JPH0712612A - コリオリ式質量流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定管のメカニカルＱを十分に高く維持する
とともに、構造を簡単とし漏れ磁界の影響をなくす。 【構成】 測定管３の振動検出手段として、従来のよう
な電磁ピックアップではなく、測定管の歪みを検出する
圧電素子などを含む歪み検出素子４４，４５を用いるこ
とにより、測定管のメカニカルＱを低下させないように
しつつ構造を簡単にし、かつ漏れ磁界の影響を与えない
ようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、振動する測定管内を
流れる流体の質量流量に比例して発生するコリオリ力を
利用して質量流量を測定するコリオリ式質量流量計、特
に測定管の振動を検出する手段を改良したコリオリ式質
量流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は従来のコリオリ式質量流量計の流
量検出部を示す構成例で、例えば特公昭６０−３４６８
３号公報などで知られているものである。すなわち、ハ
ウジング９には片持ち支持されたＵ字型の測定管３が取
り付けられており、測定管３の両端部３１，３２間には
片持ち梁状の共振体１２０が取り付けられている。測定
管３と共振体１２０の共振周波数は揃えられており、互
いに共鳴するように構成されている。Ｕ字型測定管３の
先端と共振体１２０の先端部間には、例えばコイルと磁
石からなるドライバ４１が取り付けられている。このド
ライバ４１と駆動回路１３０により、Ｕ字型測定管３と
共振体１２０は所定の共振周波数で駆動される。

【０００３】また、このＵ字型測定管３の両側のストレ
ート部の先端には、コイルと磁石により構成されるよう
な速度センサが、測定管３の振動を検出する手段４２，
４３として取り付けられており、それぞれの出力は信号
処理回路１４０に入力され、流量信号に変換される。片
持ち支持されたＵ字型の測定管３内には、図示されてい
ない流通管を介してａ部から測定流体が流入する。測定
管３を流通した流体はｂ部より図示されていない流通管
へ流出して行くように構成されている。

【０００４】このように構成された流量計において、流
体の流量がゼロの場合について考える。いま、Ｕ字型測
定管３と共振体１２０は、ドライバ４１と駆動回路１３
０によりその共振周波数で加振されている。左右の速度
センサ４２，４３が取り付けられている位置は、それぞ
れ同じ振動をするため、左右の速度センサ４２，４３か
らは位相差のない出力信号が得られる。

【０００５】次に、流れが生じた場合は、振動する測定
管３内を流体が流れると流体の流れと直角方向にコリオ
リ力が発生するが、Ｕ字型測定管３内の両側では流体の
流れる方向が互いに逆になるため、コリオリ力の発生方
向も逆になる。したがって、Ｕ字型測定管３にはＯ軸に
関するモーメントが発生し、Ｗ−Ｗ軸に関する撓み振動
にＯ軸に関する捩じり振動が重畳する。このため、上記
速度センサ４２，４３の出力は互いに位相差を持った信
号として検出される。コリオリ力は質量流量に比例して
いるため、速度センサ４２，４３信号の位相差（時間
差）が質量流量に比例した量になる。したがって、前記
信号の位相差（時間差）を測定することにより、流体の
質量流量を測定できることになる。

【０００６】ここで、測定管３のＷ−Ｗ軸に関する撓み
振動の変位Ｘ０は、この撓み振動が共振であるため振動
は動的な変位となり、 Ｘ０＝Ａｓｉｎωｔ Ａ：撓み振動の変位の振幅、ω：撓み振動の共振周波数 となる。したがって、上記速度センサ４２，４３により
得られる撓み振動による信号成分Ｖ０は、 Ｖ０＝Ａωｃｏｓωｔ となる。

【０００７】一方、コリオリ力により測定管に発生する
Ｏ軸に関するねじり振動の変位Ｘｃは、前記の撓み振動
より高次であるため、共振せずに振幅は静的な変位とな
る。また、コリオリ力は角速度に比例し、角速度はほぼ
振動の速度に比例するので、コリオリ力は次式のように
ｃｏｓωｔの位相で発生する。 Ｘｃ＝Ｂｃｏｓωｔ Ｂ：捩じり振動の変位の振幅 したがって、速度センサ４２，４３により得られる捩じ
り振動による信号成分Ｖｃは、 Ｖｃ＝−Ｂωｓｉｎωｔ となる。

