JPH0828563A - 磁気軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ノイズシールド等を設けることなく、回転軸
の位置検出がインバータのスイッチングノイズの影響を
受けることを未然に防止する。 【構成】 クロックパルスをカウンタ１２によりカウン
トしてカウント値を読み出しアドレスとしてメモリ１３
に与えて高周波電圧を１対のコイル１６に印加し、両コ
イル１６の端子間電圧のピーク値をピークホールド回路
により検出し、減算器１８により差電圧を得てＰＩＤ制
御部２０を介してＰＷＭ制御部２１に指令電圧を与え
て、電磁石アンプインバータ２２により電磁石２３を動
作させるに当って、カウンタ１２からタイミングパルス
をＰＷＭ制御部２１，２４に供給してスイッチング動作
の始期を設定し、ＰＷＭ制御部２１，２４に設定され得
る値の上限値を予め設定してスイッチング動作の終期を
規定し、スイッチング動作を行なわない期間にのみ位置
検出を行なわせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は磁気軸受装置に関し、
さらに詳細にいえば、ターボ分子ポンプ等のように超高
速で回転する回転体の回転軸を非接触で支持するための
磁気軸受装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、超高速で回転する回転体の回
転軸を非接触で支持するための磁気軸受装置の研究開発
が行なわれている。従来の磁気軸受装置は、回転軸を挟
んで少なくとも１対のコイルを互いに対向した状態で配
置してあるとともに、これらのコイルのそれぞれに近接
する位置に電磁石を配置してあり、コイルに高周波信号
を加え（コイルに高周波電流を流し、または抵抗を介し
て高周波電圧を印加し）、対となる２つのコイルの端子
間電圧をそれぞれ測定し、両端子間電圧の差を算出して
回転軸の位置を検出する。そして、検出した回転位置に
より得られる回転軸の変位量を補償すべく電磁石を動作
させて、回転軸を予め設定してある回転軸保持位置に復
帰させる。

【０００３】ここで、電磁石を駆動するためにリニア増
幅器を採用する方法と、パルス幅変調増幅器を採用する
方法とが考えられるが、省電力化の観点からはパルス幅
変調増幅器を採用することが好ましい。もちろん、回転
軸を有する回転体を駆動するためには、制御性、効率等
を考慮してモータインバータを採用することが好まし
い。

【０００４】上記の磁気軸受装置を採用した場合には、
そのままでは、パルス幅変調増幅器、モータインバータ
から発生するスイッチングノイズの影響をコイルが受け
てしまうため、例えば、実開平３−３３２１９号公報に
示すように、磁気軸受用のセンサおよび電磁石の各Ｎ・
Ｓ極を１つのペアとして突出する磁極をコアに複数形成
し、その１つのペアとなる磁極の巻線を施した突出部に
対して、金属からなるショートリングを巻回してノイズ
をシールドするようにしている。

【０００５】また、上記２つのコイルの端子間電圧をそ
れぞれ検波器により検波した後に、両検波器からの検波
出力を減算器に供給して差電圧を得、増幅器に供給して
オフセット、ゲイン調整を行ない、さらにノッチフィル
タに供給することにより高調波成分を除去する構成も提
案されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、実開平３−３
３２１９号公報に示すようなノイズシールドを施す場合
には、ノイズシールドのためにショートリングを特別に
設けることが必要になり、構成が複雑化するとともに、
コストアップを招いてしまう。また、ショートリングの
形状、装着位置、装着状態等によっては十分なノイズシ
ールド効果を達成できない可能性が高い。特に、回転軸
とコイルとの距離に依存してコイルのインピーダンスが
変化することを利用して位置検出を行なう関係上、全方
位に対するノイズシールドを完全に達成することは不可
能である。

【０００７】したがって、コイルの端子間電圧には、回
転軸の位置変化に対応するインピーダンス変化により発
生する位置検出用の信号成分のほかに、モータの漏れ磁
束、電磁石用のパルス幅変調増幅器による誘起電圧等の
ノイズ成分が含まれることになり、コイルの端子間電圧
を直接検波して信号成分を得ようとしても、ノイズ成分
が含まれた検波出力しか得ることができない。この結
果、回転軸の位置検出精度が低下してしまい、ひいて
は、回転軸の保持位置が当初の設定値からずれてしま
い、最悪の場合には、回転軸の一部が固定部分に接触し
て、装置の破壊を招くことになる。

