JPH11230781A

JPH11230781A - センサ装置

Info

Publication number: JPH11230781A
Application number: JP10337913A
Authority: JP
Inventors: Lothar Blossfeld; ローター・ブロスフェルト
Original assignee: TDK Micronas GmbH
Current assignee: TDK Micronas GmbH
Priority date: 1997-11-27
Filing date: 1998-11-27
Publication date: 1999-08-27
Also published as: US6144229A; EP0919789B1; DE59707977D1; KR100551537B1; KR19990045519A; EP0919789A1

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、低い信号周波数を感知できてしか
もオン切換え後短時間で動作し、大きい背景信号状態で
動作可能なセンサ装置を得ること目的とする。【解決手段】供給電圧Ｕ_Bの供給によりトリガー可能
な少なくとも第１の動作状態と、第２の動作状態とを限
定する制御装置9 と、第１の動作状態で、設定値により
測定装置2 の動作範囲をセンサ信号s1のそれぞれのＤＣ
レベルs0に適合させ、第２の動作状態で、平均センサ信
号値smを決定する設定装置5 と、第１の動作状態で、セ
ンサ信号と独立しているが定められている第１の出力信
号s3を発生し、第２の動作状態で、平均センサ信号値sm
に重畳されたセンサ信号s2に依存している第２の出力信
号s4を発生する出力回路4 とを具備していることを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学的および非光学的
ドメインにおける力、圧力、加速度、磁界または放射等
の物理的測定量に応答して電気出力信号を与えるセンサ
を具備した電子センサ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】しばしば、測定量は、一定であるかまた
は非常に遅く変化する比較的大きい背景信号に重畳され
る。このような背景信号はセンサアレイまたは測定装置
のオフセットエラーでもありえる。センサ信号が純粋に
静的であるならば、チョッパ原理を使用してのみ分離が
可能である。しかしながら、センサ信号が、背景信号の
周波数を越えるゼロではないセンサ周波数スペクトルを
有するならば、フィルタ装置によって、最も簡単なケー
スではそれぞれのセンサまたは個々の増幅段への容量結
合によって簡単な分離が可能である。

【０００３】電子物理センサは別として、信号処理回路
が同一のチップ上に含まれるモノリシック集積センサ回
路では、回路全体は通常ＤＣ結合段から形成されるので
容量結合は通常可能ではない。それ故、個々の回路段の
動作範囲は背景信号のＤＣレベルを越えない別の方法で
確実にされなければならない。これは既知の差動増幅器
原理を使用して、即ちＤＣレベルに重畳されたセンサ信
号と基準レベルとの差を処理することによって実現され
る。この目的で、差動増幅器の動作範囲は少なくとも最
大の可能なセンサ信号程度の大きさでなくてはならな
い。その後の段で、干渉ＤＣレベルはもはや存在しない
か少なくとも非常に小さい。それ故、ＤＣレベルは信号
路の開始時に抑圧され、この場合利得は小さく必要な増
幅および信号処理はその後の段に移動されなければなら
ない。

【０００４】このようなセンサ装置の特に臨界的な応用
は、例えば回転速度または位置を感知するために機械装
置または自動車分野で使用される回転素子に存在する。
しばしば、強く一定の磁界（＝バックバイアス磁界）に
よりセンサがバイアスされる装置が使用される。回転
中、鉄材料のギアはセンサ中で磁束を変調する。この変
調は情報信号としてセンサにより評価される。一定の磁
束に対するこの変調の割合の比率は典型的に１％〜１０
％である。

【０００５】容量センサが力、圧力または加速度を決定
するために使用されるならば、存在する基本キャパシタ
ンスは測定される量により多少強く変調されるので、状
況は類似している。類似の問題が光センサで生じ、これ
はしばしば比較的高輝度レベルで強度変調を検出しなけ
ればならない。

【０００６】変調信号と変調されていないＤＣ信号の不
所望な比率のために、センサ装置の正確性と安定性につ
いて厳しい要求が与えられる。製造および適合の許容誤
差と、温度およびエージング効果によって動作期間中に
生じる変化の結果的な補償が可能であるが、通常それは
避けられる。これらの問題に対するより一般的な解決策
はダイナミックセンサ装置であり、これはダイナミック
な信号だけを評価する。この方法では、ＤＣレベル補償
に必要な基準レベルは制御回路により形成され、ここで
は入力増幅器の出力はローパスフィルタで処理され、こ
の増幅器の補償または基準入力にフィードバックされ
る。入力増幅器に与えられるセンサ信号が差動信号であ
るならば、関連するフィードバック入力は、通常合計ネ
ットワークにより差動入力のうちの１つで実行される。
このようなセンサ装置は最小の周波数を有する信号だけ
を処理することができる。

