JPH11233036A - マグネトロン装置 - Google Patents
マグネトロン装置Info
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- JPH11233036A JPH11233036A JP10029447A JP2944798A JPH11233036A JP H11233036 A JPH11233036 A JP H11233036A JP 10029447 A JP10029447 A JP 10029447A JP 2944798 A JP2944798 A JP 2944798A JP H11233036 A JPH11233036 A JP H11233036A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absorbing member
- choke coil
- type inductor
- core type
- frequency absorbing
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/36—Coupling devices having distributed capacitance and inductance, structurally associated with the tube, for introducing or removing wave energy
- H01J23/54—Filtering devices preventing unwanted frequencies or modes to be coupled to, or out of, the interaction circuit; Prevention of high frequency leakage in the environment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J25/00—Transit-time tubes, e.g. klystrons, travelling-wave tubes, magnetrons
- H01J25/50—Magnetrons, i.e. tubes with a magnet system producing an H-field crossing the E-field
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡易な構成で４００〜７００ＭＨｚ帯のノイ
ズを低減できるマグネトロン装置を提供する。 【解決手段】 フィルターケース２２内に、巻線２３の
内部に棒状の高周波吸収部材２４を有するコア型インダ
クタ２５と巻線２３の内部に高周波吸収部材２４を有し
ていない空芯型インダクタ２６とを直列接続してなるチ
ョークコイル２７と、空芯型インダクタ２６側のチョー
クコイル２７の一端２７ａが接続されたステム端子２８
ａ、２８ｂを有するステム２８と、コア型インダクタ２
５側のチョークコイル２７の他端２７ｂが接続されたコ
ンデンサ端子２９ａ、２９ｂを有するコンデンサ２９と
を備え、棒状の高周波吸収部材２４の断面積Ａを４００
〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減するものにした。
ズを低減できるマグネトロン装置を提供する。 【解決手段】 フィルターケース２２内に、巻線２３の
内部に棒状の高周波吸収部材２４を有するコア型インダ
クタ２５と巻線２３の内部に高周波吸収部材２４を有し
ていない空芯型インダクタ２６とを直列接続してなるチ
ョークコイル２７と、空芯型インダクタ２６側のチョー
クコイル２７の一端２７ａが接続されたステム端子２８
ａ、２８ｂを有するステム２８と、コア型インダクタ２
５側のチョークコイル２７の他端２７ｂが接続されたコ
ンデンサ端子２９ａ、２９ｂを有するコンデンサ２９と
を備え、棒状の高周波吸収部材２４の断面積Ａを４００
〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減するものにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子レンジなどの
高周波加熱機器に用いられるマグネトロン装置に関する
ものである。
