JPH11210942A - チューブ - Google Patents
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- JPH11210942A JPH11210942A JP10009808A JP980898A JPH11210942A JP H11210942 A JPH11210942 A JP H11210942A JP 10009808 A JP10009808 A JP 10009808A JP 980898 A JP980898 A JP 980898A JP H11210942 A JPH11210942 A JP H11210942A
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Landscapes
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】優れた耐屈曲性と優れた表面平滑性を合わせ持
つチューブを提供する。 【解決手段】テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロ
プロピレン系共重合体１〜３０重量％と、テトラフルオ
ロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）
系共重合体７０〜９９重量％を含む組成物を押出成形し
て得られるチューブ。
つチューブを提供する。 【解決手段】テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロ
プロピレン系共重合体１〜３０重量％と、テトラフルオ
ロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）
系共重合体７０〜９９重量％を含む組成物を押出成形し
て得られるチューブ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐屈曲性および表
面平滑性に優れた押出成形チューブに関する。
面平滑性に優れた押出成形チューブに関する。
【０００２】
【従来の技術】テトラフルオロエチレン（以下、ＴＦＥ
という）／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）系
共重合体（以下、ＰＦＡとする）およびＴＦＥ／ヘキサ
フルオロプロピレン（以下、ＨＦＰという）系共重合体
（以下、ＦＥＰとする）は耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性
等が優れ、しかも熱可塑性で溶融成形でき、その特徴を
生かしてウエハーキャリアーやきわめて高いクリーン度
を要求される流体輸送のチューブ等の半導体製造装置の
部品、容器の内面コーティング部材、電線被覆材等の種
々の用途に用いられている。
という）／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）系
共重合体（以下、ＰＦＡとする）およびＴＦＥ／ヘキサ
フルオロプロピレン（以下、ＨＦＰという）系共重合体
（以下、ＦＥＰとする）は耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性
等が優れ、しかも熱可塑性で溶融成形でき、その特徴を
生かしてウエハーキャリアーやきわめて高いクリーン度
を要求される流体輸送のチューブ等の半導体製造装置の
部品、容器の内面コーティング部材、電線被覆材等の種
々の用途に用いられている。
【０００３】耐屈曲性に関してはＦＥＰよりもＰＦＡが
優れているため、チューブやその継ぎ手などにＰＦＡが
主に用いられている。
優れているため、チューブやその継ぎ手などにＰＦＡが
主に用いられている。
【０００４】しかし、ＰＦＡは球晶を生成する場合があ
り、たとえばチューブを成形する場合、冷却速度の遅く
なるチューブ内面で球晶が大きく成長する。チューブ内
表面はこの大きな球晶により凹凸となり表面平滑性が悪
くなる。そして、表面平滑性が劣るチューブを使用した
場合、流体中の不純物がそのチューブ表面に蓄積しやす
くなる。
り、たとえばチューブを成形する場合、冷却速度の遅く
なるチューブ内面で球晶が大きく成長する。チューブ内
表面はこの大きな球晶により凹凸となり表面平滑性が悪
くなる。そして、表面平滑性が劣るチューブを使用した
