JPH0726842Y2 - ウエハ用バスケット - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の技術分野】本考案は、半導体回路を構成するシ
リコンウエハを多数収容した状態で搬送ないしは各種処
理を行うためのウエハ用バスケットおよびその製造方法
に関する。

【０００２】

【考案の技術的背景】一般に、ＩＣ、ＬＳＩの製造工程
においては、偏平なシリコンウエハを多数枚収容して搬
送ないしは各種処理を行うためのウエハ用バスケットが
広く使用されている。

【０００３】このウエハ用バスケットには、工程管理面
からの要請により、製造ロットの番号、製造年月日等を
表示する識別マークが付され、このバスケット内に収容
されたシリコンウエハを個別に管理している。

【０００４】従来のウエハ用バスケットでは、前記識別
マークを、直接ウエハ用バスケットにフェルトペン等を
用いて書くかあるいは識別マークを書き込んだシールを
貼っていた。

【０００５】しかし、このような手段では、識別用の記
号が煩雑になったり、また書いた文字が消え易いとかシ
ールが剥れ易いなどという欠点があった。そこで、最近
では、例えば、図７に示すようなウエハ用バスケット１
を使用している。このウエハ用バスケット１は、内部に
多数のウエハＷを収納する溝部２が形成されたバスケッ
ト本体３を有し、このバスケット本体３の側壁４又は端
壁５等からなる外周壁６には、識別マークＭとしての突
起７が複数個形成されている。この突起７は、各バスケ
ット１によりその位置あるいは個数等が適宜変えられて
おり、これを光センサ（図示せず）等により検知するこ
とにより、当該バスケット１が所定の処理ラインに自動
的に搬送されるようになっている。

【０００６】しかし、このウエハ用バスケット１では、
ウエハＷを化学処理する処理液等によりバスケット１の
構成材が化学的劣化を受け前記突起７の表面が変化し、
それに伴い反射率が変化し識別精度が低下するおそれが
あった。

【０００７】また、識別マークが付された物をバスケッ
ト本体に着脱可能にすることも考えられるが、この場合
には、識別マークが付された物の着脱が面倒であるとい
う問題があり、さらに、識別マークが付された物を取違
えてバスケット本体に取付けるおそれがある。従って、
可能であれば識別マークは、着脱されずに、バスケット
本体に固定的である方が好ましいと考えられる。

【０００８】また、図８に示すように、一般的なウエハ
用バスケット１ａは、図示しないコンベアに搬送されて
矢印Ａ方向に搬送されるのが通常であるが、その際に識
別マークを読みとる場合には、キャリア本体３の側壁４
に識別マークが表示してあることが便利である。ところ
が、キャリア本体３の側壁４には、取手用のフランジ部
分８や液抜き用のスリット９が形成してあり、識別マー
クを付し難いという不都合を有している。

【０００９】なお、特開昭６１−２３９６３５号公報に
は、単にキャリア本体の側面に識別マークが表示してあ
るウエハ用キャリアが開示してあるが、この公報には、
識別マークを表示するための具体的手段が開示しておら
ず、実用的でないと言う不都合を有している。また、特
開昭６１−２３６，１３６号公報には、情報表示素子を
使用してキャリア本体の側面に識別マークを表示したも
のが開示されているが、このような識別表示手段は、種
々の付帯設備を必要とし、設備コストが高くなるという
欠点がある。また、情報表示素子などは、バスケット本
体に一体成型される必要があるが、このような電気部品
は、バスケット本体の成型時の温度にほとんど耐えるこ
とができないため、これら情報表示素子などを識別マー
クとして用いることは、およそ現実的でない。また、た
とえ情報表示素子などの電気部品などをバスケット本体
中に埋め込めたとしても、バスケットにウエハを入れて
各種薬液に浸し、ウエハに種々の処理を行なう際に、電
気部品が各種薬液で機能が損なわれる虞があり好ましく
ない。

【００１０】そこで耐薬品性に優れたマークプレートを
作成し、このマークプレートをウエハ用バスケット本体
の側壁に熱融着することが本考案者等により開発されて
いる。しかしながら、マークプレートを熱融着する際
に、マークプレートまたはウエハバスケット本体が熱に
より変形する虞が有ることが本考案者等によって見出さ
れている。特にウエハ用バスケットの側壁が変形する
と、バスケットに歪みが生じ、ウエハを当該バスケット
から出し入れする際にウエハの破損を生じる虞がある。
このような傾向は、とくに融着面積が大きい場合に顕著
であった。

【００１１】また、融着面積を少なくするため、マーク
プレートとウエハ用バスケットの側壁とを面接触させた
状態でその一部のみを融着しようとすると、マークプレ
ートと側壁との間に隙間が生じ、これが空気溜まりとな
り、その結果ウエハ用バスケット内に液溜りが生じ、例
えばウエハ洗浄時またはエッチング時の薬液汚染防止の
観点から好ましくなかった。

