JPH11226883A - センサー機構およびそれを用いた搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 真空雰囲気内の使用に適した小型で安価な搬
送ロボットを提供すること。 【解決手段】 搬送ロボット10は、ウエハを搬送する搬
送部34,40a,40bと、搬送部34,40a,40bを駆動するための
シャフト32,52a,52bと、シャフト32,52a,52bに接続さ
れ、搬送部34,40a,40bを駆動するためのモータ86,96a,9
6bと、モータ86,96a,96bによるシャフト32,52a,52bの回
転に対応して所定の範囲を往復動するレバー103,104,10
5と、搬送部34,40a,40bの回転移動の範囲を規定するた
めに、レバー103,104,105の移動範囲を規定するセンサ
ー部106a,106b,107a,107b,108a,108bとを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、センサー機構、具
体的には半導体ウェハや液晶ディスプレー（ＬＣＤ）基
板等の被処理体を搬送する搬送ロボット、特にこれら被
処理体を真空雰囲気内で取り扱う場合に用いられるダブ
ルハンド型の搬送ロボットに好適なセンサー機構、およ
びそのようなセンサー機構を用いた搬送ロボットに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハやＬＣＤ基板等の被処理体
を、化学蒸着（ＣＶＤ）装置、拡散装置、レジスト塗布
装置等の処理装置内で搬送するため、あるいはこれら装
置に対して搬送するため、搬送ロボットが使用される。
この種の搬送ロボットには、高いスループットを維持し
ながら正確な動作を行うことが要求される。また、特に
ロードロックチャンバー内等の真空雰囲気に設置される
搬送ロボットに対しては、さらに、小型であることや、
クリーンな環境を維持することが要求される。

【０００３】図８および図９は半導体ウェハの搬送に使
用される従来の典型的なダブルハンド型の搬送ロボット
を示す平面図および部分縦断側面図である。

【０００４】この搬送ロボットにおいては、シャフト１
１２を中心として回転可能な支持プレート１１４上に、
左右対称となるように第１および第２のハンドラ１１
６，１１８が配設される。各ハンドラ１１６，１１８
は、互いに軸支された基端アーム１２２、中間アーム１
２４および先端アーム１２６を組み合わせた多関節アー
ム構造を有する。先端アーム１２６の自由端部には半導
体ウェハＷを載置するためのハンド１２８が形成され
る。基端アーム１２２は支持プレート１１４下に延びる
中空シャフト１３２を介して駆動され、また、中間アー
ム１２４および先端アーム１２６は中空シャフト１３２
に延びるシャフト１３４を介して駆動される。

【０００５】このように、図８および図９に示した従来
の搬送ロボットは、支持プレート１１４を通る５つの回
転軸、すなわち、支持プレート１１４用の１軸、第１お
よび第２ハンドラ１１６，１１８の基端アーム１２２用
の２軸、第１および第２ハンドラ１１６，１１８の中間
アーム１２４および先端アーム１２６用の２軸を有す
る。

【０００６】これら支持プレート１１４、第１および第
２ハンドラ１１６，１１８の基端アーム１２２、中間ア
ーム１２４、先端アーム１２６の駆動はコントローラに
より制御されるが、この場合に、これらの基準位置およ
び限界位置をセンサーにより検出する必要がある。

【０００７】このため、従来は、これらを駆動するため
の各回転軸に取り付けられたギアにリミットスイッチを
固定し、これにより基準位置および限界位置を検出する
方式を採用している。

【０００８】しかしながら、この場合には、リミットス
イッチの配置の都合上、各軸の回転範囲は３３０度が限
度であり、したがって支持プレート１１４、第１および
第２ハンドラ１１６，１１８の基端アーム１２２、中間
アーム１２４、先端アーム１２６の旋回量にも限界があ
り、アームを全ての方向にアクセスすることは不可能で
ある。

【０００９】また、このように５軸を有する搬送ロボッ
トを真空雰囲気内で使用する場合には、各軸ごとに気密
なシール構造、例えば磁性流体シールを設けることが必
要となり、しかも、これらのシール構造は、それ自体が
回転する支持プレート１１４に取り付ける必要がある。
このため、この搬送ロボットを真空雰囲気内で使用する
ことは、スペースやコストの観点から問題があるととも
に、真空雰囲気内のクリーンな環境の維持という点でも
信頼性に欠ける。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる事情
に鑑みてなされたものであり、装置をあらゆる方向にア
クセス可能にすることができるセンサー機構、およびこ
のようなセンサー機構を用いた搬送ロボットを提供する
ことを目的とする。また、このようなセンサー機構を有
するとともに、真空雰囲気内での使用に適した小型で安
価な搬送ロボットを提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、第１発明は、駆動源による回転駆動力を、シャフト
を介して伝達して部材を駆動する機構を有する装置に用
いられるセンサー機構であって、前記駆動源による前記
シャフトの回転に対応して所定の範囲を往復動する移動
部材と、前記部材の回転移動の範囲を規定するために、
前記移動部材の移動範囲を規定するセンサー部とを具備
することを特徴とするセンサー機構を提供する。

【００１２】第２発明は、第１発明のセンサー機構にお
いて、前記シャフトの回転にともなって回転し、その面
に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝を有するカ
ム部材をさらに具備し、前記移動部材は、前記カム部材
の溝に係合する突出部と、基準に対して軸止された支点
部と、前記センサー部により検出される先端部とを有す
ることを特徴とするセンサー機構を提供する。

【００１３】第３発明は、第１または第２発明のセンサ
ー機構において、前記センサー部は、前記移動部材の移
動範囲の両端側に設けられた一対の位置センサーを有す
ることを特徴とするセンサー機構を提供する。

【００１４】第４発明は、被搬送体を搬送する搬送部
と、前記搬送部を駆動するためのシャフトと、前記シャ
フトに接続され、前記搬送部を駆動するための駆動源
と、前記駆動源による前記シャフトの回転に対応して所
定の範囲を往復動する移動部材と、前記搬送部の回転移
動の範囲を規定するために、前記移動部材の移動範囲を
規定するセンサー部とを具備することを特徴とする搬送
ロボットを提供する。

【００１５】第５発明は、第４発明の搬送ロボットにお
いて、前記シャフトの回転にともなって回転し、その面
に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝を有するカ
ム部材をさらに具備し、前記移動部材は、前記カム部材
の溝に係合する突出部と、基準に対して軸止された支点
部と、前記センサー部により検出される先端部とを有す
ることを特徴とする搬送ロボットを提供する。

【００１６】第６発明は、前記第４または第５発明の搬
送ロボットにおいて、前記センサー部は、前記移動部材
の移動範囲の両端側に設けられた一対の位置センサーを
有することを特徴とする搬送ロボットを提供する。

