JPH11211787A - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
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- JPH11211787A JPH11211787A JP10017542A JP1754298A JPH11211787A JP H11211787 A JPH11211787 A JP H11211787A JP 10017542 A JP10017542 A JP 10017542A JP 1754298 A JP1754298 A JP 1754298A JP H11211787 A JPH11211787 A JP H11211787A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被試験ＩＣにストレスを加えない直流特性測
定を可能とするＩＣ試験装置を提供する。 【解決手段】 信号駆動取り込み回路１は、スイッチ２
を介して被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に信号を与え
る駆動回路及びピン１０−Ｐ１から出力される論理信号
を取り込む信号取り込み回路からなる。直流特性測定回
路３は、被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の直流特性を
測定する。スイッチ４、５は、それぞれ、直流特性測定
回路３の出力端子３−ＯＵＴ、入力端子３−ＩＮとピン
１０−Ｐ１との間の接続をオン／オフする。スイッチ６
は、入力端子３−ＩＮとスイッチ５の接続点と増幅器７
の出力との間の接続をオン／オフする。増幅器７は、電
圧ホロワ構成の増幅器で、信号駆動取り込み回路１とス
イッチ２の接続点の電圧を入力端子３−ＩＮとスイッチ
５の接続点に伝達する。
定を可能とするＩＣ試験装置を提供する。 【解決手段】 信号駆動取り込み回路１は、スイッチ２
を介して被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に信号を与え
る駆動回路及びピン１０−Ｐ１から出力される論理信号
を取り込む信号取り込み回路からなる。直流特性測定回
路３は、被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の直流特性を
測定する。スイッチ４、５は、それぞれ、直流特性測定
回路３の出力端子３−ＯＵＴ、入力端子３−ＩＮとピン
１０−Ｐ１との間の接続をオン／オフする。スイッチ６
は、入力端子３−ＩＮとスイッチ５の接続点と増幅器７
の出力との間の接続をオン／オフする。増幅器７は、電
圧ホロワ構成の増幅器で、信号駆動取り込み回路１とス
イッチ２の接続点の電圧を入力端子３−ＩＮとスイッチ
５の接続点に伝達する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ素子の試験装
置に係り、特に、ＩＣの直流特性を低ストレスで測定可
能とするＩＣ試験装置に関する。
置に係り、特に、ＩＣの直流特性を低ストレスで測定可
能とするＩＣ試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来のＩＣ試験装置の一部を示
す。この図において、１０は被試験ＩＣである。１１は
被試験ＩＣ１０の端子（以下ピンと称す）１０−Ｐ１に
試験パターン信号を与える駆動回路と被試験ＩＣ１０の
ピン１０−Ｐ１から出力される応答出力信号を取り込む
信号取り込み回路とからなる信号駆動取り込み回路であ
る。１２は信号駆動取り込み回路１１と被試験ＩＣ１０
のピン１０−Ｐ１との接続をオン、オフするリレー等の
スイッチである。
す。この図において、１０は被試験ＩＣである。１１は
被試験ＩＣ１０の端子（以下ピンと称す）１０−Ｐ１に
試験パターン信号を与える駆動回路と被試験ＩＣ１０の
ピン１０−Ｐ１から出力される応答出力信号を取り込む
信号取り込み回路とからなる信号駆動取り込み回路であ
る。１２は信号駆動取り込み回路１１と被試験ＩＣ１０
のピン１０−Ｐ１との接続をオン、オフするリレー等の
スイッチである。
【０００３】一方、１３は被試験ＩＣ１０の直流特性を
測定する直流特性測定回路である。１４は直流特性測定
回路１３の出力端子１３−ＯＵＴと被試験ＩＣ１０のピ
ン１０−Ｐ１との接続をオン、オフするリレー等のスイ
ッチである。１５は直流特性測定回路１３の入力端子１