【０００８】Ａは動的な変位でありＢは静的な変位なの
で、Ａ≫Ｂである。そして、左右の速度センサ４２，４
３を介して得られる信号Ｖは、Ｖ０とＶｃの和となり、 Ｖ＝Ｖ０＋Ｖｃ＝（Ａ² ＋Ｂ² ）^1/2 ωｃｏｓ（ωｔ±
θ） θ＝ｔａｎ^-1（Ｂ／Ａ）≒Ｂ／Ａ（Ａ≫Ｂより） と表わされる。上式中の±は左右の速度センサ４２，４
３における捩じり振動の向きが逆であるためである。し
たがって、左右の速度センサ４２，４３で検出される信
号の位相差Δθおよび時間差Δｔは、それぞれ、 Δθ＝２Ｂ／Ａ Δｔ＝２Ｂ／Ａω となる。

【０００９】そこで、Ａはドライバ４１と駆動回路１３
０による「共振振動の変位の振幅」と言える。また、Ｂ
は共振している測定管３に発生する「コリオリ力による
振動の変位の振幅」と言える。したがって、発生する位
相差は、 「コリオリ力による振動の変位の振幅」／「共振振動の
変位の振幅」 に比例することになる。なお、測定管３の振動を検出す
る手段として上記では速度検出センサを用いたが、変位
検出センサや加速度検出センサを用いた場合でも発生す
る位相差（時間差）は、速度検出センサの場合と全く同
一となる。

【００１０】また、測定管３の共振周波数は、その質量
と剛性に依存する。以上の場合剛性は一定で変化しない
から、測定管３（内部に充満している流体の質量も含め
て）の質量変化により共振周波数は変化することにな
る。ここで、測定管３の密度変化は非常に小さいため、
共振周波数は測定管内の測定流体密度の変化により変化
すると言える。したがって、その共振周波数を計測する
ことにより、測定流体の密度を測定することができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところで、コリオリ式
質量流量計では、消費電力を少なくするために測定管の
駆動力を小さくし、出力を安定させて高精度な流量計測
と密度計測を行なうには、測定管の振動を安定させるこ
とが必要である。このためには、測定管のメカニカルＱ
を十分に高く維持する必要がある。しかしながら、従来
用いられて来たコイルと磁石により構成される振動検出
手段は、形状が大きくかつ重くなるので、測定管に取り
付けるとメカニカルＱを下げてしまうという問題があ
る。

【００１２】また、コイルと磁石というように２つの部
分に分かれてしまうため構造が複雑になる、また、漏れ
磁界の影響により、検出する速度と出力する信号との間
に直線性誤差を生じ、得られる信号が歪んで信号の位相
差（時間差）に誤差を生じる、さらには直管状の測定管
を用いたコリオリ式質量流量計は、曲管状の測定管を用
いたものに比べて、測定管の剛性が大きくなるため前記
信号の位相差（時間差）が小さくなり、高精度な流量計
測が難しい、などの問題がある。したがって、この発明
の課題は測定管のメカニカルＱを十分に高く維持すると
ともに、構造を簡単にし漏れ磁界の影響をなくすことに
ある。また、直管状の測定管を用いた場合でも大きな位
相差（時間差）を得られるようにし、高精度な流量計測
を実現することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、この発明では、振動する測定管内を流れる流体
の質量流量に比例して発生するコリオリ力を利用して質
量流量を測定するコリオリ式質量流量計において、前記
測定管の振動を検出する手段として、この測定管の歪み
の変化を検出する手段を用いることを特徴としている。
この発明においては、前記測定管として、両端が単純支
持構造となっている直管状の測定管を用いることがで
き、または、前記測定管として、両端が固定端となって
いる直管状の測定管を用い、この測定管の歪みの変化を
検出する手段を測定管の前記固定端近傍に取り付けたこ
とができ、もしくは、前記測定管として、両端が固定端
となっている直管状の測定管を用い、この測定管の歪み
の変化を検出する手段を測定管の共振振動による曲げモ
ーメントが発生しない場所からわずかに離れた場所に取
り付けることができる。

