JPH11210654A

JPH11210654A - 粉体捕集機能を有する真空ポンプ装置

Info

Publication number: JPH11210654A
Application number: JP10012621A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Higuchi; 勉樋口; Shigeharu Kanbe; 重治神辺
Original assignee: Unozawa gumi Iron Works Ltd
Current assignee: Unozawa gumi Iron Works Ltd
Priority date: 1998-01-26
Filing date: 1998-01-26
Publication date: 1999-08-03
Anticipated expiration: 2018-01-26
Also published as: JP2922181B1; US6254362B1; EP0931938A1

Abstract

(57)【要約】【課題】作業容器において真空下における反応生成時
に発生する粉体が真空ポンプへ流入する場合を考慮し
た、粉体捕集機能を有する真空ポンプ装置を実現する。【解決手段】作業容器１を真空ポンプ４により排気す
るときは、補助粉体捕集路７は閉止弁８により閉路され
主排気作動路５による排気が行われ、真空ポンプによる
減圧が不要になったときは、補助粉体捕集路を開路し主
排気作動路とともに循環路が形成され粉体分離器３によ
る粉体捕集が行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空ポンプにより
減圧された圧力下において各種の反応生成または溶解結
晶を行う作業容器、例えばシリコンの単結晶膜を作るエ
ピタキシャル成長装置等において、反応生成または溶解
結晶を行う時に粉体が発生し、その粉体がガスと共に真
空ポンプへ流入する場合に使用される粉体捕集機能を有
する真空ポンプ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に作業容器の減圧下で行う反応生成
や溶解結晶作業は真空下で行われる。このため、真空ポ
ンプに流入する状態のガスの比重は非常に小さい。粉体
がガスと共に真空ポンプへ流入すると、ガスは適切に流
通するが、粉体を搬出する能力は低く、粉体の多くの部
分が真空ポンプ内部に堆積する。従来は、この堆積する
粉体の量が増加すると真空ポンプの運転を阻害し、真空
ポンプの運転継続が困難となり、このため、真空ポンプ
内の粉体除去作業が頻繁に必要となる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記の事項に加えて、
ガスと共に真空ポンプへ流入する粉体の粒度が大きい
と、真空ポンプ内部で粒体を噛み込み、真空ポンプが故
障停止するという問題がある。

【０００４】粉体が真空ポンプ内部へ流入することを防
止するために真空ポンプと粉体が発生する装置の間にフ
ィルタ等を設け粉体を分離する試みが行われているが、
粉体によりフィルタに目詰まりが発生し、作業容器内に
おいて、反応生成や溶解結晶を行う過程において、真空
ポンプ装置としての、実効排気性能が著しく低下してし
まい、作業容器内における、反応生成や溶解結晶作業を
継続できなくなる問題がある。

【０００５】サイクロン形分離器等のガス流速を利用し
て粉体の分離を行う粉体分離器を真空ポンプと粉体が発
生する装置の間に設けることが出来るが、作業容器内は
高真空下で作業が行われるため、作業容器から真空ポン
プへ流入するガスの比重は非常に小さい。そして、分離
器自体のコンダクタンスを考慮した分離器では、粉体分
離が充分に行われない。また、真空ポンプ内部において
粉体を搬出するために充分な能力が得られないため真空
ポンプ内部に粉体が堆積し、真空ポンプを停止させると
いう問題がある。

【０００６】真空ポンプからガスと共に粉体が吐出され
るため、排ガス処理システムに粉体が多量に流入し、排
ガス処理システムが粉体により急激に汚染され、機能が
阻害される問題がある。本発明は、これらの問題点を解
決し粉体捕集機能を有する真空ポンプ装置として適切な
ものを得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明においては、真空
ポンプにより減圧される作業容器、該作業容器に接続さ
れる吸気配管、該吸気配管に作動的に接続される真空ポ
ンプ、該真空ポンプを含む排気用の主排気作動路および
粉体捕集用の補助粉体捕集路を形成し得る真空ポンプ配
管、吐出配管、および該補助粉体捕集路に挿入可能な粉
体分離器を具備し、排気時には補助粉体捕集路は閉路さ
れ主排気作動路による排気が行われ、真空ポンプによる
減圧が不要になったときには補助粉体捕集路は開路され
主排気作動路と共に循環路が形成されて粉体捕集が行わ
れるようになっている、粉体捕集機能を有する真空ポン
プ装置が提供される。

