JPH1123341A - コリオリ質量流量計 - Google Patents
コリオリ質量流量計Info
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- JPH1123341A JPH1123341A JP18242997A JP18242997A JPH1123341A JP H1123341 A JPH1123341 A JP H1123341A JP 18242997 A JP18242997 A JP 18242997A JP 18242997 A JP18242997 A JP 18242997A JP H1123341 A JPH1123341 A JP H1123341A
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- vibrating
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐ノイズ特性が良好で、消費電力が少なく、
高精度なコリオリ質量流量計を実現する。 【解決手段】 振動チューブ内に測定流体が流れ、該測
定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じ
るコリオリ力により、該振動チューブを変形振動させる
コリオリ質量流量計において、前記測定流体が流れ互い
に直列に第１の連結部で接続された第１，第２の振動チ
ューブ素子からなる振動チューブと、該振動チューブの
両端が固定されるハウジングと、前記第１の振動チュー
ブ素子を励振する第１の励振器と、前記第２の振動チュ
ーブ素子を該第１の励振器と同じ周波数で位相がπ／２
異なる位相で励振する第２の励振器と、前記振動チュー
ブの振動を検出する振動検出センサとを具備したことを
特徴とするコリオリ質量流量計である。
高精度なコリオリ質量流量計を実現する。 【解決手段】 振動チューブ内に測定流体が流れ、該測
定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じ
るコリオリ力により、該振動チューブを変形振動させる
コリオリ質量流量計において、前記測定流体が流れ互い
に直列に第１の連結部で接続された第１，第２の振動チ
ューブ素子からなる振動チューブと、該振動チューブの
両端が固定されるハウジングと、前記第１の振動チュー
ブ素子を励振する第１の励振器と、前記第２の振動チュ
ーブ素子を該第１の励振器と同じ周波数で位相がπ／２
異なる位相で励振する第２の励振器と、前記振動チュー
ブの振動を検出する振動検出センサとを具備したことを
特徴とするコリオリ質量流量計である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐ノイズ特性が良
好で、消費電力が少なく、高精度なコリオリ質量流量計
に関するものである。
好で、消費電力が少なく、高精度なコリオリ質量流量計
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、特開平６−１０９５１
２号の従来例に示されている。図において、１はフラン
ジ２に、両端が取付けられた振動チューブである。フラ
ンジ２は管路Ａへ振動チューブ１を取付けるためのもの
である。
従来例の構成説明図で、例えば、特開平６−１０９５１
２号の従来例に示されている。図において、１はフラン
ジ２に、両端が取付けられた振動チューブである。フラ
ンジ２は管路Ａへ振動チューブ１を取付けるためのもの
である。
【０００３】３は振動チューブ１の中央部に設けられた
励振器である。４，５は振動チューブ１の両側にそれぞ
れ設けられた振動検出センサである。６は、振動チュー
ブ１の両端が固定されるハウジングである。
励振器である。４，５は振動チューブ１の両側にそれぞ
れ設けられた振動検出センサである。６は、振動チュー
ブ１の両端が固定されるハウジングである。
【０００４】以上の構成において、振動チューブ１に測
定流体が流され、励振器３が駆動される。励振器３の振
動方向の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以
下『』で囲まれた記号はベクトル量を表す。）とする
と、
定流体が流され、励振器３が駆動される。励振器３の振
動方向の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以
下『』で囲まれた記号はベクトル量を表す。）とする
と、
【０００５】Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』 のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。
を測定すれば、質量流量が測定出来る。
【０００６】図６は従来より一般に使用されている他の
従来例の構成説明図である。本従来例では、振動チュー
ブ１に２本平行管構造を採用し、互いに反対方向に振動
させ、加振方向の振動をキャンセルさせることで、振動
の絶縁を計ったタイプもある。
従来例の構成説明図である。本従来例では、振動チュー
ブ１に２本平行管構造を採用し、互いに反対方向に振動
させ、加振方向の振動をキャンセルさせることで、振動
の絶縁を計ったタイプもある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、図５従来例では、振動チューブ１は
近似的に両端固定条件で振動するが、限られた大きさの
流量計では、どうしても固定部は完全な固定端になら
