JP2951460B2 - コリオリ質量流量計 - Google Patents
コリオリ質量流量計Info
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- JP2951460B2 JP2951460B2 JP33066591A JP33066591A JP2951460B2 JP 2951460 B2 JP2951460 B2 JP 2951460B2 JP 33066591 A JP33066591 A JP 33066591A JP 33066591 A JP33066591 A JP 33066591A JP 2951460 B2 JP2951460 B2 JP 2951460B2
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Description
【０００１】本発明は、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ
質量流量計に関するものである。
質量流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１９は、従来より一般に使用されてい
る従来例の構成説明図で、コリオリ質量流量計に使用せ
る例で、例えば、米国特許４，４９１，０２５号、発明
の名称「PARALLEL PATH CORIOLIS MASS FLOW RATE METE
R 」１９８２年１１月３日出願、１９８５年１月１日特
許に示されている。図において、１は配管Ａに、両端が
取付けられたＵ字形の測定管である。２は管路Ａへの測
定管１の取付けフランジである。３はＵ字形をなす測定
管１の先端に設けられた振動子である。４，５は測定管
１の両側にそれぞれ設けられた変位検出センサである。
る従来例の構成説明図で、コリオリ質量流量計に使用せ
る例で、例えば、米国特許４，４９１，０２５号、発明
の名称「PARALLEL PATH CORIOLIS MASS FLOW RATE METE
R 」１９８２年１１月３日出願、１９８５年１月１日特
許に示されている。図において、１は配管Ａに、両端が
取付けられたＵ字形の測定管である。２は管路Ａへの測
定管１の取付けフランジである。３はＵ字形をなす測定
管１の先端に設けられた振動子である。４，５は測定管
１の両側にそれぞれ設けられた変位検出センサである。
【０００３】以上の構成において、測定管１に測定流体
が流され、振動子３が駆動される。振動子３の振動方向
の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以下『』で囲
まれた記号はベクトル量を表す。）とすると、 Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』 のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。しかし、一般に
は、コリオリ力に比例した振動の振幅は、加振による振
動の振幅より極めて小さく、コリオリ力に比例した振動
の振幅を直接検出することが出来ない。
が流され、振動子３が駆動される。振動子３の振動方向
の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以下『』で囲
まれた記号はベクトル量を表す。）とすると、 Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』 のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。しかし、一般に
は、コリオリ力に比例した振動の振幅は、加振による振
動の振幅より極めて小さく、コリオリ力に比例した振動
の振幅を直接検出することが出来ない。
【０００４】今、図１９のＺ視の方向から見ると、振動
子３の加振により、振動方向をα、βに別けて考える
と、流速『Ｖ』の向きによって、図２０、図２１に示す
如く、コリオリ力の方向が異なるので、逆相となり、測
定管１が捩れながら振動する。これを変位検出センサ
４，５、例えば磁気センサで変位を検出し、変位検出セ
ンサ４，５の変位の位相差が、（コリオリ力に比例した
振動の振幅）／（加振による振動の振幅）に比例するの
で質量流量を求める事ができる。位相差は波形がゼロを
クロスする時間の差Δｔとして測定出来るので、結果と
してコリオリ力が測定出来る。
子３の加振により、振動方向をα、βに別けて考える
と、流速『Ｖ』の向きによって、図２０、図２１に示す
如く、コリオリ力の方向が異なるので、逆相となり、測
定管１が捩れながら振動する。これを変位検出センサ
４，５、例えば磁気センサで変位を検出し、変位検出セ
ンサ４，５の変位の位相差が、（コリオリ力に比例した
振動の振幅）／（加振による振動の振幅）に比例するの
で質量流量を求める事ができる。位相差は波形がゼロを
クロスする時間の差Δｔとして測定出来るので、結果と
してコリオリ力が測定出来る。
【０００５】図２２は従来より一般に使用されている他
の従来例の構成説明図である。本従来例では、更に、ノ
イズを低減し、信号を大きくとるために、測定管１を、
２管式にし、ノイズを打消すようにしたものである。
の従来例の構成説明図である。本従来例では、更に、ノ
イズを低減し、信号を大きくとるために、測定管１を、
２管式にし、ノイズを打消すようにしたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、コリオリ力による変位は、駆動によ
