JP2000046615A - コリオリ質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部振動の絶縁性を向上させることによっ
て、高精度で、安定性、耐振性が向上されるコリオリ質
量流量計を実現する。 【解決手段】 振動チューブ内に測定流体が流れ、該測
定流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じ
るコリオリ力により、該振動チューブを変形振動させる
コリオリ質量流量計において、上流側固定端で分岐され
下流側固定端で合流され前記上流側固定端と下流側固定
端とを結ぶ直線を基準軸としてこの基準軸に対して互い
に軸対称な形状を有し励振された定常振動状態において
も常に前記基準軸を中心に互いに対称な位置に存在し且
つ常に基準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上で
単振動をする第１振動チューブと第２振動チューブとを
有する振動チューブを具備したことを特徴とするコリオ
リ質量流量計である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、内部振動の絶縁性
を向上させることによって、高精度で、安定性、耐振性
が向上されたコリオリ質量流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図９は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、特開平６−１０９５１
２号の従来例に示されている。図１０は図９の動作説明
図である。図において、振動チューブ１はフランジ２
に、両端が取付けられている。フランジ２は管路Ａへ振
動チューブ１を取付けるためのものである。

【０００３】励振器３は振動チューブ１の中央部に設け
られている。振動検出センサ４，５は振動チューブ１の
両側にそれぞれ設けられている。ハウジング６は、振動
チューブ１の両端が固定される。

【０００４】以上の構成において、振動チューブ１に測
定流体が流され、励振器３が駆動される。励振器３の振
動方向の角速度『ω』、測定流体の流速『Ｖ』（以
下『』で囲まれた記号はベクトル量を表す。）とする
と、

【０００５】Ｆｃ＝―２ｍ『ω』×『Ｖ』 のコリオリ力が働く、コリオリ力に比例した振動の振幅
を測定すれば、質量流量が測定出来る。

【０００６】図１１は従来より一般に使用されている他
の従来例の構成説明図、図１２は図１１の振動動作説明
図である。本従来例では、振動チューブ１を２管式にし
て、２本の振動チューブを対称に振動させる。

【０００７】２本の振動チューブ１を対称に振動させる
ことで、２本のチューブの分岐（連結）部にて、励振方
向の振動がキャンセルしあい、音叉の節のような場所を
形成することで、内部の振動を外に漏らさない構造とな
っている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図９の
ような一般的な１本直管式コリオリ質量流量計では、振
動チューブを両端で固定しているが、限られた大きさの
コリオリ質量流量計では、端点を完全固定にすることは
できず、わずかに振動してしまう。振動が発生する理由
として、２つの原因が考えられる。

【０００９】（１）管軸方向の力について。内部を流体
が流れる振動チューブ１を図１０のように変形（近似的
に１次モード共振状態）させると、変形により振動チュ
ーブ１の長さが長くなるので、振動チューブ１の軸方向
に引っ張り応力が発生する。

【００１０】例えばステンレスのφ９.６×０.９１t、
４００Ｌのチューブの中央部分を１ｍｍ変形させると、
図１０のように、軸方向に７.５kgfの大きさの引っ張り
力が発生する。

【００１１】振動チューブ１を１次の共振モードで励振
させた場合、プラスとマイナスの変形最大の時に引っ張
り力も最大になり、変形のない基本形状の時は引っ張り
力は最小でゼロである。

【００１２】励振振動の１周期中に、引っ張り力は最
大、最小を２回繰り返す。すなわち、振動チューブ１の
軸方向の引っ張り力は、励振周波数の２倍の周波数で発
生する。この引っ張り力による振動により、振動絶縁が
不十分になる。

【００１３】（２）加振方向の力について。図１０に示
す如く、中央部で加えられた力が、両固定端に加わり、
７.２kgfの力が加わる。

【００１４】図１２のような２本管式のコリオリ質量流
量計でも、振動の絶縁は十分ではない。２本振動チュー
ブ１を互いに逆方向に振動させることで、加振方向の力
Ｆ₁は互いにキャンセルされる。

【００１５】しかし、振動チューブ１の変形に伴い、振
動チューブ１の軸方向にも大きな力Ｆ₂が加わる。この
成分については、２本平行管でもキャンセルできず、む
しろ増幅する傾向である。このように、２本管式コリオ
リ流量計でも、振動絶縁が不十分である。

