JPH11224597A - ディスプレイパネル用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 所望の寸法精度の良い微細パターンの隔壁を
有するディスプレイパネル用基板を簡便な方法で安価に
得る。 【解決手段】 樹脂成形法により、マスター金型を用い
て微細パターン５０が転写された樹脂型１１を得、この
樹脂型１１に隔壁材料液１２を流し込んでプレス機Ｐに
よりヒートプレスして硬化させ、その上に接着剤１３を
塗布し、さらにその上にガラス基板１４をのせ、隔壁材
料液１２の硬化物とガラス基板１４を接着させ、得られ
た接着物を焼成して、樹脂型１１の微細パターン５０を
反転・転写した微細パターン６０の隔壁２を有するディ
スプレイパネル用基板１０を得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルを初めとする各種のディスプレイパネルに使
用される微細隔壁を備えたディスプレイパネル用基板の
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】壁掛けテレビ等への応用もなされている
プラズマディスプレイパネルの基本的構造は、例えば、
図３に示すとおりである。即ち、前面パネルＡと背面パ
ネルＢとを、両パネルにそれぞれ形成したストライプ状
電極Ａ１、Ｂ１が互いに対向するように重ね合わせ、そ
の交点におけるストライプ状又は格子状の隔壁Ｃ内で放
電を起こすことにより、発光させるものである。

【０００３】隔壁Ｃは、光のクロストークを防ぐととも
に、画面のコントラストを作るために設けられているも
のであり、非常に微細なものである。例えば、ストライ
プ状のものにあっては、幅約２０〜３０μｍ、高さ約１
５０〜２００μｍで、１００μｍ程度の間隔でパネル全
面にわたって形成されることが要求されている。そし
て、このような微細寸法の隔壁Ｃの内部には、蛍光体が
塗布され、Ｎｅ、Ｘｅ等の不活性ガスが封入されてい
る。よって、複雑でかつ鮮明な画像を得るという観点か
ら当然に隔壁Ｃに要求されるファインパターン化ととも
に、蛍光体の塗布量を一定にし、前面パネルＡと密着し
て不活性ガスの漏出を防止する観点等からも、隔壁Ｃの
寸法精度が高いことが要求される。

【０００４】従来、このような隔壁Ｃを形成する方法と
して、スクリーン印刷法やサンドブラスト法が採用され
ている。スクリーン印刷法は、ガラス基板上に、ガラス
ペーストを印刷し、乾燥する操作を、毎回スクリーンの
位置合わせをして１０回程度繰り返すもので、所謂重ね
刷りにより隔壁を形成する方法である。また、サンドブ
ラスト法は、ガラスペーストをガラス基板の全面に塗布
したのち、フォトレジストで被覆し、露光、現像し、そ
の後、レジストパターンで被覆されてない部分をサンド
ブラストして、隔壁を形成するものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来のスクリーン
印刷法による隔壁の形成方法においては、毎回のスクリ
ーンの位置合わせと、スクリーンの歪みとが、ファイン
パターン化、大画面化を困難にしている。また、従来の
サンドブラスト法による隔壁の形成方法においては、ブ
ラスト深さが不均一になり易いことが、やはりファイン
パターン化、大画面化を困難にしている。さらに、上記
いずれの方法においても、隔壁を形成する工程が繁雑で
あり、隔壁の寸法精度を高めようとすれば長時間を要す
るため、それが製造コストを上昇させる要因ともなって
いる。

【０００６】したがって、本発明の目的は、簡便な方法
で寸法精度の高い隔壁を形成することができて、ファイ
ンパターン化、大画面化に十分対応し得るディスプレイ
パネル用基板を経済的に製造し得る方法を提供すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、請求項１として、樹脂成形により微細パ
ターンが形成された樹脂型を得る第１工程と、前記樹脂
型の微細パターン形成型面に隔壁材料液を供給して硬化
させる第２工程と、前記隔壁材料液の硬化物にガラス基
板を接着剤により接着させる第３工程と、前記隔壁材料
液の硬化物と前記ガラス基板の接着物から前記樹脂型を
取り除く第４工程と、前記隔壁材料液の硬化物とガラス
基板の接着物を焼成する第５工程を具備することを特徴
とするディスプレイパネル用基板の製造方法を提供す
る。