【００１７】第７発明は、支持プレートを貫通するとと
もに、これに軸受けされたベースカラムと、前記ベース
カラム上に支持された共通フレームと、共通フレームに
回転可能に支持された第１および第２アーム部と、前記
第１および第２アーム部をそれぞれ駆動するための第１
および第２駆動シャフトと、前記ベースカラムを介して
前記共通フレームを回転駆動するため、前記ベースカラ
ムに接続された共通駆動源と、前記第１駆動シャフトに
接続され、前記第１アーム部を駆動するための第１駆動
源と、前記第２駆動シャフトに接続され、前記第２アー
ム部を駆動するための第２駆動源と、前記共通駆動源に
よる前記ベースカラムの回転に対応して所定の範囲を往
復動する主移動部材と、前記共通フレームの回転移動の
範囲を規定するために、前記主移動部材の移動範囲を規
定する主センサー部と、前記第１駆動源による前記第１
駆動シャフトの回転に対応して所定の範囲を往復動する
第１移動部材と、前記第１アーム部の回転移動範囲を規
定するために、前記第１移動部材の移動範囲を規定する
第１センサー部と、前記第２駆動源による前記第２駆動
シャフトの回転に対応して所定の範囲を往復動する第２
移動部材と、前記第２アーム部の回転移動範囲を規定す
るために、前記第２移動部材の移動範囲を規定する第２
センサー部とを具備することを特徴とする搬送ロボット
を提供する。

【００１８】第８発明は、支持プレートを貫通するとと
もに、これに軸受けされたベースカラムと、前記ベース
カラム上に支持された共通フレームと、動力伝達用の第
１および第２中間軸構造を介して前記共通フレームに回
転可能にそれぞれ接続された第１および第２中間アーム
と、動力伝達用の第１および第２先端軸構造を介して前
記第１および第２中間アームの自由端部に回転可能にそ
れぞれ接続された第１および第２先端アームと、前記ベ
ースカラム内を通って前記共通フレームに至るように、
前記ベースカラムに対して同軸状に設けられ、一方が前
記ベースカラムに軸受けされるとともに他方が一方の中
に同軸状にかつ相対的に回転可能に配置された動力伝達
用の第１および第２駆動シャフトと、前記第１駆動シャ
フトおよび前記第１中間軸構造間、ならびに前記第２駆
動シャフトおよび前記第２中間軸構造間でそれぞれ動力
を伝達するため、前記共通フレーム内に配置された第１
および第２上流側伝達手段と、前記第１中間軸構造およ
び前記第１先端軸構造間、ならびに前記第２中間軸構造
および前記第２先端軸構造間でそれぞれ動力を伝達する
ため、前記第１および第２中間アーム内にそれぞれ配設
された第１および第２下流側伝達手段と、前記ベースカ
ラムを介して前記共通フレームを回転駆動するため、前
記ベースカラムに接続された共通駆動源と、前記第１中
間アームおよび第１先端アームを回転駆動するため、前
記第１駆動シャフトに接続された第１駆動源と、前記第
２中間アームおよび第２先端アームを回転駆動するた
め、前記第２駆動シャフトに接続された第２駆動源と、
前記共通駆動源による前記ベースカラムの回転に対応し
て所定の範囲を往復動する主移動部材と、前記共通フレ
ームの回転移動の範囲を規定するために、前記主移動部
材の移動範囲を規定する主センサー部と、前記第１駆動
源による前記第１駆動シャフトの回転に対応して所定の
範囲を往復動する第１移動部材と、前記第１アーム部の
回転移動範囲を規定するために、前記第１移動部材の移
動範囲を規定する第１センサー部と、前記第２駆動源に
よる前記第２駆動シャフトの回転に対応して所定の範囲
を往復動する第２移動部材と、前記第２アーム部の回転
移動範囲を規定するために、前記第２移動部材の移動範
囲を規定する第２センサー部とを具備することを特徴と
する搬送ロボットを提供する。

【００１９】第９発明は、第７または第８発明の搬送ロ
ボットにおいて、前記ベースカラムの回転にともなって
回転し、その面に回転方向に沿って形成された渦巻き状
の溝を有する主カム部材と、前記第１駆動シャフトの回
転にともなって回転し、その面に回転方向に沿って形成
された渦巻き状の溝を有する第１カム部材と、前記第２
駆動シャフトの回転にともなって回転し、その面に回転
方向に沿って形成された渦巻き状の溝を有する第２カム
部材とをさらに具備し、前記主移動部材は、前記主カム
部材の溝に係合する突出部と、前記支持プレートに対し
て軸止された支点部と、前記主センサー部により検出さ
れる先端部とを有し、前記第１移動部材は、前記第１カ
ム部材の溝に系合する突出部と、前記支持プレートに対
して軸止された支点部と、前記第１センサー部により検
出される先端部とを有し、前記第２移動部材は、前記第
２カム部材の溝に系合する突出部と、前記支持プレート
に対して軸止された支点部と、前記第２センサー部によ
り検出される先端部とを有することを特徴とする搬送ロ
ボットを提供する。

【００２０】第１０発明は、第７ないし第９発明のいず
れかの搬送ロボットにおいて、前記主センサー部、前記
第１センサー部、および前記第２センサー部は、それぞ
れ主移動部材、第１移動部材、第２移動部材の移動範囲
の両端側に設けられた一対の位置センサーを有すること
を特徴とする搬送ロボットを提供する。

【００２１】第１１発明は、第１０発明の搬送ロボット
において、前記主移動部材の前記先端部に固定されると
ともに、前記第１センサー機構の一対の位置センサーお
よび前記第２センサー機構の一対の位置センサーが固定
された固定部材をさらに具備することを特徴とする搬送
ロボットを提供する。

【００２２】第１発明の構成によれば、駆動源によるシ
ャフトの回転に対応して所定の範囲を往復動する移動部
材を設け、部材の回転移動の範囲を規定するために、セ
ンサー部により移動部材の移動範囲を規定するようにし
たので、ギアにリミットスイッチが固定された従来のセ
ンサー機構と異なり、シャフトの３６０度以上の回転に
対応してセンサーを設けることができる。したがって、
いずれの方向に対しても部材をアクセスさせることがで
き、第４発明のように、部材として搬送部を用いれば、
いずれの方向にもアクセス可能な搬送ロボットを実現す
ることができる。