３−ＩＮと被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１との接続を
オン、オフするリレー等のスイッチである。１６は抵抗
であり、この抵抗１６を介してスイッチ１５の一端が被
試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に接続されている。
測定する直流特性測定回路である。１４は直流特性測定
回路１３の出力端子１３−ＯＵＴと被試験ＩＣ１０のピ
ン１０−Ｐ１との接続をオン、オフするリレー等のスイ
ッチである。１５は直流特性測定回路１３の入力端子１
３−ＩＮと被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１との接続を
オン、オフするリレー等のスイッチである。１６は抵抗
であり、この抵抗１６を介してスイッチ１５の一端が被
試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に接続されている。
【０００４】尚、信号駆動取り込み回路１１、スイッチ
１２、１４及び１５並びに抵抗１６からなる回路は、図
中中央の下方にも連続して複数設けられており、出力端
子１３−ＯＵＴ、入力端子１３−ＩＮがそれら複数の回
路それぞれを介してピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ２、…と
接続され、直流特性測定回路１３が被試験ＩＣ１０の各
ピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ２、…の直流特性を測定する
ことができるようになっている。
１２、１４及び１５並びに抵抗１６からなる回路は、図
中中央の下方にも連続して複数設けられており、出力端
子１３−ＯＵＴ、入力端子１３−ＩＮがそれら複数の回
路それぞれを介してピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ２、…と
接続され、直流特性測定回路１３が被試験ＩＣ１０の各
ピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ２、…の直流特性を測定する
ことができるようになっている。
【０００５】次に、図４を参照して上記従来のＩＣ試験
装置で被試験ＩＣ１０のピンの直流特性を測定する場合
の動作を説明する。まず、時刻Ｔ１以前に、スイッチ１
２がオン、スイッチ１４、１５がオフの状態で信号駆動
取り込み回路１１から被試験ＩＣ１０のピンに試験パタ
ーン信号を与え、被試験ＩＣ１０の入出力の状態を設定
する。そして、時刻Ｔ１でスイッチ１５をオンにし、直
流特性測定回路１３の入力端子１３−ＩＮを抵抗１６を
介して被試験ＩＣ１０に接続する。これにより、直流特
性測定回路１３の入力端子１３−ＩＮと出力端子１３−
ＯＵＴを被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の電圧にす
る。
装置で被試験ＩＣ１０のピンの直流特性を測定する場合
の動作を説明する。まず、時刻Ｔ１以前に、スイッチ１
２がオン、スイッチ１４、１５がオフの状態で信号駆動
取り込み回路１１から被試験ＩＣ１０のピンに試験パタ
ーン信号を与え、被試験ＩＣ１０の入出力の状態を設定
する。そして、時刻Ｔ１でスイッチ１５をオンにし、直
流特性測定回路１３の入力端子１３−ＩＮを抵抗１６を
介して被試験ＩＣ１０に接続する。これにより、直流特
性測定回路１３の入力端子１３−ＩＮと出力端子１３−
ＯＵＴを被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の電圧にす
る。
【０００６】続いて、時刻Ｔ２でスイッチ１２をオフ、
スイッチ１４をオンとした後、時刻Ｔ３からプログラム
電圧をピン１０−Ｐ１に印加し、被試験ＩＣ１０のピン
１０−Ｐ１の直流特性を測定する。そして、時刻Ｔ４で
プログラム電圧の印加を止め、被試験ＩＣ１０のピン１
０−Ｐ１の電圧をもとに戻す。その後、時刻Ｔ５でスイ
ッチ１２をオンに、スイッチ１４及び１５をオフに戻
し、直流特性測定回路１３の入力端子１３−ＩＮと出力
端子１３−ＯＵＴを０Ｖにして測定を終わる。
スイッチ１４をオンとした後、時刻Ｔ３からプログラム
電圧をピン１０−Ｐ１に印加し、被試験ＩＣ１０のピン
１０−Ｐ１の直流特性を測定する。そして、時刻Ｔ４で
プログラム電圧の印加を止め、被試験ＩＣ１０のピン１
０−Ｐ１の電圧をもとに戻す。その後、時刻Ｔ５でスイ