場合、流体中の不純物がそのチューブ表面に蓄積しやす
くなる。
【０００５】ＰＦＡの球晶を微小にする方法として、少
量の特定のポリテトラフルオロエトレン（ＰＴＦＥ）を
ＰＦＡに添加すること（特開平７−７０３９７）が知ら
れているが、混練条件によってはフィッシュアイが発生
するという問題点がある。
量の特定のポリテトラフルオロエトレン（ＰＴＦＥ）を
ＰＦＡに添加すること（特開平７−７０３９７）が知ら
れているが、混練条件によってはフィッシュアイが発生
するという問題点がある。
【０００６】一方、ＦＥＰは球晶を生成しないが、ＰＦ
Ａと比較して耐屈曲性に劣るという問題点がある。
Ａと比較して耐屈曲性に劣るという問題点がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、優れた耐屈
曲性と優れた表面平滑性を合わせ持つチューブを提供す
る。
曲性と優れた表面平滑性を合わせ持つチューブを提供す
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、組成物１００
重量部中にＦＥＰ１〜３０重量％と、ＰＦＡ７０〜９９
重量％を含む組成物を押出成形して得られるチューブを
提供する。
重量部中にＦＥＰ１〜３０重量％と、ＰＦＡ７０〜９９
重量％を含む組成物を押出成形して得られるチューブを
提供する。
【０００９】本発明のチューブは、そのチューブの内面
粗度（Ｒt ）が０．４μｍ以下である結晶化特性を有
し、また、優れた耐屈曲性を合わせ持つ。さらに、ＰＦ
ＡとＦＥＰの混練条件条件によってフィッシュアイを発
生するという問題はない。
粗度（Ｒt ）が０．４μｍ以下である結晶化特性を有
し、また、優れた耐屈曲性を合わせ持つ。さらに、ＰＦ
ＡとＦＥＰの混練条件条件によってフィッシュアイを発
生するという問題はない。
【００１０】本発明においてＦＥＰの割合は組成物に対
して１〜３０重量部である。３０重量部超では耐屈曲性
や高温での機械的特性が劣り、１重量部未満では表面平
滑性に劣る。好ましくは３〜７重量部である。
して１〜３０重量部である。３０重量部超では耐屈曲性
や高温での機械的特性が劣り、１重量部未満では表面平
滑性に劣る。好ましくは３〜７重量部である。
【００１１】本発明において、ＦＥＰ中のＨＦＰに基づ
く重合単位の含有量は、表面平滑性改良の効果の点から
ＴＦＥに基づく重合単位とＨＦＰに基づく重合単位の合
計に対して５〜１５モル％であることが好ましい。
く重合単位の含有量は、表面平滑性改良の効果の点から
ＴＦＥに基づく重合単位とＨＦＰに基づく重合単位の合
計に対して５〜１５モル％であることが好ましい。
【００１２】また、ＦＥＰの３７２℃における溶融粘度
は５００００ポアズ以上であることが好ましい。５００
００ポアズ未満であるとチューブの表面平滑性改良の効
果が小さい。また、チューブを押出成形する点から５０
００００ポアズ以下であることが好ましい。
は５００００ポアズ以上であることが好ましい。５００
００ポアズ未満であるとチューブの表面平滑性改良の効
果が小さい。また、チューブを押出成形する点から５０
００００ポアズ以下であることが好ましい。
【００１３】本発明において、ＰＦＡ中のパーフルオロ
（アルキルビニルエーテル）に基づく重合単位の含有量
は耐屈曲性、耐熱性、成形性の点からＴＦＥに基づく重
合単位とパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）に基
づく重合単位の合計に対して１〜３モル％であることが
好ましい。
（アルキルビニルエーテル）に基づく重合単位の含有量
は耐屈曲性、耐熱性、成形性の点からＴＦＥに基づく重
合単位とパーフルオロ（アルキルビニルエーテル）に基
づく重合単位の合計に対して１〜３モル％であることが
好ましい。
【００１４】また、ＰＦＡの溶融粘度は特に限定されな
いが、チューブを押出成形する点から、３７２℃におけ
る溶融粘度は５０００〜５０００００ポアズであること
が好ましい。
いが、チューブを押出成形する点から、３７２℃におけ
る溶融粘度は５０００〜５０００００ポアズであること
が好ましい。
【００１５】以上の組成物は、ＰＦＡの優れた耐屈曲性
や高温での機械的特性を維持し、かつ微小な球晶を生成
するという結晶化特性を有する。
や高温での機械的特性を維持し、かつ微小な球晶を生成
するという結晶化特性を有する。
【００１６】本発明において、ＦＥＰとＰＦＡを含む組
