JPH11233056A - 電子顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法Info
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- JPH11233056A JPH11233056A JP10044548A JP4454898A JPH11233056A JP H11233056 A JPH11233056 A JP H11233056A JP 10044548 A JP10044548 A JP 10044548A JP 4454898 A JP4454898 A JP 4454898A JP H11233056 A JPH11233056 A JP H11233056A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 230000010485 coping Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動すべき試料位置に最適な駆動パルスでモ
ータを作動させる。 【解決手段】 制御器２５から、駆動指令パルスをパル
ス発生回路２６に送る。パルス発生回路は、駆動指令パ
ルスに基づいて、最大パルス幅の駆動パルスを発生し、
モータ駆動回路２７に供給する。移動させようとする試
料位置に対するトルクが大きい場合、駆動パルスにより
直ぐにモータは動かず、可成り遅れて動き出す。エンコ
ーダ２４は、駆動パルスの立ち上がりから可成り遅れて
エンコーダ信号を発生する。エンコーダ信号はパルス発
生回路２６にフィードバックされ、駆動パルスの内、こ
のエンコーダ信号の立ち上がり以後の部分が打ち消され
る。パルス発生回路２６は前記駆動パルスより幅が狭い
が、トルクが大きい位置への移動に対応できる大きい幅
の駆動パルスを発生する。
ータを作動させる。 【解決手段】 制御器２５から、駆動指令パルスをパル
ス発生回路２６に送る。パルス発生回路は、駆動指令パ
ルスに基づいて、最大パルス幅の駆動パルスを発生し、
モータ駆動回路２７に供給する。移動させようとする試
料位置に対するトルクが大きい場合、駆動パルスにより
直ぐにモータは動かず、可成り遅れて動き出す。エンコ
ーダ２４は、駆動パルスの立ち上がりから可成り遅れて
エンコーダ信号を発生する。エンコーダ信号はパルス発
生回路２６にフィードバックされ、駆動パルスの内、こ
のエンコーダ信号の立ち上がり以後の部分が打ち消され
る。パルス発生回路２６は前記駆動パルスより幅が狭い
が、トルクが大きい位置への移動に対応できる大きい幅
の駆動パルスを発生する。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、モータ駆動による電子
顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法に関する。
顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は、試料を光軸と直交する方向から
挿入するタイプ（サイドエントリータイプ）の試料移動
装置を備えた電子顕微鏡の概略を示す。図中１は電子顕
微鏡の鏡体で、該鏡体の頂部に設けられた電子銃２から
の電子線は集束レンズ３により集束されて、対物レンズ
４の上磁極片（図示せず）と下磁極片（図示せず）の間
に挿入された試料５に照射される。該試料を透過した電
子線に基づく試料像が投影レンズ６により蛍光板７上に
結像される。
挿入するタイプ（サイドエントリータイプ）の試料移動
装置を備えた電子顕微鏡の概略を示す。図中１は電子顕
微鏡の鏡体で、該鏡体の頂部に設けられた電子銃２から
の電子線は集束レンズ３により集束されて、対物レンズ
４の上磁極片（図示せず）と下磁極片（図示せず）の間
に挿入された試料５に照射される。該試料を透過した電
子線に基づく試料像が投影レンズ６により蛍光板７上に
結像される。
【０００３】さて、試料４は試料ホルダー８の先端部に
取り付けられており、該試料ホルダー８を試料移動装置
９により移動させることにより、該試料４を光軸上に持
って来ることが出来る。
取り付けられており、該試料ホルダー８を試料移動装置
９により移動させることにより、該試料４を光軸上に持
って来ることが出来る。
【０００４】図２は試料移動装置の概略を示す。図中１
０は鏡体で、１１は該鏡体の壁に回転可能に挿入された
傾斜体で、その軸心は電子線光軸Ｚと直交するＸ軸と一
致するように配置されている。この傾斜体１１の内側に
は球状軸受け１２を介して保持筒１３が同心状に、且つ
回転可能に取り付けられている。この保持筒１３の内側
に試料ホルダー１４が同心状に挿入されている。この試
料ホルダーの一端（真空側）は対物レンズの上磁極片
（図示せず）と下磁極片（図示せず）との間に挿入さ