【００２３】また、第７発明および第８発明によれば、
上記特徴に加え、ハンドリングを支持するための支持プ
レートが固定され、かつ支持プレートを通る回転軸が３
軸となるため、支持プレートが回転型でかつ５つの回転
軸を有する従来の構造と比較して、小型にかつ安価に製
造することができるといった利点が付加される。特に、
第８発明では、上記３軸が同軸状に設けられているの
で、さらに構造が単純であり、一層小型にかつ安価に製
造することができる。このような特徴は、搬送ロボット
を真空雰囲気内で使用する際に、有効な利点となる。す
なわち、真空雰囲気内での使用に適した小型で安価な搬
送ロボットを提供することができる。

【００２４】第２発明、第５発明、第９発明のように、
その面に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝を有
するカム部材をシャフトに設け、移動部材の突出部をそ
の溝に系合させることにより、シャフトの回転に伴うカ
ム部材の回転によって移動部材が一定の範囲を往復する
ことが可能となる。

【００２５】

【発明の実施の形態】図１および図２は、それぞれ本発
明の一形態に係る半導体ウェハの搬送に使用されるダブ
ルハンド型の搬送ロボット１０を示す平面図および側面
図である。また、図３および図４は、それぞれ搬送ロボ
ット１０のハンドリング部１２の内部構造を示す図、お
よび駆動部１４の詳細を示す部分縦断側面図である。

【００２６】搬送ロボット１０は真空雰囲気に設定可能
なロードロックチャンバー２内に配設されたハンドリン
グ部１２と、ロードロックチャンバー２の底壁４の外側
に取り付けられた駆動部１４とを具備する。ロードロッ
クチャンバー２の側壁には２つの開口６，８が形成さ
れ、これらはそれぞれ、例えば真空処理室およびイン／
アウトユニット（図示せず）に連通する。開口６，８に
はそれぞれゲートバルブ６ａ，８ａが配設され、ロード
ロックチャンバー２内の気密性が保持されるようになっ
ている。

【００２７】駆動部１４を覆うケーシング２２の天板
は、ハンドリング部１２を支持するための支持プレート
２４からなる。支持プレート２４はロードロックチャン
バー２の底壁４にネジ２５により固定される。底壁４お
よび支持プレート２４には互いに整一する円形の開口４
ａ，２４ａが形成されている。開口４ａ，２４ａ内に
は、円柱カラー２６がその軸方向が垂直となるように配
設される。カラー２６はフランジ部２６ａを有し、これ
を介して支持プレート２４の下面にネジ２７等により固
定される。ロードロックチャンバー２内の気密性を保持
するため、開口４ａを囲むように支持プレート２４上に
Ｏシールリング４ｂが配設され、また、開口２４ａを囲
むようにカラー２６のフランジ部２６ａ上にＯシールリ
ング２４ｂが配設される。

【００２８】カラー２６内には、これと同軸状にベース
カラム３２が配設される。ベースカラム３２は、軸受け
２９を介してカラー２６内に回転可能に支持される。ロ
ードロックチャンバー２内の気密性を保持するため、カ
ラー２６とベースカラム３２との間には磁性流体シール
２８が配設される。

【００２９】カラー２６から突出するベースカラム３２
の上端部には共通フレーム３４が、ロードロックチャン
バー２の底壁４に対して平行となるように固定される。
共通フレーム３４は、第１および第２ビーム部３６ａ，
３６ｂを有する平面がブーメラン状に屈曲した形状を有
し、かつ内部空間が実質的に閉鎖されたケーシングによ
り形成される。第１および第２ビーム部３６ａ，３６ｂ
は互いに１２０度の角度をなすように設定される。な
お、共通フレーム３４は、支持プレート２４上で自転を
行うだけのものであるから、ビーム部のような細い部分
を有しない形状、例えば円板形状等にしてもよい。

【００３０】第１および第２ビーム部３６ａ，３６ｂの
自由端部には、垂直に配置された、動力伝達用の第１お
よび第２中間軸構造３８ａ，３８ｂを介して第１および
第２中間アーム４２ａ，４２ｂが平行にかつ回転可能に
それぞれ接続される。第１および第２中間アーム４２
ａ，４２ｂもまた、それぞれ内部空間が実質的に閉鎖さ
れたケーシングにより形成される。

【００３１】第１および第２中間軸構造３８ａ，３８ｂ
は、第１および第２ビーム部３６ａ，３６ｂに固定され
た芯シャフト３９ａ，３９ｂと、第１および第２中間ア
ーム４２ａ，４２ｂに固定された中空シャフト４１ａ，
４１ｂとをそれぞれ有する。芯シャフト３９ａ，３９ｂ
の上端部は第１および第２中間アーム４２ａ，４２ｂに
それぞれ枢着される。中空シャフト４１ａ，４１ｂの下
端部は、第１および第２ビーム３６ａ，３６ｂにそれぞ
れ枢着される。中空シャフト４１ａ，４１ｂは、その内
部の軸受けを介して芯シャフト３９ａ，３９ｂに同軸状
にかつ回転自在に取り付けられる。

【００３２】第１および第２中間アーム４２ａ，４２ｂ
の自由端部には、垂直に配置された、動力伝達用の第１
および第２先端軸構造４４ａ，４４ｂを介して第１およ
び第２先端アーム４６ａ，４６ｂが平行にかつ回転可能
にそれぞれ接続される。第１および第２先端軸構造４４
ａ，４４ｂは、第１および第２中間アーム４２ａ，４２
ｂに固定された芯シャフト４３ａ，４３ｂと、第１およ
び第２先端アーム４６ａ，４６ｂに固定された中空シャ
フト４５ａ，４５ｂとをそれぞれ有する。中空シャフト
４５ａ，４５ｂは、その内部の軸受けを介して芯シャフ
ト４３ａ，４３ｂに同軸状にかつ回転自在に取り付けら
れる。

【００３３】第１先端アーム４６ａは第１中間アーム４
２ａの上側に接続される一方、第２先端アーム４６ｂは
第２中間アーム４２ｂの下側に接続される。第１および
第２先端アーム４６ａ，４６ｂの自由端部には半導体ウ
ェハＷを載置するための第１および第２ハンド４８ａ，
４８ｂがそれぞれ形成される。

【００３４】第１および第２ハンド４８ａ，４８ｂが近
接した位置で互いに干渉し合うことなく動作できるよう
に、第１および第２中間軸構造３８ａ，３８ｂの上端は
異なる高さを有する。すなわち、第２中間軸構造３８ｂ
は、第１中間アーム４２ａと第１先端アーム４６ａとを
合わせた高さ以上の間隔分だけ、第２ビーム部３６ｂか
ら第２中間アーム４２ｂを離間させるように設定され
る。