【０００８】粉体分離器は補助粉体捕集路において閉止
弁を介して真空ポンプに接続されることができる。ま
た、粉体分離器は主排気作動路において真空ポンプに直
接接続されることができる。

【０００９】本真空ポンプ装置の動作においては、真空
ポンプにより減圧し、作業容器において反応生成や溶解
結晶作業を行う時は、補助捕集路上に設けられた閉止弁
を閉じる。作業容器から排気されたガスは、粉体ととも
に真空ポンプへ流入する。

【００１０】ガスは、真空ポンプにより圧出され真空ポ
ンプから排ガス処理システム又は排気口へ導く吐出配管
を通って吐出される。このとき、作業容器内は高真空下
で作業が行われるため、作業容器から排気されるガスの
比重は非常に小さいため、真空ポンプ内部において粉体
を搬出する充分な能力が得られず、粉体は真空ポンプ内
部に徐々に堆積する。

【００１１】作業容器における反応生成や溶解結晶作業
が終了し真空ポンプによる減圧が不要となった際に、補
助捕集路に設けられた閉止弁を開く。これにより真空ポ
ンプの吸気配管と吐出配管は、補助捕集路を通して連通
し、真空ポンプから吐出された多量なガスが、補助捕集
路、粉体分離器、閉止弁、そして真空ポンプへと循環す
る。このガスの循環による圧力損失は僅かであり、真空
ポンプの吸込圧と吐出圧の差も小さく、循環するガス流
量は真空ポンプの最大排気速度に近い流量となる。即
ち、この循環されるガスは流量も大きく、またガス比重
は高真空下におけるそれよりも大きいので粉体を搬出す
る能力は非常に大きくなる。

【００１２】このガスの循環流により真空ポンプ内部に
堆積した粉体は、サイクロン形分離器等の粉体分離器へ
適切に搬出される。なお粉体分離器においては効率良く
分離捕集を行うことができる。このように、真空ポンプ
内部に堆積した粉体は排出され、次の真空容器における
反応生成または溶解結晶作業を支障なく行うことができ
る。

【００１３】本発明による真空ポンプ装置においては、
真空ポンプにより減圧された圧力下において各種の反応
生成または溶解結晶作業を行う作業容器において、反応
生成または溶解結晶時に粒度の小さな粉体のみが発生
し、比較的粒度の大きな粉体が発生しない場合には、粒
体トラップを省略することが可能である。

【００１４】本真空ポンプ装置の作用は以下の通りであ
る。真空ポンプにより減圧し、作業容器において反応生
成や溶解結晶作業を行う際は、補助捕集路上に設けられ
た閉止弁を閉じる。作業容器から排気されたガスは粉体
とともに真空ポンプへ流入する。

【００１５】ガスは、真空ポンプにより圧出され真空ポ
ンプから排ガス処理システム又は排気口へ導く吐出配管
を通って吐出される。このとき、作業容器内は高真空下
で作業が行われるため、作業容器から排気されるガスの
比重は非常に小さいため、真空ポンプ内部において粉体
を搬出する充分な能力が得られず、粉体は真空ポンプ内
部に徐々に堆積する。