【００１４】

【作用】測定管の振動を検出する手段として、圧電素子
やストレインゲージのような測定管の歪みを検出する素
子（歪み検出素子）を用いるようにする。つまり、歪み
検出素子はコイルと磁石からなる電磁ピックアップに比
べて一般に小型，軽量化できるため、測定管に取り付け
たときの測定管のメカニカルＱの減少を少なくできる。
また、コイルと磁石のように２つの部分に分かれること
がないので、構造が簡単になるだけでなく、漏れ磁界に
よって検出信号が歪むという問題も発生しない。

【００１５】歪み検出素子では、測定管の曲げモーメン
トに比例した信号が得られる。したがって、速度を検出
する電磁ピックアップとは異なった質量流量に比例した
位相差（時間差）が検出される。この歪み検出素子を、
両端が単純支持構造となっている直管状の測定管を持つ
質量流量計の振動検出手段として用いると、得られる質
量流量に比例した位相差（時間差）は電磁ピックアップ
に比べて大きくなる。したがって、流量計測の精度を高
めることができる。

【００１６】また、両端が固定端となっている直管状の
測定管を持つ質量流量計では、その固定端近傍では、測
定管の振動振幅はほとんど零であるが曲げモーメントは
発生する。したがって、振動の検出手段として歪み検出
素子を固定端近傍に取り付けても、質量流量に比例した
位相差（時間差）を得ることができる。そして、固定端
近傍では測定管の振動振幅はほとんど零なので、ここに
歪み検出素子を取り付けても、歪み検出素子が測定管の
振動に与える影響は少ない。したがって、より高い測定
管のメカニカルＱを得ることができる。

【００１７】さらに、両端が固定端となっている直管状
の測定管を持つ質量流量計では、一般に、測定管の共振
振動により発生する曲げモーメント零の場所が測定管上
に存在する。また、一般に測定管の共振振動により発生
する曲げモーメントが零の場所でも、発生するコリオリ
力による振動の曲げモーメントは零ではない。電磁ピッ
クアップでは、得られる位相差（時間差）は前述のよう
に、 「コリオリ力による振動の変位の振幅」／「共振振動の
変位の振幅」 に比例する。これと同様に、歪み検出素子により得られ
る位相差（時間差）は、 「コリオリ力による振動の曲げモーメントの振幅」／
「共振振動の曲げモーメントの振幅」 に比例する。

【００１８】そして、測定管の共振振動により発生する
曲げモーメント零の場所からわずかに離れた場所では、
上記「共振振動の曲げモーメントの振幅」は非常に小さ
い。したがって、 「コリオリ力による振動の曲げモーメントの振幅」／
「共振振動の曲げモーメントの振幅」 は非常に大きくなり、歪み検出素子により得られる位相
差（時間差）は非常に大きくなる。その結果、振動検出
手段として歪み検出素子を、測定管の共振振動により発
生する曲げモーメント零の場所からわずかに離れた場所
に取り付けると、得られる位相差（時間差）は非常に大
きくなり、流量計測の精度を高めることが可能になる、
というわけである。

【００１９】

【実施例】図１はこの発明の実施例を示す構成図で、一
般に流量検出部，流量信号処理回路および測定管駆動回
路等から構成される質量流量計の流量検出部のみを示し
ている。なお、同図（イ）はその側面図、（ロ）は同じ
く平面図である。すなわち、流量検出部１は１本のＵ字
型測定管３と、Ｕ字型測定管３と同じ共振周波数を持つ
共振体１２０と、Ｕ字型測定管３と共振体１２０の頂部
の間に取り付けられ、磁石とコイルからなる（Ｕ字型測
定管３と共振体１２０を振動させられるものならば何で
も良い）ドライバ４１と、Ｕ字型測定管３の振動を検出
する手段として、Ｕ字型測定管３の両側のストレート部
に取り付けられた圧電素子やストレンゲージの如き歪み
検出素子４４，４５と、Ｕ字型測定管３の両端部と共振
体１２０の端部が固定されているハウジング９などから
構成されている。