高周波加熱機器に用いられるマグネトロン装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のマグネトロン装置は、図５に示す
ように、フィルターケース１内に、巻線の内部に棒状の
フェライトコア２を有するコア型インダクタ３と巻線の
内部にフェライトコア２を有していない空芯型インダク
タ４とを直列接続してなるチョークコイル５と、空芯型
インダクタ４側のチョークコイル５の一端５ａが接続さ
れた陰極入力導線６と、コア型インダクタ３側のチョー
クコイル５の他端５ｂが接続されたコンデンサ端子を有
するコンデンサ７とを備えている。
ように、フィルターケース１内に、巻線の内部に棒状の
フェライトコア２を有するコア型インダクタ３と巻線の
内部にフェライトコア２を有していない空芯型インダク
タ４とを直列接続してなるチョークコイル５と、空芯型
インダクタ４側のチョークコイル５の一端５ａが接続さ
れた陰極入力導線６と、コア型インダクタ３側のチョー
クコイル５の他端５ｂが接続されたコンデンサ端子を有
するコンデンサ７とを備えている。
【０００３】そして、上記マグネトロン装置は、陰極入
力導線６とチョークコイル５のコア型インダクタ３との
間にチョークコイル５の空芯型インダクタ４を接続する
ことにより、チョークコイル５における巻線の絶縁被覆
が損焼して絶縁不良を起こしたり、フェライトコア２の
クラックを生じるという問題を解決することができるも
のである（特公昭５７−１７３４４号公報）。
力導線６とチョークコイル５のコア型インダクタ３との
間にチョークコイル５の空芯型インダクタ４を接続する
ことにより、チョークコイル５における巻線の絶縁被覆
が損焼して絶縁不良を起こしたり、フェライトコア２の
クラックを生じるという問題を解決することができるも
のである（特公昭５７−１７３４４号公報）。
【０００４】また、このようなマグネトロン装置は、一
般的に、コア型インダクタ３および空芯型インダクタ４
の巻数を調整してノイズを低減するものである。
般的に、コア型インダクタ３および空芯型インダクタ４
の巻数を調整してノイズを低減するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のマグネトロン装置では、コア型インダクタ３
の巻線の巻数を調整しても４００ＭＨｚ以下のノイズし
か低減できず、また、空芯型インダクタ４の巻数を調整
しても７００〜１０００ＭＨｚ帯のノイズしか低減でき
ないため、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズが通信電波
を妨害するという問題があった。
うな従来のマグネトロン装置では、コア型インダクタ３
の巻線の巻数を調整しても４００ＭＨｚ以下のノイズし
か低減できず、また、空芯型インダクタ４の巻数を調整
しても７００〜１０００ＭＨｚ帯のノイズしか低減でき
ないため、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズが通信電波
を妨害するという問題があった。
【０００６】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、簡易な構成で４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低
減できるマグネトロン装置を提供するものである。
で、簡易な構成で４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低
減できるマグネトロン装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のマグネトロン装
置は、フィルターケース内に、巻線の内部に棒状の高周
波吸収部材を有するコア型インダクタと巻線の内部に前
記高周波吸収部材を有していない空芯型インダクタとを
直列接続してなるチョークコイルと、前記空芯型インダ
クタ側の前記チョークコイルの一端が接続されたステム
端子を有するステムと、前記コア型インダクタ側の前記
チョークコイルの他端が接続されたコンデンサ端子を有
するコンデンサとを備え、前記棒状の高周波吸収部材の
断面積を４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減するも
のにしたものである。
置は、フィルターケース内に、巻線の内部に棒状の高周