【００１６】作業容器による反応生成や溶解結晶作業が
終了し真空ポンプによる減圧が不要となった際に、補助
捕集路に設けられた閉止弁を開く。これにより真空ポン
プの吸気配管と吐出配管は、補助捕集路を通して連通
し、真空ポンプから吐出された多量なガスが、補助捕集
路、粉体分離器、閉止弁、そして真空ポンプへと循環す
る。このガスの循環による圧力損失は僅かであり、真空
ポンプの吸込圧と吐出圧の差も小さく、循環するガス流
量は真空ポンプの最大排気速度に近い流量となる。即
ち、この循環されるガスは流量も大きく、またガス比重
は高真空下におけるそれよりもはるかに大きいので粉体
を搬出する能力は非常に大きくなる。

【００１７】このガスの循環流により真空ポンプ内部に
堆積した粉体は、サイクロン形分離器等の粉体分離器へ
適切に搬出される。なお粉体分離器においては効率良く
分離捕集を行うことができる。このように、真空ポンプ
内部に堆積した粉体は排出され、次の作業容器における
反応生成または溶解結晶作業を支障なく行うことができ
る。

【００１８】本発明による真空ポンプ装置においては、
真空ポンプより吐出されたガスを排気口に導く吐出管上
で、補助捕集路と該吐出配管との分流点よりも下流側に
逆止弁を設け、且つ、該逆止弁よりもなお下流側に、ガ
スを液体中へ散気する構造を持つ密閉された液槽を設け
ることが可能である。

【００１９】本真空ポンプ装置の作用は以下の通りであ
る。真空ポンプから吐出された粉体を含むガスは、吐出
配管から逆止弁を通り、密閉された液槽へ流入する。液
層内部でガスは液体中へ散気され、ガスに含まれる粉体
は液体の粘性により捕捉され、ガスのみが吐出配管を通
り排ガス処理システムへ流入する。このため、排ガス処
理システムに粉体が流入し排ガス処理システムが粉体に
より汚染されるため機能が阻害されることを防止するこ
とができる。

【００２０】この場合に、排気ガスには粉体がほとんど
含まれていないので、排気ガス処理が容易になり、それ
の回収も容易になる。また、逆止弁により真空ポンプ停
止時等に液層の液体が真空ポンプ側へ逆流することを防
止することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の一実施例による真空ポン
プ装置が図１に示される。図１において、真空ポンプ４
により減圧される作業容器１は吸気配管２を通して結合
点２１に接続される。真空ポンプ４は電動機４５により
駆動される。結合点２１は、主排気作動路５を通して真
空ポンプ４に接続される。主排気作動路５と結合点５１
において接続され、真空ポンプ４から吐出されたガスを
排ガス処理システム９１又は排気口９２へ導く吐出配管
６との間を真空ポンプ４と並列に結ぶ補助捕集路７が設
けられる。補助捕集路７上にサイクロン形分離器等の粉
体分離器３と閉止弁８が設けられる。なお、比較的粒度
の大きな粉体を分離するために、例えば図２に示すよう
に補助捕集路７と吸気配管２との結合点２１より上流側
の吸気配管に充分な容積をもった容器等の粒体トラップ
１４が設ける構成を付加することが可能である。比較的
粒度の大きな粉体が分離され眞空ポンプへ流入しないた
めそれらの噛み込み等により眞空ポンプの運転が阻害さ
れないようにすることが可能である。

【００２２】真空ポンプ４により減圧された圧力下にお
いて各種の反応生成または溶解結晶作業を行う作業容器
１において、反応生成または溶解結晶作業時に比較的粒
度の小さな粉体のみが発生し、粒体が発生しない場合に
は、上記の粒体トラップ１４を省略することが可能であ
る。

【００２３】本真空ポンプ装置の作用は以下の通りであ
る。真空ポンプ４により減圧し、作業容器１において反
応生成や溶解結晶作業を行うときは、補助捕集路７上に
設けられた閉止弁８を閉じる。作業容器１から排気され
るガスは、吸気配管２を通って充分な容積をもった容器
等の粒体トラップ１４に導かれ、粒体トラップ１４の内
部でガス流速が低下するため重力によって比較的大きな
粒体が分離され、ここで分離しなかった粉体はガスと共
に主排気作動路５を通って真空ポンプ４へ流入する。真
空ポンプ４は、比較的大きな粒体が流入しないためそれ
らの噛み込み等によって真空ポンプの運転が阻害される
ことはない。

