JPH11211697A - 昇温脱離ガス分析装置及び昇温脱離ガス分析方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】各種無機成分から成る部材を昇温加熱した際に
発生する気化成分より成る昇温脱離ガス中、昇温脱離ガ
ス分析装置の低温部で凝集固化する成分を効率良く回収
し、凝集せずに気体のまま存在する昇温脱離ガス成分と
共に、定性・定量分析可能な昇温脱離ガス分析装置及び
昇温脱離ガス分析方法を提供する。 【解決手段】昇温脱離ガス出口側７に冷却装置８を備え
た石英より成るチューブ５を配設した加熱部３と、昇温
脱離ガス成分を測定する質量分析計４とから成る昇温脱
離ガス分析装置で、石英より成るチューブ５に収納した
試料２を加熱部３により昇温加熱して昇温脱離ガスを発
生させ、該昇温脱離ガスを昇温脱離ガス出口側７に設け
た冷却装置８で冷却し、凝集固化物はＩＣＰ発光分光分
析装置又は原子吸光分析装置で、凝集しない気体は質量
分析計４で定性・定量分析する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子収納用
パッケージや各種誘電体材料等として用いられる各種セ
ラミックスやガラス材料、あるいは配線基板用の電極と
して用いられる各種金属材料等の無機成分から成る固体
又は粉体試料を昇温加熱した際に発生する前記試料表面
に吸着又は吸蔵している成分は勿論、試料に含有される
気化成分の昇温脱離ガスの内、冷却することにより凝集
する昇温脱離ガス成分が捕集可能で、かつ測定雰囲気を
任意に変更できると共に、該雰囲気圧が大気圧下あるい
は減圧下で分析装置の低温部で凝集固化する成分も含め
た昇温脱離ガス成分を測定可能な昇温脱離ガス分析装置
及び昇温脱離ガス分析方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、各種固体又は粉体等の表面に
吸着又は吸蔵している成分は勿論、それに含有される気
化成分を分析し、製造プロセスや材料の最適化あるいは
製造工程の管理等に活用することが行われており、例え
ば、半導体製造技術においては、複雑化してきた製造プ
ロセスを精密に制御するために、洗浄やエッチング、薄
膜形成、酸化等、とりわけ前記各種固体又は粉体等の表
面での状態を把握すべく昇温脱離ガス分析法が種々検討
されている。

【０００３】かかる昇温脱離ガス分析法で採用されてい
る昇温脱離ガス分析装置としては、例えば、半導体ウェ
ハーの表面に吸着又は吸蔵している不純物成分を分析す
るため、超高真空のチャンバー内で半導体ウェハー試料
を赤外線加熱により該試料のみを昇温して、発生したガ
スを質量分析計にて分析する装置等に代表されるよう
に、内部を真空状態に制御できるチャンバーと各種加熱
装置、及びガス分析装置とから成るものが知られてい
る。

【０００４】前記昇温脱離ガス分析装置を用いた昇温脱
離ガスの測定方法は、一般的に、チャンバー内部を真空
にしてチャンバー自体を、あるいはチャンバー内に収容
した測定試料のみを抵抗体加熱や赤外線加熱等の各種加
熱装置により一定の昇温速度で加熱し、この時に発生す
るガス、即ち昇温脱離ガスを目的に応じてガスクロマト
グラフや赤外分光分析装置、あるいは質量分析計等のガ
ス分析装置により測定するものであった。

