JPH0735398Y2 - ウエハ用バスケット - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、半導体回路を構成するシリコンウエハを多数
収容した状態で搬送するためのウエハ用バスケットに関
する。

考案の技術的背景 一般に、IC、LSIの製造工程においては、偏平なシリコ
ンウエハを多数枚収容して搬送するためのウエハ用バス
ケットが広く使用されている。

このウエハ用バスケットには、工程管理面からの要請に
より、製造ロットの番号、製造年月日等を表示する識別
マークが付され、このバスケット内に収容されたシリコ
ンウエハを個別に管理している。

従来のウエハ用バスケットでは、前記識別マークを、直
接ウエハ用バスケットにフェルトペン等を用いて書くか
あるいは識別マークを書き込んだシールを貼っていた。

しかし、このような手段では、識別用の記号が煩雑にな
ったり、また書いた文字が消え易いとかシールが剥れ易
いなどという欠点があった。

そこで、最近では、例えば、第11図に示すようなウエハ
用バスケット１を使用している。このウエハ用バスケッ
ト１は、内部に多数のウエハＷを収納する溝部２が形成
されたバスケット本体３を有し、このバスケット本体３
の側壁４又は端壁５等からなる外周壁６には、識別マー
クＭとしての突起７が複数個形成されている。この突起
７は、各バスケット１によりその位置あるいは個数等が
適宜変えられており、これを光センサ（図示せず）等に
より検知することにより、当該バスケット１が所定の処
理ラインに自動的に搬送されるようになっている。

しかし、このウエハ用バスケット１では、ウエハＷを化
学処理する処理液等によりバスケット１の構成材が化学
的劣化を受け前記突起７の表面が変化し、それに伴い反
射率が変化し識別精度が低下するおそれがあった。

また、識別マークが付された物をバスケット本体に着脱
可能にすることも考えられるが、この場合には、識別マ
ークが付された物の着脱が面倒であるという問題があ
り、さらに、識別マークが付された物を取違えてバスケ
ット本体に取付けるおそれがある。従って、可能であれ
ば識別マークは、着脱されずに、バスケット本体に固定
的である方が好ましいと考えられる。

この識別マークがバスケット本体に固定されたものの一
例として、特開昭61−236,136号公報、特開昭61−267,3
38号公報及び特開昭62−123,735号公報等に開示された
技術がある。これら公報には、それぞれ、情報表示素
子、セラミック共振子及びICカードを前記識別マークの
代用手段として使用したものが開示されているが、この
ような識別手段は、種々の付帯設備を必要とし、設備コ
ストが高くなるという欠点がある。また、セラミック共
振子及びICカードなどは、バスケット本体に一体成型さ
れる必要があるが、これらICカードなどは、バスケット
本体の成型時の温度にほとんど耐えることができないた
め、これらICカードなどを前記識別マークの代用手段と
して用いることは、およそ現実的でない。また、たとえ
ICカードなどをバスケット本体中に埋め込めたとして
も、バスケットにウエハを入れて各種薬液に浸し、ウエ
ハに種々の処理を行なう際に、ICカードが各種薬液で機
能が損なわれる虞があり好ましくない。

考案の目的 本考案は、上述した欠点、問題点に鑑みてなされたもの
で、識別精度に優れ、識別マークが付された物を取り外
すことなく、各種薬液に浸されても識別マークが消える
ことなく、この識別マークが付されたウエハ用バスケッ
トの取違えを防止し、しかも高価な付帯設備を必要とせ
ず、実用的であるウエハ用バスケットを提供することを
目的とする。

考案の概要 このような目的を達成する本考案は、バスケット本体の
外周壁に識別マークを有するウエハ用バスケットにおい
て、 前記識別マークが付された表面を有する基材と、この基
材の表面にラミネートされ、前記識別マークを目視でき
る透明性および耐薬品性を有する表面側フィルムとから
成るマークプレートが、前記バスケット本体の外周壁に
融着固定してあることを特徴としている。

このような構成のウエハ用バスケットにあっては、識別
マークが付されたマークプレートの基材の表面に耐薬品
性の表面側フィルムがラミネートされている。そのた
め、識別マークが薬品などにより侵されず、識別時の精
度が低下することもない。また、マークプレートがバス
ケット本体に固定されているため、マークプレートを着
脱する煩雑さが無く、また、マークプレートを取違える
ことを防止できる。