【００１６】振動絶縁が不十分な場合、 （１）Ｑ値が低くなるので、内部の振動が不安定にな
り、励振振動以外の余計な振動ノイズの影響を受けやす
くなる。

【００１７】（２）励振に大きなエネルギーが必要にな
り、消費電力が増加する。 （３）設置方法や、配管応力、温度等の環境変化や外的
要因により、振動の漏れ程度も大きく変わり、振動チュ
ーブ１の振動状況も変化し、零点やスパンが変化しやす
くなる。

【００１８】すなわち、これらの環境変化や外的要因に
対し、不安定で、耐振性、精度が悪いコリオリ流量計に
なりがちである。

【００１９】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、内部振動の絶縁性を向上させるこ
とによって、高精度で、安定性、耐振性が向上されるコ
リオリ質量流量計を提供するにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定流体の
流れと前記振動チューブの角振動によって生じるコリオ
リ力により、該振動チューブを変形振動させるコリオリ
質量流量計において、上流側固定端で分岐され下流側固
定端で合流され前記上流側固定端と下流側固定端とを結
ぶ直線を基準軸としてこの基準軸に対して互いに軸対称
な形状を有し励振された定常振動状態においても常に前
記基準軸を中心に互いに対称な位置に存在し且つ常に基
準軸の各点からそれぞれ所定距離の円周線上で単振動を
する第１振動チューブと第２振動チューブとを有する振
動チューブを具備したことを特徴とするコリオリ質量流
量計。 （２）前記振動チューブが単振動をするよう前記基準軸
を中心に互いに所定角度をなし前記振動チューブに非接
触に配置された少なくとも２個の励振装置を具備したこ
とを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量計。 （３）外部にねじれ振動が漏洩しないように前記振動チ
ューブの両固定端に連結されたねじり剛性を有する剛体
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載
のコリオリ質量流量計。 （４）前記基準軸に平行して設けられ両端が前記振動チ
ューブの両端側にそれぞれ固定支持される補償体と、前
記振動チューブを前記固定端近傍では前記基準軸回りの
ねじれが主体となるように励振すると共に前記補償体を
この補償体の振動が前記基準軸と同じ軸あるいはこの基
準軸と平行な軸を中心に回転するねじれ振動であり且つ
前記振動チューブの振動とは逆位相で前記振動チューブ
と前記補償体との固定部では逆位相で振動することによ
り前記基準軸回りのねじれ振動が互いに打ち消し合い発
生する振動を削減するように励振する励振手段とを具備
したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに
記載のコリオリ質量流量計。を構成したものである。

【００２１】

【作用】以上の構成において、振動チューブに測定流体
が流され、励振器が駆動されると、コリオリ力が働く、
このコリオリ力に比例した振動の振幅を測定すれば、質
量流量が測定出来る。

【００２２】而して、第１振動チューブと第２振動チュ
ーブとは、上流側固定端で分岐され下流側固定端で合流
され、上流側固定端と下流側固定端とを結ぶ直線を基準
軸として、この基準軸に対して互いに軸対称な形状を有
する。

【００２３】第１振動チューブと第２振動チューブと
は、励振された定常振動状態においても、常に基準軸を
中心に互いに対称な位置に存在し、且つ、常に基準軸の
各点からそれぞれ所定距離の円周線上で単振動をするこ
とで、外部との振動絶縁が高められる。以下、実施例に
基づき詳細に説明する。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例の要部
構成説明図で、請求項１と請求項２の一実施例である。
図において、図９と同一記号の構成は同一機能を表わ
す。以下、図９と相違部分のみ説明する。

【００２５】振動チューブ１１は、上流側固定端１２で
分岐され、下流側固定端１３で合流された、第１振動チ
ューブ１１１と第２振動チューブ１１２とを有する。第
１振動チューブ１１１と第２振動チューブ１１２とは、
上流側固定端１２と下流側固定端１３とを結ぶ直線を基
準軸１４として、この基準軸１４に対して、互いに軸対
称な形状を有する。

【００２６】第１振動チューブ１１１と第２振動チュー
ブ１１２とは、励振された定常振動状態においても、常
に、基準軸１４を中心に互いに対称な位置に存在し、且
つ、常に、基準軸１４の各点から、それぞれ所定距離の
円周線上で単振動をする。

【００２７】励振器１５，１６は、それぞれ振動チュー
ブ１１１，１１２を、その共振周波数で振動させる、振
動検出センサ１７，１８，１９，２１は、それぞれ振動
チューブ１１１，１１２の振動を検出する。

【００２８】以上の構成において、図２は、図１の振動
チューブ１１１，１１２のｂ−ｂ断面図、図３は、図１
の振動チューブ１１１，１１２のａ−ａ断面図，ｃ−ｃ
断面図である。