ず、わずかに振動してしまう。
な装置においては、図５従来例では、振動チューブ１は
近似的に両端固定条件で振動するが、限られた大きさの
流量計では、どうしても固定部は完全な固定端になら
ず、わずかに振動してしまう。
【０００８】これでは、振動が管路Ａに伝わり、上下流
端のわずかな固定条件の相違、例えば溶接強度等によ
り、対象性が崩れ、零点やスパンが変動し易い。更に、
励振に大きなエネルギーを必要とする。
端のわずかな固定条件の相違、例えば溶接強度等によ
り、対象性が崩れ、零点やスパンが変動し易い。更に、
励振に大きなエネルギーを必要とする。
【０００９】検出器ハウジング６のセンサ取付位置と、
振動チューブ１の相対距離(運動)を測定することになる
ので、振動ノイズ、応力、温度変化等で、ハウジング６
や振動チューブ１が振動したり、変形した場合に、振動
測定データに誤差が生じてしまう。すなわち、これらの
環境変化や外的要因に対し弱く、精度の悪いコリオリ流
量計になりがちである。
振動チューブ１の相対距離(運動)を測定することになる
ので、振動ノイズ、応力、温度変化等で、ハウジング６
や振動チューブ１が振動したり、変形した場合に、振動
測定データに誤差が生じてしまう。すなわち、これらの
環境変化や外的要因に対し弱く、精度の悪いコリオリ流
量計になりがちである。
【００１０】一方、図６従来例では、２本の振動チュー
ブ１が互いに反対方向に振動することで、分岐部で力Ｆ
1が打ち消しあって、図７，８に示す如く、音叉の原理
により振動が外に漏れにくい構造となつている。
ブ１が互いに反対方向に振動することで、分岐部で力Ｆ
1が打ち消しあって、図７，８に示す如く、音叉の原理
により振動が外に漏れにくい構造となつている。
【００１１】しかし、振動チューブ１の変形に伴い、図
９に示す如く、振動チューブ１の軸方向にも大きな力Ｆ
2が加わる。この成分については、２本平行管でもキャ
ンセルできず、むしろ増幅する傾向である。振動絶縁が
うまくいかないので、内部の振動が不安定で、ゼロ点や
スパンが変動しやすく、励振に大きなエネルギーが必要
になる等の欠点がある。
９に示す如く、振動チューブ１の軸方向にも大きな力Ｆ
2が加わる。この成分については、２本平行管でもキャ
ンセルできず、むしろ増幅する傾向である。振動絶縁が
うまくいかないので、内部の振動が不安定で、ゼロ点や
スパンが変動しやすく、励振に大きなエネルギーが必要
になる等の欠点がある。
【００１２】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、耐ノイズ特性が良好で、消費電力
が少なく、高精度なコリオリ質量流量計を提供するにあ
る。
る。本発明の目的は、耐ノイズ特性が良好で、消費電力
が少なく、高精度なコリオリ質量流量計を提供するにあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の
流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオ
リ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ
質量流量計において、前記測定流体が流れ互いに直列に
第１の連結部で接続された第１，第２の振動チューブ素
子からなる振動チューブと、該振動チューブの両端が固
定されるハウジングと、前記第１の振動チューブ素子を
励振する第１の励振器と、前記第２の振動チューブ素子
を該第１の励振器と同じ周波数で位相がπ／２異なる位
相で励振する第２の励振器と、前記振動チューブの振動
を検出する振動検出センサとを具備したことを特徴とす
るコリオリ質量流量計。 （２）振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の
流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオ
リ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ
質量流量計において、前記測定流体が流れ互いに直列に
第１の連結部で接続された第１，第２の振動チューブ素
子からなる少なくとも１個の振動チューブと、該振動チ
ューブの両端が固定されるハウジングと、前記振動チュ
ーブに平行に設けられ該振動チューブの両端に両端がそ
れぞれ接続され互いに直列に第２の連結部で接続された
第１，第２の振動体素子からなる少なくとも１個の振動
体と、前記第１の振動チューブ素子と前記第１の振動体
素子とを励振する第１の励振器と、前記第２の振動チュ
ーブ素子と前記第２の振動体素子とを該第１の励振器と
同じ周波数で位相がπ／２異なる位相で励振する第２の
励振器と、前記振動チューブと前記振動体の振動を検出
する振動検出センサと、前記第１の連結部と前記第２の
連結部とを連結する連結体とを具備したことを特徴とす
るコリオリ質量流量計。を構成したものである。
に、本発明は、 （１）振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の
流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオ
リ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ
質量流量計において、前記測定流体が流れ互いに直列に
第１の連結部で接続された第１，第２の振動チューブ素
子からなる振動チューブと、該振動チューブの両端が固
定されるハウジングと、前記第１の振動チューブ素子を
励振する第１の励振器と、前記第２の振動チューブ素子