しかも、識別マークをバーコードとすれば、この識別マ
ークを読み取る場合に、高価な設備を必要とすることな
く、バスケットを管理すべき情報を簡単に読み取ること
ができ、設備コストも高いものとはならない。セラミッ
ク共振子及びICカードを前記識別マークの代用手段とし
て用いる場合と比較し、製造も容易であり、高価な付帯
設備を必要とせず、極めて実用的である。

考案の具体的説明 以下、図面に示す実施例を参照して本考案を説明する。

第１図は本考案の一実施例を示す概略斜視図であり、第
11図に示す部材と共通する部材には同一符号を付してあ
る。

第１図に示すウエハ用バスケット10は、半導体回路を構
成するシリコンウエハＷを並列的に多数収容するバスケ
ット本体３を有している。

このバスケット本体３は、シリコンウエハＷに順次化学
処理を施こすために、耐薬品性を有する素材で造られて
おり、内部には、前記シリコンウエハＷを多数収容する
溝部２が形成され、端壁５には、マークプレート11が融
着固定されている。

このマークプレート11は、第２図に示すように、表面に
バーコード等の識別マークＭが付された紙あるいは合成
樹脂などからなる基材12を、耐薬品性フィルム13、例え
ば、フッ素樹脂フィルムによりラミネートしたものであ
るが、使用条件によっては、比較的耐薬品性のよいPP
（ポリプロピレン）、PET（ポリエチレンテレフタレー
ト）、PE（ポリエチレン）等のフッ素樹脂フィルム以外
の熱可塑性樹脂フィルムを使用することができる。耐薬
品性フィルム13を構成するフッ素樹脂としては、例え
ば、テトラフルオロエチレン（PTFE）、テトラフルオロ
エチレンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとの共
重合体であるPFA、テトラフルオロエチレンとヘキサフ
ルオロプロピレンとの共重合体であるFEP、あるいはテ
トラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとパ
ーフルオロアルキルビニルエーテルとの共重合体である
EPEなどが例示される。

本実施例では、フィルム13は、基材12の表面、側面およ
び裏面の全周囲を被うようにラミネートしてある。フィ
ルム13を基材12の表面にラミネートするに際しては、フ
ィルム13同士、又はフィルム13と基材12とを熱圧着によ
ってラミネートするのが好ましく、この場合、フィルム
13の材質は、基材12の融点より低い材質の熱可塑性樹脂
フィルムを使用するのが好ましい。

なお、基材12は、ラミネートされたフィルム13が破れて
もよいようにPTFE等の耐薬品性に優れた基材を使用する
ことが好ましいが、使用条件によっては、PET（ポリエ
チレンテレフタレート）、PEEK（ポリエーテルエーテル
ケトン）等の比較的耐薬品性の良い他の熱可塑性樹脂
や、場合によってはフェノール樹脂、エポキシ樹脂なと
の熱硬化性樹脂を使用することもできる。また識別マー
クはカーボン系のものがよい。また、識別マークＭが付
された基材12の表面側を被うフィルム13は、前記識別マ
ークＭが外部から目視できる程度に薄い半透明のもの、
あるいは全体的又は部分的に透明である必要がある。ま
た、このような耐薬品性フィルム13は、表面側がPFAで
裏面側がPTFEというように表と裏が異なった材質でもよ
い。

このように構成されたマークプレート11は、フィルム13
の裏面側全面13aがバスケット本体３の端壁５に熱融着
されて、この端壁５に固定されている。

熱融着に際しては、耐薬品性フィルム13の裏面側全面13
aと、マークプレート11が融着される付近のバスケット
本体５の表面とを加熱し、熱圧着すれば良い。その際
に、フィルム13の裏面側全面13aとバスケット本体５の
表面との間に融着用の熱溶融性フィルム、例えばPFAフ
ィルムを介在させるようにしても良い。

次に作用を説明する。

シリコンウエハＷの工程管理面から必要な情報、例え
ば、製造ロットの番号、製造年月日等が表示された識別
マークＭが付されたマークプレート11を備えたウエハ用
バスケット本体３の内部に、所定のシリコンウエハＷを
多数収容する。

このマークプレート11は、耐薬品性フィルムによりラミ
ネートされているので、バスケット本体３を直接薬品浴
槽等に浸漬したとしても、前記識別マークＭが薬品など
により侵されることはない。