【００２０】このような構成において、測定管３と共振
体１２０はドライバ４１により、図１（イ）の矢印ｃの
方向（上下方向）に測定管３と共振周波数で加振され
る。なお、測定管３が十分高いメカニカルＱを持ち得る
のなら、共振体１２０はなくても良い。この場合、ドラ
イバ４１はハウジング９と測定管３の間に取り付けられ
る。測定管３の振動は歪み検出素子４４，４５により検
出される。歪み検出素子４４，４５は従来の電磁ピック
アップに比べて小型，軽量のため、歪み検出素子４４，
４５を測定管３に取り付けたときの、測定管３のメカニ
カルＱの減少を小さくすることができる。また、コイル
と磁石の２つの部分からなる電磁ピックアップに比べ
て、歪み検出素子４４，４５は構造が簡単である。さら
には、電磁ピックアップから発生する漏れ磁界によっ
て、得られる信号が歪むという問題も発生しない。

【００２１】図２は歪み検出素子に発生する歪みを説明
するための説明図である。歪み検出素子４４，４５は、
測定管３に図２（イ）のように取り付けられている。Ｍ
は測定管３の中立軸を示す。説明を簡単にするため、こ
こでは振動によって図示のＸ，Ｙ平面上のＹ軸の向きに
のみ変形するものとする。歪み検出素子４４，４５は図
２（イ）のように測定管３が真っ直ぐの状態で、測定管
３に取り付けられる。したがって、図２（イ）の状態で
は歪み検出素子４４，４５には歪みはなく、そのときの
Ｘ軸方向の長さをｈとする。

【００２２】図２（ロ）は測定管３が振動によって変形
し、この変形により歪み検出素子４４，４５を取り付け
た場所の曲率半径がｒになった場合を示している。ここ
で、歪み検出素子４４，４５は十分小さく、曲率半径ｒ
は歪み検出素子４４，４５上で一定と見なせるとする。
このとき、歪み検出素子４４，４５と曲率の中心Ｏとで
作る扇形の中心角をθ、測定管３の中立軸Ｍと外形の間
の長さをｄ、変形後の歪み検出素子４４，４５のＸ軸方
向の長さをｈ＋Δｈとすると、 ｈ＋Δｈ＝（ｒ−ｄ）θ となる。

【００２３】また、 θ＝ｈ／ｒ なので、結局、歪み検出素子４４，４５に発生するＸ軸
方向の歪みΔｈ／ｈは、 Δｈ／ｈ＝−ｄ／ｒ となる。つまり、Δｈ／ｈは１／ｒに比例する。一方、
１／ｒは測定管３の曲げモーメントに比例することが知
られている。したがって、歪み検出素子４４，４５で検
出される歪みΔｈ／ｈは、測定管３の曲げモーメントに
比例することになる。これ迄の説明は、より複雑な測定
管の形状や振動の場合にも一般的に適用することがで
き、歪み検出素子で得られる信号は測定管の曲げモーメ
ントに比例すると言える。

【００２４】先に、測定管の振動を検出する手段とし
て、電磁ピックアップのような速度検出素子を用いた場
合に得られる、質量流量に比例する位相差（時間差）信
号は、 「コリオリ力による振動の変位の振幅」／「共振振動の
変位の振幅」 に比例することを示した。歪み検出素子では曲げモーメ
ントが検出されるので、測定管の振動を検出する手段と
して歪み検出素子を用いると、電磁ピックアップの場合
と同様に、質量流量に比例する位相差（時間差）信号
は、 「コリオリ力による振動の曲げモーメントの振幅」／
「共振振動の曲げモーメントの振幅」 に比例すると言える。したがって、電磁ピックアップで
得られる位相差（時間差）とは異なる位相差（時間差）
を、歪み検出素子では得ることができる。

【００２５】図３はこの発明の他の実施例を示す構成図
である。これは、両端が単純支持構造である直管状の測
定管を持つ場合の例であり、図１の実施例と同じく流量
検出部を示すものである。すなわち、流量検出部１は１
本の直管状測定管３Ａと、測定管３Ａの中央部とハウジ
ング９との間に取り付けられたドライバ４１と、測定管
３Ａ上にドライバ４１に対して対称な位置に取り付けら
れている歪み検出素子４４，４５と、測定管３Ａをハウ
ジング９に対して単純支持する支持部４６，４７から構
成されている。測定管３Ａはドライバ４１と測定管駆動
回路により、支持部４６，４７で支持された場所を振動
の節として共振している。