【０００７】多数のシステム、特に磁界センサを使用す
るシステムでは、動作または回転に加えて静止状態も感
知されることができる。さらに、位置依存制御システム
では、情報、例えばギアの第１の歯が起動後にセンサに
より通過する時間に関する情報は通常失われてはならな
い。このような応用は例えばエンジン制御、アンチロッ
クブレーキまたは速度感知の分野における自動車システ
ムで見られる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多くの
応用では、センサ装置の低いカットオフ周波数が数１／
１０Ｈｚの範囲にあるならば十分である。このような低
周波数範囲に対して適切なダイナミックセンサは非常に
低い制御応答をしなければならず、それによって起動
後、これらは長い時間でセンサ信号を知ることができな
い。

【０００９】本発明の目的は、非常に低い信号周波数を
感知するが他方でオンに切換えた後非常に短時間で動作
でき、大きい背景信号と高い両立性を有するセンサ装置
を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この目的は請求項１の特
性にしたがって以下のように実現される。

【００１１】センサ装置は、少なくとも第１の動作状態
と第２の動作状態を定める制御装置を含んでおり、第１
の動作状態は好ましくは供給電圧を供給することにより
トリガー可能であり、さらにセンサ装置は、第１の動作
状態の設定値によって測定装置の動作範囲をセンサ信号
のそれぞれのＤＣレベルへ適合し、第２の動作状態にお
いて平均センサ信号値を決定する設定装置を含んでお
り、出力回路は第１の動作状態で、センサ信号と独立し
ているが限定されている第１の出力信号を出力し、第２
の動作状態で、平均センサ信号値に重畳されているセン
サ信号に依存する第２の出力信号を与える。

【００１２】本発明にしたがった少なくとも第１、第２
の動作状態の限定は、センサ装置の動作性能を起動状態
を開始状態と通常の動作状態に最適に適合する可能性を
開く。純粋にダイナミックなセンサ装置のように制御速
度と低いカットオフの必要性に関する妥協は本発明によ
れば必要はない。第１の動作状態では、設定装置は非常
に迅速に平均センサ信号値を決定し、これは第２の動作
常置では低速度のドリフト変化に従うことだけを必要と
する。第１の動作状態における平均センサ信号値の決定
は種々の方法で実現されることができる。例えば制御勾
配は非常に増加されることができる。またサンプルおよ
びホールド回路によりＤＣレベルを直接測定し、この記
憶されたアナログ値を基準信号入力へ供給することもで
きる。類似の方法はアナログメモリではなくデジタルメ
モリを使用し、先に決定されたＤＣレベルはアナログデ
ジタル変換器によりデジタル化される。一見すると、こ
の方法は下手な手段のように思われるが、デジタル信号
処理がセンサ装置内で行われるならば、この目的で与え
られる段が使用されることができる。さらに、微細な追
跡が第２の動作状態で行われることができるので、第１
の動作状態の分解能は比較的粗いものでよい。類似のデ
ジタル方法はＤＣレベルを決定するため第１の動作状態
で連続的な近似を実行する。ここでも、決定された設定
値が予測される信号振幅よりも小さいとき連続的な近似
が終了される。比較的低速度の変化に従うことだけを必
要とする微細な追跡では、ＬＢＳステップの変化に従う
追跡変換器が適切である。

【００１３】第１の動作状態の継続時間は制御装置によ
り決定され、これは差動増幅器後の信号がゼロに十分に
近接しているか、または第１の動作状態で、固定した時
間に設定されているか否かをチェックし、これはデジタ
ル解決策では内部クロック信号により制御される。ギア
センサでは、この設定プロセスは８〜１０クロックパル
ス後に完了されるべきであり、これは約１００μｓに対
応する。

【００１４】センサ信号のＤＣレベルが第１の動作状態
で“補償”された後、第２の動作状態で、センサ装置は
重畳されたセンサ信号を直ちに検出し、そこからアナロ
グまたはデジタル出力信号を形成する。出力信号が偶然
に第１の動作状態で前後してスイッチされないように、
限定された状態がこの時間範囲、例えば論理１または０
状態あるいは浮動３状態の出力信号のために与えられ
る。必要ならば、この信号状態は状態の第１の変化が重
畳されたセンサ信号中で検出されるまで、第２の動作状
態の開始時に維持される。

