JPH11232636A - 情報記録媒体用基板及びその製造方法 - Google Patents

情報記録媒体用基板及びその製造方法

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JPH11232636A
JPH11232636A JP10295869A JP29586998A JPH11232636A JP H11232636 A JPH11232636 A JP H11232636A JP 10295869 A JP10295869 A JP 10295869A JP 29586998 A JP29586998 A JP 29586998A JP H11232636 A JPH11232636 A JP H11232636A
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modulus
young
glass
recording medium
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JP10295869A
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Gakuroku Suu
学禄 鄒
Hisayoshi Toratani
久良 虎溪
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Hoya Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面平滑性を損なわずに、アルミニウムに比
べ充分に高いヤング率を有する情報記録媒体用ディスク
基板を提供する。 【解決手段】情報記録媒体用ガラス基板において、下記
数1において表わせられるヤング率Eが90を超えるよ
うに決められる。 【数1】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク(ハ
ードディスク)、光ディスク、光磁気ディスク等の情報
記録媒体に使用されるガラス製ディスク基板及び情報記
録媒体に係る。
【0002】
【従来の技術】近年、サーバー等の高性能のハードディ
スクドライブは、高容量と共にデータの転送速度の高速
化が要求されている。ディスクの回転速度は10000
rpmに達し、トラック密度はトラック間が10000
TPI又は2.5μmとなりつつある。さらに、限られ
た大きさのドライブの中にできるだけ多くのディスクを
搭載するために、板厚の薄いディスクに対する要求があ
る。
【0003】その結果、このようなディスクは、小さい
フライイングハイトのための表面平滑性と耐衝撃性のた
めの表面の硬度と共に、高い剛性、及び/又は大きいダ
ンピングが要求されてきている。
【0004】現在、3.5インチのディスクドライブに
用いられているアルミニウム基板は、ヤング率が72G
Pa程度であり、高性能のディスクドライブに用いるに
は限界があることは明らかである。表面平滑性や耐衝撃
性に関しても改善が必要である。
【0005】従来、ガラス基板は、携帯用パソコン用
2.5インチディスクドライブに搭載されてきた。この
場合は、ドライブはデスクトップ型パソコンに比べ、良
好な耐衝撃性が必要である。
【0006】例えば、特開平5−32431に記載され
た、重量%で、62〜75%のSiO2 、5〜15%の
Al2 3 、4〜10%のLi2 O、4〜12%のNa
2 O、および5.5〜15%のZrO2 を含有し、かつ
Na2 O/ZrO2 の重量比が0.5〜2.0であり、
さらにAl2 3 /ZrO2 の重量比が0.4〜2.5
である化学強化用のガラスは、600G以上の非常に耐
衝撃性の高いガラス基板であるが、ヤング率Eは83G
Paであり、アルミニウムと大差がない。
【0007】さらに、例えば、米国特許5,391,5
22に記載されているようなSiO2 を65〜83%、
Li2 Oを8〜32%、K2 Oを0〜7%、MgOを
0.5〜5.5%、ZnOを0〜5%、PbOを0〜5
%、(但し、MgO+ZnO+PbOを0.5〜5
%)、P2 5 を1〜4%、Al2 3 を0〜7%、A
23 +Sb2 3 を0〜2%含み、主結晶として微
細なLi2 O・2SiO2 結晶粒子を含む結晶化ガラス
基板もディスクドライブ市場に参入しつつある。このよ
うな結晶化ガラスの中には、高いヤング率を示すものが
あるが、結晶粒が大きく、表面を平滑化するのにコスト
がかかるという欠点がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
ディスク基板は、サーバー等の高性能のハードディスク
ドライブ用として小さい表面平滑性、耐衝撃性、高い剛
性、及び/又は大きいダンピングを全てを満足するもの
ではなかった。
【0009】従って、本発明の目的は、表面平滑性を損
なわずに、アルミニウムに比べ充分に高いヤング率を有
する情報記録媒体用ディスク基板を提供することにあ
る。
【0010】さらに、本発明の別の目的は、上記ディス
クを用いた情報記録媒体を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、情報記録媒体用ガラス基板において、