【０００８】上記後者の構成を採用した場合には、ノッ
チフィルタを特別に設けなければならず、構成が複雑化
してしまう。

【０００９】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、ノイズシールドのための特別の機械的構
成を設けることなく、ノイズの影響を受けない高精度の
位置検出を行ない、ひいては回転軸の位置を高精度に制
御することができる磁気軸受装置を提供することを目的
としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項１の磁気軸受装置は、コイルの信号のピー
ク近傍において電磁石用インバータおよび／またはモー
タインバータのスイッチングを禁止するスイッチング禁
止手段を有している。請求項２の磁気軸受装置は、磁性
体からなる回転軸を挟んで互いに対向する状態で複数対
のコイルを配置し、各対のコイルに対応して誘導型位置
検出装置および電磁石を有し、誘導型位置検出装置によ
る回転軸の位置検出信号を順次選択して対応する電磁石
に供給する選択手段をさらに有している。

【００１１】

【作用】請求項１の磁気軸受装置であれば、誘導型位置
検出装置において、回転体の、磁性体からなる回転軸を
挟んで互いに対向する状態で配置された１対のコイルに
高周波信号を加え、両コイルの信号を測定することによ
り回転軸の位置を検出する。そして、誘導型位置検出装
置により回転軸の位置が検出されたことに応答して、回
転軸の両コイルに対する相対位置を設定位置にすべく電
磁石を駆動することにより、回転軸の位置を制御する。
この場合において、コイルの信号のピーク近傍において
スイッチング禁止手段により電磁石用インバータおよび
／またはモータインバータのスイッチングを禁止するの
で、回転軸の位置検出時に、スイッチングに起因する誘
起電圧等のノイズ成分がコイルの信号に重畳されるとい
う不都合の発生を未然に防止でき、回転軸の位置検出を
高精度に達成できる。そして、この位置検出結果に応答
して電磁石を駆動することにより回転軸を高精度に位置
決めし、非接触状態での回転軸保持を達成することがで
きる。請求項２の磁気軸受装置であれば、磁性体からな
る回転軸を挟んで互いに対向する状態で複数対のコイル
を配置し、各対のコイルに対応して誘導型位置検出装置
および電磁石を有し、誘導型位置検出装置による回転軸
の位置検出信号を順次選択して対応する電磁石に供給す
る選択手段をさらに有しているので、１対ずつのコイル
および対応する誘導型位置検出装置により、回転軸の位
置検出信号を得ることができる。そして、これらの位置
検出信号を選択手段により順次選択して対応する電磁石
に供給することにより、回転軸の位置決めを達成するこ
とができる。

【００１２】したがって、位置検出信号をデジタル信号
に変換した後に必要なデータ処理を行なうような場合
に、変換処理、データ処理を行なうための装置を１系統
分だけにすることができ、磁気軸受装置全体としての構
成を簡素化することができる。

【００１３】

【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発
明を詳細に説明する。図１はこの発明の磁気軸受装置の
一実施例を示すブロック図、図２は回転軸とコイルとの
関係を示す概略図である。この磁気軸受装置において、
発振器１１からの出力をカウンタ１２に供給し、カウン
タ１２の出力を読み出しアドレスとしてＲＯＭ等からな
るメモリ１３に供給することによりコイル励振用の正弦
波に相当するデジタル信号を出力し、Ｄ／Ａ変換器１４
および抵抗１５を介してコイル１６に供給している。
尚、ここで、コイル１６は、図２に示すように、回転軸
１０を挟んで互いに対向配置されており、それぞれのコ
イル１６に対して抵抗１５が直列接続されている。そし
て、各コイル１６の端子間電圧を増幅器１７ａ、スイッ
チ１７ｂおよびダイオード１７ｃを介してコンデンサ１
７ｄに供給してピーク電圧を検出して保持し、両ピーク
電圧を減算器１８に供給して差電圧を得、オフセット・
ゲイン調整用の増幅器１９ａを介してＡ／Ｄ変換器１９
に供給してデジタル信号を得る。そして、このデジタル
信号をＰＩＤ制御部２０を介して電磁石用の各ＰＷＭ制
御部２１に供給し、各ＰＷＭ制御部２１からの出力を各
電磁石アンプインバータ２２に供給して、各コイル１６
に対応して配置された電磁石２３をそれぞれ駆動してい
る。また、図示しない制御回路から出力される回転動作
目標値を入力とするモータ用のＰＷＭ制御回路２４から
の出力をモータインバータ２５に供給してターボ分子ポ
ンプ等用のモータ２６を駆動している。上記カウンタ１
２は発振器１１からの信号をカウントしてカウント信号
を出力するほか、所定のカウント値に対応するタイミン
グでＰＷＭ制御部用のタイミングパルスを出力する。

