JPH02298907A - 光学系の駆動装置 - Google Patents
光学系の駆動装置Info
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- JPH02298907A JPH02298907A JP1118596A JP11859689A JPH02298907A JP H02298907 A JPH02298907 A JP H02298907A JP 1118596 A JP1118596 A JP 1118596A JP 11859689 A JP11859689 A JP 11859689A JP H02298907 A JPH02298907 A JP H02298907A
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- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 7
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/10—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/021—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses for more than one lens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は光学系の駆動装置に係り、例えば製造工場の製
品検査装置等に用いる光学系の焦点合わせやズーミング
等を行うための駆動装置に関する。
品検査装置等に用いる光学系の焦点合わせやズーミング
等を行うための駆動装置に関する。
［従来の技術］
従来、固定レンズと可動レンズを備えたレンズ群の内、
可動レンズを移動せしめ、レンズ間の距離を変化させて
焦点合わせやズーミング等を行う光学系では、小型モー
タの回転力を一定の輪列を介して送りねじ機構に伝達し
、これによって可動レンズを保持する保持部材を直線案
内路に沿って移動せしめる電動式の駆動装置が用いられ
てきた。
可動レンズを移動せしめ、レンズ間の距離を変化させて
焦点合わせやズーミング等を行う光学系では、小型モー
タの回転力を一定の輪列を介して送りねじ機構に伝達し
、これによって可動レンズを保持する保持部材を直線案
内路に沿って移動せしめる電動式の駆動装置が用いられ
てきた。
［発明が解決しようとする課題］
上記従来技術は、電動モータの回転を直線運動に変換す
る機構部が必要であるために、動作速度に限界があり、
高速動作、高応答を要求される光学系には不適である。
る機構部が必要であるために、動作速度に限界があり、
高速動作、高応答を要求される光学系には不適である。
また機構部に生じるバックラッシュ等によりレンズを正
確な目的位置に合わせられないので、画像が鮮明に得ら
れなく、また高頻度での動作を続けると寿命が短くなる
という問題点があった。
確な目的位置に合わせられないので、画像が鮮明に得ら
れなく、また高頻度での動作を続けると寿命が短くなる
という問題点があった。
本発明の目的は、高速動作が可能で、しかも正確な位置
出しができ、また小型軽量であって長寿命化が図れる光
学系の駆動装置を提供することにある。
出しができ、また小型軽量であって長寿命化が図れる光
学系の駆動装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
Ｆ記目的は、可動レンズを保持する保持部材を直線的に
移動案内する案内手段と、前記保持部材を直接駆動する
直線形磁気駆動手段とを備えた構成により達成される。
移動案内する案内手段と、前記保持部材を直接駆動する
直線形磁気駆動手段とを備えた構成により達成される。
［作用］
上記手段よりなる光学系の駆動装置を例えば撮像用カメ
ラに取付けて試料を撮像して認識する場合、直線形磁気
駆動手段に電流指令を与えると、磁気的作用によって保
持部材が直線的に移動して撮像用カメラに対して試料が
焦点を結ぶと、その信号を受けて直線形磁気駆動手段の
電流指令を制御することにより、可動レンズを一定位置
に保持することができる。
ラに取付けて試料を撮像して認識する場合、直線形磁気
駆動手段に電流指令を与えると、磁気的作用によって保
持部材が直線的に移動して撮像用カメラに対して試料が
焦点を結ぶと、その信号を受けて直線形磁気駆動手段の
電流指令を制御することにより、可動レンズを一定位置
に保持することができる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図に示すように、光学系ヘッド部１には、下方に対
物レンズ群２が、上方に撮像用カメラ３が同一光軸上に
固定されており、中間部に可動レンズ群４が前記対物レ
ンズ群２、撮像用カメラ３と同一光軸上に配置されてい
る。
物レンズ群２が、上方に撮像用カメラ３が同一光軸上に
固定されており、中間部に可動レンズ群４が前記対物レ
ンズ群２、撮像用カメラ３と同一光軸上に配置されてい
る。
可動レンズ群４は鏡筒５に保持されており、鏡筒５は、
例えば直動形ポールスライド６によって光軸に沿って直
線的に移動案内されている。この直線形移動案内手段は
図示の接触形のみならず、例えば空圧を用いた静圧軸受
による非接触式の案内手段でもよい。直動形ポールスラ
イド６の外筒には断面Ｕ字状で磁性体よりなる磁路部材
７が固定されており、磁路部材７の前端部には永久磁石
８が設けられている。一方、鏡筒５にはヨーク９が固定