を該第１の励振器と同じ周波数で位相がπ／２異なる位
相で励振する第２の励振器と、前記振動チューブの振動
を検出する振動検出センサとを具備したことを特徴とす
るコリオリ質量流量計。 （２）振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の
流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオ
リ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ
質量流量計において、前記測定流体が流れ互いに直列に
第１の連結部で接続された第１，第２の振動チューブ素
子からなる少なくとも１個の振動チューブと、該振動チ
ューブの両端が固定されるハウジングと、前記振動チュ
ーブに平行に設けられ該振動チューブの両端に両端がそ
れぞれ接続され互いに直列に第２の連結部で接続された
第１，第２の振動体素子からなる少なくとも１個の振動
体と、前記第１の振動チューブ素子と前記第１の振動体
素子とを励振する第１の励振器と、前記第２の振動チュ
ーブ素子と前記第２の振動体素子とを該第１の励振器と
同じ周波数で位相がπ／２異なる位相で励振する第２の
励振器と、前記振動チューブと前記振動体の振動を検出
する振動検出センサと、前記第１の連結部と前記第２の
連結部とを連結する連結体とを具備したことを特徴とす
るコリオリ質量流量計。を構成したものである。
【００１４】
【作用】以上の構成において、振動チューブに測定流体
が流され、励振器が駆動されると、コリオリ力が働く、
このコリオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質
量流量が測定出来る。
が流され、励振器が駆動されると、コリオリ力が働く、
このコリオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質
量流量が測定出来る。
【００１５】而して、振動チューブの両端側で、振動の
位相がπ／２ずれているので、振動チューブの軸方向に
発生する力がキャンセルされ、振動チューブの振動系の
振動を、内部に閉じこめることができる。以下、実施例
に基づき詳細に説明する。
位相がπ／２ずれているので、振動チューブの軸方向に
発生する力がキャンセルされ、振動チューブの振動系の
振動を、内部に閉じこめることができる。以下、実施例
に基づき詳細に説明する。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図である。図において、図５と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図５と相違部分のみ説明す
る。
構成説明図である。図において、図５と同一記号の構成
は同一機能を表わす。以下、図５と相違部分のみ説明す
る。
【００１７】１１は、測定流体が流れ、互いに直列に第
１の連結部１１１で接続された、第１，第２の振動チュ
ーブ素子１１２、１１３からなる振動チューブである。
この場合は、丸パイプよりなる。１２は、振動チューブ
１１の両端が固定されるハウジングである。１３は、第
１の振動チューブ素子１１２を励振する第１の励振器で
ある。
１の連結部１１１で接続された、第１，第２の振動チュ
ーブ素子１１２、１１３からなる振動チューブである。
この場合は、丸パイプよりなる。１２は、振動チューブ
１１の両端が固定されるハウジングである。１３は、第
１の振動チューブ素子１１２を励振する第１の励振器で
ある。
【００１８】１４は、第２の振動チューブ素子１１３
を、第１の励振器１３と同じ周波数で位相がπ／２異な
る位相で励振する第２の励振器である。１５は、振動チ
ューブ１１とハウジング１２との間に設けられ、振動チ
ューブ１１とハウジング１２との相対振動を検出する振
動検出センサである。
を、第１の励振器１３と同じ周波数で位相がπ／２異な
る位相で励振する第２の励振器である。１５は、振動チ
ューブ１１とハウジング１２との間に設けられ、振動チ
ューブ１１とハウジング１２との相対振動を検出する振
動検出センサである。
【００１９】以上の構成において、振動チューブ１１に
測定流体が流され、励振器１３，１４が駆動されると、
コリオリ力が働く、このコリオリ力に比例した振動チュ
ーブ１１の振動の振幅を測定すれば、質量流量が測定出
来る。
測定流体が流され、励振器１３，１４が駆動されると、
コリオリ力が働く、このコリオリ力に比例した振動チュ
ーブ１１の振動の振幅を測定すれば、質量流量が測定出
来る。
【００２０】而して、振動チューブ１１の両端側で、振
動の位相がπ／２ずれているので、振動チューブ１１の
軸方向に発生する力がキャンセルされ、振動チューブ１
１の振動系の振動を、内部に閉じこめることができる。
動の位相がπ／２ずれているので、振動チューブ１１の
軸方向に発生する力がキャンセルされ、振動チューブ１
１の振動系の振動を、内部に閉じこめることができる。
【００２１】すなわち、図２に示す如く、振動数が等し
く、π／２位相の異なる２つの第１，第２の励振器１
３，１４の励振による、振動チューブ１１の変形の様子
を示したものである。時間が進むに従って、図２に示す
ような振動になる。
く、π／２位相の異なる２つの第１，第２の励振器１
３，１４の励振による、振動チューブ１１の変形の様子
を示したものである。時間が進むに従って、図２に示す
ような振動になる。
【００２２】図２に示した矢印は、Ｔ＝π／４の時を基
準として、振動チューブ１１のチューブ端部がどのよう