れ、又、光軸Ｚと交叉する部分には試料１５が保持され
ている。
０は鏡体で、１１は該鏡体の壁に回転可能に挿入された
傾斜体で、その軸心は電子線光軸Ｚと直交するＸ軸と一
致するように配置されている。この傾斜体１１の内側に
は球状軸受け１２を介して保持筒１３が同心状に、且つ
回転可能に取り付けられている。この保持筒１３の内側
に試料ホルダー１４が同心状に挿入されている。この試
料ホルダーの一端（真空側）は対物レンズの上磁極片
（図示せず）と下磁極片（図示せず）との間に挿入さ
れ、又、光軸Ｚと交叉する部分には試料１５が保持され
ている。
【０００５】一方、前記試料ホルダー１４の他端（大気
側）は常にスプリング１６により光電子線光軸Ｚ方向に
押圧されており、該他端の近傍には被押圧バー１７が取
り付けられている。該被押圧バーから見て鏡体側に、該
被押圧バーに垂直な方向に移動するウォーム１８が軸受
け１９に螺合されて設けられている。２０は前記ウォー
ム１８を直線移動させるためのウォーム歯車である。該
ウォーム歯車は、図３に示す様に、モータ２１の軸２２
に取り付けられている。尚、前記保持筒１３には、前記
試料ホルダー１４に繋がった被押圧バー１７を通すため
の穴が開けられており、更に、該被押圧バー１７を移動
させるための直線スリットが前記穴に繋げて設けられて
いる。
側）は常にスプリング１６により光電子線光軸Ｚ方向に
押圧されており、該他端の近傍には被押圧バー１７が取
り付けられている。該被押圧バーから見て鏡体側に、該
被押圧バーに垂直な方向に移動するウォーム１８が軸受
け１９に螺合されて設けられている。２０は前記ウォー
ム１８を直線移動させるためのウォーム歯車である。該
ウォーム歯車は、図３に示す様に、モータ２１の軸２２
に取り付けられている。尚、前記保持筒１３には、前記
試料ホルダー１４に繋がった被押圧バー１７を通すため
の穴が開けられており、更に、該被押圧バー１７を移動
させるための直線スリットが前記穴に繋げて設けられて
いる。
【０００６】この様な構成の試料移動装置において、試
料１５をＸ方向に移動させる場合には、モータ２１を作
動させ、ウォーム歯車２０を所定量回転させる。該ウォ
ーム歯車の回転によりウォーム１８が所定量直線移動
し、その量に対応した分だけ、被押圧バー１７を移動さ
せる。この結果、該被押圧バー１７に繋がった試料ホル
ダー１４がＸ方向に所定量移動し、試料１５がＸ方向に
所定量移動することになる。
料１５をＸ方向に移動させる場合には、モータ２１を作
動させ、ウォーム歯車２０を所定量回転させる。該ウォ
ーム歯車の回転によりウォーム１８が所定量直線移動
し、その量に対応した分だけ、被押圧バー１７を移動さ
せる。この結果、該被押圧バー１７に繋がった試料ホル
ダー１４がＸ方向に所定量移動し、試料１５がＸ方向に
所定量移動することになる。
【０００７】又、試料のＹ方向の移動は、Ｙ方向押圧手
段（図示せず）により保持筒１３をＹ方向に適宜押圧
し、保持筒１３を球体軸受け１２を支点として回動させ
ることにより行う。
段（図示せず）により保持筒１３をＹ方向に適宜押圧
し、保持筒１３を球体軸受け１２を支点として回動させ
ることにより行う。
【０００８】又、試料の傾斜は、傾斜体１１を適宜回転
させることにより行う。
させることにより行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】さて、電子顕微鏡等に
おいて高倍にて試料を移動させる場合、試料を微小移動
させることになるので、前記図２に示した例の様に、モ
ータを使用し、該モータをパルス駆動している。この
際、前記試料ホルダー１４は常時、大気圧により電子線
光軸方向に押圧されているので、試料位置による機械的
なトルクの大きさによっては試料移動が不可能な領域が
発生する。例えば、試料ホルダーを電子線光軸方向に移
動させるときにはトルクが小さいが、逆方向に移動させ
るときにはトルクが著しく大きく、通常、後者の場合に
おいて、試料移動が不可能な領域が発生する。そこで、
試料移動させるためのモータへの駆動パルス幅を、試料
移動範囲の中で、トルクの一番大きい所に移動出来る大
きさに設定している。
おいて高倍にて試料を移動させる場合、試料を微小移動
させることになるので、前記図２に示した例の様に、モ
ータを使用し、該モータをパルス駆動している。この
際、前記試料ホルダー１４は常時、大気圧により電子線
光軸方向に押圧されているので、試料位置による機械的
なトルクの大きさによっては試料移動が不可能な領域が
発生する。例えば、試料ホルダーを電子線光軸方向に移
動させるときにはトルクが小さいが、逆方向に移動させ
るときにはトルクが著しく大きく、通常、後者の場合に
おいて、試料移動が不可能な領域が発生する。そこで、
試料移動させるためのモータへの駆動パルス幅を、試料
移動範囲の中で、トルクの一番大きい所に移動出来る大