【００２９】図２，図３において、非励振状態の時、振
動チューブ１１１，１１２は図２，３のＢの位置近傍に
ある。振動状態になると、振動チューブ１１１，１１２
の中心は、基準軸１４からＲ(x)離れた円周上を移動す
る。

【００３０】すなわち、ｂ−ｂ断面では基準軸１４から
半径Ｒ(b)離れた円周上を、ａ−ａ断面やｃ−ｃ断面の
位置では、基準軸１４から半径Ｒ(a)やＲ(c)離れた円周
上を、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｂ→Ａ→Ｂ→（繰り返し）のように
単振動する。

【００３１】振動チューブ１１１，１１２の励振と振動
検出については、この場合は、図４に示す如く行う。図
４には、振動チューブ１１１，１１２と励振器１５，１
６との要部関係断面図が示されている。

【００３２】励振器１５，１６は、それぞれ２つのコイ
ル１５１，１５２，１６１，１６２と磁性体１５３，１
６３から構成されている。励振器１５，１６は、図４の
コイル１５１，１５２，１６１，１６２に示した、矢印
Ｂの方向の力を発生する。振幅角θが小さい場合、以下
のような力を発生させることで、円周振動を実現させ
る。

【００３３】 コイル１５１ F₁₅₁＝A１ sin（ωt） コイル１５２ F₁₅₂＝B１ sin（ωt＋π／２）＋C１ コイル１６１ F₁₆₁＝A２ sin（ωt） コイル１６２ F₁₆₂＝B２ sin（ωt＋π／２）＋C２ 但し、A1,A2,B1,B2,C1,C2は定数

【００３４】振動検出センサ１７，１８，１９，２１も
コイルと磁性体から成り、図４と同様な構成をとる。コ
イル１７１，１８１，１９１，２１１では振動のＹ方向
成分を、コイル１７２，１８２，１９２，２１２では振
動のＺ方向成分を検出する。

【００３５】なお、信号処理は、一般的な方法を用いれ
ば良く、例えば、上流側センサ１７，１９の出力と、下
流側センサ１８，２１の出力の位相差を求め、共振周波
数や温度補正を行って、質量流量を算出する。

【００３６】第１、第２の振動チューブ１１１，１１２
は、基準軸１４から等距離にある円周面内のみでの振動
なので、第１、第２の振動チューブ１１１，１１２の位
置がどこであっても、第１、第２の振動チューブ１１
１，１１２の長さが変わることはない。

【００３７】従って、軸方向の引っ張りの力が常に一定
である。すなわち、管軸方向の力が変化することによ
る、振動の漏れを無くすことができ、管軸方向の振動絶
縁を高めることができる。

【００３８】また、第１，第２の振動チューブ１１１，
１１２が、基準軸１４を中心に、常に、対称な位置にあ
るので、常に重心が変化することがなく、振動が外部に
漏れることが無い。

【００３９】具体的には、内部振動のＱ値が高くなるの
で、振動ノイズの影響を受けにくくなり、低消費電力を
実現し、振動の漏れ量の変化によるゼロ点やスパン変化
を低減できるコリオリ質量流量計が得られる。

【００４０】この結果、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。

【００４１】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【００４２】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に内部に振動が閉じこもっているの
で、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【００４３】図５は本発明の他の実施例の要部構成説明
図で、請求項３の一実施例である。図６は図５の側断面
図である。

【００４４】本実施例において、ねじり剛性を有する剛
体３１は、外部に、ねじれ振動が漏洩しないように、振
動チューブ１１の両固定端１２，１３に連結固定され
た、剛体である。この場合は、ハウジング６の機能も兼
用する。

【００４５】ねじれ剛性が十分に大きいとは、目安とし
て、１桁以上、剛性が大きいことを言う。 中空丸軸のねじれ剛性＝Ｇ×π／３２×（d₂ ⁴−d₁ ⁴） Ｇ:横弾性計数 d₂：外径 d₁：内径 で示される。

【００４６】このようにねじれ剛性は、直径の４乗に効
いてくるので、図６に示す如く、振動チューブ１１に対
して、ねじり剛性を有する剛体３１の直径を変えること
で、１桁以上剛性の大きいものでも比較的容易に作成で
きる。