下記数8において表わせられるヤング率Eが90を超え
るように決められる。
【0012】
【数8】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
【0013】さらに、本発明の情報記録媒体では、情報
記録媒体用ガラス基板と、情報記録媒体用ガラス基板上
に形成された記録層とを有する。
【0014】さらに、本発明の磁気ディスクでは、情報
記録媒体用ガラス基板と、情報記録媒体用ガラス基板上
に形成された磁気記録層とを有する。
【0015】また、本発明の情報記録媒体用ガラス基板
の製造方法では、下記数9において表わせられるヤング
率Eが90を超えるようにガラス組成を選定する工程を
含む。
【0016】
【数9】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
【0017】また、本発明では、情報記録媒体用ガラス
基板のヤング率Eを算出するためのヤング率の算出装置
において、パラメーターとして、ρi (成分iの密
度)、NA (アボガドロ数)、Gi (成分iの分子解離
エネルギー)、Mi(は成分iの分子量)、RA とRO
(AmOnで示される酸化物成分iのカチオンAとアニ
オンOのイオン半径)をそれぞれ入力するための入力手
段と、この入力手段から入力されたパラメータに基づい
て、下記数10(但し、Si=2NA (Gi /Mi)(4
π/3)(mRA 3+nRO 3))を使用して、上記ガラス
のヤング率Eを求める算出手段と、
【数10】 この算出手段により算出されたヤング率Eを出力する出
力手段とを有する。
【0018】さらに、本発明では、情報記録媒体用ガラ
ス基板のヤング率Eを算出するためのヤング率の算出方
法において、パラメーターとして、ρi (成分iの密
度)、NA (アボガドロ数)、Gi (成分iの分子解離
エネルギー)、Mi(は成分iの分子量)、RA とRO
(AmOnで示される酸化物成分iのカチオンAとアニ
オンOのイオン半径)をそれぞれ入力するステップと、
この入力されたパラメータに基づいて、下記数11(但
し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA 3
+nRO 3))を使用して、上記ガラスのヤング率Eを算
出するステップと、
【数11】 この算出されたヤング率Eを出力するステップとを有す
る。
【0019】さらに、本発明では、情報記録媒体用ガラ
ス基板のヤング率Eを算出するためのプログラムであっ
て、パラメーターとして、ρi (成分iの密度)、NA
(アボガドロ数)、Gi (成分iの分子解離エネルギ
ー)、Mi(は成分iの分子量)、RA とRO (AmO
nで示される酸化物成分iのカチオンAとアニオンOの
イオン半径)をそれぞれ入力するステップと、この入力
されたパラメータに基づいて、下記数12(但し、Si
=2NA (Gi /M)(4π/3)(mRA 3+n
O 3))を使用して、上記ガラスのヤング率Eを算出す
るステップと、
【数12】 この算出されたヤング率Eを出力するためのステップと
を実行させるようにコンピュータを制御するためのプロ
グラムを格納したコンピュータ読取可能な記録媒体を提
供する。
【0020】さらに、本発明では、情報記録媒体用ガラ
ス基板のヤング率Eを、実際にガラス基板を製作するこ
となしに、かつ下記数13において表わせられるヤング
率Eが90を超えるように、下記数13を使用してヤン
グ率Eを推定する。
【0021】
【数13】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
【0022】さらに、本発明では、情報記録媒体用ガラ
ス基板のヤング率Eを、前記ガラス基板の比重を実際に
測定することなしに、かつ下記数14において表わせら
れるヤング率Eが90を超えるように、下記数14を使
用してヤング率Eを推定する。
【0023】
【数14】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
【0024】
【作用】以下に、上記数1式を導くための過程について
詳述する。
【0025】高いヤング率(弾性率)と高い比剛性をも
つ新規なガラス組成を開発するためには、酸化物ガラス
のヤング率(弾性率)および/または比弾性率を、その
化学組成から決定するための理論的計算モデルを導き出
さねばならない。Gilmanにより提唱された理論に
よれば、イオン結晶のヤング率(弾性率)Eは次のよう
に概算される。
【0026】間隔r0 をもつ一対の異符号のイオンにつ
いて、引力の静電エネルギーUはU=−e2 /r0 に等
しい。結晶内部のイオン間の多数の相互作用を勘案する
ために、この値に、マーデルング定数αを乗じ、マーデ
ルングエネルギーUm =αUを求める。イオン間のエネ
ルギーは、dUm /drとなり、従って、応力σは下記
数15で与えられる。
【0027】
【数15】 rの変化に対する応力の変化はdσ/drであり、従っ
て、
【数16】 となる。しかし、これは、歪dε=dr/r0 の場合に
はちょうどEdεとなる。
【0028】従って、