な力Ｆを受けるかを示したものである。図２に示したよ
うに、振動チューブ１１には、変形最大の時に内側に引
き込むような力が発生し、変形ゼロの時に外側に押しや
るような力が発生する。
準として、振動チューブ１１のチューブ端部がどのよう
な力Ｆを受けるかを示したものである。図２に示したよ
うに、振動チューブ１１には、変形最大の時に内側に引
き込むような力が発生し、変形ゼロの時に外側に押しや
るような力が発生する。
【００２３】しかし、振動チューブ１１の両端側で位相
がπ／２ずれているので、伸びと縮みがキャンセルし合
うので、振動チューブ１１の軸方向成分Ｆ2の振動の漏
れがなくなる。
がπ／２ずれているので、伸びと縮みがキャンセルし合
うので、振動チューブ１１の軸方向成分Ｆ2の振動の漏
れがなくなる。
【００２４】この結果、振動チューブ１１は、両端側で
その振動の位相がπ／４ずれているので、振動チューブ
１１の軸方向の伸びと縮みがキャンセルし合うので、振
動チューブ１１の軸方向成分の振動の漏れがなくなる。
その振動の位相がπ／４ずれているので、振動チューブ
１１の軸方向の伸びと縮みがキャンセルし合うので、振
動チューブ１１の軸方向成分の振動の漏れがなくなる。
【００２５】すなわち、振動チューブ１１の振動が外部
から絶縁されているので、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。
から絶縁されているので、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。
【００２６】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。
【００２７】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
のでその心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
のでその心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。
【００２８】図３は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例において、２１は、振動チューブ１
１に平行に設けられ、振動チューブ１１の両端に、両端
がそれぞれ接続され、互いに直列に第２の連結部２１１
で接続された第１，第２の振動体素子２１２、２１３か
らなる振動体である。
図である。本実施例において、２１は、振動チューブ１
１に平行に設けられ、振動チューブ１１の両端に、両端
がそれぞれ接続され、互いに直列に第２の連結部２１１
で接続された第１，第２の振動体素子２１２、２１３か
らなる振動体である。
【００２９】２２は、第１の振動チューブ素子１１２と
第１の振動体素子２１２とを励振する第１の励振器であ
る。２３は、第２の振動チューブ素子１１３と第２の振
動体素子２１３とを、第１の励振器２２と同じ周波数で
位相がπ／２異なる位相で励振する第２の励振器であ
る。
第１の振動体素子２１２とを励振する第１の励振器であ
る。２３は、第２の振動チューブ素子１１３と第２の振
動体素子２１３とを、第１の励振器２２と同じ周波数で
位相がπ／２異なる位相で励振する第２の励振器であ
る。
【００３０】２４は、振動チューブ１１と振動体２１の
振動を検出する、振動検出センサである。２５は、第１
の連結部１１１と第２の連結部２１１とを連結する連結
体である。この場合は、平板が使用されている。また、
振動チューブ１１と振動体２１の両端にも、この場合は
使用され、合計３個使用されている。
振動を検出する、振動検出センサである。２５は、第１
の連結部１１１と第２の連結部２１１とを連結する連結
体である。この場合は、平板が使用されている。また、
振動チューブ１１と振動体２１の両端にも、この場合は
使用され、合計３個使用されている。
【００３１】以上の構成において、互いに平行な振動チ
ューブ１１と振動体２１とは、お互いに振動方向が逆に
なるように励振される。そして、加振方向の成分はお互
いにキャンセルしあう。
ューブ１１と振動体２１とは、お互いに振動方向が逆に
なるように励振される。そして、加振方向の成分はお互
いにキャンセルしあう。
【００３２】振動チューブ１１の管軸方向の成分は、変
形最大の時に内側に引き込むような力が発生し、変形ゼ
ロの時に外側に押しやるような力が発生する。位相がπ
／２ずれているので、伸びと縮みがキャンセルし合うの
で、振動チューブ１１の軸方向成分Ｆ2の振動の漏れが
なくなる。
形最大の時に内側に引き込むような力が発生し、変形ゼ
ロの時に外側に押しやるような力が発生する。位相がπ
／２ずれているので、伸びと縮みがキャンセルし合うの
で、振動チューブ１１の軸方向成分Ｆ2の振動の漏れが
なくなる。
【００３３】なお、前述の実施例においては、振動チュ
ーブ１１と振動体２１とが平行に設けられていると説明
したが、２本の平行管が共に内部を測定流体が流れる振
動チューブ１１であっても良い。
ーブ１１と振動体２１とが平行に設けられていると説明
したが、２本の平行管が共に内部を測定流体が流れる振
動チューブ１１であっても良い。
【００３４】要するに、内部を流体が流れる振動チュー
ブは最低１本あれば良い。それ以外の振動体２１は必ず
しも内部を測定流体が流れる構造になっている必要はな
い。ダミーとなる補償振動体でよい。
ブは最低１本あれば良い。それ以外の振動体２１は必ず
しも内部を測定流体が流れる構造になっている必要はな
い。ダミーとなる補償振動体でよい。