ッチ１２をオンに、スイッチ１４及び１５をオフに戻
し、直流特性測定回路１３の入力端子１３−ＩＮと出力
端子１３−ＯＵＴを０Ｖにして測定を終わる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うな従来のＩＣ試験装置においては、スイッチ１５と直
流特性測定回路１３との接続点に浮遊容量Ｃが必ず存在
し、時刻Ｔ１以前では入力端子１３−ＩＮにおける電圧
を０Ｖとしているので、時刻Ｔ１でスイッチ１５をオン
にすると、ピン１０−Ｐ１から浮遊容量Ｃへ充電電流が
流れる。このため、ピン１０−Ｐ１の電圧には、図４に
示すように、０Ｖに向かうスパイクが生じ、これが被試
験ＩＣ１０のストレスとなっていた。このようなことか
ら、上記従来のＩＣ試験装置は、ピン１０−Ｐ１とスイ
ッチ１５との間に抵抗１６を直列に挿入することでスパ
イクの量を少なくしていたが、スパイクを完全に抑える
ことはできないものであったため、被試験ＩＣ１０への
ストレスは避けることができなかった。
うな従来のＩＣ試験装置においては、スイッチ１５と直
流特性測定回路１３との接続点に浮遊容量Ｃが必ず存在
し、時刻Ｔ１以前では入力端子１３−ＩＮにおける電圧
を０Ｖとしているので、時刻Ｔ１でスイッチ１５をオン
にすると、ピン１０−Ｐ１から浮遊容量Ｃへ充電電流が
流れる。このため、ピン１０−Ｐ１の電圧には、図４に
示すように、０Ｖに向かうスパイクが生じ、これが被試
験ＩＣ１０のストレスとなっていた。このようなことか
ら、上記従来のＩＣ試験装置は、ピン１０−Ｐ１とスイ
ッチ１５との間に抵抗１６を直列に挿入することでスパ
イクの量を少なくしていたが、スパイクを完全に抑える
ことはできないものであったため、被試験ＩＣ１０への
ストレスは避けることができなかった。
【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ＩＣ素子の直流特性の測定においてスパイクの
発生を回避し、被試験ＩＣにストレスを加えることなく
直流特性を測定することができるＩＣ試験装置を提供す
ることを目的とする。
もので、ＩＣ素子の直流特性の測定においてスパイクの
発生を回避し、被試験ＩＣにストレスを加えることなく
直流特性を測定することができるＩＣ試験装置を提供す
ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、直流特性を測定する際に、被試験ＩＣの
入出力端子電圧に浮遊容量を充電するための電圧伝達手
段、例えば、増幅器とその出力をオン、オフするスイッ
チ等を設ける。この技術思想に基づく各請求項に記載の
発明は、それぞれ、次のような特徴を有するものとなっ
ている。
め、本発明は、直流特性を測定する際に、被試験ＩＣの
入出力端子電圧に浮遊容量を充電するための電圧伝達手
段、例えば、増幅器とその出力をオン、オフするスイッ
チ等を設ける。この技術思想に基づく各請求項に記載の
発明は、それぞれ、次のような特徴を有するものとなっ
ている。
【００１０】請求項１記載の発明は、被試験ＩＣの入出
力状態を設定するＩＣ入出力設定手段と、被試験ＩＣの
入出力端子へその入出力を接続し、被試験ＩＣの直流特
性を測定する測定手段と、被試験ＩＣの入出力状態が設
定された後、前記測定手段がその入出力を前記入出力端
子へ接続する前に、前記入出力端子の電圧を前記入出力
の側へ伝達する電圧伝達手段とを有することを特徴とし
ている。
力状態を設定するＩＣ入出力設定手段と、被試験ＩＣの
入出力端子へその入出力を接続し、被試験ＩＣの直流特
性を測定する測定手段と、被試験ＩＣの入出力状態が設
定された後、前記測定手段がその入出力を前記入出力端
子へ接続する前に、前記入出力端子の電圧を前記入出力
の側へ伝達する電圧伝達手段とを有することを特徴とし
ている。
【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載のＩ
Ｃ試験装置において、前記ＩＣ入出力設定手段は、前記
入出力端子に信号を与える駆動回路及び前記入出力端子
から出力される論理信号を取り込む信号取り込み回路か
らなる信号駆動取り込み回路と、前記信号駆動取り込み
回路の入出力を前記入出力端子に接続する第１のスイッ
チとを有し、前記測定手段は、前記被試験ＩＣの直流特
性を測定する直流特性測定回路と、前記直流特性測定回
路の入力を前記入出力端子に接続する第２のスイッチ
と、前記直流特性測定回路の出力を前記入出力端子に接
続する第３のスイッチとを有し、前記電圧伝達手段は、
