JPH11204177A - シート状コネクター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微小な表面電極部分および裏面電極部分を有
する金属導電部が小さいピッチで配置され、小さいピッ
チで電極が形成された回路装置に対しても良好な電気的
接続状態が確実に得られ、しかも、簡単な工程により製
造することができて高い生産性が得られるシート状コネ
クターを提供すること。 【解決手段】 本発明のシート状コネクターは、柔軟性
を有する多孔質材料よりなる絶縁性シートに、当該絶縁
性シートをその厚み方向に貫通して伸び、当該絶縁性シ
ートの表面に露出する表面電極部分および当該絶縁性シ
ートの裏面に露出する裏面電極を有する導電部の複数が
形成されてなり、前記導電部における表面電極部分と裏
面電極部分とが、前記絶縁性シートを構成する多孔質材
料の多数の孔を介して電気的に導通されていることを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品な
どの回路素子相互間の電気的接続や、プリント基板など
の回路装置の検査において、被検査回路装置と検査治具
との電気的接続を行うためのシート状コネクターに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、プリント基板などの回路装置の
検査においては、検査対象である回路装置の一面に形成
された被検査電極と、検査治具の表面に形成された接続
電極との電気的な接続を達成するために、回路装置の被
検査電極領域と検査治具の接続電極領域との間にシート
状コネクターを介在させることが行われている。かかる
シート状コネクターとしては、柔軟性を有する絶縁性シ
ートに、その厚み方向に貫通して伸びる、表面電極部分
および裏面電極部分を有する複数の導電部が形成されて
なるものが知られている。

【０００３】図８は、従来のシート状コネクターの一例
における構成を示す説明用断面図である。このシート状
コネクターにおいては、例えば被検査回路装置の被検査
電極のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通
孔８１が形成された、柔軟な絶縁性シート８０が設けら
れ、この絶縁性シート８０の貫通孔８１の各々には、導
電部９０が設けられている。この導電部９０は、絶縁性
シート８０の表面に露出する半球状の表面電極部分９１
と、絶縁性シートの裏面に露出する円板状の裏面電極部
分９２とを有し、表面電極部分９１および裏面電極部分
９２が、絶縁性シート８０の貫通孔８１内に形成された
短絡部分９３を介して一体に連結されて構成されてい
る。

【０００４】絶縁性シート８０を構成する材料として
は、一般に、ポリイミドなどの樹脂材料が用いられ、導
電部９０を構成する材料としては、一般に、ニッケル、
銅などが用いられている。そして、樹脂材料よりなる絶
縁性シート８０と導電部９０との密着性は十分に高いも
のではないため、導電部９０が絶縁性シート８０から脱
落することを防止する観点から、絶縁性シート８０の貫
通孔８１の内径より大きい外径を有する表面電極部分９
１および裏面電極部分９２が形成され、これにより、導
電部９０は絶縁性シート１０に保持されている。

【０００５】このようなシート状コネクターにおいて
は、例えば以下のようにして製造される。先ず、図９
（イ）に示すように、例えばポリイミドよりなる絶縁性
シート８０の一面に金属薄層９２Ａが形成されてなる材
料を用意し、図９（ロ）に示すように、レーザ加工、ド
ライエッチング加工等によって、絶縁性シート８０にそ
の厚み方向に貫通する貫通孔８１を形成する。次いで、
図９（ハ）に示すように、絶縁性シート８０の金属薄層
９２Ａをレジスト等の保護膜で保護し、金属薄層９２Ａ
を共通電極として例えばニッケルメッキ処理を施すこと
により、絶縁性シート８０の貫通孔８１の内部にニッケ
ルの堆積体が充填されて金属薄層９２Ａに一体に連結さ
れた短絡部分９３が形成されると共に、当該絶縁性シー
ト８０の表面に、短絡部分９３に一体に連結された表面
電極部分９１が形成される。しかる後、保護膜を除去
し、更に、図９（ニ）に示すように、絶縁性シート８０
の表面および当該絶縁性シート８０の裏面における所要
の個所に、フォトリソグラフィーの手法により、レジス
ト層８２，８３を形成し、当該金属薄層９２Ａに対して
エッチング処理を施すことにより、図９（ホ）に示すよ
うに、金属薄層９２Ａの一部が除去されて裏面電極部分
９２が形成され、以て導電部９０が形成される。そし
て、絶縁性シート８０の表面からレジスト層８２を剥離
すると共に、裏面電極部分９２からレジスト層８３を剥
離することにより、図８に示すシート状コネクターが得
られる。