きさに設定している。
【００１０】しかしながら、この様に設定すると、トル
クの小さい所では、軽く動いてしまうので、１駆動パル
スに対する試料の移動量が著しく大きくなり、試料を所
定の位置に移動するのが困難となる。
クの小さい所では、軽く動いてしまうので、１駆動パル
スに対する試料の移動量が著しく大きくなり、試料を所
定の位置に移動するのが困難となる。
【００１１】本発明はこの様な問題を解決することを目
的としたもので、新規な電子顕微鏡などの試料移動装置
を提供するものである。
的としたもので、新規な電子顕微鏡などの試料移動装置
を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の電子顕微鏡等の
試料移動装置は、その軸心が電子線光軸と直交するよう
に鏡体に取り付けられた保持筒と、該保持筒内に移動可
能に挿入され、且つ光軸側先端部に試料が設けられた試
料ホルダを備え、該試料ホルダの移動方向に常時弾性力
を与えるように成し、駆動パルスにより作動するモータ
の回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基づいて前記試料ホ
ルダを移動させることにより前記試料を光軸上に配置す
るように成した電子顕微鏡等の試料移動装置において、
前記モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダ
を設け、該エンコーダからのパルスにより駆動パルスの
幅を変えるように成したことを特徴とする。又、本発明
の電子顕微鏡等の試料移動方法は、その軸心が電子線光
軸と直交するように鏡体に取り付けられた保持筒と、該
保持筒内に移動可能に挿入され、且つ光軸側先端部に試
料が設けられた試料ホルダを備え、該試料ホルダの移動
方向に常時弾性力を与えるように成し、駆動パルスによ
り作動するモータの回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基
づいて前記試料ホルダを移動させることにより前記試料
を光軸上に配置するようにした電子顕微鏡等の試料移動
方法において、前記モータの回転に伴ってパルスを発生
するエンコーダを設け、所定位置へ試料を移動させる時
に、少なくとも最大トルクを要する試料位置へ移動可能
な幅の駆動パルスによりモータを作動させ、エンコーダ
ーがパルスを発生した後、前記駆動パルスの内、前記エ
ンコーダからのパルスの立ち上がり以降の部分を削除し
たパルスによりモータを駆動するようにしたことを特徴
とする。
試料移動装置は、その軸心が電子線光軸と直交するよう
に鏡体に取り付けられた保持筒と、該保持筒内に移動可
能に挿入され、且つ光軸側先端部に試料が設けられた試
料ホルダを備え、該試料ホルダの移動方向に常時弾性力
を与えるように成し、駆動パルスにより作動するモータ
の回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基づいて前記試料ホ
ルダを移動させることにより前記試料を光軸上に配置す
るように成した電子顕微鏡等の試料移動装置において、
前記モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダ
を設け、該エンコーダからのパルスにより駆動パルスの
幅を変えるように成したことを特徴とする。又、本発明
の電子顕微鏡等の試料移動方法は、その軸心が電子線光
軸と直交するように鏡体に取り付けられた保持筒と、該
保持筒内に移動可能に挿入され、且つ光軸側先端部に試
料が設けられた試料ホルダを備え、該試料ホルダの移動
方向に常時弾性力を与えるように成し、駆動パルスによ
り作動するモータの回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基
づいて前記試料ホルダを移動させることにより前記試料
を光軸上に配置するようにした電子顕微鏡等の試料移動
方法において、前記モータの回転に伴ってパルスを発生
するエンコーダを設け、所定位置へ試料を移動させる時
に、少なくとも最大トルクを要する試料位置へ移動可能
な幅の駆動パルスによりモータを作動させ、エンコーダ
ーがパルスを発生した後、前記駆動パルスの内、前記エ
ンコーダからのパルスの立ち上がり以降の部分を削除し
たパルスによりモータを駆動するようにしたことを特徴
とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１４】図４は本発明の試料移動装置の主要部（駆
動系）の一例を示している。
動系）の一例を示している。
【００１５】図４において、２３は前記図２に示す如き
ウォーム歯車２０を回転させるためのモータ、２４は該
モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダ、２