成物の製造は、一般的な方法が採用される。例えば、溶
融したＰＦＡにＦＥＰを溶融温度以上に加熱して添加
し、撹拌しながら混合する方法、単軸または２軸の混練
押出機にＰＦＡとＦＥＰを一緒に供給し、ＰＦＡの融点
以上で混練する方法などが挙げられる。操作の簡便さか
ら混練押出機により混合する方法が好ましい。また、混
合時に供給されるＰＦＡ、ＦＥＰの形状は特にペレット
状、ビーズ状、粉末状など限定されないが、混合のしや
すさの点からビーズ状が好ましい。
成物の製造は、一般的な方法が採用される。例えば、溶
融したＰＦＡにＦＥＰを溶融温度以上に加熱して添加
し、撹拌しながら混合する方法、単軸または２軸の混練
押出機にＰＦＡとＦＥＰを一緒に供給し、ＰＦＡの融点
以上で混練する方法などが挙げられる。操作の簡便さか
ら混練押出機により混合する方法が好ましい。また、混
合時に供給されるＰＦＡ、ＦＥＰの形状は特にペレット
状、ビーズ状、粉末状など限定されないが、混合のしや
すさの点からビーズ状が好ましい。
【００１７】チューブ成形には一般的な方法が用いられ
る。チューブは、組成物をたとえば、シリンダー温度３
８０℃程度の単軸押出機でチューブ状に押出し、次いで
成形されたチューブを水槽に通し、チューブの外側から
水冷して得られる。
る。チューブは、組成物をたとえば、シリンダー温度３
８０℃程度の単軸押出機でチューブ状に押出し、次いで
成形されたチューブを水槽に通し、チューブの外側から
水冷して得られる。
【００１８】成形されたチューブの大きさは特に限定さ
れないが、たとえば医療用の内径１ｍｍ、外形１．２ｍ
ｍからシートライニング用の内径４００ｍｍ、外形４０
４ｍｍのチューブに適用できる。
れないが、たとえば医療用の内径１ｍｍ、外形１．２ｍ
ｍからシートライニング用の内径４００ｍｍ、外形４０
４ｍｍのチューブに適用できる。
【００１９】成形されたチューブの球晶サイズが１０μ
ｍ以下であり、また、内面粗度（Ｒt ）が０．４μｍ以
下であることが好ましい。
ｍ以下であり、また、内面粗度（Ｒt ）が０．４μｍ以
下であることが好ましい。
【００２０】本発明において、球晶サイズ、内面粗度は
以下のとおり定義される。
以下のとおり定義される。
【００２１】［球晶サイズ］組成物を３４０℃で厚さ２
００μｍのフィルムに圧縮成形し、続いて冷却プレス機
で約５分間で室温付近まで急冷して試験フィルムを作成
する。試験フィルムの表面を偏光顕微鏡で観察すること
により球晶サイズを測定する。
００μｍのフィルムに圧縮成形し、続いて冷却プレス機
で約５分間で室温付近まで急冷して試験フィルムを作成
する。試験フィルムの表面を偏光顕微鏡で観察すること
により球晶サイズを測定する。
【００２２】［内面粗度］単軸押出機を用いて、組成物
を３８０℃で内径８ｍｍ、外径１０ｍｍのチューブに押
出成形し、続いてチューブの外側から水冷して試験チュ
ーブを作成する。試験チューブの内面粗度を粗さ計（小
坂研究所製のサーフコーダＳＥ−３０Ｈ：商品名）にて
測定する。
を３８０℃で内径８ｍｍ、外径１０ｍｍのチューブに押
出成形し、続いてチューブの外側から水冷して試験チュ
ーブを作成する。試験チューブの内面粗度を粗さ計（小
坂研究所製のサーフコーダＳＥ−３０Ｈ：商品名）にて
測定する。
【００２３】［耐屈曲性］ＡＳＴＭＤ２１７６に従い上
記試験チューブの屈曲亀裂寿命を測定した。
記試験チューブの屈曲亀裂寿命を測定した。
【００２４】［溶融粘度］共重合体をキャピログラフ
（東洋製作所製）を用い、３７２℃で剪断速度６．０８
ｓｅｃ-1における剪断応力を測定し、剪断速度に対する
剪断応力の比（ポアズ）としてもとめた。
（東洋製作所製）を用い、３７２℃で剪断速度６．０８
ｓｅｃ-1における剪断応力を測定し、剪断速度に対する
剪断応力の比（ポアズ）としてもとめた。
【００２５】
【実施例】［実施例１］ＴＦＥに基づく重合単位／パー
フルオロ（プロピルビニルエーテル）（以下、ＰＰＶＥ
という）に基づく重合単位が９８．７／１．３（モル
％）であり、３７２℃における溶融粘度が２．５×１０
5 ポアズであるＰＦＡのビーズ９５重量部と、ＴＦＥに
基づく重合単位／ＨＦＰに基づく重合単位が９２／８
（モル％）であり、３７２℃における溶融粘度が１．５
×１０5 ポアズであるＦＥＰのビーズ５重量部を２軸の
混練押出機により３９０℃で混合して、ペレット（１）
を得た。ペレット（１）を用いて、圧縮成形により作成