波吸収部材を有するコア型インダクタと巻線の内部に前
記高周波吸収部材を有していない空芯型インダクタとを
直列接続してなるチョークコイルと、前記空芯型インダ
クタ側の前記チョークコイルの一端が接続されたステム
端子を有するステムと、前記コア型インダクタ側の前記
チョークコイルの他端が接続されたコンデンサ端子を有
するコンデンサとを備え、前記棒状の高周波吸収部材の
断面積を４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減するも
のにしたものである。
【０００８】かかる構成により、４００〜７００ＭＨｚ
帯のノイズを低減できる。
帯のノイズを低減できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。
て、図面を用いて説明する。
【００１０】図２に示すように、本発明の第１の実施形
態のマグネトロン装置は、マグネトロン部８と、励磁用
の外部磁気回路部９と、基本ノイズおよび高周波ノイズ
の漏洩を防止するための漏洩防止部１０とを備えてい
る。
態のマグネトロン装置は、マグネトロン部８と、励磁用
の外部磁気回路部９と、基本ノイズおよび高周波ノイズ
の漏洩を防止するための漏洩防止部１０とを備えてい
る。
【００１１】マグネトロン部８は、トリウムタングステ
ンからなる螺旋状の陰極１２、銅からなる円筒状の陽極
１３、鉄等の磁性材からなる一対の磁極片１４、１５、
セラミック絶縁管１６および電磁波放出用アンテナ１７
から構成されている。
ンからなる螺旋状の陰極１２、銅からなる円筒状の陽極
１３、鉄等の磁性材からなる一対の磁極片１４、１５、
セラミック絶縁管１６および電磁波放出用アンテナ１７
から構成されている。
【００１２】外部磁気回路部９は、永久磁石１９、２０
および継鉄２１から構成されている。
および継鉄２１から構成されている。
【００１３】漏洩防止部１０は、図１に示すように、フ
ィルターケース２２と、フィルターケース２２内に、巻
線２３の内部に棒状の高周波吸収部材２４を有するコア
型インダクタ２５と巻線２３の内部に高周波吸収部材２
４を有していない空芯型インダクタ２６とを直列接続し
てなるチョークコイル２７と、空芯型インダクタ２６側
のチョークコイル２７の一端２７ａが接続されたステム
端子２８ａ、２８ｂを有するステム２８と、コア型イン
ダクタ２５側のチョークコイル２７の他端２７ｂが接続
されたコンデンサ２９とを備えている。
ィルターケース２２と、フィルターケース２２内に、巻
線２３の内部に棒状の高周波吸収部材２４を有するコア
型インダクタ２５と巻線２３の内部に高周波吸収部材２
４を有していない空芯型インダクタ２６とを直列接続し
てなるチョークコイル２７と、空芯型インダクタ２６側
のチョークコイル２７の一端２７ａが接続されたステム
端子２８ａ、２８ｂを有するステム２８と、コア型イン
ダクタ２５側のチョークコイル２７の他端２７ｂが接続
されたコンデンサ２９とを備えている。
【００１４】そして、図３に示すように、棒状の高周波
吸収部材２４の断面積Ａを、４００〜７００ＭＨｚ帯の
ノイズを低減するものにしたものである。例えば、チョ
ークコイル２７は、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを
低減するために、直径Ｄ１≒３．２〜４．４ｍｍ（断面
積Ａ＝８〜１５ｍｍ2）、長さＬ１≒１８ｍｍのフェラ
イト材料で形成された円柱状の高周波吸収部材２４の外
周に、厚さｔ＝３０μｍのポリアミドで被覆された線径
ｄ＝１．２〜１．６ｍｍの軟導線を密着にコイル状に巻
いて長さＬ２＝１４〜１８ｍｍのコア型インダクタ２５
を形成すると共に、上記軟導線を円柱状の高周波吸収部
材２４の外径と同程度の内径寸法で、長さＬ３≒９ｍ
ｍ、巻線ピッチＰ＝１．５〜３．０ｍｍに粗巻のコイル
状にした空芯型インダクタ２６を形成している。
吸収部材２４の断面積Ａを、４００〜７００ＭＨｚ帯の
ノイズを低減するものにしたものである。例えば、チョ
ークコイル２７は、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを
低減するために、直径Ｄ１≒３．２〜４．４ｍｍ（断面
積Ａ＝８〜１５ｍｍ2）、長さＬ１≒１８ｍｍのフェラ
イト材料で形成された円柱状の高周波吸収部材２４の外
周に、厚さｔ＝３０μｍのポリアミドで被覆された線径