したがって、この識別マークＭをバーコード読取り装置
により読取る場合にも、その識別精度が低下することは
なく、確実に読取ることができる。

また、マークプレート11がバスケット本体３に固定され
ているため、マークプレート11を着脱する煩雑さが無
く、また、マークプレート11を取違えることを防止でき
る。さらに、マークプレートが融着によりバスケット本
体に固定されているため、マークプレートの固定を極め
て容易に行うことができる。

第３図および第４図は、本考案の他の実施例を示すもの
で、第３図では、端壁５に、凹所21が形成され、マーク
プレート11にラミネートされているフィルム13の側面側
全面13bおよび裏面全面13aがそれぞれ凹所21の側面およ
び底面に融着されている。この場合には、端壁５でマー
クプレート11が突出することがないため、バスケット10
の取扱性を向上することができる。さらに、第４図に示
すように、マークプレート11の裏面側全面13aのみが凹
所21の底面に融着されていても良い。

第５図乃至第７図は、それぞれ、第２図乃至第４図に対
応する本考案のさらに他の実施例を示すもので、第５図
では、フィルム13の裏面側周辺部13a′が端壁５に融着
され、第６図では、側面側全面13bが凹所21の側面に融
着され、第７図では、フィルム13の裏面側周辺部13a′
が凹所21の底面に融着されている。これらの場合には、
融着時の熱に起因するバスケット本体の変形を有効に防
止することができる。

第８図および第９図は、本考案のさらに他の実施例を示
すもので、端壁５に貫通孔22が形成され、フィルム13の
側面側全面13bが貫通孔22の周壁全面に融着されてい
る。

なお、本考案は、上述した実施例のみでなく、マークプ
レート11を固定する位置は、端壁５のみでなく側壁４な
どの外周壁６であればよいことはいうまでもない。ま
た、識別マークＭとしては、バーコードに限らず、その
他公知の識別マークであっても良い。さらに、第10図に
示すように、基材12の表面と裏面とにのみ、耐薬品性フ
ィルム13をラミネートするようにしても良い。この場
合、基材12の側面が露出するので、基材12も耐薬品性に
優れた材質である必要がある。

考案の効果 以上述べたように、本考案によれば、識別マークが付さ
れたマークプレートの基材の表面に耐薬品性の表面側フ
ィルムがラミネートされている。そのため、識別マーク
が薬品などにより侵されず、識別時に精度が低下するこ
ともない。また、マークプレートがバスケット本体に固
定されているため、マークプレートを着脱する煩雑さが
無く、さらに、マークプレートを取違えることを防止で
きる。さらに、融着により極めて容易にマークプレート
をバスケット本体に固定することができるので、製造も
容易である。しかも、識別マークをバーコードとすれ
ば、この識別マークを読み取る場合に、高価な設備を必
要とすることなく、バスケットを管理すべき情報を簡単
に読み取ることができ、設備コストも高いものとはなら
ない。セラミック共振子及びICカードを前記識別マーク
の代用手段として用いる場合と比較して、製造も容易で
あり、高価な付帯設備を必要とせず、極めて実用的であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るウエハ用バスケットを示す概略斜
視図、第２図は第１図のII−II線に沿う断面図、第３図
乃至第７図はそれぞれ本考案の他の実施例を示す要部断
面図、第８図は本考案の他の実施例に係るウエハ用バス
ケットの要部正面図、第９図は、第８図のIX−IX線に沿
う断面図、第10図は本考案の他の実施例を示す要部断面
図、第11図は従来のウエハ用バスケットを示す概略斜視
図である。 ３…バスケット本体、４…側壁、５…端壁、６…外周
壁、10…ウエハ用バスケット、11…マークプレート、12
…基材、13…フィルム、Ｍ…識別マーク、Ｗ…シリコン
ウエハ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】バスケット本体の外周壁に識別マークを有
   するウエハ用バスケットにおいて、 前記識別マークが付された表面を有する基材と、この基
   材の表面にラミネートされ、前記識別マークを目視でき
   る透明性および耐薬品性を有する表面側フィルムとから
   成るマークプレートが、前記バスケット本体の外周壁に
   融着固定してあることを特徴とするウエハ用バスケッ
   ト。
2. 【請求項２】前記識別マークは、バーコードであること
   を特徴とする請求項第１項に記載のウエハ用バスケッ
   ト。