る変位に比較し、約１／１０００程度と小さい。外乱振
動が加わると、コリオリ力による変位と重なり、Ｓ／Ｎ
比が小さくなる。本発明は、この問題点を解決するもの
である。本発明の目的は、質量流量信号を大きくする事
により、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質量流量計を提
供するにある。
な装置においては、コリオリ力による変位は、駆動によ
る変位に比較し、約１／１０００程度と小さい。外乱振
動が加わると、コリオリ力による変位と重なり、Ｓ／Ｎ
比が小さくなる。本発明は、この問題点を解決するもの
である。本発明の目的は、質量流量信号を大きくする事
により、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質量流量計を提
供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、振動する測定管内に測定流体を流し、そ
の流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計におい
て、前記測定管を励振する駆動部と、前記測定管に設け
られコリオリ力に対して感度を有し駆動振動に対しては
感度が低く構成され前記測定管にコリオリ力が加わった
場合の振動モードの固有振動数に対してほぼ整数倍の固
有振動数を有し前記測定管にコリオリ力が加わった場合
の振動モードにより励振される付加振動子を具備したこ
とを特徴とするコリオリ質量流量計を構成したものであ
る。
に、本発明は、振動する測定管内に測定流体を流し、そ
の流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計におい
て、前記測定管を励振する駆動部と、前記測定管に設け
られコリオリ力に対して感度を有し駆動振動に対しては
感度が低く構成され前記測定管にコリオリ力が加わった
場合の振動モードの固有振動数に対してほぼ整数倍の固
有振動数を有し前記測定管にコリオリ力が加わった場合
の振動モードにより励振される付加振動子を具備したこ
とを特徴とするコリオリ質量流量計を構成したものであ
る。
【０００８】
【作用】以上の構成において、測定管に測定流体を流
し、駆動装置で測定管を励振する。測定管の振動モ―ド
の固有振動数に対してほぼ整数倍の固有振動数を有する
付加振動子が設けられているので、付加振動子の振動
は、コリオリ力に対して共振状態となり、コリオリ力に
対する振動振幅は大きくなり、質量流量信号を大きく取
れ、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質量流量計が得られ
る。以下、実施例に基づき詳細に説明する。
し、駆動装置で測定管を励振する。測定管の振動モ―ド
の固有振動数に対してほぼ整数倍の固有振動数を有する
付加振動子が設けられているので、付加振動子の振動
は、コリオリ力に対して共振状態となり、コリオリ力に
対する振動振幅は大きくなり、質量流量信号を大きく取
れ、Ｓ／Ｎ比が向上されたコリオリ質量流量計が得られ
る。以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の要部構成説明図
である。図において、図１９と同一記号の構成は同一機
能を表わす。以下、図１９と相違部分のみ説明する。１
１は直線状の測定管、１２はハウジングである。
である。図において、図１９と同一記号の構成は同一機
能を表わす。以下、図１９と相違部分のみ説明する。１
１は直線状の測定管、１２はハウジングである。
【００１０】１３は、測定管１１の軸に直交する方向
に、測定管１１を励振する駆動部である。駆動部１３
は、ハウジング１２取付けられたコイル１４と、測定管
１１に取付けられたコア１５とから構成されている。１
６は駆動変位検出センサで、駆動部１３の動作をチェッ
クする。駆動変位検出センサ１６は、磁石１７とコア１
８とから構成されている。
に、測定管１１を励振する駆動部である。駆動部１３
は、ハウジング１２取付けられたコイル１４と、測定管
１１に取付けられたコア１５とから構成されている。１
６は駆動変位検出センサで、駆動部１３の動作をチェッ
クする。駆動変位検出センサ１６は、磁石１７とコア１
８とから構成されている。
【００１１】１９は付加振動子である。付加振動子１９
は、図３に示す如く、付加振動子固定部２１と、縦梁２
２と横梁２３とからなるＴ形状の梁部２４からなる。梁
部２４は、この場合は、一対取付けられているが、必ず
しも一対である必要はない。２５は圧電素子であり、付
加振動子１９の振動を測定する。付加振動子１９の固有
振動数は、この場合は、測定管１１の固有振動数と一致
している。付加振動子１９は、コリオリ力に対して感度
を有し、駆動振動に対しては感度が低く構成されてい
る。すなわち、縦梁２２は短く、横梁２３は長く構成さ
れている。
は、図３に示す如く、付加振動子固定部２１と、縦梁２
２と横梁２３とからなるＴ形状の梁部２４からなる。梁
部２４は、この場合は、一対取付けられているが、必ず
しも一対である必要はない。２５は圧電素子であり、付
加振動子１９の振動を測定する。付加振動子１９の固有
振動数は、この場合は、測定管１１の固有振動数と一致
している。付加振動子１９は、コリオリ力に対して感度
を有し、駆動振動に対しては感度が低く構成されてい
る。すなわち、縦梁２２は短く、横梁２３は長く構成さ