【数17】 数17式は、イオン結晶の弾性率が原子間隔r0 の4乗
に反比例し、立方容積r0 3 あたりのイオン対の結合エ
ネルギーαUの2倍である。この関係は、多くのイオン
性の、さらに共有結合の結晶により確認されたが、酸化
物ガラスについてはまだ評価されていなかった。
【0029】ガラスは不規則な構造をもつことから、結
晶酸化物についてと同様に、ガラスに対して、有意なマ
ーデルング定数を選定することは難しい。そこで、Ma
kishimaならびにMackenzieは、単位立
方容積あたりのαUを用いずに、ガラスについてのより
適切な結合エネルギーを、各種酸化物成分の単位容積あ
たりの解離エネルギーGi と、ガラスの充填密度VD
積により概算することを提案している。
【0030】すなわち、
【数18】 ここで、Xi は、ガラスの成分のモル分率である。解離
エネルギーは、Sunにより、各種酸化物について決定
された。MakishimaとMackenzieは、
石英ガラスなどの単一成分ガラスの弾性率を、数16式
を用いて計算し、計算値が実測値に十分に一致すること
を見出した。このことは、数16式が、単一成分ガラス
系の弾性率を推定するのに十分であることを示す。
【0031】複合成分ガラスが、成分iに相当するこの
ような「単一成分ガラス」系の混合物であると仮定すれ
ば、「単一成分ガラス」と考えられる成分iの弾性率
は、数16から決定される。すなわち、
【数19】 ここで、Vi は成分iの充填係数であり、ガラスが単一
成分系である場合にのみ、Vi に一致する。さらに、結
晶中またはガラス中に存在する酸化物に関係なく、酸化
物Mx y の一分子中のM−O結合エネルギーが同じで
あり、その配位数も同一であると仮定すると、充填係数
i は酸化物Mx y の基本的特性から次のとおり決定
される。
【0032】
【数20】 ここで、ρi は比重、Mi はMx y のモル重量、RM
およびROは元素MおよびOのポーリングイオン半径で
ある。
【0033】比弾性率(=弾性率/比重)の基礎定義に
基づき、複合成分ガラス中の成分iの比弾性率Si は、
次式で与えられる。
【0034】
【数21】 数18式を数19式に代入すると、比弾性率は次式のよ
うに書き換えられる。
【0035】
【数22】 次に、複合成分ガラスの比弾性率は、修正加成理論に基
づいて次式のとおり表現できる。
【0036】
【数23】 ここで、γは、修正係数である。数式20は、酸化物M
x y が、結晶中あるいはガラス中に存在する酸化物に
関係なく、同一の配位数をもつという仮定のもとに構築
された。
【0037】実際のところ、ガラス中の各種酸化物の局
部構造は、一般に、特に配位数について、結晶中のもの
とは異なっている。我々発明者は、このような相違が、
主に、ガラス中の酸化物成分の充填密度の変化によるも
のであることを、実験的に見出した。ガラス中に酸化物
を添加したときにその局部構造が変化しないのであれ
ば、ガラスの比重は、加成法則に基づいて、モル分率に
よって計量した対応する酸化物成分の比重を積算するこ
とにより、単純に算出される。
【0038】しかしながら、実測された比重は、酸化物
の局部構造の変化のために、通常、計算値とは異なって
いる。言い換えれば、ガラスの実測された比重と計算さ
れた比重との相違は、ガラス中の酸化物成分の局部構造
の変化を反映している。修正係数γは、したがって、数
24のとおり定義される。
【0039】
【数24】 ここで、ρm はガラスの実測比重である。そこで、ガラ
スの弾性率は次式のように定義される。
【0040】
【数25】 この数25式は、高弾性率を有する新規なガラスを開発
するために非常に有用である(この数25式は、上述の
本発明に係る数1式と一致する)。なぜなら、ガラス溶
融の前に、ガラスの実測パラメータを一切必要とするこ
となく、ガラス組成からその弾性率を計算できるからで
ある。
【0041】係数Si およびEi を利用して、ガラスが
できるだけ高いヤング率(弾性率)と比弾性率をもつこ
とを可能にするような化学組成を予測することができ
る。ここで、高い弾性係数をもつ酸化物は、最高のヤン
グ率(弾性率)や最高の比弾性率をもつガラスを製造す
るための候補材料として期待される。これらの酸化物と
して、Li2 O,MgO,Al2 3 ,Y2 3 ,Ti
2 などが挙げられる。
【0042】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。
【0043】まず、本発明の情報記録媒体用ガラス基板
について説明する。
【0044】尚、本発明における「ガラス」とは、結晶
粒子を実質的に含んでいないアモルファスなものを意味
し、結晶粒子を含んでいわゆる「結晶化ガラス」又は
「ガラスセラミックス」とは本質的に異なる。
【0045】本発明は、ヤング率Eが高い材料の必要性
に基づきなされたものである。ヤング率Eが高い材料の
必要性は、次のような事実に基づき説明することができ
る。
【0046】ディスクの静的なたわみは力学的に求める
ことができる。外周部の最大たわみ量は下記数26で求
められる(“Mechanical Enginee
r'sHandbook",JSME(1987)pp.