した厚さ２００μｍのフィルムの平均球晶サイズは７μ
ｍであった。押出成形して得られたチューブの内面粗度
（Ｒt ）は０．３μｍであった。ペレット（１）から得
られるフィルムの耐折り曲げ寿命は４８万回であった。
フルオロ（プロピルビニルエーテル）（以下、ＰＰＶＥ
という）に基づく重合単位が９８．７／１．３（モル
％）であり、３７２℃における溶融粘度が２．５×１０
5 ポアズであるＰＦＡのビーズ９５重量部と、ＴＦＥに
基づく重合単位／ＨＦＰに基づく重合単位が９２／８
（モル％）であり、３７２℃における溶融粘度が１．５
×１０5 ポアズであるＦＥＰのビーズ５重量部を２軸の
混練押出機により３９０℃で混合して、ペレット（１）
を得た。ペレット（１）を用いて、圧縮成形により作成
した厚さ２００μｍのフィルムの平均球晶サイズは７μ
ｍであった。押出成形して得られたチューブの内面粗度
（Ｒt ）は０．３μｍであった。ペレット（１）から得
られるフィルムの耐折り曲げ寿命は４８万回であった。
【００２６】［比較例１］実施例１と同じＰＦＡビーズ
６０重量部と、実施例１と同じＦＥＰビーズ４０重量部
を２軸の混練押出機により３９０℃で混合して、ペレッ
ト（２）を得た。ペレット（２）を用いて、圧縮成形に
より作成した厚さ２００μｍのフィルムの平均球晶サイ
ズは８μｍであり、押出成形して得られたチューブの内
面粗度（Ｒt ）は０．３μｍであった。ペレット（２）
から得られるフィルムの耐折り曲げ寿命は２３万回に低
下した。
６０重量部と、実施例１と同じＦＥＰビーズ４０重量部
を２軸の混練押出機により３９０℃で混合して、ペレッ
ト（２）を得た。ペレット（２）を用いて、圧縮成形に
より作成した厚さ２００μｍのフィルムの平均球晶サイ
ズは８μｍであり、押出成形して得られたチューブの内
面粗度（Ｒt ）は０．３μｍであった。ペレット（２）
から得られるフィルムの耐折り曲げ寿命は２３万回に低
下した。
【００２７】［比較例２］実施例１と同じＰＦＡビーズ
９５重量部と、ＴＦＥに基づく重合単位／ＨＦＰに基づ
く重合単位が９２／８（モル％）であり、３７２℃にお
ける溶融粘度が２．５×１０4 ポアズであるＦＥＰのビ
ーズ５重量部を２軸の混練押出機により３９０℃で混合
して、ペレット（３）を得た。ペレット（３）を用い
て、圧縮成形により作成した厚さ２００μｍのフィルム
の平均球晶サイズは２３μｍであった。押出成形して得
られたチューブの内面粗度（Ｒt ）は０．７μｍであっ
た。ペレット（３）から得られるフィルムの耐折り曲げ
寿命は４７万回であった。
９５重量部と、ＴＦＥに基づく重合単位／ＨＦＰに基づ
く重合単位が９２／８（モル％）であり、３７２℃にお
ける溶融粘度が２．５×１０4 ポアズであるＦＥＰのビ
ーズ５重量部を２軸の混練押出機により３９０℃で混合
して、ペレット（３）を得た。ペレット（３）を用い
て、圧縮成形により作成した厚さ２００μｍのフィルム
の平均球晶サイズは２３μｍであった。押出成形して得
られたチューブの内面粗度（Ｒt ）は０．７μｍであっ
た。ペレット（３）から得られるフィルムの耐折り曲げ
寿命は４７万回であった。
【００２８】［比較例３］実施例１と同じＰＦＡを用い
て、圧縮成形により作成した厚さ２００μｍのフィルム
の平均球晶サイズは３１μｍであった。押出成形して得
られたチューブの内面粗度（Ｒt ）は０．９μｍであっ
た。フィルムの耐折り曲げ寿命は５０万回であった。
て、圧縮成形により作成した厚さ２００μｍのフィルム
の平均球晶サイズは３１μｍであった。押出成形して得
られたチューブの内面粗度（Ｒt ）は０．９μｍであっ
た。フィルムの耐折り曲げ寿命は５０万回であった。
【００２９】［比較例４］実施例１と同じＦＥＰを用い
て、圧縮成形により作成した厚さ２００μｍのフィルム
の平均球晶サイズは５μｍであった。押出成形して得ら
れたチューブの内面粗度（Ｒt ）は０．２μｍであっ
た。フィルムの耐折り曲げ寿命は９万回であった。
て、圧縮成形により作成した厚さ２００μｍのフィルム
の平均球晶サイズは５μｍであった。押出成形して得ら
れたチューブの内面粗度（Ｒt ）は０．２μｍであっ
た。フィルムの耐折り曲げ寿命は９万回であった。
【００３０】
【発明の効果】押出成形チューブは、優れた耐屈曲性お
よび、優れた内面平滑性を有する。
よび、優れた内面平滑性を有する。
Claims (3)
- 【請求項１】組成物１００重量部中にテトラフルオロエ
チレン／ヘキサフルオロプロピレン系共重合体１〜３０