【００１５】第２の動作状態で、重畳されたセンサ信号
の振幅が振幅検出器により決定されたならば、センサ装
置でさらに別の利点が得られる。この振幅値により、ヒ
ステリシスしきい値はスイッチング信号応用で変化され
ることができるか、または信号路の利得は重畳されたセ
ンサ信号の大きさに適合される。この自動的な適合は、
信号レベルに影響する動作および適合許容誤差に対する
センサ装置の感度を非常に不感にする。

【００１６】センサ装置が磁気ギアセンサで使用される
ならば、数１／１０Ｈｚ〜１０ｋＨｚの周波数の検出が
所望である。できる限り広くなるようにセンサ装置によ
りカバーされることができる周波数範囲では、平均セン
サ信号値を追跡する信号がそれぞれの信号周波数に近接
して結合されることが重要である。これは個々の出力信
号間のそれぞれの平均センサ信号値を変化しないことに
よって有効に実現される。平均センサ信号値は、重畳さ
れたセンサ信号と平均センサ信号値との交差点で開始
し、重畳されたセンサ信号の相対的極値に到達すること
によって終了する時間間隔内でのみ変化する。

【００１７】延長された時間期間中に第２の動作状態で
形成される出力信号が存在しないならば、本発明のさら
に別の開発にしたがって、制御装置は第３の動作状態を
開始し、この動作状態では、平均センサ信号値は恐らく
失われた平均センサ信号値の方向にゆっくりと誘導さ
れ、この制御方向は差動増幅器の後段または出力のセン
サ信号の符号で決定される。

【００１８】平均センサ信号値の追跡は、予め設定され
たしきい値またはフィルタ回路によって信号妨害に依存
しないようにされる。

【００１９】短時間の電圧低下の場合、またはオフ切換
え後平均センサ信号値が失われないように、デジタル値
としてオンチップダイナミックおよび／または非揮発性
メモリ装置に記憶することが有効である。この記憶され
た値は各新しい開始プロセスに有効であり、それによっ
て第１の動作状態の追跡はより速いかまたは発見された
値はより正確になる。勿論、設定装置の他の設定および
／または制御パラメータをメモリ装置に記憶することも
可能である。非揮発性記憶装置により、センサ装置は延
長された信号妨害後または電源故障でさえも十分に動作
する。短時間の信号妨害または短時間の電源故障はまた
設定および／または制御パラメータの動的な記憶手段に
よりブリッジされることもできる。ダイナミックメモリ
は付加的な処理ステップなしに一般的なＣＭＯＳプロセ
スで製造されることができ、一方、非揮発性メモリ装置
の製造は高価であり、さらに、しばしば任意に書込むこ
とができない。

【００２０】ホール効果センサの場合、“第１の歯”が
検出されなければならない。第１の動作状態中に記憶さ
れた平均センサ信号値が偶然に最大のセンサ信号であ
り、歯の上部に対応する場合、また出力信号がゼロレベ
ルに拘束されるならば、これはほとんど可能ではない。
この場合、第１の歯の情報は抑圧される。これは第１の
動作状態で記憶された平均センサ信号値から重畳された
センサ信号の偏差が検出されたならば、第２の動作状態
において最初に予め定められた継続期間のパルスを伝送
することにより阻止されることができる。この方法で、
第１の歯の前縁と後縁は確実に検出され、情報として後
の回路へ通過される。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明およびさらにその有効な特
徴を添付図面を参照して以下、より詳細に説明する。図
１のセンサ装置の実施形態は、入力セクションで感知素
子またはセンサ１を含んでおり、センサ１の出力は単極
または差動形態でセンサ信号ｓ１として与えられ、セン
サが例えばホール効果センサであるならば、センサ信号
ｓ１は測定装置２へ与えられる。測定装置２は、センサ
信号ｓ１のＤＣレベルｓ０（図３参照）を基本的に抑圧
または補償する入力増幅器３を含んでいる。最も簡単な
ケースでは、これは差動増幅器により実現され、この差
動増幅器に、センサ信号ｓ１が一方の入力に与えられ、
ＤＣレベルｓ０、またはそれに近接する設定値ｓｍ０が
他方の入力に与えられる。