A4−57)。
【0047】
【数26】 ここで、Wmax は最大たわみ、Fはディスクに作用され
る力、aはディスクの外周半径、Eはヤング率、hはデ
ィスクの厚さ、f(v)はポアソン比の関数であり、外
周と内周の半径のパラメータである。ディスクに作用す
る力Fは重力に等しく、即ち
【数27】 ここでρはディスクの密度である。それ故、数26式は
下記数28のように書き直すことができる。
【0048】
【数28】 ここでGは比弾性率である。比弾性率は静的なたわみに
とって重要な材料パラメータである。
【0049】一方、ディスクが回転しているときに作用
する力は時間に依存し、その様子は非常に複雑である。
【0050】図1は、基板1が回転したときの基板のた
わみの略図である。
【0051】ドライブ内の気流の乱れが第1に働き、力
の関数Fは回転速度が増すに従って増加する。時間に依
存する最大たわみ量、即ち振動は、材料のパラメータで
あるヤング率Eによって主に決定される。
【0052】ディスクの振動は、ディスク装置の固有周
波数が気流によって働く力の関数と一致すると増加す
る。ダンピングを有する矯正振動の単純な一次元モデル
では、共鳴した時の振幅は
【数29】 ここでcはダンピング定数、ωi は固有振動数である。
気流によって働く力の大きさは振動数に対して減少す
る。したがって、周波数の増加に伴って振動の大きさは
減少する。固有振動数は比弾性率の1/2乗に対して増
加することが知られている。このことは、より高い比弾
性率も重要なパラメータであるが、ヤング率Eよりも影
響の小さいことを示している。
【0053】ダンピングファクターは重要なパラメータ
の一つであるが、ディスクの材料によらず、アルミやガ
ラス、結晶化ガラスなどの場合、個々のディスクとクラ
ンプアセンブリとの間の摩擦によるところが大きいと考
えられる。
【0054】ヤング率Eは、ガラスの組成によって決ま
る。一般的には、モル体積が小さい程ヤング率Eは大き
い。ガラスのヤング率Eを計算するための式としては、
マキシマとマッケンジーによってなされたものがある。
(A.Makishimaand J.D.Macke
nzie:J.Non−CrystallineSol
ids,12(1973)35−45参照)。
【0055】
【数30】 但し、ρはガラスの密度、Mはガラスの分子量、xi
成分iのモル分率、Giは成分iの解離エネルギー、V
iは成分iの分子の最大充填密度、NA はアボガドロ
数、RA とRO はAmOnで示される成分iのカチオン
AとアニオンOのイオン半径である。
【0056】測定されたヤング率とこのモデルにより計
算された計算値は、低い値のヤング率Eを有するガラス
では、ほぼ一致する。しかしながら、100GPa以上
の高いヤング率Eを有するガラスについては、大きな不
一致が観察された。このような高いヤング率Eを有する
ガラスを開発するために、本発明者らは、上記数30式
を下記数31に修正した。
【0057】
【数31】 但し、ρはガラスの密度、ρiは、成分iの密度、Δρ
は、特殊な成分の追加による密度増量、Miはガラスの
分子量、xi 成分iのモル分率、Gi は成分iの解離
エネルギー、Viは成分iの分子の最大充填密度、NA
はアボガドロ数、RA とRO はAmOnで示される成分
iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
【0058】しかし、この数31式においては、補正係
数として、ガラス全体の比重ρが必要であるため、ヤン
グ率Eを計算するためには、一度、実際にガラスを作
り、比重を測定しなければならない。
【0059】そこで、ガラスを作製しないでも、ヤング
率Eを求めることができる新たな計算式が必要となっ
た。この要求を満たす式が、上述の数1式である。つま
り、この数1式は、ヤング率Eを求める際に、比弾性率
から算出するという新規な方法を採用したことにより、
ガラス全体の比重ρを測定する必要なく、ヤング率Eを
求めることが可能になったのである。つまり、実際に、
ガラスを製作しなくても、容易にヤング率Eを求めるこ
とが可能になった。
【0060】具体的には、Ei=2ViGi,Viとし
て上記数31式と同じ式を用いると、成分iの比弾性率
Siは、Si=Ei/ρ=2GiVi/ρi=2N
A (Gi /Mi)(4π/3)(mRA 3+nRO 3)とな
り、ρiは消えてしまう。
【0061】次に、ガラスの比弾性率をS=γΣSiX
iとし、γ(比弾性率の補正係数)としては、γ=(Σ
ρiXi)/ρとすると、ヤング率E=(比重ρ)×
(比弾性率S)であるため、E=ΣρiXiΣSiXi
となり、ここで、ρが消えることになる。
【0062】従って、本発明の数1式によれば、ガラス
の比重を求めなくても、容易にガラスのヤング率を計算