前記信号駆動取り込み回路と前記第１のスイッチとの間
の第１の接続部の電圧を前記直流特性測定回路の入力と
前記第２のスイッチとの間の第２の接続部に伝達する電
圧伝達素子と、前記電圧伝達素子の出力を前記第２の接
続部に接続する第４のスイッチとを有することを特徴と
している。
Ｃ試験装置において、前記ＩＣ入出力設定手段は、前記
入出力端子に信号を与える駆動回路及び前記入出力端子
から出力される論理信号を取り込む信号取り込み回路か
らなる信号駆動取り込み回路と、前記信号駆動取り込み
回路の入出力を前記入出力端子に接続する第１のスイッ
チとを有し、前記測定手段は、前記被試験ＩＣの直流特
性を測定する直流特性測定回路と、前記直流特性測定回
路の入力を前記入出力端子に接続する第２のスイッチ
と、前記直流特性測定回路の出力を前記入出力端子に接
続する第３のスイッチとを有し、前記電圧伝達手段は、
前記信号駆動取り込み回路と前記第１のスイッチとの間
の第１の接続部の電圧を前記直流特性測定回路の入力と
前記第２のスイッチとの間の第２の接続部に伝達する電
圧伝達素子と、前記電圧伝達素子の出力を前記第２の接
続部に接続する第４のスイッチとを有することを特徴と
している。
【００１２】請求項３記載の発明は、請求項２記載のＩ
Ｃ試験装置において、前記電圧伝達素子は、電圧ホロワ
構成の増幅器であることを特徴としている。
Ｃ試験装置において、前記電圧伝達素子は、電圧ホロワ
構成の増幅器であることを特徴としている。
【００１３】請求項４記載の発明は、請求項２又は３記
載のＩＣ試験装置において、前記第４のスイッチは、前
記第２のスイッチが前記直流特性測定回路の入力を前記
入出力端子へ接続する時に、前記電圧伝達素子の出力を
前記第２の接続部から遮断することを特徴としている。
載のＩＣ試験装置において、前記第４のスイッチは、前
記第２のスイッチが前記直流特性測定回路の入力を前記
入出力端子へ接続する時に、前記電圧伝達素子の出力を
前記第２の接続部から遮断することを特徴としている。
【００１４】すなわち、本発明によれば、被試験ＩＣの
入出力端子の状態を設定する試験パターン信号を与えた
後、直流特性測定回路等からなる測定手段を接続する前
に、測定手段における浮遊容量を被試験ＩＣの入出力端
子電圧に増幅器等からなる電圧伝達手段で充電すること
により、測定手段を入出力端子と接続するときに被試験
ＩＣから流れる充電電流をなくし、被試験ＩＣにストレ
スを加えることなく直流特性を測定することができるよ
うになる。
入出力端子の状態を設定する試験パターン信号を与えた
後、直流特性測定回路等からなる測定手段を接続する前
に、測定手段における浮遊容量を被試験ＩＣの入出力端
子電圧に増幅器等からなる電圧伝達手段で充電すること
により、測定手段を入出力端子と接続するときに被試験
ＩＣから流れる充電電流をなくし、被試験ＩＣにストレ
スを加えることなく直流特性を測定することができるよ
うになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施
形態によるＩＣ試験装置の構成を示す図である。尚、こ
の図において、１０は上記同様被試験ＩＣであり、１０
−Ｐ１、１０−Ｐ２、…は、その端子（ピン）である。
実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施
形態によるＩＣ試験装置の構成を示す図である。尚、こ
の図において、１０は上記同様被試験ＩＣであり、１０
−Ｐ１、１０−Ｐ２、…は、その端子（ピン）である。
【００１６】図１において、１は被試験ＩＣ１０のピン
１０−Ｐ１へ試験パターン信号を与える駆動回路と被試
験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１から出力される応答出力信
号（論理信号）を取り込む信号取り込み回路とからなる
信号駆動取り込み回路であり、スイッチ２を介してピン
１０−Ｐ１と接続されている。スイッチ２は、信号駆動
取り込み回路１と被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１との
間の接続をオン、オフするリレー等のスイッチであり、
図示せぬ所定のオン／オフ制御信号を受けて動作する。
１０−Ｐ１へ試験パターン信号を与える駆動回路と被試
験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１から出力される応答出力信
号（論理信号）を取り込む信号取り込み回路とからなる