【００２２】入力増幅器３の出力信号は理想的には必要
なセンサ信号ｓ２と同一であり、これにはＤＣレベルｓ
０と低い背景信号周波数がない。厳密に言えば、入力増
幅器３の出力の静止電位が丁度ゼロである場合のみＤＣ
電圧は存在しない。しかしながらセンサ装置が単極設計
であるならば、入力増幅器３の出力の静止電位はゼロと
は異なり、固定した静止値により規定され、これは以後
妨害されないものと仮定される。入力増幅器３のＤＣレ
ベルｓ０の抑圧は入力端で広いダイナミック範囲を必要
とし、それによって適切な信号増幅は第２の増幅器また
は出力回路４へ移されなければならない。回路が線形回
路であるならば、第２の動作状態ｂ２で伝送される出力
信号ｓ４は重畳されたセンサ信号ｓ２に比例する信号で
ある。しかしながら、スイッチング応用では、出力回路
４は重畳されたセンサ信号ｓ２の極性とスイッチングし
きい値とに依存するスイッチング信号ｓ４を与える比較
器である。

【００２３】ＤＣレベルｓ０の補償は設定装置５により
行われ、これもスイッチングしきい値に影響する。設定
装置５の基本部分はＤＣレベル検出器６、解析回路７、
設定装置８である。ＤＣレベル検出器６はセンサ装置の
起動中にできる限り速くＤＣレベルｓ０または類似の電
圧値ｓｍ０を発見し、このレベルまたは値を測定装置２
へ供給する。これは第１の動作状態ｂ１の期間中に行わ
れ、オン切換え検出器10が供給電圧Ｕ_Bがセンサ装置へ
接続されていることをオン切換え信号ｓｅを経て制御装
置９へ信号を送るとき制御装置９により開始される。第
１の動作状態の終了は、予め設定された時間期間ｂ１に
より、または重畳されたセンサ信号ｓ２が予め定められ
た値よりも小さくなった事実によって決定される。設定
装置５の個々の段は線形段であってもよい。ＤＣレベル
検出器６および／または追跡回路8.1 からの少なくとも
１つのＤＣレベル値は設定装置５に記憶されなければな
らないので、アナログ構造では、オンチップキャパシタ
がこれらのアナログ値を記憶するため設定装置５に設け
られなければならない。非常に低い周波数センサ信号ｓ
１がセンサ装置で感知されるので、キャパシタは小さ過
ぎてはいけない。重畳されたセンサ信号ｓ２のアナログ
デジタル変換器と、設定装置５のアナログ出力信号を形
成する少なくとも１つのデジタルアナログ変換器とを必
要とする設定装置中のデジタル処理は臨界的ではない。
内部信号処理および記憶は簡単なデジタル回路で行われ
るので複雑性の増加は正当化される。ＤＣレベル検出器
６はそのため、連続的な概算装置として設計され、これ
はＤＣレベルｓ０を非常に迅速に発見し、固定した設定
値ｓｍ０としてこの値をデジタルで記憶する。図２の実
施形態では、この設定値ｓｍ０は追跡回路8.1 により実
際の信号状態に従わされ、それ故連続的に重書きされ
る。図１の設定値ｓｍ０は基本設定を表し、基本設定は
磁界センサの場合、存在するバックバイアス磁界に対応
する。バックバイアス磁界は基本的に一定であり、それ
によって比較的小さいドリフトだけが追跡回路8.1 によ
り補償される必要がある。

【００２４】デジタル処理は解析回路７に設けられた振
幅検出器7.1 と平均装置7.2 が相対的極値を単に記憶す
ることにより行われる。極値の減算により二倍の振幅値
ａｓが与えられ、極値の加算により中間値の二倍の値が
与えられる。実際の振幅または平均値は単に係数１／２
によりスケールすることによってこれらの値から得られ
る。干渉を抑圧するために値ａｓ、ｍｓがフィルタ処理
されてもよい。

【００２５】さらに、記憶された値が予め定められた監
視期間ｔｖ２（図４参照）中に変化していないならば、
記憶された平均センサ信号値ｓｍまたはｓｍ０の変化は
制御装置９により与えられる変化信号によって行われ
る。しかしながら、内部フィルタ回路を経て相対的極値
を検出し、解析回路７でこれらの値を使用して新しい平
均値ｍｓを形成することも可能である。デジタル解決策
では、制御装置９はタイマーを含んでおり、これは勿
論、個々の時間間隔の終了を決定する。非揮発性メモリ
が設定装置のために使用されるならば、一度記憶されて
いれば値は予備的に調節するためのさらなるオン切換え
プロセスで利用可能であるので、第１の動作状態ｂ１の
時間はかなり短くされることができる。