５はモータ２３の駆動指令を出す制御器、２６は該制御
器からの駆動指令パルスに基づいて駆動パルスを発生
し、モータ駆動回路２７に供給するパルス発生回路であ
る。
ウォーム歯車２０を回転させるためのモータ、２４は該
モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダ、２
５はモータ２３の駆動指令を出す制御器、２６は該制御
器からの駆動指令パルスに基づいて駆動パルスを発生
し、モータ駆動回路２７に供給するパルス発生回路であ
る。
【００１６】この様な構成の駆動系を図２に示す電子顕
微鏡等の試料移動装置に使用した場合のＸ方向の試料移
動について、その動作を以下に説明する。
微鏡等の試料移動装置に使用した場合のＸ方向の試料移
動について、その動作を以下に説明する。
【００１７】先ず、例えば、トラックボールの如き制御
器２５から、移動距離に応じた数の図５（ａ）に示す如
き駆動指令パルスをパルス発生回路２６に送る。該パル
ス発生回路は、送られてきた駆動指令パルスに基づい
て、予め設定されている図５（ｂ）に示す如き最大パル
ス幅（移動範囲内において、最大トルクの位置へ移動可
能なパルス幅より僅かに大きな幅のパルス幅）の設定駆
動パルスを発生し、モータ駆動回路２７に供給する。こ
の駆動回路の動作に基づいてモータ２３が作動する。そ
の際、移動させようとする試料位置に対するトルクが大
きい場合、図５（ｂ）の如き設定駆動パルスにより直ぐ
にモータは動かず、可成り遅れて動き出す。その為、エ
ンコーダ２４からは、設定駆動パルスの立ち上がりから
可成り遅れて（例えば、ｔ１後）に、図５（ｃ）に示す
如きエンコーダ信号を発生する。このエンコーダ信号は
前記パルス発生回路２６にフィードバックされるため、
前記図５（ｂ）の如き設定駆動パルスの内、このエンコ
ーダ信号の立ち上がり以後の部分が打ち消されてしま
う。その為、パルス発生回路２６は前記図５（ｂ）の如
き設定駆動パルスより幅が狭いが、トルクが大きい位置
への移動に対応できる大きい幅の駆動パルス（図５
（ｄ））を発生し、該駆動パルスをモータ駆動回路２７
に供給する。その結果、移動すべき試料位置に対応した
駆動指令パルス数に基づく数の最適パルス幅の駆動パル
スがモータ駆動回路２７に送られ、モータ２３が回転す
ることになる。それにより、ウォーム歯車２０，ウォー
ム１８，押圧バー１７を通じて試料ホルダー１４、即ち
試料１５は所定の位置に移動する。
器２５から、移動距離に応じた数の図５（ａ）に示す如
き駆動指令パルスをパルス発生回路２６に送る。該パル
ス発生回路は、送られてきた駆動指令パルスに基づい
て、予め設定されている図５（ｂ）に示す如き最大パル
ス幅（移動範囲内において、最大トルクの位置へ移動可
能なパルス幅より僅かに大きな幅のパルス幅）の設定駆
動パルスを発生し、モータ駆動回路２７に供給する。こ
の駆動回路の動作に基づいてモータ２３が作動する。そ
の際、移動させようとする試料位置に対するトルクが大
きい場合、図５（ｂ）の如き設定駆動パルスにより直ぐ
にモータは動かず、可成り遅れて動き出す。その為、エ
ンコーダ２４からは、設定駆動パルスの立ち上がりから
可成り遅れて（例えば、ｔ１後）に、図５（ｃ）に示す
如きエンコーダ信号を発生する。このエンコーダ信号は
前記パルス発生回路２６にフィードバックされるため、
前記図５（ｂ）の如き設定駆動パルスの内、このエンコ
ーダ信号の立ち上がり以後の部分が打ち消されてしま
う。その為、パルス発生回路２６は前記図５（ｂ）の如
き設定駆動パルスより幅が狭いが、トルクが大きい位置
への移動に対応できる大きい幅の駆動パルス（図５
（ｄ））を発生し、該駆動パルスをモータ駆動回路２７
に供給する。その結果、移動すべき試料位置に対応した
駆動指令パルス数に基づく数の最適パルス幅の駆動パル
スがモータ駆動回路２７に送られ、モータ２３が回転す
ることになる。それにより、ウォーム歯車２０，ウォー
ム１８，押圧バー１７を通じて試料ホルダー１４、即ち
試料１５は所定の位置に移動する。
【００１８】一方、移動させようとする試料位置に対す
るトルクが小さい場合、図５（ｂ）の如き設定駆動パル
スにより直ぐにモータ２３は動き出す。その為、エンコ
ーダ２４からは、設定駆動パルスの立ち上がりからごく
僅か遅れて（例えば、ｔ２後）、図５（ｅ）に示す如き
エンコーダ信号を発生する。このエンコーダ信号は前記
パルス発生回路２６にフィードバックされるため、前記
図５（ｂ）の如き設定駆動パルスの内、このエンコーダ
信号の立ち上がり以下の部分が打ち消される。その為、
パルス発生回路２６は前記図５（ｂ）の如き設定駆動パ
ルスより幅が著しく狭く、トルクが小さい位置に対応で
きる小さい幅の駆動パルス（図５（ｆ））を発生し、該
駆動パルスをモータ駆動回路２７に供給する。その結
果、移動すべき料位置に対応した駆動指令パルス数に基