【００２４】ガスは真空ポンプ４により圧出され真空ポ
ンプ４から主排気作動路５、結合点５１、吐出配管６を
通って排ガス処理システム９１又は排気口９２へ吐出さ
れる。この時、真空容器内は高真空下で作業が行われる
ため、真空容器から排気されるガスの比重は非常に小さ
く、真空ポンプ内部において粉体を搬出するために充分
な能力が得られず、粉体は真空ポンプ内部に徐々に堆積
する。

【００２５】作業容器１における反応生成や溶解結晶作
業が終了し真空ポンプ４による減圧が不要となったとき
に、補助捕集路７に設けられた閉止弁８を開く。これに
より真空ポンプの主排気作動路５は、補助捕集路７と連
通し、真空ポンプ４から吐出された多量なガスは、主排
気作動路５、補助捕集路７、粉体分離器３、閉止弁８、
結合点２１、主排気作動路５、そして真空ポンプ４へと
循環する。このガスの循環による圧力損失は僅かであ
り、真空ポンプ４の吸込圧と吐出圧の差も小さく、循環
するガス流量は真空ポンプ４の最大排気速度に近い流量
となる。即ち、この循環されるガスは流量も大きく、ま
たガス比重は高真空下におけるそれよりもはるかに大き
い。

【００２６】このガスの循環流により真空ポンプ内部４
に堆積した粉体は、サイクロン形分離器等の粉体分離器
３へ搬出される。粉体分離器においては、効率良く分離
捕集を行うことができる。この作用により真空ポンプ４
内部に堆積した粉体は排出され、次の作業容器における
反応生成または溶解結晶作業を支障なく行うことができ
る。

【００２７】本発明の他の実施例による真空ポンプ装置
が図３に示される。図３において、真空ポンプ４により
減圧される作業容器１は吸気配管２を通して結合点２１
に接続される。真空ポンプ４は電動機４５により駆動さ
れる。結合点２１は、主排気作動路５を通して粉体分離
器３および真空ポンプ４に接続される。主排気作動路５
と結合点５１において接続され、真空ポンプ４から吐出
されたガスを排気ガス処理システム９１又は排気口９２
へ導く吐出配管６が設けられる。結合点２１と結合点５
１の間に、主排気作動路５に並列に補助捕集路７が設け
られる。補助捕集路７上に閉止弁８を設けられる。

【００２８】本真空ポンプ装置の作用は以下の通りであ
る。真空ポンプ４により減圧される、作業容器１におい
て反応生成や溶解結晶作業を行う場合は、補助捕集路７
に設けられた閉止弁８を閉じる。作業容器１から排気さ
れるガスは、吸気配管２、主排気作動路５を通ってサイ
クロン形分離器等の粉体分離器３に導かれるが、ここで
は比較的粒度の大きな粉体が分離され、粉体分離器３に
より分離できなかった粉体はガスと共に真空ポンプ４へ
流入する。真空ポンプ４は、比較的大きな粒体が流入し
ないため粒体の噛み込み等によって真空ポンプの運転が
阻害されることはない。

【００２９】更にガスは、真空ポンプ４により圧出さ
れ、真空ポンプ４から主排気作動路５、吐出配管６を通
って排ガス処理システム９１又は排気口９２へ導かれ
る。この時、作業容器１内は高真空下で作業が行われる
ため、作業容器１から排気されるガスの比重は小さく、
真空ポンプ４内部において粉体を搬出するために充分な
能力が得られず真空ポンプ４内部に作業容器１で発生し
た粉体が徐々に堆積する。