することができる。
【0063】さらに、上述のように、上記の数30式で
計算されるヤング率は、低いヤング率において測定値と
近い値を示すが、ヤング率が90GPa以上(好ましく
は、100GPa以上)のガラスに関しては測定値と大
きなずれを示すものであった。同時に、実際にガラスを
製作して、その比重を測定しなければならないものであ
った。
【0064】そこで、本発明者らは、本発明において用
いた数1式を用いた場合、ヤング率Eが90GPa以上
(好ましくは、100GPa以上)のガラスにおいても
実測のヤング率Eと近似した値が得られることを見出
し、本発明に至った。
【0065】このように、本発明に係る数1式は、この
ような過程を経て導かれたものであり、単なる計算方法
を提示するものではない。本発明に係る数1式は、上述
のような顕著な効果を達成可能で、かつ「情報記録媒体
用基板」に特有の問題点を解決するためになされたもの
である。
【0066】本発明は、高ヤング率酸化ガラスを対象と
したヤング率の算出方法であり、実際にガラスを製作し
なくてもガラスのヤング率Eを求めることが可能であ
る。これは、ガラスの材料設計に非常に役立つものであ
る。
【0067】上述のように、従来のヤング率の算出方法
では、ヤング率の低い領域では、精度が高かったのであ
るが、情報記録媒体用のガラス基板に要求される高いヤ
ング率の領域(90GPa以上)では精度が低かった。
【0068】即ち、本発明においては、SiO2 ,B2
3 ,Al2 3 ,MgO,CaO,Li2 O,TiO
2 ,ZnO,ZrO2 ,及びY2 3 ,La2 3 ,C
eO2 ,Pr2 3 ,Sm2 3 ,Eu2 3 ,Ga2
3 ,Tb2 3 ,Dy2 3 ,Ho2 3 ,Er2
3 ,Tm2 3 ,Yb2 3 等の希土類酸化物等を、本
発明の数1式においてE>90となるように適宜選択す
ることにより達成する。
【0069】Eが90よりも小さいと、実際のヤング率
Eの値とずれが生じ、所望の高ヤング率ガラスを得るこ
とができない。好ましくはE>95、さらに好ましくは
E>100である。尚、ヤング率Eは高ければ高い程好
ましいが、ガラスとして得られる範囲としては、150
GPa以下である。
【0070】図2、本発明において用いた数1式を用い
て求められたヤング率Eの値とヤング率の実測値の関係
を示す。
【0071】この図に示されるように、本発明において
用いた数1式を用いた結果、ヤング率90GPaにおい
て実測のヤング率Eに近似していることが示されてい
る。
【0072】次に、本発明の情報記録媒体について説明
する。
【0073】本発明の情報記録媒体は、本発明の情報記
録媒体用ガラス基板と、該ガラス基板上に形成された記
録層とを有することを特徴とする。ここで、「ガラス基
板上に形成された記録層」とは、ガラス基板表面に直接
または所望の層を介して形成された単層構造または複数
層構造の記録層を意味し、当該記録層の材料及び層構造
は、目的とする情報記録媒体の種類に応じて、磁気記録
層、光記録層、光磁気記録層等として機能するよう適宜
選択される。
【0074】次に、本発明の磁気ディスクについて説明
する。
【0075】本発明の磁気ディスクは、本発明の情報記
録媒体用ガラス基板と、該ガラス基板上に形成された磁
気記録層とを有することを特徴とする。
【0076】上述した本発明のガラスからなる基板の主
表面に、少なくとも磁性層を形成した磁気ディスク(ハ
ードディスク)ものについて以下に説明する。
【0077】磁性層以外の層としては、機能面から、下
地層、保護層、潤滑層、凹凸制御層などが挙げられ、必
要に応じて形成される。これらの各層の形成には各種薄
膜形成技術が利用される。
【0078】磁性層の材料は特に制限されない。磁性層
としては、例えば、Co系の他、フェライト系、鉄−希
土類系などが挙げられる。磁性層は、水平磁気記録、垂
直磁気記録のいずれの磁性層でもよい。
【0079】磁性層としては、具体的には、例えば、C
oを主成分とするCoPt、CoCr、CoNi、Co
NiCr、CoCrTa、CoPtCrやCoNiCr
Pt、CoNiCrTa、CoCrPtTa、CoCr
PtSiOなどの磁性薄膜が挙げられる。また、磁性層
を非磁性層で分割してノイズ低減を図った多層構成とし
てもよい。
【0080】磁性層における下地層は、磁性層に応じて
選択される。下地層としては、例えば、Cr、Mo、T
a、Ti、W、V、B、Alなどの非磁性金属から選ば
れる少なくとも一種以上の材料、又はそれらの金属の酸
化物、窒化物、炭化物等からなる下地層等が挙げられ
る。Coを主成分とする磁性層の場合には、磁気特性向
上の観点からCr単体やCr合金であることが好まし
い。下地層は単層とは限らず、同一又は異種の層を積層