【０００８】本発明は、上記目的を達成するために、請
求項２として、微細パターン形成型面に隔壁材料液を流
し込んだのち、それを押圧しながら硬化させる第２工程
である請求項１記載のディスプレイパネル用基板の製造
方法を提供する。

【０００９】さらに、本発明は、上記目的を達成するた
めに、請求項３として、微細パターンが形成された金型
面に隔壁材料液を供給して硬化させる第１工程と、前記
隔壁材料液の硬化物にガラス基板を接着剤により接着さ
せる第２工程と、前記金型から前記隔壁材料液の硬化物
と前記ガラス基板の接着物を離型する第３工程と、前記
隔壁材料液の硬化物とガラス基板の接着物を焼成する第
４工程を具備することを特徴とするディスプレイパネル
用基板の製造方法を提供する。

【００１０】さらに、本発明は、上記目的を達成するた
めに、請求項４として、金型面に隔壁材料液を流し込ん
だのち、それを押圧しながら硬化させる第１工程である
請求項３記載のディスプレイパネル用基板の製造方法を
提供する。

【００１１】さらにまた、本発明は、上記目的を達成す
るために、請求項５として、ディスプレイパネル用基板
がプラズマディスプレイパネル用の基板である請求項１
〜４記載のディスプレイパネル用基板の製造方法を提供
する。

【００１２】本発明の請求項１、２および３、４記載の
発明で使用する「隔壁材料液」とは、ディスプレイパネ
ル用基板の微細隔壁を形成する材料で、材料自体が液状
であるもののほかに、材料を含む溶液状、分散液状、ゾ
ル状、ペースト状のもの等を含み、型面に流し込む等し
て供給されるだけの流動性を有することを意味し、供給
後に常温において又は加熱により硬化する性質を有する
ものを意味する。硬化の程度は、第３工程におけるガラ
ス基板との接着剤による接着、第４工程における樹脂型
の取り除き、及び第５工程における焼成を円滑に容易に
行える程度のものである（請求項３では第２〜４工程に
相当する）。すなわち、硬化は、樹脂型を取り除きでき
る程度の完全硬化のほかに、保形性を有する程度の半硬
化を含む概念である。

【００１３】本発明は、本発明者が、上記と同様の目的
をもって先に発明して特許出願した発明（特願平９−２
１１００３号）について、さらに研究を進めてこれを発
展して完成されたものである。すなわち、本発明者ら
は、先に、射出成形により所望の微細パターンが形成さ
れた樹脂型の微細パターン形成型面に隔壁材料液を流し
込み、該隔壁材料液の上にガラス基板を重ねて置いて押
圧しながら該隔壁材料液を硬化させ、しかる後樹脂型を
取り除くことにより、ディスプレイパネル用基板を製造
する方法を特許出願した。

【００１４】この先発明においては、隔壁材料液の硬化
物とガラス基板の接着を十分に行う必要があり、また、
樹脂型の取り除きを円滑に行う必要があることを見出
し、その改善についてさらに研究を進めた。即ち、先発
明は、隔壁材料液をガラス基板で密閉して硬化接着させ
ているので、硬化させるのに十分な時間を必要とするも
のであった。しかも、隔壁材料液は側面の開放部分から
硬化しはじめるが内部は極めて硬化し難いために、離型
時において、硬化し難い部分が型面に残留するおそれを
生じていた。その改善に基づくと、樹脂型の微細パター
ン形成型面で隔壁材料液を開放状態でまず硬化させる
と、短時間で、且つ、全体を均一に硬化させることがで
き、常に円滑に樹脂型の取り除きを行なうことができ、
離型時に型への残留も防止可能となる。これらの硬化物
とガラス基板を接着剤で接着すれば、ガラス基板への接
着性が高めることができ、得られた硬化物とガラス基板
の接着剤よる接着物を焼成すれば、常に円滑に所期のデ
ィスプレイパネル用基板が得られることを知見したので
ある。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
のディスプレイパネル用基板の製造方法について説明す
る。図１（ａ）〜（ｃ）は、請求項１、２記載の製造方
法を説明するための概略正面図であり、図２は、実施例
におけるディスプレイパネル用基板作成手順を説明する
ための概略正面図である。