れている。
【００１２】以上の構成において、測定管１１に測定流
体を流し、駆動部１３で測定管１１を励振する。測定管
１１の振動モ―ドの固有振動数に対してほぼ整数倍の固
有振動数を有する付加振動子１９が設けられているの
で、付加振動子１９の振動は、コリオリ力に対して共振
状態となり、コリオリ力に対する振動振幅は大きくな
り、質量流量信号を大きく取れ、Ｓ／Ｎ比が向上された
コリオリ質量流量計が得られる。
体を流し、駆動部１３で測定管１１を励振する。測定管
１１の振動モ―ドの固有振動数に対してほぼ整数倍の固
有振動数を有する付加振動子１９が設けられているの
で、付加振動子１９の振動は、コリオリ力に対して共振
状態となり、コリオリ力に対する振動振幅は大きくな
り、質量流量信号を大きく取れ、Ｓ／Ｎ比が向上された
コリオリ質量流量計が得られる。
【００１３】すなわち、図４（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）
に、測定管１１に測定流体が流れていない場合の測定管
１１の振動の状態を示す。図５（ａ）（ｂ）（ｃ）
（ｄ）に、測定管１１に測定流体が流れている場合の測
定管１１の振動の状態を示す。
に、測定管１１に測定流体が流れていない場合の測定管
１１の振動の状態を示す。図５（ａ）（ｂ）（ｃ）
（ｄ）に、測定管１１に測定流体が流れている場合の測
定管１１の振動の状態を示す。
【００１４】コリオリ力は測定管１１の中心を原点とし
て上下流で回転対称な分布をするので、図６（ａ）
（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す振動をする。この振動によっ
て、付加振動子１９は、回転振動する。回転振動の振幅
はコリオリ力に比例するので、振幅を測定する事によっ
て、コリオリ力が測定される。コリオリ力は測定管１１
を流れる質量流量に比例する。
て上下流で回転対称な分布をするので、図６（ａ）
（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示す振動をする。この振動によっ
て、付加振動子１９は、回転振動する。回転振動の振幅
はコリオリ力に比例するので、振幅を測定する事によっ
て、コリオリ力が測定される。コリオリ力は測定管１１
を流れる質量流量に比例する。
【００１５】すなわち、図７に測定管１１の変位を、図
８に付加振動子１９の変位を示す。図７に於て、測定管
１１の駆動による変位特性をＡ、測定管１１のコリオリ
力による変位特性をＢとすると、駆動周波数ｆ1 におけ
る、測定管１１のコリオリ力による変位はＣとなる。こ
の場合は、測定管１１の駆動の固有振動数は、付加振動
子１９の固有振動数よりも小さくなるように構成されて
いる。図８に於て、付加振動子１９の変位特性をＤとす
ると、駆動周波数ｆ1 における、付加振動子１９のコリ
オリ力による変位はＥとなる。したがって、付加振動子
１９の回転振幅を測定する事で、質量流量が直接測定出
来る。
８に付加振動子１９の変位を示す。図７に於て、測定管
１１の駆動による変位特性をＡ、測定管１１のコリオリ
力による変位特性をＢとすると、駆動周波数ｆ1 におけ
る、測定管１１のコリオリ力による変位はＣとなる。こ
の場合は、測定管１１の駆動の固有振動数は、付加振動
子１９の固有振動数よりも小さくなるように構成されて
いる。図８に於て、付加振動子１９の変位特性をＤとす
ると、駆動周波数ｆ1 における、付加振動子１９のコリ
オリ力による変位はＥとなる。したがって、付加振動子
１９の回転振幅を測定する事で、質量流量が直接測定出
来る。
【００１６】而して、付加振動子１９の回転振動の固有
振動数と、測定管１１の駆動モ―ドの固有振動数は、こ
の場合は、一致している。したがって、コリオリ力によ
って回転振動が生ずると、振動は共振状態となり、図９
に示すごとく、付加振動子１９の変位特性はＦとなり、
駆動周波数ｆ1 における、付加振動子１９のコリオリ力
による変位はＧとなり、図８の場合に比して、振幅はＱ
倍になる。すなわち、質量流量に比例する付加振動子１
９の回転振幅は、測定管１１の駆動モ―ドの固有振動数
と、付加振動子１９の固有振動数を一致させない場合に
比較して、Ｑ倍大きい値が得られる。
振動数と、測定管１１の駆動モ―ドの固有振動数は、こ
の場合は、一致している。したがって、コリオリ力によ
って回転振動が生ずると、振動は共振状態となり、図９
に示すごとく、付加振動子１９の変位特性はＦとなり、
駆動周波数ｆ1 における、付加振動子１９のコリオリ力
による変位はＧとなり、図８の場合に比して、振幅はＱ
倍になる。すなわち、質量流量に比例する付加振動子１
９の回転振幅は、測定管１１の駆動モ―ドの固有振動数
と、付加振動子１９の固有振動数を一致させない場合に
比較して、Ｑ倍大きい値が得られる。
【００１７】この結果、 （１）コリオリ力を高感度に検出出来る。したがって、
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく測定管１１の破裂の恐れが少なくなる。
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく測定管１１の破裂の恐れが少なくなる。
【００１８】図１０は本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例においては、駆動振動の平面ない
で測定管１１に直交した軸上に、板上の梁２４から付加
