JPH11202241A - ポリゴンミラーのカバー及びこれを用いたポリゴンミラーの封入方法 - Google Patents

ポリゴンミラーのカバー及びこれを用いたポリゴンミラーの封入方法

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JPH11202241A
JPH11202241A JP1512498A JP1512498A JPH11202241A JP H11202241 A JPH11202241 A JP H11202241A JP 1512498 A JP1512498 A JP 1512498A JP 1512498 A JP1512498 A JP 1512498A JP H11202241 A JPH11202241 A JP H11202241A
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JP
Japan
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cover
hole
polygon mirror
compressed air
blown out
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JP1512498A
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English (en)
Inventor
Masataka Nishiyama
政孝 西山
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Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 クリーンルーム内で行なうことなく、場所を
問わずにレーザビームの検査を簡単に行なえるポリゴン
ミラーのカバーを提供する。 【解決手段】 ポリゴンミラー18の回転軸26の上方
に臨むカバー16の上面部32の部分に、第1の孔42
が貫通して形成され、第1の孔42の左右に第2の孔4
4と第3の孔44が貫通して形成されている。レーザビ
ームの検査の際、第1の孔42からカバー16の内部に
治具を挿入し、回転軸26を回転させてレーザビームの
寸法及び形状の測定がなされる。検査が終了したなら
ば、圧縮空気供給源に接続されたノズルを、第2の孔4
4からカバー16の内部に臨ませ、ノズルからカバー1
6の内部に圧縮空気を噴出させ、カバー16内の塵埃を
第1の孔42と第3の孔46からカバー16の外部に吹
き出す。その後、第1乃至第3の孔42,44,46を
それぞれ蓋板52,54,56で閉塞する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はポリゴンミラーのカ
バー及びこれを用いたポリゴンミラーの封入方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】レーザプリンタや、ファクシミリ、イメ
ージスキャナなどにはレーザスキャニングユニットが用
いられている。レーザスキャニングユニットは、レーザ
光源、ポリゴンミラー、ポリゴンミラー回転駆動装置、
それにfθレンズをはじめとする様々な光学素子を組み
合わせて構成したユニットであり、高速回転するポリゴ
ンミラーの外周部の反射面に光源から発せられるレーザ
光をあてて反射させることで、偏向走査されたレーザビ
ームがfθレンズから出射するようにしたものである。
そしてこの種のレーザスキャニングユニットでは、ポリ
ゴンミラーの外周部の反射面に塵埃が付着して光学性能
が劣化しないように、ポリゴンミラーの周囲の空間を密
閉するカバーが設けられ、ポリゴンミラーはカバーの内
部の密閉された空間内で回転するように配置されてい
る。
【0003】一方、レーザスキャニングユニットでは、
fθレンズから出射したレーザビームが、感光ドラム等
のビーム照射対象物上において適正な寸法及び形状の照
射スポットを形成することを確認するための検査が必要
であり、検査では、走査方向の複数箇所においてレーザ