【００３５】ベースカラム３２内を通って共通フレーム
３４内に至るように、動力伝達用の第１および第２駆動
シャフト５２ａ，５２ｂが垂直に配設される。これら第
１および第２駆動シャフト５２ａ，５２ｂは、第１駆動
シャフト５２ａを内側、第２駆動シャフト５２ｂを外側
にして同軸状に設けられ、これらが相対的に回転可能な
ように、これらの間に軸受け５７が設けられている。そ
して、外側の第２駆動シャフト５２ｂは、軸受け５６
（右側のみ図示）を介してベースカラム３２に回転可能
に支持され、かつベースカラム３２に対して同軸状に配
置されている。すなわち、ベースカラム３２、第２駆動
シャフト５２ｂおよび第１駆動シャフト５２ａは全て同
軸状に配置されている。

【００３６】ロードロックチャンバー２内の気密性を保
持するため、ベースカラム３２と第２駆動シャフト５２
ｂとの間、および第１駆動シャフト５２ａと第２駆動シ
ャフト５２ｂとの間には磁性流体シール５４が配設され
る。

【００３７】第１駆動シャフト５２ａおよび第１中間構
造３８ａ間、および第２駆動シャフト５２ｂおよび第２
中間軸構造３８ｂ間でそれぞれ動力を伝達するため、共
通フレーム３４の第１および第２ビーム部３６ａ，３６
ｂ内に第１および第２上流側伝達手段６２ａ，６２ｂが
それぞれ配設される。第１および第２上流側伝達手段６
２ａ，６２ｂは、同軸状に配置されている第１および第
２駆動シャフト５２ａ，５２ｂにそれぞれ固定され、上
下に配置されたギア付き駆動プーリー６４ａ，６４ｂ
と、第１および第２中間構造３８ａ，３８ｂの中空シャ
フト４１ａ，４１ｂに固定されたギア付き従動プーリー
６６ａ，６６ｂと、プーリー間に掛け渡されたタイミン
グベルト６８ａ，６８ｂとをそれぞれ有する。

【００３８】第１中間軸構造３８ａおよび第１先端軸構
造４４ａ間、第２中間軸構造３８ｂおよび第２先端軸構
造４４ｂ間でそれぞれ動力を伝達するため、第１および
第２中間アーム４２ａ，４２ｂ内に第１および第２下流
側伝達手段７２ａ，７２ｂがそれぞれ配設される。第１
および第２下流側伝達手段７２ａ，７２ｂは、第１およ
び第２中間軸構造３８ａ，３８ｂの芯シャフト３９ａ，
３９ｂに固定されたギア付き駆動プーリー７４ａ，７４
ｂと、第１および第２先端軸構造４４ａ，４４ｂの中空
シャフト４５ａ，４５ｂに固定されたギア付き従動プー
リー７６ａ，７６ｂと、プーリー間に掛け渡されたタイ
ミングベルト７８ａ，７８ｂとをそれぞれ有する。

【００３９】第１および第２下流側伝達手段７２ａ，７
２ｂは、第１および第２駆動シャフト５２ａ，５２ｂの
回転により発生する、共通フレーム３４に対する第１お
よび第２中間アーム４２ａ，４２ｂの回転と、第１およ
び第２中間アーム４２ａ，４２ｂに対する第１および第
２先端アーム４６ａ，４６ｂの回転とが、互いに逆方向
でかつ回転量の比が２：１となるように設定される。例
えば共通フレーム３４に対して第１中間アーム４２ａが
反時計方向に６０度回転されると、第１中間アーム４２
ａに対して第１先端アーム４６ａが時計方向に３０度回
転される。この回転量比の設定は、具体的には、第１お
よび第２中間軸構造３８ａ，３８ｂ側のプーリー７４
ａ，７４ｂと、第１および第２先端軸構造４４ａ，４４
ｂ側のプーリー７６ａ，７６ｂとのギア比の選択により
行われる。

【００４０】カラー２６から突出するベースカラム３２
の下端部には、大径ギア８２が同軸状に固定される。大
径ギア８２は共通駆動源である共通モータ８６に取り付
けられた小径ギア８４と噛合う。共通モータ８６は、ア
タッチメント８８を介して支持プレート２４に固定され
る。したがって、共通フレーム３４は、支持プレート２
４に対して、ベースカラム３２を介して共通モータ８６
により回転駆動可能となる。

【００４１】第１および第２駆動シャフト５２ａ，５２
ｂは、ベースカラム３２に固定された大径ギア８２を貫
通して突出し、さらに第１駆動シャフト５２ａは第２駆
動シャフト５２ｂの下端から下方へ突出し、これら第１
および第２駆動シャフト５２ａ，５２ｂの下端部には、
それぞれギア９２ａ，９２ｂがこれら軸に対して同軸状
に固定される。ギア９２ａ，９２ｂは、第１および第２
駆動源である第１および第２モータ９６ａ，９６ｂに取
り付けられた小径ギア９４ａ，９４ｂとそれぞれ噛合
う。第１および第２モータ９６ａ，９６ｂは、アタッチ
メント９８ａ，９８ｂを介して、駆動部１４を覆うケー
シング２２の底板に固定される。

【００４２】したがって、第１中間アーム４２ａおよび
第１先端アーム４６ａは、共通フレーム３４に対して、
第１駆動シャフト５２ａを介して第１モーター９６ａに
より回転可能となる。また、第２中間アーム４２ｂおよ
び第２先端アーム４６ｂは、共通フレーム３４に対し
て、第２駆動シャフト５２ｂを介して第２モータ９６ｂ
により回転可能となる。

【００４３】すなわち、共通フレーム３４の第１ビーム
部３６ａに接続された第１中間アーム４２ａ、第１先端
アーム４６ａおよび第１ハンド４８ａ等から左側ハンド
ラ（第１アーム部）４０ａが構成される。左側ハンドラ
４０ａは、共通モータ８６により伸縮方向が設定され、
また、共通モーター８６および第１モータ９６ａにより
伸縮駆動される。また、共通フレーム３４の第２ビーム
部３６ｂに接続された第２中間アーム４２ｂ、第２先端
アーム４６ｂおよび第２ハンド４８ｂ等から右側ハンド
ラ（第２アーム部）４０ｂが構成される。右側ハンドラ
４０ｂは、共通モータ８６により伸縮方向が設定され、
また、共通モータ８６および第２モータ９６ｂにより伸
縮駆動される。そして、これら左右のハンドラ４０ａ，
４０ｂにより搬送部が構成される。