した複数層構造とすることもできる。例えば、Al/C
r/CrMo、Al/Cr/Cr等の多層下地層等が挙
げられる。
【0081】また、基板と磁性層の間又は磁性層の上部
に、磁気ヘッドと磁気ディスクが吸着することを防止す
るための凹凸制御層を設けてもよい。この凹凸制御層を
設けることによって、磁気ディスクの表面粗さは適度に
調整されるので、磁気ヘッドと磁気ディスクが吸着する
ことがなくなり、信頼性の高い磁気ディスクが得られ
る。
【0082】凹凸制御層の材料及び形成方法は多種知ら
れており、特に制限されない。例えば、凹凸制御層の材
料としては、Al、Ag、Ti、Nb、Ta、Bi、S
i、Zr、Cr、Cu、Au、Sn、Pd、Sb、G
e、Mgなどから選ばれる少なくとも一種以上の金属、
又はそれらの合金、あるいは、それらの酸化物、窒化
物、炭化物等からなる下地層等が挙げられる。形成が容
易であるという観点からは、Al単体やAl合金、酸化
Al、窒化AlといったAlを主成分とする金属である
ことが望ましい。
【0083】また、ヘッドスティクションを考慮する
と、凹凸形成層の表面粗さは、Rmax=50〜300
Åであることが好ましい。より好ましい範囲は、Rma
x=100〜200Åである。Rmaxが50Å未満の
場合、磁気ディスク表面が平坦に近いため、磁気ヘッド
と磁気ディスクが吸着し、磁気ヘッドや磁気ディスクが
吸着し、磁気ヘッドや磁気ディスクが傷ついてしまった
り、吸着によるヘッドクラッシュを起こすので好ましく
ない。また、Rmaxが300Åを超える場合、グライ
ド高さ(グライドハイト)が大きくなり記録密度の低下
を招くので好ましくない。
【0084】尚、凹凸制御層を設けずに、ガラス基板表
面に、エッチング処理やレーザー光の照射等の手段で凹
凸を付け、テクスチャリング処理を施してもよい。
【0085】保護層としては、例えば、Cr膜、Cr合
金膜、炭素膜、ジルコニア膜、シリカ膜等が挙げられ
る。これらの保護層は、下地層、磁性層等とともにイン
ライン型スパッタ装置等で連続して形成できる。また、
これらの保護膜は、単層としてもよく、あるいは、同一
又は異種の膜からなる多層構成としてもよい。
【0086】上記保護層上に、あるいは上記保護膜に替
えて、他の保護層を形成してもよい。例えば、上記保護
層上にテトラアルコキシランをアルコール系の溶媒で希
釈した中に、コロイダルシリカ微粒子を分散して塗布
し、さらに焼成して酸化ケイ素(SiO2 )膜を形成し
てもよい。この場合、保護膜と凹凸制御層の両方の機能
を果たす。
【0087】潤滑層としては多種多様な提案がなされて
いるが、一般的には、液体潤滑剤であるパーフルオロポ
リエーテルをフレオン系などを溶媒で希釈し、媒体表面
にディッピング法、スピンコート法、スプレイ法によっ
て塗布し、必要に応じて加熱処理を行って形成する。
【0088】
【実施例】以下、本発明の実施例をさらに説明する。
【0089】表1に、実施例1〜4及び比較例1のガラ
ス組成(モル%)及びそのガラス組成のヤング率Eの
値、実測のヤング率Eを示す。
【0090】
【表1】 尚、表1中、ヤング率Eの値は数1式を用いて算出した
値であり、実測のヤング率は、20×20×100mm
の試料を作製し、5MHzの超音波が前記試料中を伝播
する際の縦波速度(V1 )と横波速度(VS )とをシン
グアラウンド式音速測定装置(超音波工業社製のUVM
−2)を用いて測定した後、下記数32によって求めた
値である。
【0091】
【数32】 まず、数1式を用いて、実施例1〜4のような、E>9
0となるような組成を決定する。尚、比較のために、比
較例1においてE<90となるガラスも用意した。次
に、これらのガラスを実際に作成した。これらのガラス
を溶解する際の出発原料としては、SiO2 ,B
2 3 ,Al2 3 ,ZnO2 ,MgO,CaCO3
Li2 CO3 ,などを用いて、表1に示した所定の割合
に250〜300g秤量し、十分に混合して調合バッチ
と成し、これを白金るつぼに入れ、1550℃で空気中
3〜5時間ガラスの溶解を行った。
【0092】熔融後、ガラス融液をサイズ180×15
×25mm或いはφ67mm×5mmのカーボンの金型
に流し、ガラスの転移点温度まで放冷してから直ちにア
ニール炉に入れ、ガラスの転移温度範囲で約1時間アニ
ールして炉内で室温まで放冷した。得られたガラスは顕
微鏡で観察できる結晶が析出しなかった。
【0093】また、得られたガラスをディスク状に切断
し、主表面を酸化セリウムにてポリッシング加工するこ
とによって、外円半径95mm、内円半径25mm、厚
さ0.8mmの磁気ディスク用基板を得た。
【0094】(ディスク振動検査)1000−1000
0rpmで回転しているディスク基板の振動挙動を示す