【００１６】請求項１、２記載のディスプレイパネル用
基板の製造方法について説明する。第１工程において、
樹脂成形により、図１（ａ）に示すような所望の微細パ
ターン５０が形成された樹脂型１１を得る。この樹脂型
１１の微細パターン５０は目的とするディスプレイパネ
ル用基板１０の隔壁２を形成するためのものであり、前
記隔壁２のパターンとは凹凸反転像をなすものである。
また、この樹脂型１１の微細パターン５０は、ストライ
プ状又は格子状のものであり、その寸法の一例を挙げる
と、ストライプ状のもので、幅２０〜６０μｍ、深さ１
５０〜２００μｍ、間隔１６０μｍ程度のものである。

【００１７】この第１工程における樹脂成形法は射出技
術を選択することができる。使用する樹脂は射出成形が
できるものであれば、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メ
ラミン樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、
シリコーン樹脂、ウレタン樹脂等の熱硬化性樹脂、塩化
ビニル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、
ポリスチレン樹脂、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、ポリアミド
樹脂、ポリアセタール樹脂、メタクリル樹脂、ポリカー
ボネート樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可
塑性樹脂のいずれも使用することができる。この射出成
形で使用する金型２１は樹脂型１１の製造用のマスター
金型となるものであり、例えばＮＣ加工で型面を微細加
工することにより、目的とする樹脂型１１の微細パター
ン５０に対応させることができる。

【００１８】第２工程において、図１（ｂ）に示すよう
に、まず、樹脂型１１の微細パターン５０の形成型面に
液状の隔壁材料液１２を流し込む。この隔壁材料液１２
は硬化終了後に第５工程の焼成を経て、図１（ｃ）に示
すディスプレイパネル用基板１０の隔壁２となるもので
ある。この流し込み方法としては、隔壁材料液１２をキ
ャスティングする方法のほか、刷毛塗り等の方法を適用
することができる。このように隔壁材料液１２を流し込
むことにより、隔壁材料液１２は樹脂型１１の微細パタ
ーン５０をそのまま精緻に反転した状態で転写できるも
のであり、この転写は硬化により完了する。

【００１９】この工程で使用する隔壁材料液１２として
は、上記のとおり「液状」であり、常温又は加熱下にお
いて、それ単独で又は硬化剤、触媒、その他の硬化に資
する成分との併用により「硬化」するものであり、第５
工程の焼成を経て好適に隔壁２を形成するものであれば
特に制限されるものではない。ただし、成形型として樹
脂型を使用するため、樹脂を熱変形させないよう、従来
のガラスペーストに比べるとより低温で加熱硬化できる
ものであることが必要となる。同様に、隔壁材料液１２
の成分中に溶剤を包含するときには、溶剤と樹脂型との
相性を考慮する必要がある。このような隔壁材料液１２
の例としては、常温又は加熱下において架橋反応が進行
し、セラミックス様の膜を形成する無機のケイ素含有ポ
リマーのほか、セラミックス粉末、アルミナセメントの
ようなセメント、水ガラス類等を含有する無機系バイン
ダーも使用することができる。また、この隔壁材料液１
２は隔壁２となるものであるので、ディスプレイパネル
のコントラストを得る上で有利になるように、必要に応
じて黒色等の暗色系の着色剤を配合することができる。

【００２０】このような隔壁材料液１２の具体例として
は、ケイ素含有ポリマーを形成する商品名 ＨＥＡＴＬ
ＥＳＳ ＧＬＡＳＳのＧＳ−６００シリーズ（ホーマー
テクノロジー社製）、ペルヒドロポリシラザンのような
ポリシラザン類、例えば商品名東燃ポリシラザン（東燃
社製）、無機バインダーである商品名 レッドプルーフ
のＭＲ−１００シリーズ（熱研社製）等を挙げることが
できる。