振動子１９が構成されたものである。図１１は本発明の
他の実施例の要部構成説明図である。本実施例において
は、図３に示す付加振動子１９の方向を測定管１１と平
行にしたものである。
明図である。本実施例においては、駆動振動の平面ない
で測定管１１に直交した軸上に、板上の梁２４から付加
振動子１９が構成されたものである。図１１は本発明の
他の実施例の要部構成説明図である。本実施例において
は、図３に示す付加振動子１９の方向を測定管１１と平
行にしたものである。
【００１９】図１２は本発明の他の実施例の要部構成説
明図で、図１３は図１０の側面図、図１４は図１２の捩
じれ変位測定装置の詳細説明図である。本実施例におい
ては、駆動振動の平面に直交した軸３１と、その先端の
大きな質量３２と捩じれ変位測定装置３３から構成され
る捩じり振動子で、付加振動子１９を構成したものであ
る。
明図で、図１３は図１０の側面図、図１４は図１２の捩
じれ変位測定装置の詳細説明図である。本実施例におい
ては、駆動振動の平面に直交した軸３１と、その先端の
大きな質量３２と捩じれ変位測定装置３３から構成され
る捩じり振動子で、付加振動子１９を構成したものであ
る。
【００２０】捩じれ変位測定装置３３は、図１４に示す
如く、圧電素子３４、結合部３５、結合捩子３６よりな
る。圧電素子３４は、結合部３５と結合捩子３６とによ
り測定管１１に固定され、ねじれが加わると、捩れに比
例した電圧を発生する。図１５は本発明の他の実施例の
要部構成説明図である。本実施例においては、圧電素子
２５として、滑りモ―ド検出タイプを使用したものであ
る。
如く、圧電素子３４、結合部３５、結合捩子３６よりな
る。圧電素子３４は、結合部３５と結合捩子３６とによ
り測定管１１に固定され、ねじれが加わると、捩れに比
例した電圧を発生する。図１５は本発明の他の実施例の
要部構成説明図である。本実施例においては、圧電素子
２５として、滑りモ―ド検出タイプを使用したものであ
る。
【００２１】図１６は本発明の他の実施例の要部構成説
明図である。本実施例においては、測定管１１としてＵ
字管を使用したものである図１７は本発明の他の実施例
の要部構成説明図である。本実施例においては、測定管
１１としてＳ字管を使用したものである図１８は本発明
の他の実施例の要部構成説明図である。本実施例におい
ては、測定管１１として平行管を使用したものである
明図である。本実施例においては、測定管１１としてＵ
字管を使用したものである図１７は本発明の他の実施例
の要部構成説明図である。本実施例においては、測定管
１１としてＳ字管を使用したものである図１８は本発明
の他の実施例の要部構成説明図である。本実施例におい
ては、測定管１１として平行管を使用したものである
【００２２】なお、前述の実施例においては、振動検出
センサとしては、圧電素子２５を使用したものについて
説明したが、これに限ることはなく、例えば、光セン
サ、動電形センサ、静電型センサでもよく、要するに、
振動検出できるものであれば良い。また、駆動部１３は
電磁コイルでなく、圧電素子を利用してもよい。
センサとしては、圧電素子２５を使用したものについて
説明したが、これに限ることはなく、例えば、光セン
サ、動電形センサ、静電型センサでもよく、要するに、
振動検出できるものであれば良い。また、駆動部１３は
電磁コイルでなく、圧電素子を利用してもよい。
【００２３】また、駆動変位検出センサ１６の検出は動
電形センサ以外の光センサ、静電センサでもよい。ま
た、付加振動子１９の圧電素子２５で検出しても良い。
また、付加振動子１９の固有振動数は、測定管１１の固
有振動数とほぼ一致していると説明したが、整数倍であ
ればよい。
電形センサ以外の光センサ、静電センサでもよい。ま
た、付加振動子１９の圧電素子２５で検出しても良い。
また、付加振動子１９の固有振動数は、測定管１１の固
有振動数とほぼ一致していると説明したが、整数倍であ
ればよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、振動す
る測定管内に測定流体を流し、その流れと測定管の角振
動によって生じるコリオリ力により、測定管を変形振動
させるコリオリ質量流量計において、前記測定管を励振
する駆動部と、前記測定管に設けられコリオリ力に対し
て感度を有し駆動振動に対しては感度が低く構成され前
記測定管にコリオリ力が加わった場合の振動モードの固
有振動数に対してほぼ整数倍の固有振動数を有し前記測
定管にコリオリ力が加わった場合の振動モードにより励
振される付加振動子を具備したことを特徴とするコリオ
リ質量流量計を構成した。
る測定管内に測定流体を流し、その流れと測定管の角振
動によって生じるコリオリ力により、測定管を変形振動
させるコリオリ質量流量計において、前記測定管を励振
する駆動部と、前記測定管に設けられコリオリ力に対し
て感度を有し駆動振動に対しては感度が低く構成され前
記測定管にコリオリ力が加わった場合の振動モードの固
有振動数に対してほぼ整数倍の固有振動数を有し前記測
定管にコリオリ力が加わった場合の振動モードにより励
振される付加振動子を具備したことを特徴とするコリオ
リ質量流量計を構成した。
【００２５】この結果、 （１）コリオリ力を高感度に検出出来る。したがって、
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく管破裂の恐れが少なくなる。
検出信号のＳＮ比が向上出来る。 （２）コリオリ力は駆動変位に比例する。コリオリ力の