【００３５】この結果、図１実施例では、振動チューブ
１１の軸方向成分の振動の漏れのみを無くすことができ
たが、図２実施例によれば、振動チューブ１１の軸方向
とは垂直な、振動チューブ１１の加振方向成分の振動の
漏れも無くすことができる。
１１の軸方向成分の振動の漏れのみを無くすことができ
たが、図２実施例によれば、振動チューブ１１の軸方向
とは垂直な、振動チューブ１１の加振方向成分の振動の
漏れも無くすことができる。
【００３６】従って、振動の絶縁をより完全にできるの
で、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、より外部振動ノ
イズに強いコリオリ質量流量計が得られる。
で、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、より外部振動ノ
イズに強いコリオリ質量流量計が得られる。
【００３７】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、より低消費電流のコリオリ質量流量計が
得られる。 （３）常に、内部に振動が閉じこもっているので、より
高精度なコリオリ質量流量計が得られる。
現できるので、より低消費電流のコリオリ質量流量計が
得られる。 （３）常に、内部に振動が閉じこもっているので、より
高精度なコリオリ質量流量計が得られる。
【００３８】なお、前述の実施例においては、低次の振
動モード形状で振動させた場合について説明したが、こ
れに限ることはなく、高次の振動モード形状で振動させ
ても良い。
動モード形状で振動させた場合について説明したが、こ
れに限ることはなく、高次の振動モード形状で振動させ
ても良い。
【００３９】また、振動系が非共振状態の場合でも良
い。また、前述の実施例においては、振動チューブ１１
は丸パイプと説明したが、これに限ることはなく、種々
な形状で良い。要するに、振動チューブ１１内を測定流
体が流れれば良い。
い。また、前述の実施例においては、振動チューブ１１
は丸パイプと説明したが、これに限ることはなく、種々
な形状で良い。要するに、振動チューブ１１内を測定流
体が流れれば良い。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、振動チューブは、両端側でその振動の位相が
π／４ずれているので、振動チューブの軸方向の伸びと
縮みがキャンセルし合うので、振動チューブの軸方向成
分の振動の漏れがなくなる。
によれば、振動チューブは、両端側でその振動の位相が
π／４ずれているので、振動チューブの軸方向の伸びと
縮みがキャンセルし合うので、振動チューブの軸方向成
分の振動の漏れがなくなる。
【００４１】すなわち、振動チューブの振動が外部から
絶縁されているので、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。
絶縁されているので、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。
【００４２】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。
【００４３】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
のでその心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に、内部に振動が閉じこもっている
のでその心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。
【００４４】本発明の請求項２によれば、振動チューブ
の軸方向とは垂直な、振動チューブの加振方向成分の振
動の漏れも無くすことができる。従って、振動の絶縁を
より完全にできるので、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、より外部振動ノ
イズに強いコリオリ質量流量計が得られる。
の軸方向とは垂直な、振動チューブの加振方向成分の振
動の漏れも無くすことができる。従って、振動の絶縁を
より完全にできるので、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、より外部振動ノ
イズに強いコリオリ質量流量計が得られる。
【００４５】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、より低消費電流のコリオリ質量流量計が
得られる。 （３）常に、内部に振動が閉じこもっているので、より
高精度なコリオリ質量流量計が得られる。
現できるので、より低消費電流のコリオリ質量流量計が
得られる。 （３）常に、内部に振動が閉じこもっているので、より
高精度なコリオリ質量流量計が得られる。
【００４６】従って、本発明によれば、耐ノイズ特性が
良好で、消費電力が少なく、高精度なコリオリ質量流量
計を実現することが出来る。
良好で、消費電力が少なく、高精度なコリオリ質量流量
計を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部動作説明図である。
【図４】図２の動作説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図６】従来より一般に使用されている他の従来例の構
成説明図である。
成説明図である。
【図７】図６の動作説明図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【図９】図６の動作説明図である。