【００１２】

【考案の目的】本考案は、上述した欠点、問題点に鑑み
てなされたもので、識別精度に優れ、識別マークが付さ
れた物を取り外すことなく、各種薬液に浸されても識別
マークが消えることなく、この識別マークが付されたウ
エハ用バスケットの取違えを防止することが可能であ
り、しかも歪みがなく、微小な空気溜まりも有さず、か
つウエハ用バスケットの側面からも識別マークの識別表
示を読みとることが可能なウエハ用バスケットを提供す
ることを目的とする。

【００１３】

【考案の概要】このような目的を達成するために、本考
案に係るウエハ用バスケットは、バスケット本体の外周
壁に識別マークを有するウエハ用バスケットにおいて、
前記識別マークが付された表面を有する基材と、この基
材の表面にラミネートされ、前記識別マークを目視でき
る透明性および耐薬品性を有するフィルムとから成るマ
ークプレートが前記バスケット本体の底面より上部に位
置し、かつ該マークプレートの縁部が、前記外周壁のう
ちの少なくとも一つの側壁の下方に垂下し、かつ前記バ
スケット本体の底面より上部に位置するように側壁に一
体に形成された垂下片に、融着固定してあることを特徴
としている。

【００１４】前記マークプレートの肉厚と、前記垂下片
の肉厚とが略同一の厚さを有していることが好ましい。
このような本考案に係るウエハ用バスケットによれば、
マークプレートをバスケット本体の側壁に設けてあるの
で、ウエハ用キャリアをコンベア等で搬送する場合に
も、コンベアの側面から容易に識別マークを読み取るこ
とが可能である。また本考案では、識別マークが付され
たマークプレートの基材の表面に耐薬品性の表面側フィ
ルムがラミネートされているため、識別マークが薬品な
どにより侵されず、識別表示の精度が低下することもな
い。また、マークプレートがバスケット本体に固定され
ているため、マークプレートを着脱する煩雑さが無く、
また、マークプレートを取違えることを防止できる。

【００１５】しかも本考案では、マークプレートとウエ
ハバスケット本体との融着部分が、ウエハ用バスケット
本体の側壁に垂下するように形成してある垂下片であ
り、融着部分が小さいので、マークプレートやバスケツ
ト本体、特に側壁が熱変形してウエハ用バスケットが歪
む虞もない。したがってウエハ用バスケットの歪みによ
るウエハの破損も生じない。

【００１６】また、マークプレートとバスケット本体と
は、融着部分以外では接触していないため、これらの間
に微小な隙間が生じることもなく、それが空気溜まりあ
るいは液溜りとなることもない。したがって、微小な液
溜まりによるウエハ洗浄時あるいはエッチング時などの
薬液汚染も防止できる。

【００１７】

【考案の具体的説明】以下、図面に示す実施例を参照し
て本考案を説明する。図１は本考案の一実施例に係るウ
エハ用バスケットを示す概略斜視図、図２は同実施例に
係るウエハ用バスケットの製造過程を示す分解斜視図、
図３は図２に示すIII −III 線に沿う断面図、図４〜図
６はそれぞれ本考案の他の実施例に係り、その要部を示
す部分斜視図であり、図７，８に示す部材と共通する部
材には同一符号を付してある。

【００１８】図１に示すウエハ用バスケット１０は、半
導体回路を構成するシリコンウエハＷを並列的に多数収
容するバスケット本体１２を有している。このバスケッ
ト本体１２は、シリコンウエハＷに順次化学処理を施こ
すために、耐薬品性を有する素材で造られており、内部
には、前記シリコンウエハＷを多数収容する溝部２が形
成してある。このようなバスケット本体１２における外
周壁のうちの例えば一方の側壁４には、その下方に垂下
し、かつ前記バスケット本体の底面より上部に位置する
ように突出する垂下片１４が一体に形成してある。この
バスケット本体１２は、垂下片１４と共に、耐薬品性を
有する素材、例えばフッ素樹脂により構成してある。無
論、使用される条件によっては、バスケット本体１２
は、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテル
エーテルケトン）等の比較的耐薬品性に優れたフッ素樹
脂以外の熱可塑性樹脂で構成することもできる。

【００１９】垂下片１４の下端縁部１４ａには、マーク
プレート１１が前記バスケット本体１２の底面よりも上
部に位置するようにマークプレート１１の上端縁部１１
ａが融着固定してある。本実施例では、マークプレート
の肉厚と垂下片１４との肉厚は、実質的に同一肉厚であ
る。これらの縁部を融着する際における相互の熱的影響
を均一化し、熱による変形を防止するためである。