【００４４】図１あるいは後述の図７に示すように、左
右のハンドラ４０ａ，４０ｂは、搬送ロボット１０の平
面の形状において、実質的に左右対称となるように配設
される。より具体的には、共通フレーム３４の回転軸と
第１中間アーム４２ａの回転軸との間の距離と、共通フ
レーム３４の回転軸と第２中間アーム４２ｂの回転軸と
の間の距離と、第１中間アーム４２ａの回転軸と第１先
端アーム４６ａの回転軸との間の距離と、第２中間アー
ム４２ｂの回転軸と第２先端アーム４６ｂの回転軸との
間の距離とが全て等しくなるように設定される。したが
って、図７（ａ）に示すように、左右のハンドラ４０
ａ，４０ｂの初期状態すなわちニュートラルな状態にお
いて、共通フレーム３４の第１ビーム部３６ａ、第１中
間アーム４２ａおよび第１先端アーム４６ａの回転軸は
正三角形の頂点に位置し、また、共通フレーム３４の第
２ビーム３６ｂ、第２中間アーム４２ｂおよび第２先端
アーム４６ｂの回転軸も正三角形の頂点に位置する。

【００４５】次に、以上のような搬送ロボットのセンサ
ー機構について、図５を参照して説明する。センサー機
構１００は、共通モータ８６によるベースカラム３２の
回転に対応して所定の範囲を往復動（回動）するレバー
（主移動部材）１０３と、共通プレート３４の回転移動
の範囲を規定するために、レバー１０３の移動範囲を規
定する一対の位置センサー１０６ａ，１０６ｂと、第２
モータ９６ｂによる第２駆動シャフト５２ｂの回転に対
応して所定の範囲を往復動（回動）するレバー（第２移
動部材）１０４と、右側ハンドラ（第２アーム部）４０
ｂの回転移動範囲を規定するために、レバー１０４の移
動範囲を規定する一対の位置センサー１０７ａ，１０７
ｂと、第１モータ９６ａによる第１駆動シャフト５２ａ
の回転に対応して所定の範囲を往復動（回動）するレバ
ー（第１移動部材）１０５と、左側ハンドラ（第１アー
ム部）４０ａの回転移動範囲を規定するために、レバー
１０５の移動範囲を規定する一対の位置センサー１０８
ａ，１０８ｂとを有している。

【００４６】図６に示すように、レバー１０３は、その
回動中心となる支点部１０３ａと、ほぼ中央に設けられ
下方に突出する突出部１０３ｂと、位置センサー１０６
ａ，１０６ｂに検出される先端部１０３ｃとを有してい
る。また、ギア８２の上には、上面にベースカラム３２
の周囲に渦巻き状の溝１０２が形成されたカム１０１が
固定されており、この渦巻き状の溝１０２に上述の突出
部１０３ｂが係合する。ギア８２はベースカラム３２に
固定されているから、カム１０１はベースカラムに固定
されていることとなる。したがって、共通モータ８６に
よりベースカラム３２を回転させる際に、カム１０１が
ギア８２とともに回転し、渦巻き状の溝１０２に係合し
ているレバー１０３の突出部１０３ｂがカム１０１の径
方向に移動し、結果としてレバー１０３は、その支点部
１０３ａを中心として矢印Ａ方向に沿って往復動する。

【００４７】位置センサー１０６ａ，１０６ｂは、レバ
ー１０３の先端部１０３ｃを挟んだ適宜の位置に設けら
れており、これらにより、ベースカラム３２に固定され
た共通フレーム３４の回転範囲が規定される。すなわ
ち、動作に応じて、いずれか一方の位置センサーが基準
となり、他方のセンサーがリミットスイッチとして機能
する。このようなセンサーは特に限定されるものではな
く、例えば、フォトセンサー、リレー等種々のものを採
用することができる。なお、センサー１０６ａ，１０６
ｂは、ケーシング２２またはベースプレート２４に固定
された適宜の部材（図示せず）に固定されている。

【００４８】レバー１０４，１０５もレバー１０３と同
様に、それぞれ支点部１０４ａ，１０５ａ、突出部１０
４ｂ，１０５ｂ、および先端部１０４ｃ，１０５ｃを有
している。なお、支点部１０３ａ，１０４ａ，１０５ａ
は、支持プレート２４に固定されたシャフト１１０に軸
止されている。

【００４９】また、ギア９２ｂには渦巻き状の溝１０２
ｂが形成されたカム１０１ｂが固定されており、ギア９
２ａには渦巻き状の溝１０２ａが形成されたカム１０１
ａが固定されている。そして、レバー１０４の突出部１
０４ｂがカム１０１ｂの溝１０２ｂに係合しており、レ
バー１０５の突出部１０５ｂがカム１０１ａの溝１０２
ａに係合している。

【００５０】ギア９２ｂは第２駆動シャフト５２ｂに固
定されているから、カム１０１ｂはシャフト５２ｂに固
定されていることとなる。したがって、第２モータ９２
ｂにより第２駆動シャフト５２ｂを回転させる際に、カ
ム１０１ｂがギア９２ｂとともに回転し、渦巻き状の溝
１０２ｂに係合しているレバー１０４の突出部１０４ｂ
がカム１０１ｂの径方向に移動し、結果としてレバー１
０４は、その支点部１０４ａを中心として矢印Ａ方向に
沿って往復動する。また、ギア９２ａは第１駆動シャフ
ト５２ａに固定されているから、カム１０１ａはシャフ
ト５２ａに固定されていることとなる。したがって、第
１モータ９２ａにより第１駆動シャフト５２ａを回転さ
せる際に、カム１０１ａがギア９２ａとともに回転し、
渦巻き状の溝１０２ａに係合しているレバー１０５の突
出部１０５ｂがカム１０１ａの径方向に移動し、結果と
してレバー１０５も、その支点部１０５ａを中心として
矢印Ａ方向に沿って往復動する。

【００５１】位置センサー１０７ａ，１０７ｂは、レバ
ー１０４の先端部１０４ｃを挟んで設けられており、こ
れらにより、第２駆動シャフト５２ｂにより駆動される
右側ハンドラ４０ｂの移動範囲が規定される。また、位
置センサー１０８ａ，１０８ｂは、レバー１０５の先端
部１０５ｃを挟んで設けられており、これらにより、第
１駆動シャフト５２ａにより駆動される左側ハンドラ４
０ａの移動範囲が規定される。これらセンサー１０７
ａ，１０７ｂ，１０８ａ，１０８ｂもセンサー１０６
ａ，１０６ｂと同様、特に限定されるものではなく、例
えば、フォトセンサー、リレー等種々のものを採用する
ことができる。