ｄ＝１．２〜１．６ｍｍの軟導線を密着にコイル状に巻
いて長さＬ２＝１４〜１８ｍｍのコア型インダクタ２５
を形成すると共に、上記軟導線を円柱状の高周波吸収部
材２４の外径と同程度の内径寸法で、長さＬ３≒９ｍ
ｍ、巻線ピッチＰ＝１．５〜３．０ｍｍに粗巻のコイル
状にした空芯型インダクタ２６を形成している。
【００１５】なお、上記第１の実施形態のコア型インダ
クタ２５は、高周波吸収部材２４の円柱状外周に巻線２
３を密着巻きしたものであるが、これに限らず、高周波
吸収部材２４の形状が断面が三角、四角等の多角形にし
た柱状のもの、また、その巻線２３の内径を高周波吸収
部材２４の外径に対して、僅かに大きい程度のものでも
よい。また、高周波吸収部材２４をフェライト材料で形
成したが、これに限らず、鉄またはセラミックス等の磁
性体で形成してもよい。
クタ２５は、高周波吸収部材２４の円柱状外周に巻線２
３を密着巻きしたものであるが、これに限らず、高周波
吸収部材２４の形状が断面が三角、四角等の多角形にし
た柱状のもの、また、その巻線２３の内径を高周波吸収
部材２４の外径に対して、僅かに大きい程度のものでも
よい。また、高周波吸収部材２４をフェライト材料で形
成したが、これに限らず、鉄またはセラミックス等の磁
性体で形成してもよい。
【００１６】次に、上記マグネトロン装置について作用
効果について説明する。本発明の第１の実施形態は、図
１〜図３に示すステム端子２８ａ、２８ｂを有するステ
ム２８とチョークコイル２７のコア型インダクタ２５と
の間にチョークコイル２７の空芯型インダクタ２６を接
続すると共に、コア型インダクタ２５の棒状の高周波吸
収部材２４を４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減で
きる断面積Ａにしたことにより、４００〜７００ＭＨｚ
帯のノイズを低減できる。すなわち、棒状の高周波吸収
部材２４の断面積Ａを変える程度の簡易な構成で、４０
０〜７００ＭＨｚ帯のノイズが低減され、通信電波の妨
害を防止することができる。
効果について説明する。本発明の第１の実施形態は、図
１〜図３に示すステム端子２８ａ、２８ｂを有するステ
ム２８とチョークコイル２７のコア型インダクタ２５と
の間にチョークコイル２７の空芯型インダクタ２６を接
続すると共に、コア型インダクタ２５の棒状の高周波吸
収部材２４を４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減で
きる断面積Ａにしたことにより、４００〜７００ＭＨｚ
帯のノイズを低減できる。すなわち、棒状の高周波吸収
部材２４の断面積Ａを変える程度の簡易な構成で、４０
０〜７００ＭＨｚ帯のノイズが低減され、通信電波の妨
害を防止することができる。
【００１７】また、棒状の高周波吸収部材２４を断面積
Ａ＝８〜１５ｍｍ2のフェライト材料で形成しても、高
周波吸収部材２４のクラックを生じるという問題もな
く、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減することが
できる。
Ａ＝８〜１５ｍｍ2のフェライト材料で形成しても、高
周波吸収部材２４のクラックを生じるという問題もな
く、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減することが
できる。
【００１８】さらに、コア型インダクタ２５および空芯
型インダクタ２６の巻数も調整することにより、１００
０ＭＨｚ以下という広域の通信電波の妨害を防止するこ
とができ、また、高周波吸収部材２４の円柱状外周に巻
線２３を密着巻きしたコア型インダクタ２５を形成する
ことにより、インダクタンスが安定し、１０００ＭＨｚ
以下におけるノイズのバラツキも低減することができ
る。
型インダクタ２６の巻数も調整することにより、１００
０ＭＨｚ以下という広域の通信電波の妨害を防止するこ
とができ、また、高周波吸収部材２４の円柱状外周に巻
線２３を密着巻きしたコア型インダクタ２５を形成する
ことにより、インダクタンスが安定し、１０００ＭＨｚ
以下におけるノイズのバラツキも低減することができ
る。
【００１９】
【実施例】次に本発明の効果を確認した実施例について
説明する。
説明する。
【００２０】本発明実施例のマグネトロン装置は、図２
に示す構成の漏洩防止部１０を有し、チョークコイル２
７を、図３に示すように、コア型インダクタ２５および