【００２０】このマークプレート１１は、図３に示すよ
うに、表面にバーコード等の識別マークが付された紙あ
るいは合成樹脂などからなる基材１６を、耐薬品性フィ
ルム１８、例えば、フッ素樹脂フィルムによりラミネー
トしたものであるが、使用条件によっては、比較的耐薬
品性のよいＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥＴ（ポリエチ
レンテレフタレート）、ＰＥ（ポリエチレン）等のフッ
素樹脂フィルム以外の熱可塑性樹脂フィルムを使用する
ことができる。耐薬品性フィルム１８を構成するフッ素
樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン
（PTFE）、テトラフルオロエチレンとパーフルオロアル
キルビニルエーテルとの共重合体であるＰＦＡ、テトラ
フルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとの共重
合体であるＦＥＰ、あるいはテトラフルオロエチレンと
ヘキサフルオロプロピレンとパーフルオロアルキルビニ
ルエーテルとの共重合体であるＥＰＥなどが例示され
る。

【００２１】本実施例では、フィルム１８は、基材１６
の表面、側面および裏面の全周囲を被うようにラミネー
トしてある。フィルム１８を基材１６の表面にラミネー
トするに際しては、フィルム１８同士、またはフィルム
１８と基材１６とを熱圧着によってラミネートするのが
好ましく、この場合、フィルム１８の材質は、基材１６
の融点より低い材質の熱可塑性樹脂フィルムを使用する
方が好ましい。

【００２２】なお、基材１６は、ラミネートされたフィ
ルム１８が破れてもよいようにＰＴＦＥ等の耐薬品性に
優れた基材を使用することが好ましいが、使用条件によ
っては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート、ＰＥＥ
Ｋ（ポリエーテルエーテルトケン）等の比較的耐薬品性
の良い他の熱可塑性樹脂や、また場合によってはフェノ
ール樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を使用するこ
ともできる。また識別マークはカーボン系のものがよ
い。また、識別マークＭが付された基材１６の表面側を
被うフィルム１８は、前記識別マークＭが外部から目視
できる程度に薄い半透明のもの、あるいは全体的又は部
分的に透明である必要がある。また、このような耐薬品
性フィルム１８は、表面側がＰＦＡで裏面側がＰＴＦＥ
というように表と裏が異なった材質でもよい。

【００２３】このように構成されたマークプレート１１
は、その上端縁部１１ａが、垂下片１４の下端縁部１４
ａに融着固定してある。熱融着に際しては、図２に示す
ように、垂下片１１とマークプレートとの縁部１１ａ，
１４ａ相互を突き合わせ、加熱用金型を用いて、熱圧着
する。その際に、縁部１１ａ，１４ａ相互間に融着部材
を介在させても良いし、介在させないでも良い。介在さ
せない場合には、マークプレート１１の表面を被覆する
フィルム１８が融着部材となり、両者を良好に融着させ
ることになる。

【００２４】マークプレート１１の基材がＰＴＦＥであ
りその表面にラミネートしてあるフィルム１８がＰＦＡ
である場合には、加熱温度は３３０〜３５０℃であり加
圧力は、０．５kg／cm² 以上が好ましい。これにより、
フィルム８が良好に溶融してマークプレート１１の縁部
１１ａと垂下片１４の縁部１４ａとを熱圧着できる。

【００２５】なお、融着は、金型を用いる熱圧着に限ら
ず、溶接であっても良い。なお、バスケット本体１２と
マークプレート１１とは、同材質の合成樹脂が熱圧着の
際好ましい。

【００２６】次に作用を説明する。シリコンウエハＷの
工程管理面から必要な情報、例えば、製造ロットの番
号、製造年月日等が表示された識別マークＭが付された
マークプレート１１を備えたウエハ用バスケット本体１
２の内部に、所定のシリコンウエハＷを多数収容する。

【００２７】このマークプレート１１は、耐薬品性フィ
ルムによりラミネートされているので、バスケット本体
１２を直接薬品浴槽等に浸漬したとしても、前記識別マ
ークＭが薬品などにより侵されることはない。

【００２８】したがって、この識別マークＭをバーコー
ド読取り装置により読取る場合にも、その識別精度が低
下することはなく、確実に読取ることができる。しか
も、コンベアなどによりウエハ用キャリア１０が図１に
示す矢印Ａ方向に搬送される場合にも、識別マークＭが
キャリアの側面に表示してあるので、コンベアなどでキ
ャリアを搬送しながらでも、識別マークの読み取りが容
易である。

【００２９】また、マークプレート１１がバスケット本
体１２に固定されているため、マークプレート１１を着
脱する煩雑さが無く、また、マークプレート１１を取違
えることを防止できる。