【００２１】次に、上記のように樹脂型１１に隔壁材料
液１２を流し込んだのち、隔壁材料液１２を押圧しなが
ら硬化させる。この硬化処理に際しては、一般に、ヒー
トプレス機等の周知の加熱加圧手段を用いることができ
る。ヒートプレス等を用いる場合、均一な押圧状態を確
保するため、熱伝導性のよいクッション材を介在させる
ことができる。また、この硬化処理の処理条件は、使用
した隔壁材料液１２の性質に応じて適宜選択される。硬
化温度の選択に際しては、樹脂型１１の軟化点も考慮す
る。例えば、樹脂型１１の材料としてポリプロピレンを
使用した場合には、ポリプロピレンの軟化点である１４
０〜１６０℃未満の温度で加熱硬化させることが必要と
なる。この硬化処理により、樹脂型１１の微細パターン
５０はそのまま精緻に反転した状態で隔壁材料液１２の
硬化物に転写される。

【００２２】第３工程において、図１（ｂ）に示すよう
に、隔壁材料液１２の硬化物にガラス基板１４を接着剤
１３により接着させる。このガラス基板１４は、図１
（ｂ）、（ｃ）に示すように、そのまま背面のガラス基
板４とすることができるものである。隔壁材料液１２に
ガラス基板１４を接着剤１３により接着させる方法は、
特に制限する必要はなく任意の方法を適用できるが、例
えば、接着剤１３を、隔壁材料液１２の硬化物の上面或
いはガラス基板１４の一方の面のいずれか、又はこの両
方の面に、キャスティング法、刷毛塗り法等の方法によ
り塗布する方法が適用できる。この接着処理に際し、必
要に応じて、加熱および／または加圧手段によって加熱
および／または加圧することもできる。また、接着のた
めの温度、圧力、保持時間等の接着条件は用いる接着剤
１３の種類に応じて適宜設定することができる。

【００２３】この工程で使用する接着剤１３としては、
隔壁材料液１２の硬化物とガラス基板１４を接着し、次
の第４工程における樹脂型の取り除きを常に円滑に行な
うことができるものであって、かつ第５工程の焼成によ
り分解除去され、又は無機物化されて焼成後の隔壁材料
液１２の硬化物等と一体化され、焼成後の隔壁材料液１
２の硬化物とガラス基板１４が強固に固着されるもので
あれば、特に制限されるものではない。このような接着
剤１３の例としては、シアノアクリレート系接着剤、紫
外線硬化ウレタン系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤、無
機接着剤等が挙げられる。中でも、シアノアクリレート
系接着剤が好ましく用いられる。

【００２４】第４工程において、図１（ｂ）に示すよう
に、樹脂型１１の微細パターン形成型面において嵌合し
た形で形成されている隔壁材料液１２の硬化物にガラス
基板１４を接着剤１３により接着させた接着物から、樹
脂型１１を剥離し、取り除く。このとき、樹脂型１１は
柔軟性があるために容易に曲げることができるので、こ
の剥離作業を円滑になすことができる。また、剥離性を
考慮すると、上記第２工程において、隔壁材料液１２を
微細パターン５０の凹凸形状に保持でき、かつ接着剤１
３によりガラス基板１４と接着し得る程度の固さに硬化
させ、剥離後に再度硬化させて硬化を完了させてもよ
い。

【００２５】第５工程において、隔壁材料液１２の硬化
物にガラス基板１４を接着剤１３により接着させた接着
物を焼成する。この焼成により、使用した接着剤１３が
分解除去され、又は無機物化されて焼成後の隔壁材料液
１２の硬化物等と一体化され、焼成後の隔壁材料液１２
の硬化物とガラス基板１４が強固に固着され、図１
（ｃ）に示すような、樹脂型１１の微細パターン５０が
精緻に反転・転写された微細パターン６０を有する隔壁
２と、それを支持するガラス基板４からなるディスプレ
イパネル用基板１０を得ることができる。この際、焼成
温度、焼成時間等の焼成条件は、使用した接着剤１３の
種類、隔壁材料液１２の種類等に応じて適宜設定するこ
とができる。

【００２６】上記のようにして得られるディスプレイパ
ネル用基板１０は、常法に従い、アドレス用電極の取り
付けや、蛍光体の塗布等をすることにより、目的とする
プラズマディスプレイパネル等のディスプレイパネルを
得ることができる。