【００５２】センサー１０７ａ，１０７ｂ，１０８ａ，
１０８ｂは、上部がレバー１０３の先端部１０３ｃより
内側の部分に固定された枠状の固定部材１０９の側部内
側に取り付けられている。したがって、レバー１０３の
移動に従ってセンサー１０７ａ，１０７ｂ，１０８ａ，
１０８ｂも移動することとなる。すなわち、レバー１０
４，１０５を介してその移動範囲が規定される右側ハン
ドラ４０ｂおよび左側ハンドラ４０ａは、レバー１０３
によりその移動範囲が規定される共通フレーム３４を基
準にしてその移動範囲が規定されることとなる。

【００５３】以上のように、ベースカラム３２、第２駆
動シャフト５２ｂ、第１駆動シャフト５２ａにそれぞれ
固定されたカム１０１，１０１ｂ，１０１ａには、それ
ぞれ渦巻き状の溝１０２，１０２ｂ，１０２ａが形成さ
れており、かつレバー１０３，１０４，１０５は、それ
ぞれ溝１０２，１０２ｂ，１０２ａに係合された突出部
１０３ｂ，１０４ｂ，１０５ｂを介してカム１０１，１
０１ｂ，１０１ａの回転、すなわちベースカラム３２、
第２駆動シャフト５２ｂ、第１駆動シャフト５２ａの回
転により所定範囲を往復動（回動）するので、センサー
で規定されるレバー１０３，１０４，１０５の移動範囲
を３６０度以上とすることができる。したがって、左右
のハンドラ４０ａ，４０ｂをあらゆる方向にアクセスす
ることが可能となる。

【００５４】なお、上記各センサーからの信号は、図示
しないコントローラに出力され、レバー１０３，１０
４，１０５の先端部１０３ｃ，１０４ｃ，１０５ｃがセ
ンサーで規定される範囲の限界までくると、駆動源によ
るそれ以上の移動が停止される。また、動作開始時に
は、コントローラーにより各レバーが一方のセンサー側
の基準位置に存在するようにし、例えばこの状態を次に
示す図７の（ａ）の状態に対応させる。

【００５５】次に、図７の（ａ）〜（ｒ）を参照して搬
送ロボット１０の動作を説明する。図を簡便にかつわか
りやすくするため、これらの図においては各部を模式的
に示し、かつ左右のハンドラ４０ａ，４０ｂによりウェ
ハＷを直線的に搬送する場合を示す。また、以下の説明
において、共通フレーム３４、第１および第２中間アー
ム４２ａ，４２ｂを時計方向に回転させるための共通モ
ーター８６、第１および第２モーター９６ａ，９６ｂの
回転方向は「＋」の符号を付し、それと逆方向は「−」
の符号を付して示す。

【００５６】図７の（ａ）に示す左右のハンドラ４０
ａ，４０ｂの初期状態すなわちニュートラルな状態は、
換言すると、左右のハンドラ４０ａ，４０ｂが折り畳ま
れた状態、すなわちウェハＷを最も引き込んだ状態とな
る。これ以上ウェハＷを引き込もうとすると、左右のハ
ンドラ４０ａ，４０ｂの中間アームが、ハンドリング部
１２の最小旋回範囲ＭＲからはみ出してしまうため、不
適当となる。したがって、この状態が基準状態となるよ
うに、上述したセンサー機構１００の各センサーを配置
する。

【００５７】まず、図７の（ａ）に示す状態から、左側
ハンドラ４０ａによりウェハＷを直線的に送出する場
合、共通モータ８６と第１モータ９６ａとを１：２の角
速度で、それぞれ「−」方向および「＋」方向に回転さ
せる。この間、右側ハンドラ４０ｂ用の第２モータ９６
ｂは停止させておく。

【００５８】図７の（ｅ）に示す、第１ビーム部３６
ａ、第１中間アーム４２ａおよび第１先端アーム４６ａ
がまっすぐに延びた状態は、図７の（ａ）に示す状態か
ら、共通モータ８６を−１２０度回転させるとともに、
第１モータ９６ａを＋２４０度回転させることにより得
られる。図７の（ｂ）〜（ｄ）は、図７（ｅ）に示す状
態に至るまでの間の、共通モータ８６をそれぞれ−３０
度、−６０度、−９０度回転させ、また、第１モータ９
６ａをそれぞれ＋６０度、＋１２０度、＋１８０度回転
させた時の状態を示す。

【００５９】次に、図７の（ｅ）に示す状態から、左側
ハンドラ４０ａによりウェハＷを直線的に引き込む場
合、共通モータ８６と第１モータ９６ａとを１：２の角
速度で、それぞれ「＋」方向および「−」方向に回転さ
せる。この間、右側ハンドラ４０ｂ用の第２モータ９６
ｂは停止させておく。

【００６０】図７の（ｉ）に示す、左側ハンドラ４０ａ
が折り畳まれた状態は、図７（ｅ）に示す状態から、共
通モータ８６を＋１２０度回転させるとともに、第１モ
ータ９６ａを−２４０度回転させることにより得られ
る。図７の（ｆ）〜（ｈ）は、図５の（ｉ）に示す状態
に至るまでの間の、共通モータ８６をそれぞれ＋３０
度、＋６０度、＋９０度回転させ、また、第１モータ９
６ａをそれぞれ−６０度、−１２０度、−１８０度回転
させた時の状態を示す。

【００６１】次に、図７の（ｊ）に示す初期状態あるい
はニュートラルな状態から、右側ハンドラ４０ｂにより
ウェハＷを直線的に送出する場合、共通モーター８６と
第１モーター９６ｂとを１：２の角速度で、それぞれ
「＋」方向および「−」方向に回転させる。この間、左
側ハンドラ４０ａ用の第１モーター９６ａは停止させて
おく。

【００６２】図７の（ｎ）に示す、第２ビーム部３６
ｂ、第２中間アーム４２ｂおよび第２先端アーム４６ｂ
がまっすぐに延びた状態は、図７の（ｊ）に示す状態か
ら、共通モータ８６を＋１２０度回転させるとともに、
第２モーター９６ｂを−２４０度回転させることにより
得られる。図７（ｋ）〜（ｍ）は、図７の（ｎ）に示す
状態に至るまでの間の、共通モータ８６をそれぞれ＋３
０度、＋６０度、＋９０度回転させ、また、第２モータ
９６ｂをそれぞれ−６０度、−１２０度、−１８０度回
転させた時の状態を示す。

【００６３】次に、図７の（ｎ）に示す状態から、右側
ハンドラ４０ｂによりウェハＷを直線的に引き込む場
合、共通モータ８６と第２モータ９６ｂとを１：２の角
速度で、それぞれ「−」方向および「＋」方向に回転さ
せる。この間、左側ハンドラ４０ａ用の第１モータ９６
ａは停止させておく。