ビームの寸法及び形状が測定される。この検査は、レー
ザスキャニングユニットを、レーザプリンタや、ファク
シミリ、イメージスキャナなどの装置本体に組み付ける
前に行われる。そこで、従来では、ポリゴンミラーの回
転軸の延長上におけるカバー箇所に孔を貫通形成してお
き、クリーンルーム内において、前記孔から治具を挿入
し、ポリゴンミラーの回転軸に係合させ、ポリゴンミラ
ーを回転させて走査方向の複数箇所においてレーザビー
ムの寸法及び形状が測定されている。そして、検査終了
後は、前記孔を閉塞し、ポリゴンミラーの反射面に塵埃
が付着しないようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のポリ
ゴンミラーのカバー構造では、治具挿入用の孔がカバー
に形成されており、この孔からカバーの内部に塵埃が侵
入しないように、レーザビームの寸法及び形状の測定を
クリーンルーム内で行なう必要がある。そのためレーザ
ビームの検査を行なうには、クリーンルーム内に試験用
のスペースを確保しなければならず、レーザビームの検
査を簡単に行なえない不具合があった。本発明は前記事
情に鑑み案出されたものであって、本発明の目的は、ク
リーンルームを要せず簡単にレーザビームの検査を行な
えるようにしたポリゴンミラーのカバー及びこれを用い
たポリゴンミラーの封入方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、回転可能に支持されたポリゴンミラーを覆う
カバーの構造であって、前記カバーの互いに離れた箇所
に第1の孔と第2の孔が貫通形成されていることを特徴
とする。また、本発明は、前記カバーの少なくとも一部
は光を透過する部材により形成されたことを特徴とす
る。また、本発明は、前記第1の孔が、前記ポリゴンミ
ラーの回転軸の延長上におけるカバー箇所に貫通形成さ
れていることを特徴とする。また、本発明は、前記第1
の孔と第2の孔から離れたカバー箇所に第3の孔が貫通
形成されていることを特徴とする。また、本発明は、前
記第3の孔が、第1の孔を挟んで第2の孔とは反対の箇
所に貫通形成されていることを特徴とする。また、本発
明は、前記カバーが、ポリゴンミラーが回転可能に収容
される大きさの側面部と、ポリゴンミラーの上方に位置
し側面部の上縁を接続する上面部とを備え、前記光を透
過する部材により前記側面部の一部が形成され、前記第
1の孔と第2の孔は共に上面部に形成されていることを
特徴とする。また、本発明は、前記カバーが、ポリゴン
ミラーが回転可能に収容される大きさの側面部と、ポリ
ゴンミラーの上方に位置し側面部の上縁を接続する上面
部とを備え、前記光を透過する部材により前記側面部の
一部が形成され、前記第1の孔と第2の孔と第3の孔は
共に上面部に形成されていることを特徴とする。また、
本発明は、前記第1の孔が、回転軸を回転させるための
治具をカバーの内部に挿入できる大きさで形成されてい
ることを特徴とする。また、本発明は、前記第1の孔
が、回転軸を回転させるための治具をカバーの内部に挿
入でき、かつ、圧縮空気が吹き出されるノズルをカバー
の内部に臨ませることができる大きさで形成されている
ことを特徴とする。また、本発明は、前記第1の孔が、
回転軸を回転させるための治具をカバーの内部に挿入で
き、かつ、圧縮空気が吹き出されるノズルをカバーの内
部に臨ませることができる大きさで形成され、さらに、
前記第2の孔からカバーの内部に圧縮空気を吹き出させ
た時に、カバー内の塵埃がカバーの外部に吹き出される
大きさで形成されていることを特徴とする。また、本発
明は、前記第2の孔が、圧縮空気が吹き出されるノズル
をカバーの内部に臨ませることができる大きさで形成さ
れていることを特徴とする。また、本発明は、前記第2
の孔が、圧縮空気が吹き出されるノズルをカバーの内部
に臨ませることができる大きさで形成され、かつ、前記
第1の孔からカバーの内部に圧縮空気を吹き出させた時
に、カバー内の塵埃がカバーの外部に吹き出される大き
さで形成されているていることを特徴とする。また、本
発明は、前記第3の孔が、前記第2の孔からカバーの内
部に圧縮空気を吹き出させた時に、カバー内の塵埃がカ