信号駆動取り込み回路であり、スイッチ２を介してピン
１０−Ｐ１と接続されている。スイッチ２は、信号駆動
取り込み回路１と被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１との
間の接続をオン、オフするリレー等のスイッチであり、
図示せぬ所定のオン／オフ制御信号を受けて動作する。
【００１７】一方、３は被試験ＩＣの直流特性を測定す
る直流特性測定回路であり、その出力端子３−ＯＵＴが
スイッチ４の一端と接続され、入力端子３−ＩＮがスイ
ッチ５の一端と接続されている。スイッチ４はリレー等
のスイッチであり、他端が被試験ＩＣのピン１０−Ｐ１
と接続され、図示せぬ所定のオン／オフ制御信号を受け
て直流特性測定回路３の出力端子３−ＯＵＴと被試験Ｉ
Ｃ１０のピン１０−Ｐ１との間の接続をオン、オフす
る。スイッチ５はリレー等のスイッチであり、他端が被
試験ＩＣのピン１０−Ｐ１と接続され、図示せぬ所定の
オン／オフ制御信号を受けて直流特性測定回路３の入力
端子３−ＩＮと被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１との間
の接続をオン、オフする。このスイッチ５と直流特性測
定回路３との接続点には、図示のように浮遊容量Ｃが存
在する
る直流特性測定回路であり、その出力端子３−ＯＵＴが
スイッチ４の一端と接続され、入力端子３−ＩＮがスイ
ッチ５の一端と接続されている。スイッチ４はリレー等
のスイッチであり、他端が被試験ＩＣのピン１０−Ｐ１
と接続され、図示せぬ所定のオン／オフ制御信号を受け
て直流特性測定回路３の出力端子３−ＯＵＴと被試験Ｉ
Ｃ１０のピン１０−Ｐ１との間の接続をオン、オフす
る。スイッチ５はリレー等のスイッチであり、他端が被
試験ＩＣのピン１０−Ｐ１と接続され、図示せぬ所定の
オン／オフ制御信号を受けて直流特性測定回路３の入力
端子３−ＩＮと被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１との間
の接続をオン、オフする。このスイッチ５と直流特性測
定回路３との接続点には、図示のように浮遊容量Ｃが存
在する
【００１８】６はリレー等のスイッチであり、その一端
が直流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮとスイッチ５
の接続点に接続され、他端が増幅器７と接続されてお
り、図示せぬ所定のオン／オフ制御信号を受けてこれら
の間の接続をオン、オフする。増幅器７は、電圧ホロワ
構成の増幅器である。この増幅器７は信号駆動取り込み
回路１とスイッチ２の接続点を入力とし、その出力がス
イッチ６の他端に接続されており、信号駆動取り込み回
路１とスイッチ２との接続点の電圧をスイッチ６を介し
て直流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮとスイッチ５
との接続点に伝達する。
が直流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮとスイッチ５
の接続点に接続され、他端が増幅器７と接続されてお
り、図示せぬ所定のオン／オフ制御信号を受けてこれら
の間の接続をオン、オフする。増幅器７は、電圧ホロワ
構成の増幅器である。この増幅器７は信号駆動取り込み
回路１とスイッチ２の接続点を入力とし、その出力がス
イッチ６の他端に接続されており、信号駆動取り込み回
路１とスイッチ２との接続点の電圧をスイッチ６を介し
て直流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮとスイッチ５
との接続点に伝達する。
【００１９】尚、信号駆動取り込み回路１、スイッチ
２、４〜６及び増幅器７からなる回路は、図中中央の一
点鎖線等で示すように下方にも連続して複数設けられて
おり、出力端子３−ＯＵＴ、入力端子３−ＩＮがそれら
複数の回路それぞれを介してピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ
２、…と接続され、直流特性測定回路３が被試験ＩＣ１
０の各ピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ２、…の直流特性を測
定することができるようになっている。
２、４〜６及び増幅器７からなる回路は、図中中央の一
点鎖線等で示すように下方にも連続して複数設けられて
おり、出力端子３−ＯＵＴ、入力端子３−ＩＮがそれら