重量部とテトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アル
キルビニルエーテル）系共重合体７０〜９９重量部を含
む組成物を押出成形して得られるチューブ。 - 【請求項２】組成物中のテトラフルオロエチレン／ヘキ
サフルオロプロピレン系共重合体の含有量が２〜７重量
％である請求項１記載のチューブ。 - 【請求項３】テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロ
プロピレン系共重合体の３７２℃における溶融粘度が５
００００ポアズ以上である請求項１記載のチューブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10009808A JPH11210942A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | チューブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10009808A JPH11210942A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | チューブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11210942A true JPH11210942A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=11730487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10009808A Pending JPH11210942A (ja) | 1998-01-21 | 1998-01-21 | チューブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11210942A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102893A3 (en) * | 2000-12-06 | 2003-09-04 | Du Pont | Melt processible fluoropolymer composition |
| WO2004052987A1 (ja) * | 2002-12-11 | 2004-06-24 | Daikin Industries, Ltd. | フッ素樹脂組成物、フッ素樹脂組成物製造方法、半導体製造装置及び被覆電線 |
| CN114228095A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-25 | 山东东岳高分子材料有限公司 | 一种高光洁度聚四氟乙烯管的制备方法 |
-
1998
- 1998-01-21 JP JP10009808A patent/JPH11210942A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002102893A3 (en) * | 2000-12-06 | 2003-09-04 | Du Pont | Melt processible fluoropolymer composition |
| WO2004052987A1 (ja) * | 2002-12-11 | 2004-06-24 | Daikin Industries, Ltd. | フッ素樹脂組成物、フッ素樹脂組成物製造方法、半導体製造装置及び被覆電線 |
| JPWO2004052987A1 (ja) * | 2002-12-11 | 2006-04-13 | ダイキン工業株式会社 | フッ素樹脂組成物、フッ素樹脂組成物製造方法、半導体製造装置及び被覆電線 |
| JP4876395B2 (ja) * | 2002-12-11 | 2012-02-15 | ダイキン工業株式会社 | フッ素樹脂組成物、フッ素樹脂組成物製造方法、半導体製造装置及び被覆電線 |
| CN114228095A (zh) * | 2021-11-04 | 2022-03-25 | 山东东岳高分子材料有限公司 | 一种高光洁度聚四氟乙烯管的制备方法 |
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