【００３０】作業容器１による反応生成や溶解結晶作業
が終了し真空ポンプ４による減圧が不要となったとき
に、補助捕集路７に設けられた閉止弁８を開く。これに
より真空ポンプ４の主排気作動路５と吐出配管５は、補
助捕集路７を通して連通し、真空ポンプ４から吐出され
た多量なガスが、主排気作動路５、結合点５１、補助捕
集路７、閉止弁８、吸気配管２、主排気作動路５、粉体
分離器３そして真空ポンプ４へと循環する。

【００３１】このガスの循環による圧力損失は僅かであ
り、真空ポンプの吸込圧と吐出圧の差も小さく、循環す
るガス流量は真空ポンプの最大排気速度に近い流量とな
る。即ち、この循環されるガスは流量も大きく、またガ
ス比重は高真空下におけるそれよりもはるかに大きいし
たがって、ガス流は流量、流速ともに大になる。

【００３２】このガスの循環流により真空ポンプ内部に
堆積した粉体は、サイクロン形分離器等の粉体分離器へ
適切に搬出され、粉体分離器において効率良く分離捕集
を行うことができる。この作用により真空ポンプ内部に
堆積した粉体は排出され、次の作業容器における反応生
成または溶解結晶作業を支障なく行うことができる。

【００３３】図４に示されるように、本発明による真空
ポンプ装置では、吐出配管６と補助捕集路７との結合点
５４、且つ、真空ポンプ４より排ガス処理システム９１
側の吐出配管６上に逆止弁１０を設け、逆止弁１０より
排ガス処理システム９１側に、ガスを液体中へ散気する
構造を持つ密閉されたガス散気用液槽１１を設けること
ができる。

【００３４】その作用は以下の通りである。真空ポンプ
４から吐出された粉体を含むガスは、主排気作動路５、
結合点５１、吐出配管６から逆止弁１０を通り、密閉さ
れた液槽１１へ流入する。液槽１１内部でガスは液体中
へ散気され、ガスに含まれる粉体は液体の粘性により捕
捉され、ガスのみが配管を通り排ガス処理システム９１
へ流入する。

【００３５】このため、排ガス処理システム９１に粉体
が流入し排ガス処理システム９１が粉体により汚染され
るため機能が阻害されることを防止することができる。
そして排気ガスには粉体がほとんど含まれていないの
で、排気ガス処理が容易になり、それの回収も容易とな
る。また、逆止弁１０により真空ポンプ停止時等に液層
の液体が真空ポンプ４側へ逆流することを防止できる。

【００３６】本発明による粉体捕集機能を有する真空ポ
ンプ装置における、減圧される作業容器１の一例として
のエピタキシャル成長装置が図５に示される。図５のエ
ピタキシャル成長装置は、シリコンの単結晶ウェーハ上
にシリコンの単結晶膜を成長させる工程に使用される。

【００３７】図５に示す装置は、一般に縦型炉と呼ばれ
石英製のベルジャ１０１の内部に円盤状の黒鉛製サセプ
タ１０２を水平におき、シリコンウェーハ１００をの
せ、サセプタ１０２の下側から渦巻形のコイル１０３で
高周波加熱する。サセプタ１０２は温度分布を均一にす
るため回転するようになっている。ＳｉＨ₄等の原料ガ
スおよびキャリヤガスとしての水素ガスを含む供給ガス
Ｇｓは、サセプタ１０２の中心から石英製のノズル１０
４を通してベルジャ１０１内に供給され、ＳｉＨ ₄の熱
分解によりシリコンウェーハ１００上にシリコンの単結
晶膜が成長され、下部の出口１０５から排気される。こ
の際、出口１０５から排気されるガスには、シリコンの
粉体が多く含まれ真空ポンプへ流入する。この問題を本
発明による粉体捕集機能を有する真空ポンプ装置により
処理することが意図されている。

【００３８】真空ポンプ４の一例が図６、図７、および
図８に示される。これについては例えば特開平２−７０
９９０号公報（特許第２６９１１６８号）を参照するこ
とができる。第１ポンプ区分４０１、第２ポンプ区分４
０２、第３ポンプ区分４０３、を持つ逆流冷却式３段ル
ーツ形真空ポンプが図６に示される。図７は、図６の V
II−VII 断面図であり、図８は、VIII−VIII断面図であ
る。