づいた数の最適パルス幅のパルスがモータ駆動回路２７
に送られ、モータ２３が回転することになる。それによ
り、ウォーム歯車２０，ウォーム１８，押圧バー１７を
通じて試料ホルダー１４、即ち試料１５は所定の位置に
移動する。
るトルクが小さい場合、図５（ｂ）の如き設定駆動パル
スにより直ぐにモータ２３は動き出す。その為、エンコ
ーダ２４からは、設定駆動パルスの立ち上がりからごく
僅か遅れて（例えば、ｔ２後）、図５（ｅ）に示す如き
エンコーダ信号を発生する。このエンコーダ信号は前記
パルス発生回路２６にフィードバックされるため、前記
図５（ｂ）の如き設定駆動パルスの内、このエンコーダ
信号の立ち上がり以下の部分が打ち消される。その為、
パルス発生回路２６は前記図５（ｂ）の如き設定駆動パ
ルスより幅が著しく狭く、トルクが小さい位置に対応で
きる小さい幅の駆動パルス（図５（ｆ））を発生し、該
駆動パルスをモータ駆動回路２７に供給する。その結
果、移動すべき料位置に対応した駆動指令パルス数に基
づいた数の最適パルス幅のパルスがモータ駆動回路２７
に送られ、モータ２３が回転することになる。それによ
り、ウォーム歯車２０，ウォーム１８，押圧バー１７を
通じて試料ホルダー１４、即ち試料１５は所定の位置に
移動する。
【００１９】次の所定位置に試料を移動させる場合に
は、再び、トラックボールの如き制御器２５から、移動
距離に応じた数の駆動指令パルスをパルス発生回路２６
に送り、パルス発生回路から、再び設定駆動パルスをモ
ータ駆動回路２７に供給する。
は、再び、トラックボールの如き制御器２５から、移動
距離に応じた数の駆動指令パルスをパルス発生回路２６
に送り、パルス発生回路から、再び設定駆動パルスをモ
ータ駆動回路２７に供給する。
【００２０】尚、本発明は前記実施例に限定されるもの
ではない。例えば、前記実施例ではウォーム歯車とウォ
ームを用いたが、その代わりにそれぞれピニオンとラッ
クを用いても良い。又、前記実施例では、スプリング１
６により試料ホルダー１５を電子線光軸方向に常時、弾
性力を与えるようにしたが、逆方向に弾性力を与えるよ
うに成しても良い。
ではない。例えば、前記実施例ではウォーム歯車とウォ
ームを用いたが、その代わりにそれぞれピニオンとラッ
クを用いても良い。又、前記実施例では、スプリング１
６により試料ホルダー１５を電子線光軸方向に常時、弾
性力を与えるようにしたが、逆方向に弾性力を与えるよ
うに成しても良い。
【００２１】
【本発明の効果】本発明は、試料ホルダの移動方向に常
時弾性力を与えるように成し、駆動パルスにより作動す
るモータの回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基づいて試
料ホルダを移動させることにより試料を光軸上に配置す
るように成した電子顕微鏡等の試料移動装置において、
前記モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダ
を設け、該エンコーダからのパルスにより駆動パルスの
幅を変えるように成したので、移動すべき試料位置に最
適な駆動パルスでモータを作動させることが出来、所定
の位置に試料を移動することが出来る。
時弾性力を与えるように成し、駆動パルスにより作動す
るモータの回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基づいて試
料ホルダを移動させることにより試料を光軸上に配置す
るように成した電子顕微鏡等の試料移動装置において、
前記モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダ
を設け、該エンコーダからのパルスにより駆動パルスの
幅を変えるように成したので、移動すべき試料位置に最
適な駆動パルスでモータを作動させることが出来、所定
の位置に試料を移動することが出来る。
【図１】 電子顕微鏡の１概略例を示す。
【図２】 電子顕微鏡の試料移動装置の一概略例を示
す。
す。
【図３】 試料移動装置に用いられているウォーム歯車
とモータの繋がりを示している。
とモータの繋がりを示している。
【図４】 本発明の試料移動装置の主要部の１概略例を
示す。
示す。
【図５】 本発明の試料移動装置の動作の説明に用いた
信号図である。
信号図である。
１，１０…鏡体、２…電子銃、３…集束レンズ、４…対
物レンズ、５，１５…試料、６…投影レンズ、７…蛍光
板、８，１４…試料ホルダー、９…試料移動装置、１１
…傾斜体、１２…球体軸受け、１３…保持筒、１６…ス
プリング、１７…被押圧バー、１８…ウォーム、１９…
軸受け、２０…ウォーム歯車、２１，２７…モータ、２
２…軸、２４…エンコーダー、２５…制御器、２６…パ
ルス発生回路、２７…モータ駆動回路
物レンズ、５，１５…試料、６…投影レンズ、７…蛍光
板、８，１４…試料ホルダー、９…試料移動装置、１１