【０００６】上記のシート状コネクターによれば、例え
ば回路装置の電気的検査において、検査治具の表面に、
導電部９０の裏面電極部分９２が当該検査治具の接続電
極上に位置するよう固定配置され、導電部９０の表面電
極部分９１を検査対象である回路装置の被検査電極に接
触させることにより、回路装置の被検査電極と検査治具
の接続電極との電気的接続が達成され、この状態で、所
要の電気的検査が行われる。

【０００７】しかしながら、上記のシート状コネクター
においては、以下のような問題があることが判明した。 （１）近年、半導体素子の高機能化、高容量化に伴って
電極数が増加し、電極の配列ピッチすなわち隣接する電
極の中心間距離が小さくなって高密度化する傾向があ
り、また、このような半導体素子を搭載するための配線
基板においても同様である。そのため、かかる配線基板
や半導体素子などの回路装置の電気的検査に用いられる
シート状コネクターにおいては、当然のことながら、サ
イズの小さい表面電極部分９１および裏面電極部分９２
を有する導電部９０が、小さい配置ピッチで形成される
ことが要求される。然るに、前述したように、導電部９
０が絶縁性シート８０から脱落することを防止するため
には、外径の大きい表面電極部分９１および裏面電極部
分９２を形成することが必要となるので、サイズの小さ
い表面電極９１および裏面電極９２を小さい配置ピッチ
で形成することが困難である。

【０００８】（２）シート状コネクターの導電部９０の
表面電極部分９１を、回路装置の被検査電極に対して確
実に接触させて良好な接続状態を得るためには、当該シ
ート状コネクター全体が柔軟なものであることが肝要で
ある。然るに、導電部９０の配置ピッチが小さいシート
状コネクターにおいては、隣接する表面電極部分９１同
士および隣接する裏面電極部分９２同士が相互に干渉す
るため、十分な柔軟性が得られず、その結果、回路装置
に対する良好な電気的接続状態が得られない。

【０００９】（３）従来のシート状コネクターの製造に
おいては、前述したように、絶縁性シート８０に貫通孔
８１を形成するレーザ加工工程、導電部９０における表
面電極部分９１および短絡部分９３を形成するメッキ処
理工程、並びに導電部９０における裏面電極部分９２を
形成するエッチング処理工程が必要であり、製造工程が
煩雑で高い生産性が得られない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
微小な表面電極部分および裏面電極部分を有する導電部
が小さいピッチで配置され、小さいピッチで電極が形成
された回路装置に対しても良好な電気的接続状態が確実
に得られ、しかも、簡単な工程により製造することがで
きて高い生産性が得られるシート状コネクターを提供す
ることにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のシート状コネク
ターは、柔軟性を有する多孔質材料よりなる絶縁性シー
トに、当該絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸
び、当該絶縁性シートの表面に露出する表面電極部分お
よび当該絶縁性シートの裏面に露出する裏面電極を有す
る導電部の複数が形成されてなり、前記導電部における
表面電極部分と裏面電極部分とが、前記絶縁性シートを
構成する多孔質材料の多数の孔を介して電気的に導通さ
れていることを特徴とする。