【００１４】上記電磁石用のＰＷＭ制御部２１は、カウ
ンタ２１ａ、コンパレータ２１ｂおよびレジスタ２１ｃ
を有している。ここで、カウンタ２１ａはカウンタ１２
から出力されるタイミングパルスによりリセットされ、
その後は発振器１１の出力をカウントするものである。
また、図示しない制御部によりパルス幅設定用の値と所
定の上限値との大小を監視し、何れか小さい方をレジス
タ２１ｃに格納する。そして、コンパレータ２１ｂは、
レジスタ２１ｃからの出力がカウンタ２１ａの出力より
も大きい場合にのみハイレベルの比較結果信号を出力す
る。電磁石アンプインバータ２３は、コンパレータ２１
ｂがハイレベルの比較結果信号を出力していることに応
答してインバータ動作を行なう。

【００１５】上記モータ用のＰＷＭ制御部２４は、カウ
ンタ２４ａ、コンパレータ２４ｂおよびレジスタ２４ｃ
を有している。ここで、カウンタ２４ａはカウンタ１２
から出力されるタイミングパルスによりリセットされ、
その後は発振器１１の出力をカウントするものである。
また、図示しない制御部により制御目標値と所定の上限
値との大小を監視し、何れか小さい方をレジスタ２４ｃ
に格納する。そして、コンパレータ２４ｂは、レジスタ
２４ｃからの出力がカウンタ２４ａの出力よりも大きい
場合にのみハイレベルの比較結果信号を出力する。モー
タインバータ２５は、コンパレータ２４ｂがハイレベル
の比較結果信号を出力していることに応答してインバー
タ動作を行なう。

【００１６】また、電源１７ｅとスイッチ１７ｆとの直
列回路をコンデンサ１７ｄと並列接続してピークホール
ド解除回路を構成している。したがって、上記電源１７
ｅの電圧は、コイル１６の端子間電圧を増幅器１７ａに
より増幅して得た値の最小値よりも小さい値に設定して
おかなければならない。さらに、コイル１６の端子電圧
のピーク値付近の期間に合せた所定の設定値がレジスタ
１７ｉ，１７ｊにより基準値として与えられているコン
パレータ１７ｇ，１７ｈにカウンタ１２の出力を供給
し、コンパレータ１７ｇの出力信号によりスイッチ１７
ｂを制御し、コンパレータ１７ｈの出力によりスイッチ
１７ｆを制御している。具体的には、例えば、コンパレ
ータ１７ｇには、ピーク値の時刻を含む所定の期間に合
せた所定の設定値がレジスタ１７ｉにより基準値として
与えられているので、ピーク値の時刻を含む所定の期間
においてスイッチ１７ｂをＯＮにする信号を出力し（ス
イッチ１７ｂの状態を示す図４中Ｉ参照）、コンパレー
タ１７ｈには、ピーク値の時刻を含む所定の期間の直前
における所定の期間にスイッチ１７ｆをＯＮにする信号
を出力する（スイッチ１７ｆの状態を示す図４中Ｊ参
照）。したがって、スイッチ１７ｂをＯＮにし、スイッ
チ１７ｆをＯＦＦに設定することにより、コンデンサ１
７ｄへの充電、即ちピークホールド動作を行なうことが
でき（図３中Ａの領域Ｒ１参照）、両スイッチ１７ｂ，
１７ｆを共にＯＦＦに設定することによりピーク値を保
持し続けることができ（図３中Ａの領域Ｒ２参照）、ス
イッチ１７ｂをＯＦＦにし、スイッチ１７ｆをＯＮに設
定することにより、コンデンサ１７ｄの端子間電圧を電
源１７ｅの電圧と等しくし、これによりピーク値の保持
を解消することができる（図３中Ａの領域Ｒ３参照）。
もちろん、図３中の領域Ｒ２，Ｒ３に対応する期間は、
新たなピーク値を検出して保持するピークホールド動作
を全く行わないのであるから、これらの期間に電磁石ア
ンプインバータ２２、モータインバータ２５のスイッチ
ングノイズが発生しても、コンデンサ１７ｄの端子間電
圧には何ら影響を及ぼさない。逆に、図３中の領域Ｒ１
に対応する期間は、ピークホールド動作を行なっている
が、上述のようにレジスタ２１ｃ，２４ｃに保持する値
の上限値が設定されているのであるから、この期間より
前の任意のタイミングにおいて電磁石アンプインバータ
２２、モータインバータ２５のスイッチングを禁止し、
スイッチングノイズの影響を全く受けない状態でのピー
クホールド動作を行うことができる。