空芯型インダクタ２６の巻線２３が厚さｔ＝３０μｍの
ポリアミドで被覆された線径ｄ＝１．４ｍｍの軟導線を
用い、コイル状のコア型インダクタ２５の長さＬ２＝１
６．４ｍｍ、空芯型インダクタ２６の長さＬ３＝９．２
ｍｍ、フェライト材料（例えばトミタ電機株式会社製の
材質６Ｈ３）で形成された円柱状の高周波吸収部材２４
を長さＬ１＝１８ｍｍにしたものである。そして、円柱
状の高周波吸収部材２４の直径Ｄ１を３．０〜９．８ｍ
ｍ（断面積Ａ＝７〜２４ｍｍ2）に変えたときの４００
〜７００ＭＨｚ帯域のノイズレベルについて調べたとこ
ろ、図４に示す通りの結果が得られた。なお、図４に示
す規格値は、ＣＩＳＰＲ１１規格であり、２３０〜１０
００ＭＨｚの周波数範囲において、ノイズレベルの許容
値を３７ｄＢ（μＶ／ｍ）としている。
に示す構成の漏洩防止部１０を有し、チョークコイル２
７を、図３に示すように、コア型インダクタ２５および
空芯型インダクタ２６の巻線２３が厚さｔ＝３０μｍの
ポリアミドで被覆された線径ｄ＝１．４ｍｍの軟導線を
用い、コイル状のコア型インダクタ２５の長さＬ２＝１
６．４ｍｍ、空芯型インダクタ２６の長さＬ３＝９．２
ｍｍ、フェライト材料（例えばトミタ電機株式会社製の
材質６Ｈ３）で形成された円柱状の高周波吸収部材２４
を長さＬ１＝１８ｍｍにしたものである。そして、円柱
状の高周波吸収部材２４の直径Ｄ１を３．０〜９．８ｍ
ｍ（断面積Ａ＝７〜２４ｍｍ2）に変えたときの４００
〜７００ＭＨｚ帯域のノイズレベルについて調べたとこ
ろ、図４に示す通りの結果が得られた。なお、図４に示
す規格値は、ＣＩＳＰＲ１１規格であり、２３０〜１０
００ＭＨｚの周波数範囲において、ノイズレベルの許容
値を３７ｄＢ（μＶ／ｍ）としている。
【００２１】図４から明らかなように、本発明実施例の
マグネトロン装置は、フェライト材料で形成された高周
波吸収部材２４の断面積Ａが１２．５ｍｍ2（直径Ｄ１
＝４．０ｍｍ）を境にノイズレベルが上昇し、断面積Ａ
＝８〜１５ｍｍ2（直径Ｄ１＝３．２〜４．４ｍｍ）の
範囲で、ＣＩＳＰＲ１１規格の３７ｄＢの許容値を満足
することが分かった。そして、高周波吸収部材２４の断
面積Ａを変えることで、４００〜７００ＭＨｚ帯域のノ
イズレベルが低減されることが、発明者らによって初め
て明らかにされた。
マグネトロン装置は、フェライト材料で形成された高周
波吸収部材２４の断面積Ａが１２．５ｍｍ2（直径Ｄ１
＝４．０ｍｍ）を境にノイズレベルが上昇し、断面積Ａ
＝８〜１５ｍｍ2（直径Ｄ１＝３．２〜４．４ｍｍ）の
範囲で、ＣＩＳＰＲ１１規格の３７ｄＢの許容値を満足
することが分かった。そして、高周波吸収部材２４の断
面積Ａを変えることで、４００〜７００ＭＨｚ帯域のノ
イズレベルが低減されることが、発明者らによって初め
て明らかにされた。
【００２２】また、フェライト材料で形成された高周波
吸収部材２４の断面積Ａ＝７〜２４ｍｍ2において、チ
ョークコイル表面温度（電子レンジの空焼き試験におけ
る過酷状態での表面温度）が約１００℃であり、チョー
クコイル２７における巻線の絶縁被覆が損焼して絶縁不
良を起こしたり、フェライト材料で形成された高周波吸
収部材２４のクラックを生じるという実用上の問題はな
かった。これは、ステム端子２８ａ、２８ｂを有するス
テム２８とチョークコイル２７のコア型インダクタ２５
との間にチョークコイル２７の空芯型インダクタ２６を
接続したことによる効果と考えられる。
吸収部材２４の断面積Ａ＝７〜２４ｍｍ2において、チ
ョークコイル表面温度（電子レンジの空焼き試験におけ
る過酷状態での表面温度）が約１００℃であり、チョー
クコイル２７における巻線の絶縁被覆が損焼して絶縁不
良を起こしたり、フェライト材料で形成された高周波吸
収部材２４のクラックを生じるという実用上の問題はな
かった。これは、ステム端子２８ａ、２８ｂを有するス
テム２８とチョークコイル２７のコア型インダクタ２５
との間にチョークコイル２７の空芯型インダクタ２６を
接続したことによる効果と考えられる。
【００２３】さらに、寿命試験においても、１０００Ｍ
Ｈｚ以下という広域の通信電波の妨害を防止できるこ
と、高周波吸収部材２４のフェライトの欠けや脱落等も
無いことおよび、貫通コンデンサの耐電圧不良等も発生
しないことを確認している。
Ｈｚ以下という広域の通信電波の妨害を防止できるこ
と、高周波吸収部材２４のフェライトの欠けや脱落等も
無いことおよび、貫通コンデンサの耐電圧不良等も発生