【００２６】図２はセンサ装置の第２の実施形態を示し
ており、これは図１の実施形態と基本的に同一のサブ回
路を含んでいる。主な違いはＤＣレベルｓ０の補償と、
第１および第２の動作状態ｂ１、ｂ２におけるドリフト
補償が入力増幅器３中のみで行われることである。スイ
ッチ11により、ＤＣレベル検出器６の出力信号ｓｍ０
と、追跡回路8.1 の出力信号ｓｍはそれぞれ第１、第２
の動作状態ｂ１、ｂ２期間中に入力増幅器３の基準入力
に供給される。対応するスイッチ位置１、２はそれぞれ
第１、第２の動作状態ｂ１、ｂ２において制御装置９に
より付勢される。出力回路４が比較器として動作するな
らば、その基準入力はヒステリシス設定装置8.2 へ接続
され、ヒステリシス設定装置8.2 は振幅値ａｓの関数と
してそれぞれのヒステリシスしきい値ｓｈを設定する。

【００２７】図３はタコメータのホール効果センサの典
型的な信号波形を示したタイミング図である。チャート
ａは一定の磁界でバイアスされたギアセンサからのセン
サ信号ｓ１を示している。ＤＣレベルｓ０は例えば２０
０ｍテスラの磁界に対応し、重畳されたセンサ信号ｓ２
は約５ｍテスラの振幅に対応する。平均センサ信号値ｓ
ｍはドリフトプロセスのために僅かに増加する。図面を
明瞭にするためにドリフトプロセスを誇張して示してい
る。第１の動作状態ｂ１期間中に、測定された設定値ｓ
ｍ０はＤＣレベルｓ０まで迅速に増加し、入力増幅器３
の出力信号ｓ２はゼロに近接する。補償状態は遅くとも
瞬間ｔ１に到達し、即ち入力増幅器３の出力信号は重畳
されたセンサ信号２に対応し、それによってスイッチン
グ信号ｓ４はこの信号ｓ２から形成されることができ
る。ギアの第１、第２、第３の歯ｚ１、ｚ２、ｚ３によ
り、パルスｐ１、ｐ２、ｐ３等がトリガーされる。第１
の動作状態ｂ１中に出力信号ｓ３が不必要に前後してス
イッチされないように、信号は制御装置９または設定装
置５により固定した電圧レベルに結合され、またはいわ
ゆる３状態にされる。図３のｂでは、どの歯の区域に設
定値ｓｍ０が関連しているかにかかわりなく、固定した
中間レベルは予め設定され、それによって第１の歯ｚ１
の信号は第１のパルスｐ１をトリガーする。図３のｃの
信号波形により、第１の歯のより良好な検出が可能であ
り、ここでは第１の動作状態ｂ１で、出力信号ｓ３が有
効にゼロレベルにクランプされる。通過する第１の歯ｚ
１の前縁および後縁は、記憶された設定値ｓｍ０からの
センサ信号ｓ２の偏差により検出され、予め定められた
長さｔｉの第１のパルスｐ１' を生成する。したがって
センサ装置に接続された回路は第１の歯ｚ１についての
情報を受信する。それに続くパルスｐ２、ｐ３等は図３
のｂのように生成される。

【００２８】図４は平均センサ信号ｓｍの追跡をさらに
詳細に示したタイミング図である。第１のチャートａは
正と負の方向における幾つかの相対的極値を有する重畳
されたセンサ信号ｓ２を示している。パルスのデューテ
ィファクターにかかわりなく中間信号範囲に位置するた
め、最適な平均値は“中間値”とも呼ばれる。これを示
すため、算術的な平均値ｓｍａが示されており、これは
パルスのデューティファクターを考慮し、それ故、相対
的極値に関して非対称的である。この値ｓｍａが第１の
スイッチングしきい値として使用されるならば、小さい
干渉または雑音信号さえも誤信号出力ｓ４を開始しても
よい。図４のｂのチャートは平均センサ信号値ｓｍが、
重畳されたセンサ信号ｓ２の相対的極値の発生で変化す
る態様を誇張した形で示している。相対的極値が比較的
長時間持続するならば、平均センサ信号値ｓｍの追跡を
出力パルスｓ４の全期間中行うことは不適切である。そ
れ故、再調節が信号エッジに結合され、センサ信号ｓ２
が相対的極値に到達したときにほぼ終了する。平均装置
7.1 で形成される平均値ｍｓはＤＣレベルｓ０の補償値
として直接使用されないで、ＰＩＤ装置等の制御フィル
タにより変更される。最小の変化値は１つのＬＳＢステ
ップに対応し、変化速度は振幅値ａｓに依存してもよ
い。