【００２６】図４は図３のような質量流量計の測定管が
１次振動で共振しているとき、得られる位相差（時間
差）と、測定管の振動検出手段の取り付け位置との関係
を、測定管の振動検出手段が電磁ピックアップのような
速度検出器を用いた場合と、歪み検出素子を用いた場合
を比較して示している。実線が速度検出器の場合で、
点線が歪み検出素子の場合である。縦軸は位相差（時
間差）で、横軸は測定管の単純支持された両端の間の長
さをＬとして、取り付け位置を測定管の端からのＬに対
する相対的な距離で表わしたものである。なお、振動検
出手段は測定管の中央に対して対称に取り付けられるの
で、横軸は０Ｌから０．５Ｌまでとなっている。

【００２７】図４によれば、得られる位相差（時間差）
は、測定管の振動検出手段の取り付け位置によって変化
するが、歪み検出素子を用いた場合の方が、速度検出器
を用いた場合に比べて数倍の位相差（時間差）を得られ
ることが分かる。つまり、両端が単純支持構造である直
管状の測定管を持つ質量流量計で、測定管の振動検出手
段として歪み検出素子を用いると、電磁ピックアップの
ような速度検出器（または変位，加速度検出素子）を用
いた場合に比べて、大きな位相差（時間差）を得ること
ができ、流量測定の精度を上げることができる。なお、
この実施例は測定管が１次振動で共振しているときの例
であるが、一般により高次の共振をしているものについ
てもその作用は同様である。

【００２８】図５に両端が固定端である直管状の測定管
を持つ場合の実施例を示す。これは、両端をハウジング
９に固定端となるように取り付けられた直管状測定管３
Ａと、測定管３Ａの中央部とハウジング９との間に取り
付けられたドライバ４１と、測定管３Ａ上の両固定端近
傍にそれぞれドライバ４１に対して対称な位置に取り付
けられている歪み検出素子４４，４５とから構成されて
いる。測定管３Ａはドライバ４１と測定管駆動回路によ
り、固定端となっている両端を振動の節として共振す
る。図６も両端が固定端である直管状の測定管を持つ場
合の実施例である。これの図５に示すものとの相違点
は、歪み検出素子４４，４５が測定管３Ａの共振振動の
曲げモーメントが０になる位置からわずかに離れた位置
（ほぼ０．３Ｌの位置）に、ドライバ４１に対して対称
な位置に取り付けた点にあり、その他は図５と同様であ
る。

【００２９】図７は両端が固定端である直管状の測定管
を持つ質量流量計で、測定管が１次振動で共振している
場合において、共振の曲げモーメントの振幅，コリオ
リ力による振動の曲げモーメントの振幅（共振の曲げ
モーメントより１００倍に拡大して示す），歪み検出素
子を取り付けたとき得られる位相差（時間差）の、測
定管上の位置による変化を示している。横軸は測定管の
固定端の間の長さをＬとして、測定管上の位置を測定管
の端からのＬに対する相対的な距離で表わしたものであ
る。なお、振動検出手段は測定管の中央に対して対称に
取り付けられるので、横軸は０Ｌから０．５Ｌまでとな
っている。

【００３０】図７によれば、図５のように歪み検出素子
を固定端近傍（図７では横軸０．００Ｌ付近）に取り付
けても、固定端では曲げモーメントが発生するので、質
量流量に比例した位相差（時間差）が得られることが分
かる。つまり、電磁ピックアップのような速度検出器
（または変位，加速度検出素子）では固定端では変位が
０なので、固定端近傍では十分な振幅の信号が得られ
ず、固定端近傍には取り付けられない。固定端近傍で
は、振動の振幅が０に近いので、測定管の振動検出手段
を取り付けても、振動に与える影響が少なく、測定管の
メカニカルＱの減少が少ない。したがって、図５のよう
に歪み検出素子を固定端近傍に取り付けると、測定管の
メカニカルＱの減少をより少なくして測定管の振動検出
ができ、測定管の振動が安定化し、より安定な流量測
定，密度測定が可能となる。なお、図７は測定管が１次
振動で共振しているときの例であるが、一般により高次
の共振においても固定端では曲げモーメントが発生する
ので、１次のときと同様である。