複数の回路それぞれを介してピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ
２、…と接続され、直流特性測定回路３が被試験ＩＣ１
０の各ピン１０−Ｐ１、１０−Ｐ２、…の直流特性を測
定することができるようになっている。
【００２０】次に、上記構成による動作について、図２
を参照して説明する。図２は、図１のＩＣ試験装置によ
る直流特性測定の動作タイミングの一例を示すタイミン
グチャートである。
を参照して説明する。図２は、図１のＩＣ試験装置によ
る直流特性測定の動作タイミングの一例を示すタイミン
グチャートである。
【００２１】まず、時刻Ｔ０以前に、スイッチ２がオ
ン、スイッチ４、５及び６がオフの状態で信号駆動取り
込み回路１から被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に試験
パターン信号を与え、被試験ＩＣ１０の入出力の状態を
設定する。
ン、スイッチ４、５及び６がオフの状態で信号駆動取り
込み回路１から被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に試験
パターン信号を与え、被試験ＩＣ１０の入出力の状態を
設定する。
【００２２】その後、時刻Ｔ０において、スイッチ４及
び５はオフとしたままスイッチ６をオンにする。これに
より、増幅器７から電流を供給して浮遊容量Ｃを被試験
ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の電圧と等しい電圧となるま
で充電し、直流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮと出
力端子３−ＯＵＴにおける電圧を被試験ＩＣ１０のピン
１０−Ｐ１の電圧にする。
び５はオフとしたままスイッチ６をオンにする。これに
より、増幅器７から電流を供給して浮遊容量Ｃを被試験
ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の電圧と等しい電圧となるま
で充電し、直流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮと出
力端子３−ＯＵＴにおける電圧を被試験ＩＣ１０のピン
１０−Ｐ１の電圧にする。
【００２３】次いで、時刻Ｔ１でスイッチ６をオフ、ス
イッチ５をオンにして直流特性測定回路３の入力端子３
−ＩＮを被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に接続し、直
流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮと出力端子３−Ｏ
ＵＴにおける電圧を被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の
電圧に保つ。
イッチ５をオンにして直流特性測定回路３の入力端子３
−ＩＮを被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１に接続し、直
流特性測定回路３の入力端子３−ＩＮと出力端子３−Ｏ
ＵＴにおける電圧を被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の
電圧に保つ。
【００２４】ここで、時刻Ｔ１でスイッチ５をオンにす
る時には、浮遊容量Ｃの電圧が既に被試験ＩＣ１０のピ
ン１０−Ｐ１の電圧と等しくなっているので、スパイク
は発生しない。又、時刻Ｔ１以降はスイッチ６をオフと
することとしているので、被試験ＩＣ１０のピン１０−
Ｐ１について以下の手順により正しく直流特性の測定を
行うことができる。
る時には、浮遊容量Ｃの電圧が既に被試験ＩＣ１０のピ
ン１０−Ｐ１の電圧と等しくなっているので、スパイク
は発生しない。又、時刻Ｔ１以降はスイッチ６をオフと
することとしているので、被試験ＩＣ１０のピン１０−
Ｐ１について以下の手順により正しく直流特性の測定を
行うことができる。
【００２５】時刻Ｔ１以降、時刻Ｔ２でスイッチ２をオ
フ、スイッチ４をオンにした後、時刻Ｔ３から直流特性
測定回路３によって所定のプログラム電圧をピン１０−
Ｐ１に印加し、被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の直流
特性を測定する。
フ、スイッチ４をオンにした後、時刻Ｔ３から直流特性
測定回路３によって所定のプログラム電圧をピン１０−