バーの外部に吹き出される大きさで形成されていること
を特徴とする。また、本発明は、前記第3の孔が、圧縮
空気が吹き出されるノズルをカバーの内部に臨ませるこ
とができる大きさで形成され、かつ、前記第2の孔から
カバーの内部に圧縮空気を吹き出させた時に、カバー内
の塵埃がカバーの外部に吹き出される大きさで形成され
ていることを特徴とする。また、本発明はポリゴンミラ
ーの封入方法であって、回転可能に支持されたポリゴン
ミラーがカバーの内部に配設され、前記カバーに貫通形
成された第1の孔からポリゴンミラーを回転させレーザ
ビームの測定を行なった後、前記第1の孔を閉塞するに
際して、前記第1の孔と離れた前記カバー箇所に第2の
孔を貫通形成しておき、ポリゴンミラーを回転させレー
ザビームの測定を行なった後、前記第1の孔または第2
の孔からカバーの内部に圧縮空気を噴出させ、この圧縮
空気によりカバー内の塵埃を第2の孔または第1の孔か
らカバーの外部に吹き飛ばし、その後、第1の孔及び第
2の孔を閉塞するようにしたことを特徴とする。また、
本発明は、前記第1の孔と第2の孔から離れた前記カバ
ー箇所に第3の孔を形成しておき、前記圧縮空気を噴出
させた際に、カバー内の塵埃を第3の孔からもカバーの
外部に吹き飛ばし、その後、第1の孔、第2の孔、第3
の孔を閉塞するようにしたことを特徴とする。また、本
発明は、前記第1の孔が、ポリゴンミラーの回転軸の延
長上における前記カバー箇所に貫通形成されていること
を特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図1は本実施の形態に係るカバー
でポリゴンミラーが覆われた状態の斜視図を示す。レー
ザスキャニングユニット12のハウジング14上でカバ
ー16内にポリゴンミラー18が回転可能に配設され、
レーザ光源20から高速回転するポリゴンミラー18に
レーザ光があてられて反射され、偏向走査されたレーザ
ビームがfθレンズ22から感光ドラム等のビーム照射
対象物に照射される。レーザスキャニングユニット12
のハウジング14上に円盤状の取り付け座24が設けら
れ、取り付け座24の中央から回転軸26が上方に突出
され、ポリゴンミラー18が取り付け座24の上方にお
いて回転軸26に固着され、回転軸26は取り付け座2
4の下方において軸受装置により回転可能に支持され、
また、モータに連結され、モータにより高速回転され
る。
【0007】ポリゴンミラー18は平面視正六角形であ
り、外周部が反射面1802に形成されている。前記カ
バー16は、側面部30と上面部32とで下方が開放状
に形成され、従来公知の手段により取り付け座24上に
固定されている。前記側面部30は円筒部分と、円筒部
分の一部に形成された横長の矩形部分を備え、前記上面
部32はほぼ円形を呈し、側面部30の上端を接続する
ように形成されている。前記横長の矩形部分には横長の
窓34が形成され、この窓34にはガラス板のような光
透過性の部材36が取着されている。そして、光源20
からのレーザ光が窓34、光透過性の部材36を通して
反射面1802に照射され、かつ、反射面1802で反
射されたレーザ光が窓34、光透過性の部材36を通し
て出射されるように構成されている。
【0008】前記回転軸26の上方に臨む上面部32の
部分に、第1の孔42が貫通して形成され、第1の孔4
2を挟んだ第1の孔42の左右の離れた箇所に第2の孔
44と第3の孔44が貫通して形成されている。前記第
1の孔42は、レーザビームの寸法及び形状の測定の際
に、カバー16の内部に治具を挿入でき、この治具を回
転軸26の上端に係合させることができる大きさで形成
されている。なお、治具が直線状に延在するものではな
く、屈曲している場合には、前記第1の孔42は回転軸
26の上方に臨む上面部32部分から変位した箇所に形
成される。前記第2の孔44は、圧縮空気が吹き出され
るノズルをカバー16の内部に臨ませることができる大
きさで形成されている。前記第3の孔46は、前記第2
の孔44からカバー16の内部に圧縮空気を吹き出させ
た時に、カバー16内の塵埃がカバー16の外部に吹き
出されるような大きさで形成されている。
【0009】本実施の形態によれば、レーザビームの検