【００３１】さらに、図７によると、測定管上の０．２
５Ｌの位置付近で、共振の曲げモーメントの振幅が０に
なる位置がある。先に、歪み検出素子で得られる位相差
（時間差）信号は、 「コリオリ力による振動の曲げモーメントの振幅」／
「共振振動の曲げモーメントの振幅」 に比例すると述べたが、測定管上の０．２５Ｌの位置付
近で、共振の曲げモーメントの振幅が０になる位置から
わずかに離れた位置では、「共振振動の曲げモーメント
の振幅」が０に近い非常に小さな値で、「コリオリ力に
よる振動の曲げモーメントの振幅」が０でない値なの
で、 「コリオリ力による振動の曲げモーメントの振幅」／
「共振振動の曲げモーメントの振幅」 の値が非常に大きくなる。

【００３２】したがって、歪み検出素子で得られる位相
差（時間差）は、図７に点線で示すように極めて大きく
なる。このため、図６のように歪み検出素子を、測定管
の共振の曲げモーメントの振幅が０になる位置からわず
かに離れた位置（図６では、０．３０Ｌの位置とした
が、測定管の共振の曲げモーメントの振幅が０になる位
置からわずかに離れた位置ならば、どこでも良い）に取
り付けた場合には、大きな質量流量に比例する位相差
（時間差）が得られるので、より高精度の流量測定が可
能になるというわけである。

【００３３】なお、図５，図６では測定管が１次振動で
共振しているときの例であるが、一般により高次の共振
をしている場合でも、共振の曲げモーメントの振幅が０
になる位置からわずかに離れた位置では、上記と同様の
ことが言える。以上、測定管の振動検出手段として歪み
検出素子を用いたコリオリ式質量流量計について、測定
管が１本の場合の例を説明したが、この発明は複数の測
定管を用いたコリオリ式質量流量計についても同様にし
て適用することができる。

【００３４】

【発明の効果】この発明によれば、測定管の振動を検出
する手段として歪み検出素子を用いることで、簡単な構
造でより安定した振動が得られ、安定な流量計測および
密度計測が可能になる利点がもたらされる。また、直管
状の測定管に歪み検出素子を用いれば、さらに安定した
振動が得られ、より大きな質量流量に比例する位相差
（時間差）が得られ、流量計測をより高精度に行なうこ
とが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す構成図である。

【図２】図１の歪み検出素子に発生する歪みを説明する
ための説明図である。

【図３】この発明の他の実施例を示す構成図である。

【図４】図３の作用を従来例と比較して説明するための
グラフである。

【図５】この発明のさらに他の実施例を示す構成図であ
る。

【図６】図５の変形例を示す構成図である。

【図７】図５，図６の場合の作用を説明するためのグラ
フである。

【図８】従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１…流量検出部、３，３Ａ…測定管、９…ハウジング、
３１，３２…測定管端部、４１…ドライバ、４２，４３
…電磁ピックアップ（速度センサ）、４４，４５…歪み
検出素子、４６，４７…支持部、１２０…共振体、１３
０…駆動回路、１４０…信号処理回路。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動する測定管内を流れる流体の質量流
   量に比例して発生するコリオリ力を利用して質量流量を
   測定するコリオリ式質量流量計において、 前記測定管の振動を検出する手段として、この測定管の
   歪みの変化を検出する手段を用いることを特徴とするコ
   リオリ式質量流量計。
2. 【請求項２】 前記測定管として、両端が単純支持構造
   となっている直管状の測定管を用いることを特徴とする
   請求項１に記載のコリオリ式質量流量計。
3. 【請求項３】 前記測定管として、両端が固定端となっ
   ている直管状の測定管を用い、この測定管の歪みの変化
   を検出する手段を測定管の前記固定端近傍に取り付けた
   ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ式質量流量
   計。
4. 【請求項４】 前記測定管として、両端が固定端となっ
   ている直管状の測定管を用い、この測定管の歪みの変化
   を検出する手段を測定管の共振振動による曲げモーメン
   トが発生しない場所からわずかに離れた場所に取り付け
   たことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ式質量流
   量計。