Ｐ１に印加し、被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の直流
特性を測定する。
【００２６】その後、時刻Ｔ４でプログラム電圧の印加
を止め、被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の電圧をもと
に戻し、時刻Ｔ５でスイッチ２をオンに、スイッチ４及
び５をオフに戻す。これにより、直流特性測定回路３の
入力端子３−ＩＮと出力端子３−ＯＵＴの電圧を０Ｖに
し、測定を終わる。
を止め、被試験ＩＣ１０のピン１０−Ｐ１の電圧をもと
に戻し、時刻Ｔ５でスイッチ２をオンに、スイッチ４及
び５をオフに戻す。これにより、直流特性測定回路３の
入力端子３−ＩＮと出力端子３−ＯＵＴの電圧を０Ｖに
し、測定を終わる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、Ｉ
Ｃ入出力設定手段によって被試験ＩＣの入出力状態が設
定された後、測定手段の入出力が被試験ＩＣの入出力端
子へ接続される前に、その入出力端子の電圧を測定手段
の入出力の側へ伝達することとしたので、測定手段に存
在する浮遊容量が被試験ＩＣの入出力端子電圧に充電さ
れ、測定手段を入出力端子と接続するときには被試験Ｉ
Ｃから浮遊容量への充電電流が流れないことになる。こ
れにより、ＩＣ素子の直流特性測定におけるスパイクの
発生を回避することができ、被試験ＩＣにストレスを加
えることなく直流特性を測定することができるという効
果が得られる。
Ｃ入出力設定手段によって被試験ＩＣの入出力状態が設
定された後、測定手段の入出力が被試験ＩＣの入出力端
子へ接続される前に、その入出力端子の電圧を測定手段
の入出力の側へ伝達することとしたので、測定手段に存
在する浮遊容量が被試験ＩＣの入出力端子電圧に充電さ
れ、測定手段を入出力端子と接続するときには被試験Ｉ
Ｃから浮遊容量への充電電流が流れないことになる。こ
れにより、ＩＣ素子の直流特性測定におけるスパイクの
発生を回避することができ、被試験ＩＣにストレスを加
えることなく直流特性を測定することができるという効
果が得られる。
【００２８】ここで、これを更に具体化した請求項２記
載の発明によれば、第１のスイッチにより信号駆動取り
込み回路の入出力を被試験ＩＣの入出力端子に接続して
入出力状態の設定を行い、第４のスイッチにより電圧伝
達素子の出力を第２の接続部に接続して第１の接続部の
電圧を伝達し、その後に第２、第３のスイッチにより直
流特性測定回路の入力、出力を被試験ＩＣの入出力端子
に接続することとしたので、第２のスイッチがオンする
以前に、第２の接続部（直流特性測定回路の入力と第２
のスイッチの接続部）の浮遊容量が電圧伝達素子により
充電されて被試験ＩＣの入出力端子電圧になっているの
で、第２のスイッチがオンするときにはスパイクが発生
しない。尚、ここにいう電圧伝達素子の例としては、請
求項３に記載のように、電圧ホロワ構成の増幅器を用い
ることができる。
載の発明によれば、第１のスイッチにより信号駆動取り
込み回路の入出力を被試験ＩＣの入出力端子に接続して
入出力状態の設定を行い、第４のスイッチにより電圧伝
達素子の出力を第２の接続部に接続して第１の接続部の
電圧を伝達し、その後に第２、第３のスイッチにより直
流特性測定回路の入力、出力を被試験ＩＣの入出力端子
に接続することとしたので、第２のスイッチがオンする
以前に、第２の接続部（直流特性測定回路の入力と第２
のスイッチの接続部）の浮遊容量が電圧伝達素子により
充電されて被試験ＩＣの入出力端子電圧になっているの
で、第２のスイッチがオンするときにはスパイクが発生
しない。尚、ここにいう電圧伝達素子の例としては、請
求項３に記載のように、電圧ホロワ構成の増幅器を用い
ることができる。
【００２９】又、請求項４記載の発明によれば、第２の
スイッチが直流特性測定回路の入力を被試験ＩＣの入出
力端子へ接続する時に、第４のスイッチが電圧伝達素子
の出力を第２の接続部から遮断することとしたので、こ
れ以降の直流特性測定を正しく行うことができる。
スイッチが直流特性測定回路の入力を被試験ＩＣの入出
力端子へ接続する時に、第４のスイッチが電圧伝達素子
の出力を第２の接続部から遮断することとしたので、こ
れ以降の直流特性測定を正しく行うことができる。
【図１】 本発明の一実施形態によるＩＣ試験装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図２】 同ＩＣ試験装置による直流特性測定の動作タ