【００２７】さらに、請求項３、４記載のディスプレイ
パネル用基板の製造方法について説明する。第１工程に
おいて、図１（ａ）に示すような所望の微細パターン５
０が形成された金型２１を得る。この金型２１は微細パ
ターン５０が形成された型面を有するもので、隔壁２の
パターンとは凹凸反転像をなすものである。この意味で
金型２１は樹脂型１１と同一の微細パターン形成型面が
形成されており、樹脂型のマスター金型とは異なるもの
であって、樹脂型１１と同様に直に隔壁２を形成するた
めに用いられる。金型２１は、ＮＣ加工等によって形成
するが、平板上に金属線を一定方向に所定間隔をおいて
複数本配置して固定する構造も実施可能である（特願平
９ー２３２７１８号参照）。なお、第１工程では金型２
１が樹脂型１１と異なるほかは同一であるので、請求項
１記載の製造方法の第２工程を実施できる。同様に、第
２工程および第４工程は請求項１記載の製造方法の第３
工程及び第５工程を実施できるので、第３工程のみを説
明する。

【００２８】第３工程において、図１（ｂ）で示すよう
に、隔壁材料液１２の硬化物が金型２１の微細パターン
形成型面において嵌合した形で形成されているので、隔
壁材料液１２の硬化物にガラス基板１４を接着剤１３に
より接着させた接着物から離型するに際しては、微細パ
ターン形成型面に振動を付与する手段、エアーを導入す
る手段、または微細パターン形成型面を加熱する手段等
の離型手段を適宜選択することが望ましい。前記振動を
付与する手段としては、隔壁材料液１２の硬化物の凹凸
の先端部分に損傷を与えることなく、接着剤１３の接着
物に影響を及ぼさない程度の振幅の短い微振動が望まし
い。また、前記エアーを導入する手段としては、金型２
１の微細パターン形成型面と隔壁材料液１２の硬化物と
の嵌合部位に負圧を解除する程度のエアーを導入するこ
とで足り、金型２１の微細パターン形成型面の外方から
のエアーベントを設ける構造で実施可能である。さら
に、前記加熱する手段としては、隔壁材料液１２の硬化
物の硬化後に微細パターン形成型面を膨張することによ
って嵌合間隙に取り除きクリアランスを形成するもの
で、加熱温度が適宜選択可能である。前記各手段は、単
独で用いることが可能であるが、任意に組み合わせて併
用すれば効果的である。

【００２９】

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳しく説
明するが、本発明はこれらにより限定されるものではな
い。

【００３０】実施例１ 請求項１、２記載の製造方法を適用し、図３に示すよう
なストライプ状の隔壁を有するプラズマディスプレイパ
ネル用基板を製造した。以下、図２をもとに実施例１を
説明する。まず、射出成形により、幅２０μｍ、高さ１
５０μｍ、間隔１６０μｍの微細パターン５０を有する
ポリプロピレン製の樹脂型１１を製造し、これをヒート
プレス機Ｐの固定盤Ｐ１の上に置いた。次に、この樹脂
型１１の微細パターン５０の形成型面上に、隔壁材料液
１２として商品名 ＨＥＡＴＬＥＳＳ ＧＬＡＳＳ（Ｇ
Ｓ−６００−１；稀釈剤としてイソプロピルアルコール
を含有している；ホーマーテクノロジー社製）を刷毛塗
りにより塗布した。次に、ヒートプレス機Ｐの可動盤Ｐ
２を下降させ、上から約１５ｇ／cm² の圧力を加えなが
ら、１３０℃で２０〜３０分間程度加熱保持し、ＨＥＡ
ＴＬＥＳＳＧＬＡＳＳを硬化させた。可動盤Ｐ２下面に
はＨＥＡＴＬＥＳＳ ＧＬＡＳＳが付着しないようにフ
ッ素樹脂加工がされている。次に、可動盤Ｐ２を上昇さ
せたのち、ＨＥＡＴＬＥＳＳ ＧＬＡＳＳの硬化物の上
に、接着剤１３としてＡＬＴＥＣＯ社製の商品名 Ｚー
２８を用い、刷毛塗りにより塗膜厚約１０μｍになるよ
う塗布し、その塗布面の上に基板となるガラス基板１４
を置き、再度可動盤Ｐ２を下降させ、上から約１ｇ／cm
² の圧力を加えながら常温下で５分間保持して接着を完
了した。次に、再度可動盤Ｐ２を上昇させたのち、ＨＥ
ＡＴＬＥＳＳ ＧＬＡＳＳの硬化物にガラス基板１４を
接着剤１３により接着させた接着物から樹脂型１１を剥
離し、取り除いた。最後に、上記樹脂型１１を取り除い
た接着物を約５５０℃で３０分間程度焼成し、図１
（ｃ）に示すようなプラズマディスプレイパネル用基板
１０を得た。このプラズマディスプレイパネル用基板１
０の表面を顕微鏡により観察したところ、樹脂型１１の
微細パターン５０がそのまま反転・転写された、幅２０
μｍ、高さ１５０μｍ、間隔１６０μｍの精緻な微細パ
ターン６０の隔壁２が形成されていることを確認した。