され、ヨーク９には磁路部材７の間隙部に挿入されたボ
イスコイル１０が設けられている。
例えば直動形ポールスライド６によって光軸に沿って直
線的に移動案内されている。この直線形移動案内手段は
図示の接触形のみならず、例えば空圧を用いた静圧軸受
による非接触式の案内手段でもよい。直動形ポールスラ
イド６の外筒には断面Ｕ字状で磁性体よりなる磁路部材
７が固定されており、磁路部材７の前端部には永久磁石
８が設けられている。一方、鏡筒５にはヨーク９が固定
され、ヨーク９には磁路部材７の間隙部に挿入されたボ
イスコイル１０が設けられている。
また鏡筒５の移動位首は位置近接検出センサー１１によ
って検出が可能となっている。
って検出が可能となっている。
そして、前記撮像用カメラ３、ボイスコイルｌＯ４位置
近接検出センサー】１は制御手段１２に接続されており
、制御手段１２はかかる光学系における駆動装置の動作
制御を行っている。
近接検出センサー】１は制御手段１２に接続されており
、制御手段１２はかかる光学系における駆動装置の動作
制御を行っている。
第２図は前記した構成よりなる光学系の駆動装置を用い
た製品検査装置を示す。同図に示すように、前記した構
成を有する光学系ヘッド部１の下端、即ち対物レンズ群
２の下方にはリング照明１５が固定され、光学系ヘッド
部１は架台１６上に設けられた試料台１７の上方に配置
して用いられる。試料台１７上には回転テーブル１８が
設けられており、回転テーブル１８上にはｘＹテーブル
１９が搭載されている。ＸＹテーブル１９上にはアーム
２０が固定されており、アーム２０に前記光学系ヘッド
部１が固定されている。
た製品検査装置を示す。同図に示すように、前記した構
成を有する光学系ヘッド部１の下端、即ち対物レンズ群
２の下方にはリング照明１５が固定され、光学系ヘッド
部１は架台１６上に設けられた試料台１７の上方に配置
して用いられる。試料台１７上には回転テーブル１８が
設けられており、回転テーブル１８上にはｘＹテーブル
１９が搭載されている。ＸＹテーブル１９上にはアーム
２０が固定されており、アーム２０に前記光学系ヘッド
部１が固定されている。
今、試料台１７上面に試料２１が置かれ、この試料２１
を撮像用カメラ３によって撮像して認識しようとすると
、制御手段１２からボイスコイル１０に電流指令が与え
られ、磁気的作用によって鏡筒５が直線的に移動して撮
像用カメラ３に対して試料２１が焦点を結ぶと、その信
号を受けて制御手段１２は位置近接検出センサー１１か
らの偏差信号を読み取りながらボイスコイル１０の電流
指令を制御し、可動レンズ群４を一定位置に保持する。
を撮像用カメラ３によって撮像して認識しようとすると
、制御手段１２からボイスコイル１０に電流指令が与え
られ、磁気的作用によって鏡筒５が直線的に移動して撮
像用カメラ３に対して試料２１が焦点を結ぶと、その信
号を受けて制御手段１２は位置近接検出センサー１１か
らの偏差信号を読み取りながらボイスコイル１０の電流
指令を制御し、可動レンズ群４を一定位置に保持する。
［発明の効果］
本発明になる光学系の駆動装置によれば、可動レンズを
保持する保持部材を直線的に移動案内する案内手段と、
前記保持部材を直接駆動する直線形磁気駆動手段とを備
えてなるので、次のような効果が得られる。
保持する保持部材を直線的に移動案内する案内手段と、
前記保持部材を直接駆動する直線形磁気駆動手段とを備
えてなるので、次のような効果が得られる。
（１） 機構部が従来装置に比べて少なく、長寿命と
なる。特に直動案内手段に非接触式の案内手段を用いる
と、機械的な接触部分がなくなるため、寿命は半永久的
となる。
なる。特に直動案内手段に非接触式の案内手段を用いる
と、機械的な接触部分がなくなるため、寿命は半永久的
となる。
（２） ｍ械的変換要素がないため、高速動作が可能
である。
である。
（３）機構部が少ないため、小型軽量化が回旋で、小型
光学系に最適である。
光学系に最適である。
（４） 可動レンズの位置制御にサーボシステムを導
入し、正確な位置決めが可能である。
入し、正確な位置決めが可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明になる光学系の駆動装置の一実施例を示
す一部断面正面図、第２図は第１図の光学系の駆動装置
を用いた製品検査装置の外観図である。 ｌ：光学系ヘッド部、 ２二対物レンズ群、３：撮像
用カメラ、 ４：可動レンズ群、５：鏡筒、
６：直動形ポールスライド、７：磁路部材、
８：永久磁石、９：ヨーク、 １０：ボ
イスコイル、１１：位置近接検出センサー、 １２：制御手段。 代理人 弁理士 １）辺 良 徳 填 Ｉ Ｍ
す一部断面正面図、第２図は第１図の光学系の駆動装置
を用いた製品検査装置の外観図である。 ｌ：光学系ヘッド部、 ２二対物レンズ群、３：撮像
用カメラ、 ４：可動レンズ群、５：鏡筒、
６：直動形ポールスライド、７：磁路部材、
８：永久磁石、９：ヨーク、 １０：ボ
イスコイル、１１：位置近接検出センサー、 １２：制御手段。 代理人 弁理士 １）辺 良 徳 填 Ｉ Ｍ
Claims (1)
- （１）固定レンズと可動レンズを備えたレンズ群の可動
レンズを移動せしめ、レンズ間の距離を変化させて焦点
合わせやズーミング等を行う光学系において、前記可動
レンズを保持する保持部材を直線的に移動案内する案内
手段と、前記保持部材を直接駆動する直線形磁気駆動手
段とを備えた光学系の駆動装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1118596A JPH02298907A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 光学系の駆動装置 |