【０００５】しかし、前記昇温脱離ガス分析装置やそれ
を用いた昇温脱離ガス分析方法では、再現性や感度、あ
るいは測定時間が長時間に及ぶ等の問題が残されてい
た。

【０００６】そこで、前記問題を解消するために、試料
加熱部を大気圧雰囲気にして測定することにより、パー
ジするガスの種類を変更することで、試料を昇温加熱す
る際の雰囲気を変えて昇温脱離ガス成分を測定すること
ができる装置や（特開平７−８３８０８号公報参照）、
熱分解ガスクロマトグラフ−質量分析計を用い、不活性
ガスをパージしながら試料を加熱した際に発生するガス
を、一度、カラム等のトラップに捕集し、トラップと発
生ガスの親和性の違いによりガス種毎に脱離する温度や
時間が異なることを利用し、このトラップを加熱するこ
とにより混合ガスを分離し、脱離したガスを質量分析計
にて分析して解析精度を向上する方法（特開平８−７５
７１９号公報参照）等が提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記提
案の昇温脱離ガス分析装置においては、試料加熱時に発
生する脱離ガス成分の内、測定機器に到達するまで気体
の状態で存在する成分の分析は可能ではあるが、気化し
た後に前記分析装置の低温部で冷却されて凝集する成
分、例えば、Ｂ₂ Ｏ₃ やＮａ₂ Ｏ、ＺｎＯ、ＭｏＯ₃ 、
Ｃｕ等があり、これら成分は測定機器に到達する前に昇
温脱離ガス分析装置の構成部材であるチャンバーの内壁
や配管等、あるいは測定機器自体に凝集して固化してし
まうため、昇温脱離ガスを正確に分析することができな
いという課題があった。

【０００８】また、前記熱分解ガスクロマトグラフ−質
量分析計を用いる方法においても、前記凝集成分がカラ
ムの中に凝集して目詰まりを起こしたり、カラムに到達
する前に凝集したりするため、前記同様に昇温脱離ガス
を正確に分析できないという課題があった。

【０００９】

【発明の目的】本発明は、前記課題を解消するために成
されたもので、その目的は、各種無機成分から成る固体
又は粉体試料を昇温加熱した際に発生する試料表面に吸
着又は吸蔵している成分、あるいは試料に含有される気
化成分の昇温脱離ガス中、測定機器に到達する前に昇温
脱離ガス分析装置を構成するチャンバーの内壁や配管、
あるいは測定機器自体等の低温部で凝集して固化するた
め、従来は測定不可能であった昇温脱離ガス成分を効率
良く回収し、測定機器まで凝集せずに気体のまま存在す
る昇温脱離ガス成分と共に、精度良く定性・定量分析す
ることが可能な昇温脱離ガス分析装置及び昇温脱離ガス
分析方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者は、前記課題に
鑑み鋭意検討した結果、各種無機成分から成る固体又は
粉体試料を昇温加熱する際、該試料を耐熱性及び耐酸性
に優れた石英製のチューブに収納して加熱し、発生した
昇温脱離ガスを予め前記チューブ内部で凝集する成分は
固化させておき、ガス状成分と固化成分をそれぞれ測定
機器で分析することにより、昇温脱離ガスの定性・定量
分析が正確にできることを見いだし、本発明の昇温脱離
ガス分析装置及び昇温脱離ガス分析方法に至った。

【００１１】即ち、本発明の昇温脱離ガス分析装置は、
試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させるために加熱部
に配設した試料収納部を成す石英より成るチューブの昇
温脱離ガス出口側の周囲に、０〜６０℃に温度制御可能
な冷却装置を設けると共に、昇温脱離ガスの成分を測定
するための質量分析計とを備えたことを特徴とするもの
である。

【００１２】また、本発明の他の昇温脱離ガス分析装置
は、試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させるために加
熱部に配設した試料収納部を成す石英より成るチューブ
を、外気と密閉可能な円筒状のチャンバー内に収容可能
となるように、チャンバー内径の４０〜７０％の外径を
有するものと成し、該チューブの昇温脱離ガス出口側外
周部のチャンバーに、０〜６０℃に温度制御可能な冷却
装置を設けると共に、昇温脱離ガスの成分を測定するた
めの質量分析計とを備えたことを特徴とするものであ
る。

【００１３】更に、本発明の昇温脱離ガス分析方法は、
先ず、無機成分から成る固体又は粉体試料を試料収納部
を成す石英より成るチューブ内に収納した後、該チュー
ブを加熱部に配置し、次いでチューブ内の前記固体又は
粉体試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させ、前記チュ
ーブの昇温脱離ガス出口側、あるいは昇温脱離ガス出口
側外周部のチャンバーに設けた０〜６０℃に温度制御可
能な冷却装置により昇温脱離ガスを冷却し、凝集する成
分を前記チューブ内壁に固化させて捕集し、凝集しない
昇温脱離ガスの成分を質量分析計で測定すると共に、前
記捕集した固化物は酸で溶解した後、ＩＣＰ発光分光分
析装置あるいは原子吸光分析装置により定性・定量分析
を行うことを特徴とするものである。