【００１２】

【作用】導電部における表面電極部分および裏面電極部
分は、絶縁性シートを構成する多孔質材料の多数の孔を
介して連結されているため、表面電極部分および裏面電
極部分の外径が大きくなくても、当該当該導電部が絶縁
性シートから脱落することがなく、その結果、絶縁性シ
ートに、微小な表面電極部分および裏面電極部分を有す
る導電部を小さい配置ピッチで形成することができる。
絶縁性シートを構成する多孔質材料は、柔軟性が極めて
高いものであるため、小さい配置ピッチで導電部が形成
されていても、隣接する表面電極部分同士および隣接す
る裏面電極部分同士が相互に干渉することが少なく、そ
の結果、小さい配置ピッチで電極が形成された回路装置
に対しても良好な電気的接続状態が確実に達成される。
短絡部分の形成において、絶縁性シートに貫通孔を形成
することが不要となり、表面電極部分、裏面電極部分お
よび短絡部分は、基本的にメッキ処理工程のみによって
形成することができるので、簡単な工程により製造する
ことができて高い生産性が得られる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明のシート状コネクタ
ーについて詳細に説明する。図１は、本発明のシート状
コネクターの一例における構成を示す説明用断面図であ
る。このシート状コネクターにおいては、柔軟性を有す
る多孔質材料よりなる絶縁性シート１０が設けられてお
り、この絶縁性シート１０には、例えば被検査回路装置
の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って、
当該絶縁性シート１０の厚み方向に伸びる複数の導電部
２０が形成されている。導電部２０の各々は、絶縁性シ
ート１０の表面に露出する半球状の表面電極部分２１
と、絶縁性シート１０の裏面に露出する円板状の裏面電
極部分２２とを有し、表面電極部分２１および裏面電極
部分２２は、絶縁性シート１０を構成する多孔質材料の
多数の孔を介して形成された短絡部分２３によって一体
に連結されている。

【００１４】絶縁性シート１０としては、絶縁性および
柔軟性を有する多孔質材料よりなるものであれば特に限
定されず、例えばナイロン、ポリエステル、ポリプロピ
レンなどの合成繊維よりなるメッシュ、ポリテトラフロ
オロエチレンなどよりなるメンブレンフィルターを用い
ることができる。絶縁性シート１０として合成繊維より
なるメッシュを用いる場合には、繊維径が１５〜１００
μｍ、メッシュ開口径が２０〜２００μｍのものが好ま
しく、絶縁性シート１０としてメンブレンフィルターを
用いる場合には、メッシュ開口径が１〜５μｍのものを
用いることが好ましく、これにより、表面電極部分２１
と裏面電極部分２２との電気的接続が良好な短絡部分２
３を形成することができる。また、絶縁性シート１０の
厚みは、例えば３０〜１００μｍである。

【００１５】導電部２０を構成する材料としては、ニッ
ケル、銅、金、銀、パラジウムなどの金属材料を用いる
ことができるが、強度の高い電極が得られる点で、ニッ
ケルを用いることが好ましい。また、電極部分の酸化が
防止されると共に、接触抵抗の小さい電極部分が得られ
る点で、電極部分の表面に、金、銀、パラジウムなどの
金属被膜が形成されていることが好ましい。また、表面
電極部分２１および裏面電極部分２２の厚み（突出高
さ）は、電極径や配置ピッチによって異なるが、通常、
表面電極部分２１の厚みは１０〜１００μｍであり、裏
面電極部分２２の厚みは５〜４０μｍである。

【００１６】上記のシート状コネクターは、例えば以下
のようにして製造することができる。先ず、図２に示す
ように、開口３１を有する剛性のフレーム３０を用意
し、このフレーム３０の開口３１に、多孔質材料よりな
る絶縁性シート１０の周縁部を固定する。ここで、フレ
ーム３０を構成する材料としては、ステンレス、銅合
金、コバールなどの金属材料、ガラス繊維補強型エポキ
シ樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、アラミド繊
維補強型樹脂、ポリイミドなどの樹脂材料を用いること
ができ、このような材料よりなる板状体に開口を形成す
ることにより、フレーム３０が得られる。また、フレー
ム３０の開口３１を形成する手段としては、フレーム３
０を構成する材料として金属材料を用いる場合には、エ
ッチング加工、レーザー加工、打抜き装置やルーター等
による機械加工などの手段を利用することができ、フレ
ーム３０を構成する材料として樹脂材料を用いる場合に
は、ドリル装置や打抜き装置等による機械加工、レーザ
ー加工などの手段を利用することができる。また、絶縁
性シート１０の周縁部を、フレーム３０に固定する手段
としては、エポキシ樹脂系接着剤、アルファシアノアク
リレート系接着剤などの嫌気性接着剤によって固定する
手段を利用することができる。

【００１７】そして、図３に示すように、絶縁性シート
１０における導電部１０（一点鎖線で示す）を形成すべ
き部分（以下、「導電部形成部分」という。）１１に、
無電解ニッケルメッキ処理のためのパラジウム等による
アクセレーター処理を行う。なお、図３〜図６におい
て、フレーム３０は省略されている。