【００４７】この結果、十分にねじれ剛性の高い剛体３
１を有することで、内部振動系の、基準軸１４まわりの
ねじれ成分を強固に固定し、コリオリ質量流量計の外部
に、ねじれ振動が漏れるのを防止する事が出来る。振動
絶縁をより高度に実現することにより、流量計内部の振
動が一層安定になり、高精度で安定したコリオリ質量流
量計が得られる。

【００４８】なお、前述の実施例においては、ねじれ剛
性の高い剛体３１は、ハウジング６を兼用すると説明し
たが、これに限ることはなく、例えば、ねじれ剛性の高
い剛体３１とハウジング６とは別体でも良い。

【００４９】また、ねじれ剛性の高い剛体３１は、１本
の円筒でなくても良く、複数本でも、角柱形状でも何で
も良い。要するに、ねじれ剛性の高い剛体３１であれば
良い。

【００５０】図７は本発明の他の実施例の要部構成説明
図で、請求項４の一実施例である。図８は図７の側断面
図である。図において、補償体４１は、基準軸１４に平
行して設けられ、両端が振動チューブ１１の両端側にそ
れぞれ固定支持４２，４３されている。

【００５１】励振手段４４は、振動チューブ１１を、基
準軸１４回りのねじれが主体となるように励振する。

【００５２】一方、励振手段４４は、補償体４１をこの
補償体４１の振動が、基準軸１４と同じ軸、あるいはこ
の基準軸１４と平行な軸を中心に回転するねじれ振動で
あり、且つ振動チューブ１１の振動とは逆位相で、振動
チューブ１１と補償体４１との固定部４２，４３では、
逆位相で振動することにより、基準軸１４回りのねじれ
振動が互いに打ち消し合い発生する振動を削減するよう
に励振する。

【００５３】この場合は、励振手段４４は、励振器１５
と励振器１６とよりなる。励振器１５、１６によって、
コイル１５１，１５２，１６１，１６２と磁石１５３，
１６３が反発する方向に力が加わった場合、振動チュー
ブ１１にはＴ１で示す方向（図８の右回り）の力を受け
る。

【００５４】そして、作用反作用により、補償体４１は
Ｔ２で示す方向（図８の左回り）の力を受ける。

【００５５】Ｔ１とＴ２とは、お互いに、基準軸１４を
中心に、反対回りの力である。補償体４１と振動チュー
ブ１１の固定部４２，４３とでは、互いに逆回りの逆位
相の力が加わり、打ち消し合うことで、発生振動が大幅
に削減され、補償体４１の外部へ漏れる振動が大幅に削
減される。

【００５６】この結果、補償振動体４１が設けられたの
で、基準軸１４のまわりのねじれ成分について、振動を
キャンセル出来、コリオリ質量流量計の外部に、余計な
振動を漏らすことがなくなり、振動の絶縁がより高めら
れる。

【００５７】振動絶縁をより高度に実現することによ
り、コリオリ質量流量計内部の振動が一層安定になり、
高精度で安定したコリオリ質量流量計が得られる。

【００５８】すなわち、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。

【００５９】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【００６０】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に内部に振動が閉じこもっているの
で、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、振動チューブは、上流側固定端で分岐され、
下流側固定端で合流された、第１振動チューブと第２振
動チューブとを有し、単振動するので、管軸方向の力が
変化することによる、振動の漏れを無くすことができ、
管軸方向の振動絶縁を高めることができる。

【００６２】更に、励振変形（円周の半径方向）に関し
ては、第１，第２の振動チューブが対称な方向に変形す
るので、その分岐点では、互いに逆向きの変形が、音叉
の節のようにキャンセルすることが出来る。

【００６３】また、第１，第２の振動チューブが、基準
軸１４を中心に、常に、対称な位置にあるので、常に重
心が変化することがなく、振動が外部に漏れることが無
い。

【００６４】具体的には、内部振動のＱ値が高くなるの
で、振動ノイズの影響を受けにくくなり、低消費電力を
実現し、振動の漏れ量の変化によるゼロ点やスパン変化
を低減できるコリオリ質量流量計が得られる。この結
果、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。

【００６５】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【００６６】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に内部に振動が閉じこもっているの
で、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【００６７】本発明の請求項２によれば、 （１）２つ以上の励振器を、角度を変えて同時に用いる
ことで、円周面内振動を実現出来るコリオリ質量流量計
が得られる。 （２）電磁力を利用すれば、非接触でありながら十分な
力を発生させることが出来るコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【００６８】本発明の請求項３によれば、十分にねじれ
剛性の高い剛体を有することで、内部振動系の、基準軸
まわりのねじれ成分を強固に固定し、コリオリ質量流量
計の外部に、ねじれ振動が漏れるのを防止する事が出来
る。振動絶縁をより高度に実現することにより、流量計
内部の振動が一層安定になり、高精度で安定したコリオ
リ質量流量計流量計が得られる。