２ フランジ １１ 振動チューブ １１１ 第１の連結部 １１２ 第１の振動チューブ素子 １１３ 第２の振動チューブ素子 １２ ハウジング １３ 第１の励振器 １４ 第２の励振器 １５ 振動検出センサ ２１ 振動体 ２１１ 第２の連結部 ２１２ 第１，第２の振動体素子 ２１３ 第２の振動体素子 ２２ 第１の励振器 ２３ 第２の励振器 ２４ 振動検出センサ ２５ 連結体
Claims (2)
- 【請求項１】振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定
流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じる
コリオリ力により、該振動チューブを変形振動させるコ
リオリ質量流量計において、 前記測定流体が流れ互いに直列に第１の連結部で接続さ
れた第１，第２の振動チューブ素子からなる振動チュー
ブと、 該振動チューブの両端が固定されるハウジングと、 前記第１の振動チューブ素子を励振する第１の励振器
と、 前記第２の振動チューブ素子を該第１の励振器と同じ周
波数で位相がπ／２異なる位相で励振する第２の励振器
と、 前記振動チューブの振動を検出する振動検出センサとを
具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。 - 【請求項２】振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定
流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じる
コリオリ力により、該振動チューブを変形振動させるコ
リオリ質量流量計において、 前記測定流体が流れ互いに直列に第１の連結部で接続さ
れた第１，第２の振動チューブ素子からなる少なくとも
１個の振動チューブと、 該振動チューブの両端が固定されるハウジングと、 前記振動チューブに平行に設けられ該振動チューブの両
端に両端がそれぞれ接続され互いに直列に第２の連結部
で接続された第１，第２の振動体素子からなる少なくと
も１個の振動体と、 前記第１の振動チューブ素子と前記第１の振動体素子と
を励振する第１の励振器と、 前記第２の振動チューブ素子と前記第２の振動体素子と
を該第１の励振器と同じ周波数で位相がπ／２異なる位
相で励振する第２の励振器と、 前記振動チューブと前記振動体の振動を検出する振動検
出センサと、 前記第１の連結部と前記第２の連結部とを連結する連結
体とを具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18242997A JPH1123341A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | コリオリ質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18242997A JPH1123341A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | コリオリ質量流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123341A true JPH1123341A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16118126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18242997A Pending JPH1123341A (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | コリオリ質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1123341A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005054791A1 (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-16 | Oval Corporation | コリオリ流量計 |
-
1997
- 1997-07-08 JP JP18242997A patent/JPH1123341A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005054791A1 (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-16 | Oval Corporation | コリオリ流量計 |
| KR100848769B1 (ko) * | 2003-12-02 | 2008-07-28 | 가부시키가이샤 오바루 | 코리올리 유량계 |
| CN100429489C (zh) * | 2003-12-02 | 2008-10-29 | 株式会社奥巴尔 | 科里奥利流量计 |
| US7506551B2 (en) | 2003-12-02 | 2009-03-24 | Oval Corporation | Coriolis flowmeter having a drive device driven in reverse phase to pair of second drive devices |
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