ためにヘテロダイン変位計を用いた。ヘテロダイン変位
計の模式的な構成を図3に示す。
【0095】He−Neレーザ2の出力を周波数シフタ
ー3で周波数変調し、80MHzと81MHzの2つの
ビームに分けた。一方のビームのビート信号はディスク
4から反射されたプローブ光の情報を持ち、もう一方の
ビームのビート信号を基準として、これらのビート信号
の位相差からディスク表面の変調された変位が時間の関
数として得られる。変調された信号の大きさを、信号処
理装置5により高速フーリエ変換することにより、振動
の周波数を関数とする振幅となる。
【0096】10000rpmで回転しているディスク
の動的なたわみは各振動波形の下の面積で見積れること
から、パワースペクトルに変換した。各ディスクの波形
を150〜2500Hzまで積分し、振幅の積分値を求
めた。
【0097】図4は、実施例1〜4、比較例1の基板の
振幅の積分値とヤング率Eの値の関係をそれぞれ示した
ものである。
【0098】この図に示されているように、本実施例の
ガラス基板は、振幅の積分値が小さいという結果がわか
る。
【0099】尚、本発明に係るヤング率算出装置は、入
力装置(キーボード等)、算出手段(コンピュータ
等)、出力装置(プリンタ等)等からなる周知のコンピ
ータシステムにより容易に実現可能である。
【0100】
【発明の効果】本発明の情報記録媒体用ガラス基板は、
高いヤング率を有するので、基板の高回転時においても
振動を少なくすることができ、特にサーバー等の高性能
のハードディスクドライブに用いられる基板として好的
に用いることができる。
【0101】また、本発明の情報記録媒体は、例えば、
高いヤング率を有する基板を用いるので、基板の高回転
時においても振動を少なくすることができ、特にサーバ
ー等の高性能のハードディスクドライブに好的に用いる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ディスクの平面及び断面を、ディスクの振動と
の関係で示した概略図である。
【図2】ヤング率Eの実測値と計算値との関係を示すグ
ラフである。
【図3】ヘテロダイン変位計の構成を示す模式図であ
る。
【図4】ヤング率Eと振幅の積分値との関係を示す図で
ある。
【符号の説明】
1 基板 2 He−Neレーザ 3 周波数シフター 4 ディスク 5 信号処理装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年10月19日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0048
【補正方法】変更
【補正内容】
【0048】
【数28】 ここでGは比弾性率である。比弾性率は静的なたわみに
とって重要な材料パラメータである。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 情報記録媒体用ガラス基板において、下
    記数1において表わせられるヤング率Eが90を超える
    ことを特徴とする情報記録媒体用基板。 【数1】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
    3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
    数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
    の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
    iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の情報記録媒体用基板
    と、該情報記録媒体用ガラス基板上に形成された記録層
    とを有することを特徴とする情報記録媒体。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の情報記録媒体用基板
    と、該情報記録媒体用ガラス基板上に形成された磁気記
    録層とを有することを特徴とする磁気ディスク。
  4. 【請求項4】 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法に
    おいて、下記数2において表わせられるヤング率Eが9
    0を超えるようにガラス組成を選定する工程を含むこと
    を特徴とする製造方法。 【数2】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
    3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