【００１４】

【作用】本発明の昇温脱離ガス分析装置及び昇温脱離ガ
ス分析方法によれば、石英から成る試料収納部を成すチ
ューブの昇温脱離ガス出口側、あるいは昇温脱離ガス出
口側外周のチャンバーに、昇温脱離ガスを冷却するため
の温度制御可能な冷却装置を設けたことから、昇温脱離
ガス成分中、温度が下がれば容易に凝集して固化する成
分を、前記昇温脱離ガス分析装置を構成するチャンバー
や配管、更には測定機器等ではなく、試料収納部である
前記チューブ内で効率良く捕集することができ、分析精
度を阻害することがない。

【００１５】更に、チューブ内部に捕集した昇温脱離ガ
ス中の固化成分は、酸溶解することにより容易に溶液化
することができ、得られた溶液はＩＣＰ発光分光分析装
置や、原子吸光分析装置により定性・定量分析を行い、
一般の昇温脱離ガス分析により得られる発生ガスの情報
に加えて、通常、測定することが困難であった前記分析
装置の低温部で凝集した昇温脱離ガスの固化成分まで正
確に定性・定量分析を行うことが可能となり、昇温脱離
ガスの分析精度を向上させることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の昇温脱離ガス分析
装置及び昇温脱離ガス分析方法について、図面に基づき
詳細に説明する。

【００１７】図１は、本発明の昇温脱離ガス分析装置の
概略構成を示す図であり、図において、１は、試料２を
収納し、昇温脱離ガス出口側７に冷却装置８を具備した
石英より成るチューブ５を配設した加熱部３と、昇温脱
離ガスの成分を測定するための質量分析計４とから成る
昇温脱離ガス分析装置である。

【００１８】前記石英より成るチューブ５は、ロータリ
ーポンプ９及びターボ分子ポンプ１０により減圧するこ
とにより真空雰囲気とした後、加熱部３により昇温加熱
され、収納した試料２から昇温脱離ガスを発生させ、該
昇温脱離ガスは石英より成るチューブ５の昇温脱離ガス
出口側７に設けた冷却装置８により冷却されて凝集する
成分を石英より成るチューブ５の内壁に固化させること
ができると共に、凝集しない昇温脱離ガスは、質量分析
計４で定性・定量分析されることになる。

【００１９】一方、図２は、本発明の他の昇温脱離ガス
分析装置の概略構成を示す図であり、図において、１
は、試料２を収納した石英より成るチューブ５を収容
し、石英より成るチューブ５の昇温脱離ガス出口側７の
外周部に冷却装置８を具備した外気と密閉可能な円筒状
のチャンバー６を配設した加熱部３と、昇温脱離ガスの
成分を測定するための質量分析計４とから成る昇温脱離
ガス分析装置である。

【００２０】前記外気と密閉可能なチャンバー６内は、
測定雰囲気を真空にする場合には、バルブを操作してロ
ータリーポンプ９及びターボ分子ポンプ１０により減圧
すれば良く、又、大気圧下で任意のガス雰囲気で測定す
る場合にも一連のバルブを操作して任意のガスを流通さ
せ、更に質量分析計４に取り込まれるガス量をバルブ操
作で抑制して測定することにより、目的の雰囲気下にお
ける昇温脱離ガスの測定が可能となる。

【００２１】本発明における試料は、セラミックスやガ
ラス、金属及びそれらの複合材等の無機成分から成る固
体又は粉体のいずれにも適用可能であり、その形状形態
は特に限定するものではなく、いずれも昇温脱離ガス分
析が可能である。

【００２２】又、取り扱う試料が粉体の場合には、試料
収納部を成す石英より成るチューブに直接、充填した
り、該チューブより径が小さく、長さも短い別の石英管
に充填しても良く、その場合には試料粉末の両側を石英
ウール等で栓をしておくことが望ましいが、白金ボート
や石英ボート、磁製ボート、あるいは白金カップや磁製
カップ等に載せて前記チューブ内に挿入する方法も好適
である。