【００１８】次いで、図４に示すように、絶縁性シート
１０の表面および裏面の各々に、フォトリソグラフィー
の手法により、導電部形成部分１１の位置に例えば円形
のパターン孔１４，１５を有するレジスト層１２，１３
を形成する。そして、レジスト層１２，１３のパターン
孔１４，１５によって露出された絶縁性シート１０の導
電部形成部分１１に対して、無電解ニッケルメッキ処理
を施すことにより、図５に示すように、レジスト層１２
のパターン孔１４内にニッケルが堆積されて円板状の表
面電極基層２１Ａが形成されると共に、レジスト層１３
のパターン孔１５内にニッケルが堆積されて円板状の裏
面電極部分２２が形成され、一方、絶縁性シート１０の
電極形成部分１１には、その多孔質材料の多数の孔内に
ニッケルが充填されて、表面電極基層２１Ａおよび裏面
電極部分２２の各々に一体に連結された短絡部分２３が
形成される。更に、絶縁性シート１０の表面に形成され
た表面電極基層２１Ａに対して電解ニッケルメッキ処理
を施して銅を堆積させることにより、図６に示すよう
に、半球状の表面電極部分２１が形成される。その後、
メッキ処理によって、表面電極部分２１および裏面電極
部分２２上に、金、銀、パラジウムなどの金属被膜が形
成される。

【００１９】そして、絶縁性シート１０の表面および裏
面からレジスト層１２，１３を剥離し、更に、塩化鉄溶
液等の処理液によって、アクセレーター処理に使用した
パラジウム等の除去処理を行い、必要に応じて、絶縁性
シート１０をフレーム３０（図２参照）から取り外すこ
とにより、図１に示す構成のシート状コネクターが得ら
れる。

【００２０】このようなシート状コネクターにおいて
は、例えば回路装置の電気的検査において、検査治具の
表面に、導電部２０における裏面電極部分２２が当該検
査治具の接続電極上に位置するよう固定配置され、導電
部２０における表面電極部分２１を検査対象である回路
装置の被検査電極に接触させることにより、回路装置の
被検査電極と検査治具の接続電極との電気的接続が達成
され、この状態で、回路装置の所要の電気的検査が行わ
れる。

【００２１】上記のシート状コネクターによれば、導電
部２０における表面電極部分２１および裏面電極部分２
２は、絶縁性シート１０を構成する多孔質材料の多数の
孔を介して形成された短絡部分２３によって連結されて
いるため、当該導電部２０が絶縁性シート１０から脱落
することがなく、これにより、表面電極部分２１および
裏面電極部分２２の外径を大きくすることが不要とな
り、その結果、絶縁性シート１０に、微小な表面電極部
分２１および裏面電極部分２２を有する導電部２０を小
さい配置ピッチで形成することができる。しかも、メッ
シュまたはメンブレンフィルターなどの多孔質材料は、
柔軟性が極めて高いものであるため、小さい配置ピッチ
で導電部２０が形成されていても、表面電極部分２１同
士および裏面電極部分２２同士が相互に干渉することが
少ない。従って、小さい配置ピッチで被検査電極が形成
された回路装置に対しても良好な電気的接続状態が確実
に達成される。

【００２２】また、導電部２０における短絡部分２３
は、絶縁性シート１０を構成する多孔質材料の多数の孔
を利用して形成されるため、当該絶縁性シート１０に、
導電部２０を配置するための貫通孔を形成することが不
要となり、導電部２０は、基本的にメッキ処理工程のみ
によって形成することができるので、簡単な工程により
製造することができて高い生産性が得られる。

【００２３】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明は上記のシート状コネクターに限定され
ず、種々の変更を加えることが可能である。例えば、フ
レーム３０は、絶縁性シート１０の周縁に固定されたま
まの構成であってもよい。このようなシート状コネクタ
ーによれば、電気的接続作業において、良好な取扱い性
が得られる。また、絶縁性シート１０の周縁に固定され
たフレーム３０を有するシート状コネクターにおいて
は、当該フレーム３０に、位置決め用のガイド孔を形成
することができる。