イミングの一例を示すタイミングチャートである。
イミングの一例を示すタイミングチャートである。
【図３】 従来のＩＣ試験装置の構成を示す図である。
【図４】 従来のＩＣ試験装置の動作を示すタイミング
チャートである。
チャートである。
１ 信号駆動取り込み回路 ２、４〜６ スイッチ ３ 直流特性測定回路 ７ 増幅器 １０ 被試験ＩＣ
Claims (4)
- 【請求項１】 被試験ＩＣの入出力状態を設定するＩＣ
入出力設定手段と、 被試験ＩＣの入出力端子へその入出力を接続し、被試験
ＩＣの直流特性を測定する測定手段と、 被試験ＩＣの入出力状態が設定された後、前記測定手段
がその入出力を前記入出力端子へ接続する前に、前記入
出力端子の電圧を前記入出力の側へ伝達する電圧伝達手
段とを有することを特徴とするＩＣ試験装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のＩＣ試験装置において、 前記ＩＣ入出力設定手段は、前記入出力端子に信号を与
える駆動回路及び前記入出力端子から出力される論理信
号を取り込む信号取り込み回路からなる信号駆動取り込
み回路と、前記信号駆動取り込み回路の入出力を前記入
出力端子に接続する第１のスイッチとを有し、 前記測定手段は、前記被試験ＩＣの直流特性を測定する
直流特性測定回路と、前記直流特性測定回路の入力を前
記入出力端子に接続する第２のスイッチと、前記直流特
性測定回路の出力を前記入出力端子に接続する第３のス
イッチとを有し、 前記電圧伝達手段は、前記信号駆動取り込み回路と前記
第１のスイッチとの間の第１の接続部の電圧を前記直流
特性測定回路の入力と前記第２のスイッチとの間の第２
の接続部に伝達する電圧伝達素子と、前記電圧伝達素子
の出力を前記第２の接続部に接続する第４のスイッチと
を有することを特徴とするＩＣ試験装置。 - 【請求項３】 請求項２記載のＩＣ試験装置において、 前記電圧伝達素子は、電圧ホロワ構成の増幅器であるこ
とを特徴とするＩＣ試験装置。 - 【請求項４】 請求項２又は３記載のＩＣ試験装置にお
いて、 前記第４のスイッチは、前記第２のスイッチが前記直流
特性測定回路の入力を前記入出力端子へ接続する時に、
前記電圧伝達素子の出力を前記第２の接続部から遮断す
ることを特徴とするＩＣ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10017542A JPH11211787A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10017542A JPH11211787A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11211787A true JPH11211787A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11946815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10017542A Pending JPH11211787A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11211787A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6337819B1 (en) * | 1999-04-28 | 2002-01-08 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having on-chip terminal with voltage to be measured in test |
-
1998
- 1998-01-29 JP JP10017542A patent/JPH11211787A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6337819B1 (en) * | 1999-04-28 | 2002-01-08 | Fujitsu Limited | Semiconductor device having on-chip terminal with voltage to be measured in test |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041001 |