JP2013234911A - 昇温脱離分析方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空状態のチャンバ101内で、赤外線ランプ103で試料載置台104を加熱することで、固体試料102を加熱し、固体試料102に含まれている物質を脱離させる。次に、真空状態とされているチャンバ101内で、固体試料102より脱離した脱離物質を、冷却部121により冷却する。次に、真空状態とされているチャンバ101内で、冷却部121により冷却された物質をイオン化部108でイオン化する。
【選択図】 図1
Description
Claims (3)
- 真空雰囲気で測定対象の固体試料を加熱して前記固体試料に含まれている物質を脱離させて放出させる第1ステップと、
真空雰囲気で放出された前記物質を冷却する第2ステップと、
真空雰囲気で冷却された前記物質をイオン化してイオンとする第3ステップと、
真空雰囲気でイオン化された前記イオンの質量分析を行う第4ステップと
を少なくとも備えることを特徴とする昇温脱離分析方法。 - 密閉可能なチャンバと、
前記チャンバ内を真空排気する排気手段と、
前記チャンバ内に配置されて測定対象の固体試料を載置して前記固体試料を加熱可能とされた試料載置台と、
加熱された前記固体試料より脱離して放出される物質を冷却する冷却手段と、
前記冷却手段に冷却された前記物質をイオン化するイオン化手段と、
前記イオン化手段によりイオン化された前記イオンの質量分析を行う質量分析手段と、
前記試料載置台による固体試料の加熱温度を制御する試料温度制御手段と
を少なくとも備えることを特徴とする昇温脱離分析装置。 - 請求項2記載の昇温脱離分析装置において、
前記冷却手段による前記物質の冷却温度を制御する冷却温度制御手段を備えることを特徴とする昇温脱離分析装置。
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JP2021018191A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | 国立大学法人群馬大学 | 昇温脱離分析装置及び昇温脱離分析方法 |
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JPH11211697A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Kyocera Corp | 昇温脱離ガス分析装置及び昇温脱離ガス分析方法 |
JP2011247713A (ja) * | 2010-05-26 | 2011-12-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 昇温脱離分析方法および昇温脱離分析装置 |
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2012
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