【００２４】また、シート状コネクターの製造におい
て、図７に示すように、複数の開口３１を有する連結フ
レーム３５を用い、この連結フレーム３５の開口３１の
各々に絶縁性シート１０を固定してもよく、これによ
り、複数の絶縁性シート１０に、導電部２０を一括して
形成することができる。この場合には、絶縁性シート１
０に、導電部２０を形成した後、連結フレーム３５を、
その隣接する開口３１の間の部分に沿って分割すること
により、絶縁性シート１０の周縁に固定されたフレーム
を有するシート状コネクターが得られる。

【００２５】また、シート状コネクターの製造におい
て、アクセレーター処理および無電解ニッケルメッキ処
理を行わずに、絶縁性シート１０の表面に、例えばスパ
ッタ法によりニッケル等よりなる金属薄膜を形成し、フ
ォトリソグラフィーおよび電解ニッケルメッキ処理を行
うことにより、絶縁性シート１０の導電部形成部分１１
に、表面電極部分２１、裏面電極部分２２および短絡部
分２３よりなる導電部２０を形成し、その後、エッチン
グ処理によって、不要な金属薄膜を除去してもよい。

【００２６】

【発明の効果】本発明のシート状コネクターによれば、
導電部における表面電極部分および裏面電極部分は、絶
縁性シートを構成する多孔質材料の多数の孔を介して連
結されているため、当該導電部が絶縁性シートから脱落
することがなく、これにより、表面電極部分および裏面
電極部分の外径を大きくすることが不要となり、その結
果、絶縁性シートに、微小な表面電極部分および裏面電
極部分を有する導電部を小さい配置ピッチで形成するこ
とができる。しかも、絶縁性シートを構成する多孔質材
料は、柔軟性が極めて高いものであるため、小さい配置
ピッチで導電部が形成されていても、表面電極部分同士
および裏面電極部分同士が相互に干渉することが少な
い。従って、小さい配置ピッチで被検査電極が形成され
た回路装置に対しても良好な電気的接続状態が確実に達
成される。

【００２７】また、絶縁性シートに導電部を配置するた
めの貫通孔を形成することが不要となり、導電部は、基
本的にメッキ処理工程のみによって形成することができ
るので、簡単な工程により製造することができて高い生
産性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のシート状コネクターの一例における構
成を示す説明用断面図である。

【図２】フレームの開口に絶縁性シートが固定された状
態を示す平面図である。

【図３】絶縁性シートの導電部形成部分を示す説明用断
面図である。

【図４】絶縁性シートの表面および裏面の各々にレジス
ト層が形成された状態を示す説明用断面図である。

【図５】無電解メッキ処理によって、絶縁性シートに、
表面電極基層、裏面電極部分および短絡部分が形成され
た状態を示す説明用断面図である。

【図６】電解メッキ処理によって表面電極部分が形成さ
れた状態を示す説明用断面図である。

【図７】連結フレームの開口の各々に絶縁性シートが固
定された状態を示す平面図である。

【図８】従来のシート状コネクターの一例における構成
を示す説明用断面図ある。

【図９】従来のシート状コネクターを製造するための工
程を示す説明用断面図である。

【符号の説明】

１０ 絶縁性シート １１ 導電部形
成部分 １２，１３ レジスト層 １４，１５ パ
ターン孔 ２０ 導電部 ２１ 表面電極
部分 ２１Ａ 表面電極基層 ２２ 裏面電極
部分 ２３ 短絡部分 ３０ フレーム ３１ 開口 ３５ 連結フレ
ーム ８０ 絶縁性シート ８１ 貫通孔 ８２，８３ レジスト層 ９０ 導電部 ９１ 表面電極部分 ９２ 裏面電極
部分 ９３ 短絡部分

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 柔軟性を有する多孔質材料よりなる絶縁
   性シートに、当該絶縁性シートをその厚み方向に貫通し
   て伸び、当該絶縁性シートの表面に露出する表面電極部
   分および当該絶縁性シートの裏面に露出する裏面電極を
   有する導電部の複数が形成されてなり、 前記導電部における表面電極部分と裏面電極部分とが、
   前記絶縁性シートを構成する多孔質材料の多数の孔を介
   して電気的に導通されていることを特徴とするシート状
   コネクター。