検出が高感度で得られるので、駆動変位を従来よりも小
さくすることが出来る。したがって、振動による応力腐
蝕に基づく管破裂の恐れが少なくなる。
【００２６】従って、本考案によれば、Ｓ／Ｎ比が向上
されたコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
されたコリオリ質量流量計を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１のＡ―Ａ断面図である。
【図３】図１の要部詳細説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】図１の動作説明図である。
【図６】図１の動作説明図である。
【図７】図１の動作説明図である。
【図８】図１の動作説明図である。
【図９】図１の動作説明図である。
【図１０】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１１】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１２】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１３】図９の側面図である。
【図１４】図９の要部詳細説明図である。
【図１５】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１６】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１７】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１８】本発明の他の実施例の要部構成説明図であ
る。
る。
【図１９】従来より一般に使用されている従来例の構成
説明図である。
説明図である。
【図２０】図１６の動作説明図である。
【図２１】図１６の動作説明図である。
【図２２】従来より一般に使用されている他の従来例の
構成説明図である。
構成説明図である。
【符号の説明】 １１…測定管 １２…ハウジング １３…振動部 １４…コイル １５…コア １６…駆動変位検出センサ １７…磁石 １８…コア １９…付加振動子 ２１…付加振動子固定部 ２２…縦梁 ２３…横梁 ２４…梁 ２５…圧電素子 ３１…軸 ３２…質量 ３３…捩じれ変位測定装置 ３４…圧電素子 ３５…結合部 ３６…結合捩子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒森 健一 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横 河電機株式会社内 審査官 江塚 政弘 (56)参考文献 特開 平３−48729（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 1/84
Claims (1)
- 【請求項１】振動する測定管内に測定流体を流し、その
流れと測定管の角振動によって生じるコリオリ力によ
り、測定管を変形振動させるコリオリ質量流量計におい
て、前記測定管を励振する駆動部と、 前記測定管に設けられコリオリ力に対して感度を有し駆
動振動に対しては感度が低く構成され前記測定管にコリ
オリ力が加わった場合の振動モードの固有振動数に対し
てほぼ整数倍の固有振動数を有し前記測定管にコリオリ
力が加わった場合の振動モードにより励振される付加振
動子を具備したことを特徴とするコリオリ質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33066591A JP2951460B2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | コリオリ質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33066591A JP2951460B2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | コリオリ質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05164588A JPH05164588A (ja) | 1993-06-29 |
| JP2951460B2 true JP2951460B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=18235219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33066591A Expired - Fee Related JP2951460B2 (ja) | 1991-12-13 | 1991-12-13 | コリオリ質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951460B2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-13 JP JP33066591A patent/JP2951460B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05164588A (ja) | 1993-06-29 |
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