【００６４】図７の（ｒ）に示す右側ハンドラ４０ｂが
折り畳まれた状態は、図７の（ｎ）に示す状態から、共
通モータ８６を−１２０度回転させるとともに、第２モ
ータ９６ｂを＋２４０度回転させることにより得られ
る。図７の（ｏ）〜（ｑ）は、図７の（ｒ）に示す状態
に至るまでの間の、共通モータ８６をそれぞれ−３０
度、−６０度、−９０度回転させ、また、第２モータ９
６ｂをそれぞれ＋６０度、＋１２０度、＋１８０度回転
させた時の状態を示す。

【００６５】また、左右のハンドラ４０ａ，４０ｂの伸
縮方向を変更する場合、第１および第２モータ９６ａ，
９６ｂを停止させ、共通モータ８６のみを作動させる。
これにより、左右ハンドラ４０ａ，４０ｂを伸縮させる
ことなく伸縮方向を設定することができる。次に上記図
７（ａ）〜（ｒ）に示す操作を行えば、その設定された
方向において、左右ハンドラ４０ａ，４０ｂは伸縮を行
うことができ、すなわち、ウェハＷを直線的に搬送する
ことができる。この場合に、上述したように、ベースカ
ラム３２を３６０度以上回転することができるためあら
ゆる方向にアクセスすることが可能である。

【００６６】このように本実施形態の搬送ロボット１０
は、上述したセンサー機構１００により、各回転軸の回
転角度を３６０度以上とすることができるので、あらゆ
る方向にアクセスすることが可能となり、極めて自由度
の高いものとなる。また、通常のダブルハンド型搬送ロ
ボットと同等の機能を確保しつつ、支持プレート２４を
貫通する駆動軸すなわち回転軸が共通フレーム３４を回
転させるベースカラム３２、左側のハンドラ４０ａを駆
動させる第１駆動シャフト５２ａ、および右側のハンド
ラ４０ｂを駆動させる第２駆動シャフト５２ｂの３軸で
あり、しかもこれらが同軸状に設けられているシンプル
な装置構成を有する。したがって、安価に製造でき、ま
た小型化も可能である。さらに、３つの駆動軸が同軸状
に設けられていることにより、これらを駆動するモータ
８６，９６ａ、９６ｂを支持プレート２４あるいはケー
シング２２に固定することができ、モータの移動による
配線のからみ等のトラブルが生じない。

【００６７】なお、上述の実施の形態においては、被処
理基板として半導体ウェハを搬送する搬送ロボットを開
示しているが、搬送ロボット１０は、第１および第２先
端アーム４６ａ，４６ｂの自由端部の形状を変更するだ
けでＬＣＤ基板、ＣＤディスク、フロッピーディスク
等、種々の基板の処理に適用することが可能となる。ま
た、上記実施形態では真空雰囲気内で取り扱う搬送ロボ
ットについて説明したが、これに限るものではない。さ
らに、本発明のセンサー機構は、搬送ロボットに限ら
ず、回転軸を有する装置であれば適用することができ
る。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように、第１発明の構成に
よれば、駆動源によるシャフトの回転に対応して所定の
範囲を往復動する移動部材を設け、部材の回転移動の範
囲を規定するために、センサー部により移動部材の移動
範囲を規定するようにしたので、シャフトの３６０度以
上の回転に対応してセンサーを設けることができる。し
たがって、いずれの方向に対しても部材をアクセスさせ
ることができる。また、第４発明のように、部材として
搬送部を用いれば、いずれの方向にもアクセス可能で、
極めて自由度の高い搬送ロボットを得ることができる。

【００６９】また、第７発明および第８発明によれば、
上記特徴に加え、ハンドリングを支持するための支持プ
レートが固定され、かつ支持プレートを通る回転軸が３
軸となるため、小型にかつ安価に製造することができる
といった利点が付加される。特に、第８発明では、上記
３軸が同軸状に設けられているので、さらに構造が単純
であり、一層小型にかつ安価に製造することができる。
このような特徴は、特に搬送ロボットを真空雰囲気内で
使用する際に、有効な利点となる。したがって、真空雰
囲気内での使用に適した小型で安価な搬送ロボットを提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る半導体ウェハ用搬送
ロボットを示す平面図。

【図２】図１に示す搬送ロボットの側面図。

【図３】図１に示す搬送ロボットのハンドリング部の内
部構造を示す図。

【図４】図１に示す搬送ロボットの駆動部の詳細を示す
部分縦断側面図。

【図５】図１に示す搬送ロボットのセンサー機構を示す
斜視図。

【図６】図５に示すセンサー機構の平面図。

【図７】図３に示す搬送ロボットの動作を順に示す図。

【図８】従来の半導体ウェハ用搬送ロボットを示す平面
図。

【図９】従来の半導体ウェハ用搬送ロボットを示す部分
縦断側面図。

【符号の説明】

２…ロードロックチャンバー １０…搬送ロボット １２…ハンドリング部 １４…駆動部 ２２…ケーシング ２４…支持プレート ２６…カラー ３２…ベースカラム ３４…共通フレーム ４０ａ，４０ｂ…左側および右側ハンドラ（第１および
第２アーム部） ５２ａ，５２ｂ…第１および第２駆動シャフト ８６…共通モータ ９６ａ，９６ｂ…第１および第２モータ １００…センサー機構 １０１，１０１ａ，１０１ｂ…カム １０２，１０２ａ，１０２ｂ…溝 １０３，１０４，１０５…レバー １０６ａ，１０６ｂ，１０７ａ，１０７ｂ，１０８ａ，
１０８ｂ…位置センサー