【００３９】図６において、隔壁４０４で第１ポンプ区
分４０１と第２ポンプ区分４０２に区切られ、隔壁４０
５で第２ポンプ区分４０２と第３ポンプ区分４０３に区
切られている。図７において、第１シャフト４０６と第
２シャフト４０７は、それぞれ２個の軸受け４０８で支
承され、タイミングギヤセット４０９で互いに反対方向
に回転する。第１シャフト４０６は、電動機により駆動
されることができる。図８において、各ポンプ区分は、
吸込口４１０と吐出口４１１とを有するハウジング４１
２と一対のシャフト４０６，４０７に支承されるロータ
４１３Ａ，４１３Ｂから成り、ハウジング４１２の外周
部には、吐出口４１１とハウジング４１２の内部に逆流
冷却用気体を導く流入口４１５Ａ，４１５Ｂを連通し、
次段のポンプ区分へ向かう外周気体流路４１４Ａ，４１
４Ｂを有し、外周気体流路４１４Ａ，４１４Ｂの外周部
には、冷却水路４１６を有する。

【００４０】図６及び図８において、ポンプの吸込気体
Ｇ０は、各ポンプ区分の吸込口４１０から、ハウジング
４１２内部へ吸い込まれ、ロータ４１３Ａ，４１３Ｂの
動作にもとづき移送される。このとき該気体は、外周気
体流路４１４Ａ，４１４Ｂを通り逆流冷却用気体の流入
口４１５Ａ，４１５Ｂからハウジング内部に流入する逆
流冷却用気体Ｇ５により、逆流圧縮され、吐出気体Ｇ１
として吐出口４１１より外周気体流路４１４Ａ，４１４
Ｂに吐出される。

【００４１】該吐出気体は、冷却水路４１６を流れる冷
却水Ｗ６により冷却された外周気体流路４１４Ａ，４１
４Ｂの外壁に放熱しつつ外周気体流路を流れ、逆流冷却
用気体の流入口４１５Ａ，４１５Ｂにおいて再びハウジ
ング４１２内部へ流入する逆流冷却用気体Ｇ５と次段の
ポンプ区分に流入する吸込気体とに分かれる。該吸込気
体は、冷却水路４１６を流れる冷却水Ｗ６により冷却さ
れた外周気体流路の外壁に放熱しつつ、外周気体流路を
流れ続け、次段のポンプ区分の吸込口に至る。

【００４２】以上の作用が各ポンプ区分において順次行
われ、最終ポンプ区分である第３ポンプ区分４０３のポ
ンプの吐出口４１７からポンプ外へ吐出される。

【００４３】粉体分離装置の一例としてのサイクロン分
離器が図９および図１０に示される。図１０は図９にお
けるＸ−Ｘ断面をあらわす。

【００４４】図９、図１０において粉体と気体の混合体
は、入口３０１から接線方向にサイクロン分離器に流入
し円筒部３０３の内壁に沿って旋回運動しながら下降す
る。円錐部３０４へ達すると回転半径が小さくなるため
速度が大きくなりさらに回転下降を続ける。この際、質
量の大きな粉体は、遠心力により回転の外側へ飛び出し
円筒部３０３及び円錐部３０４の内壁に沿って集塵室３
０６へ落下堆積する。

【００４５】一方、質量の小さな気体は、円錐部の下端
近くに達すると流れは、反転上昇を始めサイクロン分離
器の中心部を回転しつつ円筒部３０３の中心側に設けら
れた内筒３０５を通り出口３０２からサイクロン分離器
外へ流出する。このようにして気体と粉体が分離され
る。