しないことを確認している。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来のマグネトロン装置のチョークコイルにおける棒状
の高周波吸収部材の断面積を変える程度の簡易な構成
で、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減することが
できるものである。
従来のマグネトロン装置のチョークコイルにおける棒状
の高周波吸収部材の断面積を変える程度の簡易な構成
で、４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低減することが
できるものである。
【図１】本発明の第１の実施形態のマグネトロン装置に
おける漏洩防止部を示す要部下面図
おける漏洩防止部を示す要部下面図
【図２】同マグネトロン装置を示す断面正面図
【図３】同マグネトロン装置のチョークコイルを示し、
（ａ）はその要部正面図（ｂ）はチョークコイルの高周
波吸収部材の断面図
（ａ）はその要部正面図（ｂ）はチョークコイルの高周
波吸収部材の断面図
【図４】同マグネトロン装置におけるチョークコイルに
用いるフェライト材料で形成された高周波吸収部材の断
面積とノイズレベルとの関係を示す図
用いるフェライト材料で形成された高周波吸収部材の断
面積とノイズレベルとの関係を示す図
【図５】従来のマグネトロン装置における漏洩防止部を
示す図
示す図
２２ フィルターケース ２３ チョークコイル２７の巻線 ２４ 高周波吸収部材 ２５ コア型インダクタ ２６ 空芯型インダクタ ２７ チョークコイル ２８ ステム ２８ａ、２８ｂ ステム端子 ２９ コンデンサ
Claims (2)
- 【請求項１】 フィルターケース内に、巻線の内部に棒
状の高周波吸収部材を有するコア型インダクタと巻線の
内部に前記高周波吸収部材を有していない空芯型インダ
クタとを直列接続してなるチョークコイルと、前記空芯
型インダクタ側の前記チョークコイルの一端が接続され
たステム端子を有するステムと、前記コア型インダクタ
側の前記チョークコイルの他端が接続されたコンデンサ
端子を有するコンデンサとを備え、前記棒状の高周波吸
収部材の断面積を４００〜７００ＭＨｚ帯のノイズを低
減するものにしたことを特徴とするマグネトロン装置。 - 【請求項２】 高周波吸収部材をフェライト材料で形成
し、かつその断面積を８〜１５ｍｍ2に設定したことを
特徴とする請求項１記載のマグネトロン装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10029447A JPH11233036A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | マグネトロン装置 |
| KR1019990005018A KR100349034B1 (ko) | 1998-02-12 | 1999-02-12 | 마그네트론 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10029447A JPH11233036A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | マグネトロン装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11233036A true JPH11233036A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12276383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10029447A Pending JPH11233036A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | マグネトロン装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11233036A (ja) |
| KR (1) | KR100349034B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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