【００２３】次に、本発明の加熱部は、前記試料を直
接、あるいは間接に加熱昇温して脱離ガスを発生させる
ことができればいずれでも良く、例えば、公知の抵抗体
加熱方式や誘導加熱方式等の加熱炉を用いても良く、あ
るいは公知の赤外線加熱方式等の赤外線を試料に照射す
ることにより加熱するものであっても良い。

【００２４】又、測定試料を収納し、加熱昇温して脱離
ガスを発生させる石英より成るチューブとしては、耐熱
温度が１０００℃程度の一般に使用されるものであれば
適用でき、透明あるいは不透明は問わないが、試料の収
納や取り出し時に目視でき、操作性の点では透明の方が
好ましい。

【００２５】一方、前記石英より成るチューブを円筒形
状のチャンバー内に収容して用いる場合には、石英より
成るチューブの外径は、チャンバーの内径に比べて大き
過ぎると大気圧雰囲気下で測定する際にキャリアガス
（雰囲気ガス）が流れ難くなったり、発生する昇温脱離
ガスの冷却効率が落ちる等の問題が生じ、逆に前記外径
が小さ過ぎると、試料を出し入れする際の操作性が悪く
なるという問題が生じる。

【００２６】従って、前記石英より成るチューブの外径
は円筒形状のチャンバーの内径に対して４０〜７０％に
相当するものに特定される。

【００２７】尚、前記加熱部にチャンバーを用いず直
接、試料を収納した石英より成るチューブを加熱する図
１のような構造を有する昇温脱離ガス分析装置では、石
英より成るチューブの外径はこの限りではない。

【００２８】また、前記石英より成るチューブの長さ
は、加熱部の均熱長さや使用温度により適宜、選択する
ことが望ましいが、該チューブの昇温脱離ガス出口側周
辺を０〜６０℃の温度範囲に冷却した際、熱歪み等の熱
影響により該チューブが破壊されることのない長さを有
するようにすれば良い。

【００２９】更に、前記石英より成るチューブは、両端
が開放端となったものを用いても良いが、凝集固化成分
を酸溶解して回収する際に少量の酸で操作を行うことが
可能な、片端を閉じた試験管状の構造を有するものが好
適である。

【００３０】次に、前記チャンバーは、直接、チャンバ
ーを加熱する場合には、気密性があり、チャンバー内を
１×１０^-5Ｐａに減圧し、１０００℃まで加熱しても変
形や破損を生じない磁製が好適であり、円筒形状で前記
冷却することによる破損を生じない長さを有するもので
あれば良い。

【００３１】とりわけ、前記磁製チャンバーには、９
９．９％以上の高純度アルミナから成る円筒管が望まし
い。

【００３２】又、試料のみを加熱する場合には、真空用
途に適用される発生ガスを抑制する処理を施した金属製
が好適である。

【００３３】前記石英より成るチューブの昇温脱離ガス
出口側、あるいはその外周部のチャンバーに設けた冷却
装置としては、公知の水冷ジャケット方式や空冷方式等
によるものが適用可能であるが、昇温脱離ガスの凝集固
化成分の回収効率を向上するためには水冷ジャケットに
より外側から冷却する構造が望ましい。

【００３４】又、前記冷却装置の設定温度は、質量分析
計に到達する昇温脱離ガスの温度よりも低く設定し、昇
温脱離ガス出口から質量分析計に至る途中の配管内壁等
への凝集固化を防止するという点からは、０〜６０℃の
温度範囲であることが必要である。

【００３５】次に、本発明の昇温脱離ガス分析方法は、
石英より成るチューブの昇温脱離ガス出口側に設けた冷
却装置により冷却しても、気体のままで存在する昇温脱
離ガス成分の分析は、多量の雰囲気ガスをチャンバー内
に流し込み、直接、質量分析計で定性分析により特定し
たり、チャンバー内に標準ガスを注入する等の方法によ
り、検量線を作成して測定するか、あるいはバルブ操作
により極く微量の雰囲気ガスを流し、得られた質量分析
計のピーク積分強度より昇温脱離ガスの気体のままの成
分を定量分析することができる。

【００３６】一方、前記凝集固化成分は、昇温加熱後の
石英より成るチューブを十分冷却してから装置より取り
外し、チューブ内の試料を取り除き、該チューブ内に塩
酸や硝酸、硫酸、あるいはそれらの混酸を可能な限り少
量注入して溶解する。