【００４６】本発明による真空ポンプ装置においては、
作業容器による反応生成や溶解結晶作業が終了し真空ポ
ンプによる減圧が不要となった際に、補助捕集路に設け
られた閉止弁を開くことにより、真空ポンプの吸気配管
と吐出配管は、補助捕集路を通して連通し、真空ポンプ
から吐出された多量なガスが、吐出配管、補助捕集路、
閉止弁、吸気配管、粉体分離器そして真空ポンプの吸込
口へと循環する。

【００４７】このガスの循環流により真空ポンプ内部に
堆積した粉体は、サイクロン形分離器等の粉体分離器へ
搬出され、粉体分離器において効率良く分離捕集を行う
ことができる。この作用により真空ポンプ内部に堆積し
た粉体は排出され、次の作業容器における反応生成や溶
解結晶作業を支障なく行うことができる。これにより、
真空ポンプ内部の粉体除去作業を頻繁に行う必要が無く
なる。

【００４８】また、本発明による真空ポンプ装置におい
ては、真空ポンプにより減圧し、作業容器における反応
生成や溶解結晶を行う際は、作業容器から排気されるガ
スは、吸気配管を通ってサイクロン形分離器等の粉体分
離器、又は充分な容積をもった容器等の粒体トラップに
導かれ、粉体分離器または粒体トラップ内部では、粒度
の大きな粒体は重力により分離される。粉体分離器又
は、粒体トラップにより分離しなかった粉体は、ガスと
共に真空ポンプへ流入する。真空ポンプは、比較的大き
な粒体が流入しないため粒体の噛み込み等によって真空
ポンプの運転が阻害されることはなく、安全に運転する
ことができ、真空容器における反応生成や溶解結晶の作
業中に真空ポンプが故障停止することはない。

【００４９】また、本発明による真空ポンプ装置におい
ては、真空ポンプにより減圧し、作業容器における反応
生成や溶解結晶作業を行う際は、作業容器から排気され
るガスは、吸気配管を通ってサイクロン形分離器等の粉
体分離器、又は充分な容積を持った容器等の粒体トラッ
プに導かれ、比較的大きな粒体は重力によって分離され
る。

【００５０】真空ポンプと粉体が発生する作業容器の間
にフィルタ等を設けないため、粉体によりフィルタに目
詰まりが生じ、作業容器における反応生成や溶解結晶を
行う過程において、真空ポンプ装置の実効排気性能が低
下してしまい、反応生成や溶解結晶作業が継続できなく
なることはない。

【００５１】また、本発明による真空ポンプ装置におい
ては、補助捕集路に設けられた閉止弁を開くことによ
り、真空ポンプの吸気配管と吐出配管は、補助捕集路を
通して連通し、真空ポンプから吐出された多量なガス
が、吐出配管、補助捕集路、閉止弁、吸気配管、粉体分
離器そして真空ポンプへと循環する。多量なガスが循環
することにより真空ポンプ内部に堆積した粉体は、サイ
クロン形分離器等の粉体分離器へ搬出され、粉体分離器
において効率良く分離捕集を行うことができる。

【００５２】また、本発明による真空ポンプ装置におい
ては、真空ポンプから吐出された粉体を含むガスは、吐
出配管から逆止弁を通り、密閉された液槽へ流入する構
成を採用することが可能である。この場合には、液槽内
部でガスは液体中へ散気され、ガスに含まれる粉体は液
体の粘性により捕捉され、ガスのみが吐出配管を通り排
ガス処理システムへ流入する。

【００５３】このため、排ガス処理システムに粉体が流
入し排ガス処理システムが粉体により汚染され機能が低
下することを防止することが可能である。そして排気ガ
スには粉体がほとんど含まれておらず、排気ガス処理は
容易であり、それの回収も容易である。また、逆止弁に
より真空ポンプ停止時等に液層の液体が真空ポンプ側へ
逆流することを防止することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による真空ポンプ装置を示す
図。