【００３１】

【発明の効果】本発明の製造方法によれば、微細パター
ンが形成された隔壁材料液の硬化物を開放状態として短
時間で全体均一に硬化させたうえでガラス基板に接着剤
により接着したので、接着剤を介在して金型から硬化物
を容易に取り除くことができ、その後の焼成によって接
着剤を分解除去してガラス基板に微細パターンが形成さ
れた微細隔壁を強固に固着することができる。このた
め、本発明の製造方法を適用することにより、寸法精度
の高い微細パターンの微細隔壁を有する高品質のプラズ
マディスプレイパネル等に適用できるディスプレイパネ
ル用基板を安価に提供することができ、さらに、ファイ
ンパターン化、大画面化にも十分対応することができ
る。

【００３２】請求項１〜２記載の製造方法によれば、樹
脂型の柔軟性によって、樹脂型から微細パターンが形成
された隔壁材料液の硬化物を接着したガラス基板を容易
に取り除くことができる。

【００３３】また、請求項３〜４記載の製造方法によれ
ば、金型から直接に隔壁材料液の硬化物に微細パターン
を形成したうえに、金型からの離型を促しているので、
製造コスト低減が図られ、接着剤を介在して金型から隔
壁材料液の硬化物を容易に取り除くことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１、２（または請求項３、４）記載の製
造方法を説明するための概略正面図である。

【図２】実施例におけるディスプレイパネル用基板作成
手順を説明するための概略正面図である。

【図３】プラズマディスプレイパネルの構造例を示す概
略斜視図である。

【符号の説明】

２ 隔壁 ４ ガラス基板 １０ ディスプレイパネル用基板 １１ 樹脂型 １２ 隔壁材料液 １３ 接着剤 １４ ガラス基板 ２１ 金型 ５０ 微細パターン ６０ 微細パターン

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂成形により微細パターンが形成され
   た樹脂型を得る第１工程と、前記樹脂型の微細パターン
   形成型面に隔壁材料液を供給して硬化させる第２工程
   と、前記隔壁材料液の硬化物にガラス基板を接着剤によ
   り接着させる第３工程と、前記隔壁材料液の硬化物と前
   記ガラス基板の接着物から前記樹脂型を取り除く第４工
   程と、前記隔壁材料液の硬化物とガラス基板の接着物を
   焼成する第５工程を具備することを特徴とするディスプ
   レイパネル用基板の製造方法
2. 【請求項２】 微細パターン形成型面に隔壁材料液を流
   し込んだのち、それを押圧しながら硬化させる第２工程
   である請求項１記載のディスプレイパネル用基板の製造
   方法。
3. 【請求項３】 微細パターンが形成された金型面に隔壁
   材料液を供給して硬化させる第１工程と、前記隔壁材料
   液の硬化物にガラス基板を接着剤により接着させる第２
   工程と、前記金型から前記隔壁材料液の硬化物と前記ガ
   ラス基板の接着物を離型する第３工程と、前記隔壁材料
   液の硬化物とガラス基板の接着物を焼成する第４工程を
   具備することを特徴とするディスプレイパネル用基板の
   製造方法
4. 【請求項４】 金型面に隔壁材料液を流し込んだのち、
   それを押圧しながら硬化させる第１工程である請求項３
   記載のディスプレイパネル用基板の製造方法。
5. 【請求項５】 ディスプレイパネル用基板がプラズマデ
   ィスプレイパネル用の基板である請求項１〜４記載のデ
   ィスプレイパネル用基板の製造方法。