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動源による回転駆動力を、シャフトを
   介して伝達して部材を駆動する機構を有する装置に用い
   られるセンサー機構であって、 前記駆動源による前記シャフトの回転に対応して所定の
   範囲を往復動する移動部材と、 前記部材の回転移動の範囲を規定するために、前記移動
   部材の移動範囲を規定するセンサー部とを具備すること
   を特徴とするセンサー機構。
2. 【請求項２】 前記シャフトの回転にともなって回転
   し、その面に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝
   を有するカム部材をさらに具備し、 前記移動部材は、前記カム部材の溝に係合する突出部
   と、基準に対して軸止された支点部と、前記センサー部
   により検出される先端部とを有することを特徴とする請
   求項１に記載のセンサー機構。
3. 【請求項３】 前記センサー部は、前記移動部材の移動
   範囲の両端側に設けられた一対の位置センサーを有する
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のセン
   サー機構。
4. 【請求項４】 被搬送体を搬送する搬送部と、 前記搬送部を駆動するためのシャフトと、 前記シャフトに接続され、前記搬送部を駆動するための
   駆動源と、 前記駆動源による前記シャフトの回転に対応して所定の
   範囲を往復動する移動部材と、 前記搬送部の回転移動の範囲を規定するために、前記移
   動部材の移動範囲を規定するセンサー部とを具備するこ
   とを特徴とする搬送ロボット。
5. 【請求項５】 前記シャフトの回転にともなって回転
   し、その面に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝
   を有するカム部材をさらに具備し、 前記移動部材は、前記カム部材の溝に係合する突出部
   と、基準に対して軸止された支点部と、前記センサー部
   により検出される先端部とを有することを特徴とする請
   求項４に記載の搬送ロボット。
6. 【請求項６】 前記センサー部は、前記移動部材の移動
   範囲の両端側に設けられた一対の位置センサーを有する
   ことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の搬送
   ロボット。
7. 【請求項７】 支持プレートを貫通するとともに、これ
   に軸受けされたベースカラムと、 前記ベースカラム上に支持された共通フレームと、 共通フレームに回転可能に支持された第１および第２ア
   ーム部と、 前記第１および第２アーム部をそれぞれ駆動するための
   第１および第２駆動シャフトと、前記ベースカラムを介
   して前記共通フレームを回転駆動するため、前記ベース
   カラムに接続された共通駆動源と、 前記第１駆動シャフトに接続され、前記第１アーム部を
   駆動するための第１駆動源と、 前記第２駆動シャフトに接続され、前記第２アーム部を
   駆動するための第２駆動源と、 前記共通駆動源による前記ベースカラムの回転に対応し
   て所定の範囲を往復動する主移動部材と、 前記共通フレームの回転移動の範囲を規定するために、
   前記主移動部材の移動範囲を規定する主センサー部と、 前記第１駆動源による前記第１駆動シャフトの回転に対
   応して所定の範囲を往復動する第１移動部材と、 前記第１アーム部の回転移動範囲を規定するために、前
   記第１移動部材の移動範囲を規定する第１センサー部
   と、 前記第２駆動源による前記第２駆動シャフトの回転に対
   応して所定の範囲を往復動する第２移動部材と、 前記第２アーム部の回転移動範囲を規定するために、前
   記第２移動部材の移動範囲を規定する第２センサー部と
   を具備することを特徴とする搬送ロボット。
8. 【請求項８】 支持プレートを貫通するとともに、これ
   に軸受けされたベースカラムと、 前記ベースカラム上に支持された共通フレームと、 動力伝達用の第１および第２中間軸構造を介して前記共
   通フレームに回転可能にそれぞれ接続された第１および
   第２中間アームと、 動力伝達用の第１および第２先端軸構造を介して前記第
   １および第２中間アームの自由端部に回転可能にそれぞ
   れ接続された第１および第２先端アームと、 前記ベースカラム内を通って前記共通フレームに至るよ
   うに、前記ベースカラムに対して同軸状に設けられ、一
   方が前記ベースカラムに軸受けされるとともに他方が一
   方の中に同軸状にかつ相対的に回転可能に配置された動
   力伝達用の第１および第２駆動シャフトと、 前記第１駆動シャフトおよび前記第１中間軸構造間、な
   らびに前記第２駆動シャフトおよび前記第２中間軸構造
   間でそれぞれ動力を伝達するため、前記共通フレーム内
   に配置された第１および第２上流側伝達手段と、 前記第１中間軸構造および前記第１先端軸構造間、なら
   びに前記第２中間軸構造および前記第２先端軸構造間で
   それぞれ動力を伝達するため、前記第１および第２中間
   アーム内にそれぞれ配設された第１および第２下流側伝
   達手段と、 前記ベースカラムを介して前記共通フレームを回転駆動
   するため、前記ベースカラムに接続された共通駆動源
   と、 前記第１中間アームおよび第１先端アームを回転駆動す
   るため、前記第１駆動シャフトに接続された第１駆動源
   と、 前記第２中間アームおよび第２先端アームを回転駆動す
   るため、前記第２駆動シャフトに接続された第２駆動源
   と、 前記共通駆動源による前記ベースカラムの回転に対応し
   て所定の範囲を往復動する主移動部材と、 前記共通フレームの回転移動の範囲を規定するために、
   前記主移動部材の移動範囲を規定する主センサー部と、 前記第１駆動源による前記第１駆動シャフトの回転に対
   応して所定の範囲を往復動する第１移動部材と、 前記第１アーム部の回転移動範囲を規定するために、前
   記第１移動部材の移動範囲を規定する第１センサー部
   と、 前記第２駆動源による前記第２駆動シャフトの回転に対
   応して所定の範囲を往復動する第２移動部材と、 前記第２アーム部の回転移動範囲を規定するために、前
   記第２移動部材の移動範囲を規定する第２センサー部と
   を具備することを特徴とする搬送ロボット。
9. 【請求項９】 前記ベースカラムの回転にともなって回
   転し、その面に回転方向に沿って形成された渦巻き状の
   溝を有する主カム部材と、 前記第１駆動シャフトの回転にともなって回転し、その
   面に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝を有する
   第１カム部材と、 前記第２駆動シャフトの回転にともなって回転し、その
   面に回転方向に沿って形成された渦巻き状の溝を有する
   第２カム部材とをさらに具備し、 前記主移動部材は、前記主カム部材の溝に係合する突出
   部と、前記支持プレートに対して軸止された支点部と、
   前記主センサー部により検出される先端部とを有し、 前記第１移動部材は、前記第１カム部材の溝に系合する
   突出部と、前記支持プレートに対して軸止された支点部
   と、前記第１センサー部により検出される先端部とを有
   し、 前記第２移動部材は、前記第２カム部材の溝に系合する
   突出部と、前記支持プレートに対して軸止された支点部
   と、前記第２センサー部により検出される先端部とを有
   することを特徴とする請求項７または請求項８に記載の
   搬送ロボット。
10. 【請求項１０】 前記主センサー部、前記第１センサー
    部、および前記第２センサー部は、それぞれ主移動部
    材、第１移動部材、第２移動部材の移動範囲の両端側に
    設けられた一対の位置センサーを有することを特徴とす
    る請求項７ないし請求項９のいずれか１項に記載の搬送
    ロボット。
11. 【請求項１１】 前記主移動部材の前記先端部に固定さ
    れるとともに、前記第１センサー機構の一対の位置セン
    サーおよび前記第２センサー機構の一対の位置センサー
    が固定された固定部材をさらに具備することを特徴とす
    る請求項１０に記載の搬送ロボット。