| US07/523,397 US5078472A (en) | 1989-05-15 | 1990-05-14 | Driving device for an optical system |
| KR1019900006921A KR900018710A (ko) | 1989-05-15 | 1990-05-15 | 광학계의 구동장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1118596A JPH02298907A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 光学系の駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02298907A true JPH02298907A (ja) | 1990-12-11 |
Family
ID=14740494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1118596A Pending JPH02298907A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 光学系の駆動装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5078472A (ja) |
| JP (1) | JPH02298907A (ja) |
| KR (1) | KR900018710A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2881959B2 (ja) * | 1990-05-21 | 1999-04-12 | ソニー株式会社 | カメラ用レンズ鏡筒 |
| DE69119069T2 (de) * | 1991-05-13 | 1996-12-12 | Opticon Sensors Europ | Fokussiereinrichtung für Strichkodeleser |
| JP3187078B2 (ja) * | 1991-06-28 | 2001-07-11 | オリンパス光学工業株式会社 | ズームレンズ鏡筒 |
| JPH0526888A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-02 | Sony Corp | 速度センサ |
| US5162948A (en) * | 1991-12-11 | 1992-11-10 | Eastman Kodak Company | Rolling ball element mount and barrel interface for zooming |
| JP3387173B2 (ja) * | 1993-10-27 | 2003-03-17 | ソニー株式会社 | 電磁駆動装置 |
| US5424872A (en) * | 1994-04-08 | 1995-06-13 | Recon/Optical, Inc. | Retrofit line of sight stabilization apparatus and method |
| US5587846A (en) * | 1994-07-15 | 1996-12-24 | Minolta Co., Ltd. | Lens moving apparatus |
| DE19521654C2 (de) * | 1995-06-14 | 1999-01-07 | Wolf Gmbh Richard | Optische Vorrichtung |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4534624A (en) * | 1981-07-14 | 1985-08-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Construction of lens barrel operated by electromagnetic induction |
| US4605286A (en) * | 1983-05-20 | 1986-08-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Motor built-in lens mounting |
| JPH063369Y2 (ja) * | 1986-08-02 | 1994-01-26 | ソニー株式会社 | カメラのレンズ駆動装置 |
-
1989
- 1989-05-15 JP JP1118596A patent/JPH02298907A/ja active Pending
-
1990
- 1990-05-14 US US07/523,397 patent/US5078472A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-15 KR KR1019900006921A patent/KR900018710A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR900018710A (ko) | 1990-12-22 |
| US5078472A (en) | 1992-01-07 |
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