【００１７】上記の構成の磁気軸受装置の作用は次のと
おりである。図２中ＡまたはＢに示すように、回転軸１
０が一方のコイル１６に接近すれば、図３中Ａ，Ｂ、ま
たは図３中Ｃ，Ｄに示すように、回転軸に近い側のコイ
ル１６の端子間電圧の振幅が、他方のコイル１６の端子
間電圧の振幅よりも大きくなる。但し、以下の説明にお
いては、図２中Ａおよび図３中Ａ，Ｂに対応する場合を
説明する。

【００１８】発振器１１から図４中Ａに示すクロック信
号が出力されれば、カウンタ１２においてクロック信号
のカウントを行なうので、図４中Ｂに示すカウント信号
を出力し、読み出しアドレスとしてメモリ１３に供給す
る。そして、メモリ１３からの読み出し値をＤ／Ａ変換
器１４によってアナログ信号に変換して、図４中Ｃに示
す正弦波励振信号を得、それぞれ抵抗１５を介してコイ
ル１６に印加する。したがって、各コイル１６の端子間
電圧は、図３中Ａ，Ｂに示すとおりになる。尚、回転軸
１０に対するコイル１６の距離が変化すれば、抵抗およ
びインダクタンスの双方が変化するので、コイル１６の
端子間電圧の振幅が変化するだけではなく、位相も変化
する（ここで、位相の変化量は、約１０°以下であ
る）。しかし、各コイル１６の端子間電圧はそれぞれピ
ークホールド回路（増幅器１７ａ、スイッチ１７ｂ、ダ
イオード１７ｃおよびコンデンサ１７ｄで構成される回
路）に供給されるのであるから、位相のずれに拘らず、
ピーク値が検出でき、コンデンサ１７ｄの端子間電圧と
して保持できることになる（図３中Ａ，Ｂにおける破線
参照）。

【００１９】検出された両ピーク値が減算器１８に供給
されることにより、図４中Ｄに示すように、回転軸１０
の変位量に比例する差電圧が得られる。即ち、回転軸１
０の変位量とコイル１６のインピーダンスとの関係は図
５中Ａ，Ｂ（Ａは変位量とインピーダンスとの関係、Ｂ
は変位量と抵抗、インダクタンスとの関係をそれぞれ示
している）に示すように非線形であるが、減算器１８に
より差電圧を得れば、変位量に比例する差電圧を得るこ
とができるのである。したがって、この差電圧をオフセ
ット・ゲイン調整用の増幅器１９ａ、Ａ／Ｄ変換器１９
およびＰＩＤ制御部２０を介してＰＷＭ制御部２１に供
給することにより、パルス幅設定用の値が設定される。

【００２０】他方、カウンタ１２のカウント値が所定の
値に達したタイミングで図４中Ｅに示すタイミングパル
スが出力され、ＰＷＭ制御部２１にリセット信号として
供給される。したがって、ＰＷＭ制御部２１のカウンタ
２１ａが、発振器１１から出力されるクロックパルスの
カウントを開始する（図４中Ｆ参照）。また、ＰＷＭ制
御部２１のレジスタ２１ｃにはパルス幅設定用の値の上
限値が予め設定されているのであるから、ＰＩＤ制御部
２０等を通してＰＷＭ制御部２１に供給されるパルス幅
設定用の値が上記上限値（図４中Ｆの一点鎖線参照）を
越える場合には、レジスタ２１ｃには上記上限値が設定
され、カウンタ２１ａのカウント値が上記上限値を越え
ない範囲内においてのみコンパレータ２１ｂがハイレベ
ルの比較結果信号を出力する（図４中Ｇ参照）。もちろ
ん、ＰＩＤ制御部２０等を通してＰＷＭ制御部２１に供
給されるパルス幅設定用の値が上記上限値を越えない場
合には、レジスタ２１ｃにはパルス幅設定用の値が設定
され、図４中Ｈに示すように、パルス幅設定用の値に対
応する期間だけハイレベルの信号を出力する。したがっ
て、センサ１６の端子電圧のピーク値の時刻を含む所定
の期間（コイル１６の端子電圧のピーク値に対応して定
まる期間であり、図４中Ｇ，Ｈにおけるローレベルの期
間を参照）において電磁石アンプインバータ２２のスイ
ッチングを禁止することができる。