    数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
    の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
    iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
  5. 【請求項5】 情報記録媒体用ガラス基板のヤング率E
    を算出するためのヤング率の算出装置において、 パラメーターとして、ρi (成分iの密度)、NA (ア
    ボガドロ数)、Gi (成分iの分子解離エネルギー)、
    i(は成分iの分子量)、RA とRO (AmOnで示
    される酸化物成分iのカチオンAとアニオンOのイオン
    半径)をそれぞれ入力するための入力手段と、 この入力手段から入力されたパラメータに基づいて、下
    記数3(但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/
    3)(mRA 3+nRO 3))を使用して、上記ガラスのヤ
    ング率Eを求める算出手段と、 【数3】 この算出手段により算出されたヤング率Eを出力する出
    力手段とを有することを特徴とするヤング率Eの算出装
    置。
  6. 【請求項6】 情報記録媒体用ガラス基板のヤング率E
    を算出するためのヤング率の算出方法において、 パラメーターとして、ρi (成分iの密度)、NA (ア
    ボガドロ数)、Gi (成分iの分子解離エネルギー)、
    i(は成分iの分子量)、RA とRO (AmOnで示
    される酸化物成分iのカチオンAとアニオンOのイオン
    半径)をそれぞれ入力するステップと、 この入力されたパラメータに基づいて、下記数4(但
    し、Si =2NA (Gi/Mi)(4π/3)(mRA 3
    nRO 3))を使用して、上記ガラスのヤング率Eを算出
    するステップと、 【数4】 この算出されたヤング率Eを出力するステップとを有す
    ることを特徴とするヤング率Eの算出方法。
  7. 【請求項7】 情報記録媒体用ガラス基板のヤング率E
    を算出するためのプログラムであって、 パラメーターとして、ρi (成分iの密度)、NA (ア
    ボガドロ数)、Gi (成分iの分子解離エネルギー)、
    i(は成分iの分子量)、RA とRO (AmOnで示
    される酸化物成分iのカチオンAとアニオンOのイオン
    半径)をそれぞれ入力するステップと、 この入力されたパラメータに基づいて、下記数5(但
    し、Si =2NA (Gi/M)(4π/3)(mRA 3
    nRO 3))を使用して、上記ガラスのヤング率Eを算出
    するステップと、 【数5】 この算出されたヤング率Eを出力するためのステップと
    を実行させるようにコンピュータを制御するためのプロ
    グラムを格納したコンピュータ読取可能な記録媒体。
  8. 【請求項8】 情報記録媒体用ガラス基板のヤング率E
    を、実際にガラス基板を製作することなしに、かつ下記
    数6において表わせられるヤング率Eが90を超えるよ
    うに、下記数6を使用して求めるヤング率Eの推定方
    法。 【数6】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
    3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
    数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
    の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
    iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
  9. 【請求項9】 情報記録媒体用ガラス基板のヤング率E
    を、前記ガラス基板の比重を実際に測定することなし
    に、かつ下記数7において表わせられるヤング率Eが9
    0を超えるように、下記数7を使用して求めるヤング率
    Eの推定方法。 【数7】 但し、Si =2NA (Gi /Mi)(4π/3)(mRA
    3+nRO 3)、ρi は成分iの密度、NA はアボガドロ
    数、Gi は成分iの分子解離エネルギー、Miは成分i
    の分子量、RA とRO はAmOnで示される酸化物成分
    iのカチオンAとアニオンOのイオン半径である。
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