【００６９】本発明の請求項４によれば、補償振動体が
設けられたので、基準軸のまわりのねじれ成分につい
て、振動をキャンセル出来、コリオリ質量流量計の外部
に、余計な振動を漏らすことがなくなり、振動の絶縁が
より高められる。

【００７０】振動絶縁をより高度に実現することによ
り、コリオリ質量流量計内部の振動が一層安定になり、
高精度で安定したコリオリ質量流量計が得られる。

【００７１】すなわち、 （１）内部振動系は高Ｑ値を実現でき、外部ノイズが加
わってもその影響が相対的に少なく、振動が安定なの
で、外部振動ノイズに強いコリオリ質量流量計が得られ
る。

【００７２】（２）少ないエネルギで安定した励振を実
現できるので、低消費電流のコリオリ質量流量計が得ら
れる。

【００７３】（３）外部への振動エネルギの散逸量が変
化したり、上下流で散逸量のバランスが崩れると、内部
の振動系に影響が及び、ゼロ点やスパンが変動してしま
う。本発明では、常に内部に振動が閉じこもっているの
で、その心配がなく、高精度なコリオリ質量流量計が得
られる。

【００７４】従って、本発明によれば、内部振動の絶縁
性を向上させることによって、高精度で、安定性、耐振
性が向上されるコリオリ質量流量計を実現することが出
来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１の動作説明図である。

【図３】図１の動作説明図である。

【図４】図１の動作説明図である。

【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図６】図５の側面図である。

【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。

【図８】図７の側面図である。

【図９】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【図１０】図９の動作説明図である。

【図１１】従来より一般に使用されている他の従来例の
構成説明図である。

【図１２】図１１の動作説明図である。

【符号の説明】

２ フランジ ６ ハウジング １１ 振動チューブ １１１ 第１振動チューブ １１２ 第２振動チューブ １２ 上流側固定端 １３ 下流側固定端 １４ 基準軸 １５ 励振器 １５１ 励振コイル １５２ 励振コイル １５３ 磁性体 １６ 励振器 １６１ 励振コイル １６２ 励振コイル １６３ 磁性体 １７ 振動検出センサ １８ 振動検出センサ １９ 振動検出センサ ２１ 振動検出センサ ３１ 捻じり剛性を有する剛体 ４１ 補償体 ４２ 固定部 ４３ 固定部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】振動チューブ内に測定流体が流れ、該測定
   流体の流れと前記振動チューブの角振動によって生じる
   コリオリ力により、該振動チューブを変形振動させるコ
   リオリ質量流量計において、 上流側固定端で分岐され下流側固定端で合流され前記上
   流側固定端と下流側固定端とを結ぶ直線を基準軸として
   この基準軸に対して互いに軸対称な形状を有し励振され
   た定常振動状態においても常に前記基準軸を中心に互い
   に対称な位置に存在し且つ常に基準軸の各点からそれぞ
   れ所定距離の円周線上で単振動をする第１振動チューブ
   と第２振動チューブとを有する振動チューブを具備した
   ことを特徴とするコリオリ質量流量計。
2. 【請求項２】前記振動チューブが単振動をするよう前記
   基準軸を中心に互いに所定角度をなし前記振動チューブ
   に非接触に配置された少なくとも２個の励振装置を具備
   したことを特徴とする請求項１記載のコリオリ質量流量
   計。
3. 【請求項３】外部にねじれ振動が漏洩しないように前記
   振動チューブの両固定端に連結されたねじり剛性を有す
   る剛体を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項
   ２記載のコリオリ質量流量計。
4. 【請求項４】前記基準軸に平行して設けられ両端が前記
   振動チューブの両端側にそれぞれ固定支持される補償体
   と、 前記振動チューブを前記固定端近傍では前記基準軸回り
   のねじれが主体となるように励振すると共に前記補償体
   をこの補償体の振動が前記基準軸と同じ軸あるいはこの
   基準軸と平行な軸を中心に回転するねじれ振動であり且
   つ前記振動チューブの振動とは逆位相で前記振動チュー
   ブと前記補償体との固定部では逆位相で振動することに
   より前記基準軸回りのねじれ振動が互いに打ち消し合い
   発生する振動を削減するように励振する励振手段とを具
   備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか
   に記載のコリオリ質量流量計。