【００３０】なお、本考案は、上述した実施例に限定さ
れず、本考案の範囲内で種々に改変することが可能であ
る。例えば図４に示すように、本考案の第２の実施例で
は、キャリア本体１２の側壁４に形成される垂下片２０
に、開口部２２を設け、その開口部２２の左右開口縁部
２２ａと、マークプレート１１の左右両端縁部１１ｂと
を融着固定するようにしてもよい。

【００３１】また、図５に示すように、本考案の第３の
実施例では、キャリア本体１２の側壁４に形成される垂
下片２０に、貫通孔で長方形状の開口部３２を設け、こ
の開口部２２の内周縁全周と、マークプレート１１の外
周縁全周とを融着固定するようにしてもよい。

【００３２】また、図６に示すように、本考案の第４の
実施例では、複数の垂下片２４を所定の間隔で一体に形
成し、その下端縁部２４ａと、マークプレート１１の上
端縁部１１ａとを融着固定するようにしてもよい。

【００３３】さらに、図７に示すように、本考案の第５
の実施例では、マークプレートを垂下片２６に設けるこ
となく、垂下片２６の縁部に、識別マークとなる切欠２
８を複数設けるようにしても良い。切欠２８を複数設け
れば、それを光学的手段等で検知し、その切欠の数や間
隔を検知することにより、何らかの情報を読みとること
が可能になる。

【００３４】なお、識別マークＭとしては、バーコード
に限らず、その他公知の識別マークであっても良い。ま
た、基材１６の表面と裏面とにのみ、耐薬品性フィルム
１８をラミネートするようにしても良い。この場合、基
材１６の側面が露出するので、基材１６も耐薬品性に優
れた材質である必要がある。

【００３５】

【考案の効果】以上述べたように、本考案によれば、識
別マークが側壁に設けてあるので、ウエハ用キャリアが
コンベア等で搬送される場合にも、コンベアの側面か
ら、識別マークの表示を容易に読み取ることができる。
そして特にマークプレートを有する本考案に係るウエハ
用バスケットによれば、識別マークが付されたマークプ
レートの基材の表面に耐薬品性の表面側フィルムがラミ
ネートされているので、識別マークが薬品などにより侵
されず、識別表示の精度が低下することもない。また、
マークプレートがバスケット本体に固定されているた
め、マークプレートを着脱する煩雑さが無く、また、マ
ークプレートを取違えることを防止できる。

【００３６】しかも本考案では、マークプレートとウエ
ハバスケット本体との融着部分が、ウエハ用バスケット
本体の側壁に垂下するように形成してある垂下片の縁部
分であり、融着部分が小さいので、マークプレートやバ
スケツト本体、特に側壁が熱変形してウエハ用バスケッ
トが歪む虞もない。したがってウエハ用バスケットの歪
みによるウエハの破損も生じない。

【００３７】また、マークプレートとバスケット本体と
は、融着部分以外では接触していないため、これらの間
に微小な隙間が生じることもなく、それが空気溜まりあ
るいは液溜りとなることもない。したがって、微小な液
溜まりによるウエハ洗浄時あるいはエッチング時などの
薬液汚染も防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例に係るウエハ用バスケット
を示す概略斜視図である。

【図２】 同実施例に係るウエハ用バスケットの製造過
程を示す分解斜視図である。

【図３】 図２に示すIII −III 線に沿う断面図であ
る。

【図４】 本考案の第２の実施例の要部を示す部分斜視
図である。

【図５】 本考案の第３の実施例の要部を示す部分斜視
図である。

【図６】 本考案の第４の実施例の要部を示す部分斜視
図である。

【図７】 従来のウエハ用バスケットを示す概略斜視図
である。

【図８】 従来のウエハ用バスケットを示す概略斜視図
である。

【符号の説明】

４…側壁、 ５…端壁、 ６…外周壁、 １０…ウエハ用バスケット、 １１…マークプレート、 １１ａ，１１ｂ…縁部、 １２…バスケット本体、 １４，２０，２４，２６…垂下片、 １４ａ，２２ａ，２４ａ…縁部、 １６…基材、 １８…フィルム、 ２８…切欠、 Ｗ…シリコンウエハ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 バスケット本体の外周壁に識別マークを
   有するウエハ用バスケットにおいて、前記識別マークが
   付された表面を有する基材と、この基材の表面にラミネ
   ートされ、前記識別マークを目視できる透明性および耐
   薬品性を有するフィルムとから成るマークプレートが前
   記バスケット本体の底面より上部に位置し、かつ該マー
   クプレートの縁部が、前記外周壁のうちの少なくとも一
   つの側壁の下方に垂下し、かつ前記バスケット本体の底
   面より上部に位置するように側壁に一体に形成された垂
   下片に、融着固定してあることを特徴とするウエハ用バ
   スケット。
2. 【請求項２】 前記マークプレートの肉厚と、前記垂下
   片の肉厚とが略同一の厚さを有している請求項第１項に
   記載のウエハ用バスケット。