…傾斜体、１２…球体軸受け、１３…保持筒、１６…ス
プリング、１７…被押圧バー、１８…ウォーム、１９…
軸受け、２０…ウォーム歯車、２１，２７…モータ、２
２…軸、２４…エンコーダー、２５…制御器、２６…パ
ルス発生回路、２７…モータ駆動回路
Claims (2)
- 【請求項１】 その軸心が電子線光軸と直交するように
鏡体に取り付けられた保持筒と、該保持筒内に移動可能
に挿入され、且つ光軸側先端部に試料が設けられた試料
ホルダを備え、該試料ホルダの移動方向に常時弾性力を
与えるように成し、駆動パルスにより作動するモータの
回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基づいて前記試料ホル
ダを移動させることにより前記試料を光軸上に配置する
ように成した電子顕微鏡等の試料移動装置において、前
記モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダを
設け、該エンコーダからのパルスにより駆動パルスの幅
を変えるように成したことを特徴とする電子顕微鏡等の
試料移動装置。 - 【請求項２】 その軸心が電子線光軸と直交するように
鏡体に取り付けられた保持筒と、該保持筒内に移動可能
に挿入され、且つ光軸側先端部に試料が設けられた試料
ホルダを備え、該試料ホルダの移動方向に常時弾性力を
与えるように成し、駆動パルスにより作動するモータの
回転軸に繋がれた押圧体の押圧に基づいて前記試料ホル
ダを移動させることにより前記試料を光軸上に配置する
ようにした電子顕微鏡等の試料移動方法において、前記
モータの回転に伴ってパルスを発生するエンコーダを設
け、所定位置へ試料を移動させる時に、少なくとも最大
トルクを要する試料位置へ移動可能な幅の駆動パルスに
よりモータを作動させ、エンコーダーがパルスを発生し
た後、前記駆動パルスの内、前記エンコーダからのパル
スの立ち上がり以降の部分を削除したパルスによりモー
タを駆動するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡等
の試料移動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10044548A JPH11233056A (ja) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | 電子顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10044548A JPH11233056A (ja) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | 電子顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11233056A true JPH11233056A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12694564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10044548A Withdrawn JPH11233056A (ja) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | 電子顕微鏡等の試料移動装置及び試料移動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11233056A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012109115A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Korea Basic Science Institute | 透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダー |
-
1998
- 1998-02-10 JP JP10044548A patent/JPH11233056A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012109115A (ja) * | 2010-11-17 | 2012-06-07 | Korea Basic Science Institute | 透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダー |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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