャリア及びウエ
ハキャリアボックスの全体構成は、前記第１実施形態の
ウエハキャリア１及びウエハキャリアボックス２と同様
であるため、ここではその説明を省略する。

【００６４】本実施形態の特徴は、データコード１２，
１４を書き込んだ小基板（タグ）をウエハキャリア及び
ウエハキャリアボックスに取り付けたところにある。即
ち、第１実施形態のように、ウエハキャリア１及びウエ
ハキャリアボックス２の表面にデータコード１２，１４
を直接書き込む代わりに、データコード１２，１４を小
基板に書き込み、この小基板をウエハキャリア及びウエ
ハキャリアボックスに取り付けたものである。

【００６５】小基板は小さい板片によって構成されてい
る。この小基板に前記データコード１２，１４が書き込
まれる。このデータコード１２，１４が書き込まれた小
基板が、ウエハキャリア及びウエハキャリアボックスの
外面に装着、貼付又は融着される。

【００６６】この小基板の具体的な取り付け手段として
は次のようなものがある。

【００６７】ウエハキャリア等に予め装着用ポケットを
設けておき、その装着用ポケットに小基板を挿入する。
また、小基板をウエハキャリア等に、ピン等で機械的に
取り付ける。さらに、接着剤で貼り付けたり、熱融着し
たりする。これらは、ウエハキャリア等の用途その他の
各種の条件に応じて適宜選択する。

【００６８】また、ウエハキャリア等に予め小基板用の
凹部を設けておき、小基板をこの凹部に嵌め込んで、そ
の周囲を熱融着したり、光学的に可視の樹脂板で小基板
を覆い、その樹脂板をウエハキャリア等に熱融着するよ
うにしてもよい。さらに、小基板をウエハキャリア等の
成型時に型内に装着して、ウエハキャリア等と一体成型
するようにしてもよい。

【００６９】さらに、小基板を、光学的に可視のカバー
で覆ってウエハキャリアの外面に密封状態で取り付ける
ようにしてもよい。特に、ウエハキャリア等が処理工程
で強酸化性の雰囲気または溶液に曝される場合には、耐
薬品性に優れ且つ光学的に可視のカバーで小基板を覆っ
て密封状態にし、ウエハキャリア等に熱融着することが
望ましい。これにより、小基板を密封することにより、
ウエハキャリア等を薬液や純粋等に浸す場合でも、小基
板が薬液等に晒されず、データコードの経年劣化が最小
限に抑えられる。この結果、光学的に可視のカバー越し
にデータコードを確実に認識することができる。

【００７０】小基板へのデータコードの書き込み方法と
しては、前記第１実施形態と同様に、レーザ光によって
直接書き込む以外に、白色小基板の表面に濃色又は黒色
の塗料を塗布して乾燥、焼き付けした後に、塗料部分を
レーザ光で除去することにより白色部分と発色部分が逆
転したデータコード１２，１４を書き込むようにしても
よい。

【００７１】小基板の構成材料としては、金属、ガラ
ス、セラミックス、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴ
ＦＥ）、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルコ
キシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（Ｐ
Ｐ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリカ
ーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、
ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）又はポリエス
テルエラストマー等を用いる。これらを各種の条件に応
じて適宜選択して使用する。これらの材料を用いること
により、小基板の表面にレーザ光でデータコード１２，
１４を確実に書き込むことができる。

【００７２】小基板を覆う前記カバーの構成材料として
は、光学的に可視のテトラフルオロエチレン・パーフル
オロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロ
ピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレン
テレフタレート（ＰＥＴ）又はポリカーボネート（Ｐ
Ｃ）等を用いる。これらの材料を用いることにより、小
基板を確実に密封した状態でウエハキャリア等に取り付
けることができる。

【００７３】ウエハキャリア及びウエハキャリアボック
スの構成材料は、テトラフルオロエチレン・パーフルオ
ロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピ
レン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢ
Ｔ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミド
（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
Ｋ）、又はポリエステルエラストマー等を用いる。これ
らの材料を用いることにより、小基板をウエハキャリア
等に、確実に取り付けることができる。

【００７４】以下に、ＰＴＦＥによって構成された小基
板に対してデータコード１２，１４を、塗料とレーザ光
によって書き込み、読み取り専用のＣＣＤカメラで読み
取った結果、次の実施例４のようになった。

【００７５】［実施例４］ＰＴＦＥの無着色小板（４０
ｍｍ角、２ｍｍ厚）を小基板（タグ）として使用した。
この小基板の表面に黒色のフッ素樹脂専用塗料を塗布
し、乾燥・焼き付け後にレーザ光で塗料部分を除去する
方法でデータコード１２，１４を２０ｍｍ×２０ｍｍの
大きさで書き込んだ。データコード１２，１４が書き込
まれた小基板を厚さ０．５ｍｍのＰＦＡフィルムでカバ
ーし、加熱密封状態とした。ＰＦＡフィルムを通して、
このデータコード１２，１４を読み取り専用のＣＣＤカ
メラで読み取りを行ったところ、問題無く読み取ること
ができた。

【００７６】［変形例］ （１） 前記第１実施形態では、データコード１２，１
４をウエハキャリア１等の表面にレーザ光で直接に書き
込んだが、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）等のような、レーザ光での表面への直接書き込みが
困難な基材に対しては、塗料を用いてもよい。即ち、Ｐ
ＴＦＥ等の材料の表面に濃色又は黒色の塗料を塗布して
乾燥、焼き付けした後、レーザ光で塗料部分を除去して
白色部分と濃色又は黒色部分が逆転したデータコードを
書き込み、画像処理によって情報を読み取るようにして
もよい。