【００２１】この結果、ハイレベルの信号の出力期間
（位置検出を行わない期間）に対応して電磁石アンプイ
ンバータ２２をスイッチングさせて電磁石２３を動作さ
せることができ、電磁石２３により回転軸１０の変位量
を減少させることができる。また、カウンタ１２のカウ
ント値が所定の値に達したタイミングで図４中Ｅに示す
タイミングパルスが出力され、ＰＷＭ制御部２４にリセ
ット信号として供給される。したがって、ＰＷＭ制御部
２４のカウンタ２４ａが、発振器１１から出力されるク
ロックパルスのカウントを開始する（図４中Ｆ参照）。
また、ＰＷＭ制御部２４のレジスタ２４ｃにはパルス幅
設定用の値の上限値が予め設定されているのであるか
ら、ＰＷＭ制御部２４に供給されるパルス幅設定用の値
（制御目標値）が上記上限値を越える場合であっても、
カウンタ２４ａのカウント値が上記上限値を越えない範
囲内においてのみコンパレータ２４ｂがハイレベルの比
較結果信号を出力する。もちろん、ＰＷＭ制御部２４に
供給されるパルス幅設定用の値が上記上限値を越えない
場合には、パルス幅設定用の値に対応する期間だけハイ
レベルの信号を出力する。したがって、センサ１６の端
子電圧のピーク値の時刻を含む所定の期間（コイル１６
の端子電圧のピーク値に対応して定まる期間）において
モータインバータ２５のスイッチングを禁止することが
できる。

【００２２】この結果、ハイレベルの信号の出力期間
（位置検出を行わない期間）に対応してモータインバー
タ２５をスイッチングさせてモータ２６を動作させるこ
とができる。また、電磁石アンプインバータ２２および
モータインバータ２５がスイッチングを開始した当初か
らスイッチ１７ｂ，１７ｆが共にＯＦＦであり、新たな
ピーク値の検出は行わないが、既に検出したピーク値の
保持を行っている。そして、両インバータ２２，２５が
スイッチングを行なう可能性がある期間の終期近傍にお
いてスイッチ１７ｆのみがＯＮになり、ピーク値の保持
を解消する。その後、両インバータ２２，２５がスイッ
チングを行う可能性がない期間においてスイッチ１７ｂ
がＯＮになり、スイッチ１７ｆがＯＦＦになるので、ス
イッチングノイズの影響を全く受けない状態でピークホ
ールド動作を行うことができる。

【００２３】以上の説明から明らかなように、カウンタ
１２がカウントを開始した後の所定期間、およびカウン
タ１２がカウントアップする前の所定期間は電磁石アン
プインバータ２２およびモータインバータ２５のスイッ
チングが禁止されるのであるから、コイル１６の端子間
電圧のピーク値を検出するために必要な期間における上
記スイッチングを禁止することができ、この結果、ノイ
ズシールド、フィルタ等を特別に設けることなく、スイ
ッチングノイズの影響を受けない高精度の回転軸位置検
出を行なうことができ、この回転軸位置検出結果に応じ
て電磁石２３を動作させることにより、回転軸を非接触
で高精度に位置決め保持することができる。

【００２４】尚、この実施例においては、電磁石アンプ
インバータ２３、モータインバータ２６のスイッチング
許容範囲が制限されるので、そのままではインバータ制
御期間の減少による出力の低下を招くことになるが、こ
のような出力の低下を補償し得るように例えば電源電圧
を高く設定しておくことにより、出力低下という不都合
を未然に防止することができる。

【００２５】

【実施例２】図６はこの発明の磁気軸受装置の他の実施
例の要部を示すブロック図であり、複数系統の回転軸位
置検出を行なう部分のみを示している。但し、図６にお
いてセンサ検出部ＳＤは、図１における発振器１１から
減算器１８までを含む部分を示している。また、ＰＩＤ
制御部、ＰＷＭ制御部、電磁石アンプインバータ、電磁
石はセンサ検出部ＳＤに対応して設けられているが、図
示を省略してある。