【００２９】第２の動作状態ｂ２の期間中に、平均信号
値ｓｍが長い期間にわたって超過していないならば、幾
らかの妨害のためにギアは完全に静止されているか、ま
たは平均センサ信号値ｓｍは全体的に誤りである。この
場合、間隔ｔｖ２後に制御装置９により開始される第３
の動作状態は平均センサ信号レベルｓｍが漸進的に所望
の値ｓｍｓ方向に戻ることを可能にする。平均センサ信
号ｓｍが重畳されたセンサ信号ｓ２内に位置するとすぐ
に、追跡回路8.1 の通常の機能は追跡を再度行う。これ
はリセット機能のように時間間隔ｔｖ２中に行われ、そ
れによって第３の動作状態の低速度の追跡はもはや効果
的にならない。

【００３０】図１、２の実施形態は変更され、それによ
って出力段４はギアセンサに応じて出力データシーケン
ス内の情報をさらに送信するように２以上の出力レベル
を生成することができる。出力段４は切換えられた電流
シンクとして設計されてもよく、これは好ましくは２ピ
ンセンサの場合に情報転送のためそれぞれのパワー消費
を制御する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の概略ブロック図。

【図２】本発明の第２の実施形態の概略ブロック図。

【図３】幾つかの信号波形を概略的に示したタイミング
図。

【図４】平均センサ信号値を概略的に示したタイミング
図。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】供給電圧の供給によりトリガー可能な少
なくとも第１の動作状態と、第２の動作状態とを限定す
る制御装置と、第１の動作状態で、設定値により測定装置の動作範囲を
センサ信号のそれぞれのＤＣレベルに適合し、第２の動
作状態で、平均センサ信号値を決定する設定装置と、第１の動作状態で、センサ信号と独立しているが定めら
れている第１の出力信号を発生し、第２の動作状態で、
平均センサ信号値に重畳されたセンサ信号に依存してい
る第２の出力信号を発生する出力回路とを具備している
センサ装置。
【請求項２】第２の動作状態で、測定装置に結合され
ている振幅検出器が重畳されたセンサ信号の振幅を決定
することを特徴とする請求項１記載のセンサ装置。
【請求項３】振幅検出器はヒステリシスしきい値およ
び／または測定装置の利得を制御することを特徴とする
請求項２記載のセンサ装置。
【請求項４】第２の動作状態において、設定装置は第
１の時間間隔中に平均センサ信号値を変化し、その第１
の時間間隔は重畳されたセンサ信号と平均センサ信号値
との交差点で開始し、重畳されたセンサ信号の相対的極
値にほぼ達したときに終了することを特徴とする請求項
１乃至３のいずれか１項記載のセンサ装置。
【請求項５】重畳されたセンサ信号の符号の変化が予
め定められた第２の時間間隔内で生じないならば、平均
センサ信号値の変化は、制御装置により開始する第３の
動作状態において生じ、平均センサ信号値の変化の方向
は重畳されたセンサ信号または第２の出力信号の符号に
より決定されることを特徴とする請求項４記載のセンサ
装置。
【請求項６】新しい平均センサ信号値が単に存在する
平均センサ信号値と予め定められた量だけ異なっている
場合にのみ設定装置は平均センサ信号値を変化すること
を特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載のセン
サ装置。
【請求項７】平均センサ信号値および／または設定値
がチップ上のメモリ装置、特に非揮発性メモリ装置にデ
ジタル値として記憶されることを特徴とする請求項６記
載のセンサ装置。
【請求項８】設定および／または制御パラメータがチ
ップ上のメモリ装置、特に非揮発性メモリ装置にデジタ
ル値として記憶されることを特徴とする請求項７記載の
センサ装置。
【請求項９】第２の動作状態で、重畳されたセンサ信
号と、第１の動作状態で記憶された平均センサ信号値と
の偏差が最初に測定装置により検出されたとき、出力回
路は第２の出力信号として予め定められた時間幅のパル
スを出力することを特徴とする請求項１記載のセンサ装
置。
【請求項１０】ヒステリシスしきい値は記憶された値
として予め設定され、第２の動作状態で、このヒステリ
シスしきい値は振幅値の関数として変更されることを特
徴とする請求項３記載のセンサ装置。