【００７７】（２） 前記第２実施形態では、データコ
ード１２，１４が書き込まれた小基板をウエハキャリア
等と別体の部材としてウエハキャリア等の外面に取り付
けたが、光学的に可視の状態でウエハキャリア等と一体
成型してもよい。

【００７８】この場合、小基板はウエハキャリア等の成
型時にこのウエハキャリア等を作る型内に予め装着して
おき、この型に合成樹脂を流し込むことで一体成型す
る。この場合、小基板の表面（データコード１２，１４
が書き込まれた表面）は、ウエハキャリア等の表面から
露出するようにしても、内部に埋め込むようにしてもよ
い。これにより、小基板がウエハキャリア等に確実に取
り付けられる。なお、小基板を内部に埋め込む場合は、
小基板に書き込まれたデータコード１２，１４が、外部
から光学的に可視であることが必要である。

【００７９】

【発明の効果】以上詳述したように本発明の樹脂製薄板
収納容器によれば次のような効果を奏することができ
る。

【００８０】（１） 大量の情報を処理できるデータコ
ードを設けたので、ウエハの処理工程等において、自動
化が進展してさまざまな制御データが必要な場合や、処
理内容の複雑化に伴って処理の履歴や管理のためのデー
タが多くになる場合でも、それに対して確実かつ迅速に
対応することができるようになる。

【００８１】（２） データコードをレーザ光によって
直接に書き込み、又はデータコードを書き込んだ小基板
を樹脂製薄板収納容器に取り付けることにより、材質や
形状の異なる種々の樹脂製薄板収納容器に対してデータ
コードを書き込むことができるようになる。これによ
り、自動化の進展や処理内容の複雑化に迅速に対応した
樹脂製薄板収納容器を提供することができる。

【００８２】（３） レーザ光で直接的にデータコード
を書き込んだり、焼き付けた塗料をレーザ光で除去して
データコードを書き込んだり、又はレーザ光で表面に凹
凸を付けてデータコードを書き込んだりすることで、対
象基材の色に拘らず、確実にでたコードを書き込むこと
ができるようになる。この結果、対象基材の色に拘ら
ず、それに書き込んだデータコードを確実に読み取るこ
とができ、処理の履歴や管理の情報を誤りなく識別する
ことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る樹脂製薄板収納容器としてのウエ
ハキャリア及びウエハキャリアボックスを示す分解斜視
図である。

【符号の説明】

１…ウエハキャリア、２…ウエハキャリアボックス、１
１，１３…側壁、１２，１４…データコード。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄板を複数枚収納して搬送、保管及び処
   理等を行う樹脂製薄板収納容器において、 処理の履歴や管理のためのデータがＸＹ方向に広がるパ
   ターンで記録された面状のデータコードを、レーザ光に
   よって容器外壁面に直接書き込んだことを特徴とする樹
   脂製薄板収納容器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の樹脂製薄板収納容器に
   おいて、 容器自体の構成材料が、テトラフルオロエチレン・パー
   フルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリ
   プロピレン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフタレート（Ｐ
   ＢＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミ
   ド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
   Ｋ）、又はポリエステルエラストマーであることを特徴
   とする樹脂製薄板収納容器。
3. 【請求項３】 薄板を複数枚収納して搬送、保管及び処
   理等を行う樹脂製薄板収納容器において、 小さい板片からなる小基板を用い、処理の履歴や管理の
   ためのデータがＸＹ方向に広がるパターンで記録された
   面状のデータコードをレーザ光によって前記小基板の表
   面に書き込み、この小基板を容器外面に装着、貼付又は
   融着したことを特徴とする樹脂製薄板収納容器。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の樹脂製薄板収納容器に
   おいて、 前記小基板の構成材料が、金属、ガラス、セラミック
   ス、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラ
   フルオロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共
   重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブチ
   レンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリカーボネート（Ｐ
   Ｃ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエ
   ーテルケトン（ＰＥＥＫ）又はポリエステルエラストマ
   ーであることを特徴とする樹脂製薄板収納容器。
5. 【請求項５】 請求項３又は４に記載の樹脂製薄板収納
   容器において、 前記小基板が、光学的に可視のカバーで覆われて、容器
   外面に密封状態で取り付けられたことを特徴とする樹脂
   製薄板収納容器。
6. 【請求項６】 請求項５に記載の樹脂製薄板収納容器に
   おいて、 前記カバーの構成材料が、光学的に可視のテトラフルオ
   ロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体
   （ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン
   （ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又は
   ポリカーボネート（ＰＣ）であることを特徴とする樹脂
   製薄板収納容器。
7. 【請求項７】 薄板を複数枚収納して搬送、保管及び処
   理等を行う樹脂製薄板収納容器において、 処理の履歴や管理のためのデータコードが、レーザ光に
   よって表面に書き込まれた小基板を、容器外面から光学
   的に可視の状態で一体成型したことを特徴とする樹脂製
   薄板収納容器。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の樹脂製薄板収納容器に
   おいて、 容器自体の構成材料が、テトラフルオロエチレン・パー
   フルオロアルコキシエチレン共重合体（ＰＦＡ）、ポリ
   プロピレン（ＰＰ）、ポリブチレンテレフタレート（Ｐ
   ＢＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエーテルイミ
   ド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥ
   Ｋ）、又はポリエステルエラストマーであることを特徴
   とする樹脂製薄板収納容器。
9. 【請求項９】 請求項７又は８に記載の樹脂製薄板収納
   容器において、 前記小基板の構成材料が、金属、ガラス、セラミック
   ス、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラ
   フルオロエチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共
   重合体（ＰＦＡ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリブチ
   レンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリカーボネート（Ｐ
   Ｃ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエーテルエ
   ーテルケトン（ＰＥＥＫ）又はポリエステルエラストマ
   ーであることを特徴とする樹脂製薄板収納容器。