【００２６】この実施例においては、回転軸１０の軸方
向の互いに異なる所定位置のそれぞれに対応させて複数
対のコイル１６を、互に所定角度回転対称状態で配置し
てある。そして、各対毎のコイル１６に対応してセンサ
検出部ＳＤが設けられている。それら複数のセンサ検出
部ＳＤは、セレクタＳＬにより順次検出信号が選択さ
れ、選択された検出信号がオフセット・ゲイン調整用の
増幅器１９ａを介してＡ／Ｄ変換器１９に供給されてい
る。尚、各センサ検出部ＳＤにおける、読み出しアドレ
ス発生用のカウンタのカウント開始時期を、他のセンサ
検出部ＳＤにおける、読み出しアドレス発生用のカウン
タのカウント開始時期と異ならせている。したがって、
各センサ検出部ＳＤにおいてコイル１６の端子間電圧の
ピーク値を検出するタイミングが互いに異なることにな
り、セレクタＳＬにより上記タイミングに対応させてセ
ンサ検出部ＳＤを選択することにより、順次回転軸１０
の位置を検出することができる。この結果、順次選択さ
れる回転軸１０の位置に応じて該当する電磁石２３を動
作させることにより、回転軸１０を非接触で位置決めす
ることができる。この結果、オフセット・ゲイン調整用
の増幅器１９ａ、Ａ／Ｄ変換器１９等を１系統分だけ設
けて全てのセンサ検出部ＳＤにより共用させることがで
き、磁気軸受装置全体としての構成を簡素化することが
できる。

【００２７】尚、上記の実施例においては、電磁石２３
およびモータ２３を共にインバータで制御しているが、
電磁石２３またはモータ２３のみをインバータで制御す
る磁気軸受装置を採用する場合には、インバータで制御
を行う側のみに上記ＰＷＭ制御部を設ければよい。

【００２８】

【発明の効果】請求項１の発明は、回転軸の位置検出時
に、スイッチングに起因する誘起電圧等のノイズ成分が
コイルの端子間電圧に重畳されるという不都合の発生を
未然に防止して、回転軸の位置検出を高精度に達成で
き、ひいては、この位置検出結果に応答してパルス幅変
調増幅器により電磁石を駆動することにより回転軸を高
精度に位置決めし、非接触状態での回転軸保持を達成す
ることができるという特有の効果を奏する。

【００２９】請求項２の発明は、位置検出信号をデジタ
ル信号に変換するための変換処理、データ処理を行なう
ための装置を１系統分だけにすることができ、磁気軸受
装置全体としての構成を簡素化することができるという
特有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の磁気軸受装置の一実施例を示すブロ
ック図である。

【図２】回転軸とコイルとの関係を示す概略図である。

【図３】両コイルの端子間電圧波形を示す図である。

【図４】図１の磁気軸受装置の各部の信号波形を示す図
である。

【図５】回転軸の変位量とコイルのインピーダンスとの
関係を示す図である。

【図６】この発明の磁気軸受装置の他の実施例の要部を
示すブロック図である。

【符号の説明】

１０ 回転軸 １２ カウンタ １６ コイル ２１，２４ ＰＷＭ制御部 ２２ 電磁石アンプインバータ ２３ 電磁石 ２５ モータインバータ ＳＤ センサ検出部 ＳＬ セレクタ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁性体からなる回転体の回転軸（１０）
   を挟んで互いに対向する状態で配置された１対のコイル
   （１６）に高周波信号を加え、両コイル（１６）の信号
   を測定することにより回転軸（１０）の位置を検出する
   誘導型位置検出装置（ＳＤ）と、誘導型位置検出装置
   （ＳＤ）により回転軸（１０）の位置が検出されたこと
   に応答して、回転軸（１０）の両コイル（１６）に対す
   る相対位置を設定位置にすべく駆動される電磁石（２
   ３）とを有する磁気軸受装置において、コイル（１６）
   の信号のピーク近傍において電磁石用インバータ（２
   ２）および／またはモータインバータ（２５）のスイッ
   チングを禁止するスイッチング禁止手段（１２）（２
   １）（２４）を有していることを特徴とする磁気軸受装
   置。
2. 【請求項２】 磁性体からなる回転軸（１０）を挟んで
   互いに対向する状態で複数対のコイル（１６）を配置
   し、各対のコイル（１６）に対応して誘導型位置検出装
   置（ＳＤ）および電磁石（２３）を有し、誘導型位置検
   出装置（ＳＤ）による回転軸（１０）の位置検出信号を
   順次選択して対応する電磁石（２３）に供給する選択手
   段（ＳＬ）をさらに有している請求項１に記載の磁気軸
   受装置。