【００３７】尚、前記溶解時には、超音波装置を併用す
ると速やかに処理することが可能である。

【００３８】次に、前記溶液をメスフラスコに回収して
定容量化し、ＩＣＰ発光分光分析装置あるいは原子吸光
分析装置を用いて定性分析した後、検出した元素につい
て検量線を作成して定量分析を行う。

【００３９】特に、試料として前記各種ガラスを用いて
昇温脱離ガスの分析をする際には、アルカリ金属成分や
ホウ素が凝集し易いため、原子吸光分析装置を用いて分
析することが望ましい。

【００４０】又、本発明の昇温脱離ガス分析方法では、
分析対象となる試料表面に吸着又は吸蔵している成分と
しては、例えば、Ｎａ₂ Ｏ等のアルカリ金属の酸化物
が、一方、試料に含有される気化成分としては、例え
ば、Ｂ₂ Ｏ₃ やＺｎＯ、ＭｇＯ、ＭｏＯ₃ 、ＷＯ₃ 、Ｃ
ｕ等が昇温脱離ガスとして挙げられる。

【００４１】

【実施例】次に、本発明の昇温脱離ガス分析装置及び昇
温脱離ガス分析方法について、以下のようにして評価し
た。

【００４２】先ず、測定に用いる粉末試料充填用の石英
管及び石英より成るチューブ、チャンバーを、予め１×
１０^-4Ｐａの真空雰囲気下、７００℃の温度で１時間の
熱処理をして空焼きした。

【００４３】次に、試料としてホウ素（Ｂ）を約１０重
量部含有した結晶化ガラス粉末０．０５０ｇを秤量し、
該試料を内径１０ｍｍの前記石英管に充填すると共に、
該石英管の両開放端に石英ウールにて栓をした後、該石
英管を片端を封じた長さ５００ｍｍ、外径２３ｍｍの石
英より成るチューブ内の一番奥に収納し、次いで加熱炉
内に装着したチャンバーに収容した。

【００４４】その後、チャンバー内をロータリーポンプ
及びターボ分子ポンプを稼働して減圧し、内部の圧力が
１×１０^-4Ｐａの真空度に到達した時点で、石英より成
るチューブの昇温脱離ガス出口側付近を、その外周部の
チャンバーに設けた水冷ジャッケットにより３０〜５０
℃の温度範囲に冷却しながら、１０℃／ｍｉｎの昇温速
度で６００℃まで加熱した。

【００４５】そして、前記加熱により発生した昇温脱離
ガス成分の内、石英より成るチューブの冷却部で凝集固
化されないガス成分は、四重極型質量分析計にて検出
し、得られた質量スペクトルより定性分析を、又、質量
電荷比（Ｍ／ｅ）のピーク面積を求めて定量分析を行っ
た。

【００４６】一方、前記石英より成るチューブの冷却部
で凝集固化して捕集された昇温脱離ガス成分は、チャン
バーを十分に冷却した後、前記チューブを取り出して該
チューブ内に残った昇温加熱後の試料を取り除き、次い
で該チューブ内を塩酸と硝酸を１対１の割合で混合した
酸液５０ｍｌで超音波洗浄し、凝集固化成分を溶液化し
てメスフラスコに回収し、純水で１００ｍｌに定容量化
した。

【００４７】かくして得られた溶液をＩＣＰ発光分光分
析装置にて定性分析した後、検量線を利用して検出され
た元素について定量分析を行った。

【００４８】尚、従来のように石英より成るチューブを
用いず、チャンバー内に直接、試料を充填した磁製ボー
トを収容し、前記同様の測定条件で昇温加熱して昇温脱
離ガスの分析を行ない比較例とした。

【００４９】

【表１】

【００５０】表より明らかなように、試料の加熱により
発生した昇温脱離ガス成分の内、石英より成るチューブ
の冷却部で凝集固化しないガス成分は、本発明の例も比
較例もほとんど大差なく検出されているが、比較例では
Ｂが全く検出されなかったのに対して、本発明の例では
明らかに凝集固化成分としてＢが検出されていることが
分かる。