【図２】図１の装置に付加される粒体トラップを示す
図。

【図３】本発明の他の実施例による真空ポンプ装置を示
す図。

【図４】本発明の実施例としての真空ポンプ装置に適用
することができる粒体トラップおよび排ガス処理システ
ムを示す図。

【図５】減圧される作業容器の一例としてのエピタキシ
ャル成長装置を示す図。

【図６】真空ポンプの一例を示す図。

【図７】図６の VII−VII 断面をあらわす図。

【図８】図６のVIII−VIII断面をあらわす図。

【図９】粉体分離装置の一例としてのサイクロン分離器
を示す図。

【図１０】図９におけるＸ−Ｘ断面をあらわす図。

【符号の説明】

１…作業容器２…吸気配管３…粉体分離器４…真空ポンプ５…主排気作動路６…吐出配管７…補助捕集路８…閉止弁９…結合点１０…逆止弁１１…ガス散気用液槽１２…排ガス処理システム１４…粒体トラップ２１…結合点５１…結合点９１…排ガス処理システム９２…排気口

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【手続補正書】

【提出日】平成１１年２月１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明においては、真空
ポンプにより減圧される作業容器に接続される吸気配
管、該吸気配管に作動的に接続される真空ポンプ、およ
び該真空ポンプの出口に接続される吐出配管を有する主
排気作動路を設け、該吸気配管と該吐出配管を接続する
補助管路、該補助管路に設けられた閉止弁、および粉体
分離器、および真空ポンプにより補助粉体捕集路が形成
されるようにし、排気時には該閉止弁は閉路され主排気
路による排気が行われ、真空ポンプによる減圧が不要に
なったときには該閉止弁は開路され補助粉体捕集路によ
る粉体捕集が行われる、粉体捕集機能を有する真空ポン
プ装置、が提供される。本発明においてはまた、真空ポ
ンプにより減圧される作業容器に接続される吸気配管、
該吸気配管に作動的に接続される粉体分離器および真空
ポンプ、および該真空ポンプの出口に接続される吐出配
管を有する主排気作動路を設け、該吸気配管の該作業容
器と該粉体分離器の間と該吐出配管を接続する補助管
路、該補助管路内の閉止弁、粉体分離器、および真空ポ
ンプにより補助粉体捕集路が形成されるようにし、排気
時には該閉止弁は閉路され主排気作動路による排気が行
われ、真空ポンプによる減圧が不要になったときには該
閉止弁は開路され補助粉体捕集路は開路され補助粉体捕
集路による粉体捕集が行われる、粉体捕集機能を有する
真空ポンプ装置、が提供される。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空ポンプにより減圧される作業容器、
該作業容器に接続される吸気配管、該吸気配管に作動的
に接続される真空ポンプ、該真空ポンプを含む排気用の
主排気作動路および粉体捕集用の補助粉体捕集路を形成
し得る真空ポンプ配管、吐出配管、および該補助粉体捕
集路に挿入可能な粉体分離器を具備し、排気時には補助
粉体捕集路は閉路され主排気作動路による排気が行わ
れ、真空ポンプによる減圧が不要になったときには補助
粉体捕集路は開路され主排気作動路と共に循環路が形成
されて粉体捕集が行われるようになっている、粉体捕集
機能を有する真空ポンプ装置。
【請求項２】粉体分離器は補助粉体捕集路において閉
止弁を介して真空ポンプに接続されている、請求項１記
載の真空ポンプ装置。
【請求項３】粉体分離器は主排気作動路において真空
ポンプに直接接続されている、請求項１記載の真空ポン
プ装置。
【請求項４】補助粉体捕集路を開閉するための閉止弁
が補助粉体捕集路内に挿入されている、請求項２または
３記載の真空ポンプ装置。
【請求項５】容器からの吸気配管中に粒体トラップが
挿入されている、請求項２〜４のいずれか一項に記載の
真空ポンプ装置。
【請求項６】真空ポンプ配管からの吐出配管中にガス
散気用液槽が挿入されている、請求項２〜４のいずれか
一項に記載の真空ポンプ装置。