【００５１】尚、本発明は前記詳述した実施例に何等、
限定されるものではない。

【００５２】

【発明の効果】本発明の昇温脱離ガス分析装置及び昇温
脱離ガス分析方法によれば、石英から成る試料収納部を
成すチューブの昇温脱離ガス出口側、あるいは昇温脱離
ガス出口側外周のチャンバーに、昇温脱離ガスを冷却す
るための温度制御可能な冷却装置を設け、前記チューブ
内部に捕集した昇温脱離ガス中の固化成分は溶液化して
ＩＣＰ発光分光分析装置や、原子吸光分析装置により定
性・定量分析を行うことから、昇温脱離ガス成分中、温
度が下がれば容易に凝集して固化する成分を、試料収納
部である前記チューブ内で効率良く捕集することがで
き、捕集した昇温脱離ガス中の固化成分は酸溶解するこ
とにより容易に溶液化することができ、一般の昇温脱離
ガス分析により得られる発生ガスの情報に加えて、通
常、測定することが困難であった前記分析装置の低温部
で凝集した昇温脱離ガスの固化成分まで正確に定性・定
量分析を行うことが可能となり、昇温脱離ガスの分析精
度を向上させることができる。

【００５３】その結果、焼成あるいは熱処理した際に、
セラミックスやガラス、金属等から成る各種試料や製品
の表面組成を推定することが可能になると共に、各種セ
ラミック製品やガラス製品、金属製品等の製造工程にお
ける製造プロセスや材料の最適化、あるいは昇温脱離ガ
ス成分中、凝集固化して炉や熱処理装置等を汚染する成
分の有無を評価する等、製造ラインの管理にも活用でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の昇温脱離ガス分析装置の概略構成を示
す図である。

【図２】本発明の他の昇温脱離ガス分析装置の概略構成
を示す図である。

【符号の説明】

１ 昇温脱離ガス分析装置 ２ 試料 ３ 加熱部 ４ 質量分析計 ５ 石英より成るチューブ ６ チャンバー ７ 昇温脱離ガス出口側 ８ 冷却装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｇ０１Ｎ 21/73 Ｇ０１Ｎ 1/28 Ｋ Ｘ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させる
   ための加熱部と、前記試料から発生した昇温脱離ガスの
   成分を測定するための質量分析計とを備えた昇温脱離ガ
   ス分析装置であって、前記加熱部に試料を昇温加熱して
   脱離ガスを発生させるための石英より成るチューブを配
   設し、該チューブの昇温脱離ガス出口側の周囲に、０〜
   ６０℃に温度制御可能な冷却装置を具備したことを特徴
   とする昇温脱離ガス分析装置。
2. 【請求項２】試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させる
   ための加熱部と、前記試料から発生した昇温脱離ガスの
   成分を測定するための質量分析計とを備えた昇温脱離ガ
   ス分析装置であって、前記加熱部に試料を昇温加熱して
   脱離ガスを発生させるための外気と密閉可能な円筒状の
   チャンバーと、該チャンバー内に収容可能とした該チャ
   ンバー内径の４０〜７０％の外径を有する石英より成る
   チューブとを配設し、該チューブの昇温脱離ガス出口側
   外周部のチャンバーに、０〜６０℃に温度制御可能な冷
   却装置を具備したことを特徴とする昇温脱離ガス分析装
   置。
3. 【請求項３】無機成分から成る固体又は粉体試料を石英
   より成るチューブ内に収納し、該チューブを加熱部に配
   設した後、チューブ内の前記固体又は粉体試料を昇温加
   熱して脱離ガスを発生させ、前記チューブの昇温脱離ガ
   ス出口側、あるいは昇温脱離ガス出口側外周部のチャン
   バーに設けた０〜６０℃に温度制御可能な冷却装置によ
   り昇温脱離ガスを冷却し、該昇温脱離ガスの内、凝集し
   ない昇温脱離ガスの成分を質量分析計で測定すると共
   に、凝集する成分を前記チューブ内壁に固化させて捕集
   し、該固化物を酸で溶解した後、ＩＣＰ発光分光分析装
   置あるいは原子吸光分析装置により分析することを特徴
   とする昇温脱離ガス分析方法。