査の際、第1の孔42からカバー16の内部に治具を挿
入し、治具を回転軸26の上端に係合させ、治具により
回転軸26を回転させ、ポリゴンミラー18を回転させ
て走査方向の複数箇所においてレーザビームの寸法及び
形状の測定がなされる。そして、検査が終了したなら
ば、圧縮空気供給源に接続されたノズルを、第2の孔4
4からカバー16の内部に臨ませ、ノズルからカバー1
6の内部に圧縮空気を噴出させる。
【0010】カバー16の内部に圧縮空気が噴出される
ことで、カバー16の内部には乱気流が発生し、この乱
気流は第1の孔42と第3の孔46からカバー16の外
部に吹き出される。したがって、カバー16の内部に塵
埃が侵入していたとしても、塵埃は乱気流により第1の
孔42と第3の孔46からカバー16の外部に吹き出さ
れる。そして、このような圧縮空気によりカバー16内
の清掃を行なったならば、第1乃至第3の孔42,4
4,46をそれぞれ蓋板52,54,56で閉塞し、ポ
リゴンミラー18をカバー16内の密閉した空間内に封
入する。
【0011】本実施の形態によれば、カバー16の内部
に塵埃が侵入していたとしても、この塵埃を取り除いて
ポリゴンミラー18を塵埃のないカバー16の内部に密
閉できる。したがって、本実施の形態によれば、レーザ
ビームの寸法及び形状の測定をクリーンルーム内で行な
う必要がなくなり、レーザビームの検査を、クリーンル
ーム内に試験用のスペースを確保することなく、場所を
問わずに簡単に行なえるようになる。
【0012】なお、本実施の形態では、第2の孔44か
らカバー16の内部に圧縮空気を噴出させ、塵埃を第1
の孔42と第3の孔46からカバー16の外部に吹き出
させるようにしたが、レーザビームの検査の後、第1の
孔42を閉塞し、その後、第2の孔44からカバー16
の内部に圧縮空気を噴出させ、塵埃を第3の孔46から
カバー16の外部に吹き出させるようにしてもよい。ま
た、本実施の形態では、塵埃をカバー16の外部に効率
良く排出させるため第3の孔46を設けた場合について
説明したが、第3の孔46は省略することも可能であ
り、また逆に、第4の孔や第5の孔など複数の孔を増や
すようにしていもよい。また、第1の孔42や第2の孔
44、第3の孔46は、それぞれ治具挿入用の孔、空気
噴出用の孔、空気排出用の孔として兼用させるようにし
てもよく、空気噴出用の孔と空気排出用の孔は離れてい
ればいるほど、塵埃を効率良く排出する上で有利とな
る。
【0013】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明のカ
バー及びこれを用いたポリゴンミラーの封入方法によれ
ば、カバーの内部に塵埃が侵入していたとしても、この
塵埃を確実に取り除き、ポリゴンミラーを塵埃のないカ
バーの内部に密閉できるので、レーザビームの寸法及び
形状の測定をクリーンルーム内で行なう必要がなくな
り、場所を問わずにレーザビームの検査を簡単に行なえ
るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係るカバーでポリゴンミラーが
覆われた状態の斜視図である。
【符号の説明】
16 カバー 18 ポリゴンミラー 20 空間 26 回転軸 34 窓 42 第1の孔 44 第2の孔 46 第3の孔

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転可能に支持されたポリゴンミラーを
    覆うカバーの構造であって、 前記カバーの互いに離れた箇所に第1の孔と第2の孔が
    貫通形成されている、ことを特徴とするポリゴンミラー
    のカバー構造。
  2. 【請求項2】 前記カバーの少なくとも一部は光を透過
    する部材により形成されたことを特徴とする請求項1記
    載のポリゴンミラーのカバー構造。
  3. 【請求項3】 前記第1の孔は、前記ポリゴンミラーの
    回転軸の延長上におけるカバー箇所に貫通形成されてい
    ることを特徴とする請求項1記載のポリゴンミラーのカ
    バー構造。
  4. 【請求項4】 前記第1の孔と第2の孔から離れたカバ
    ー箇所に第3の孔が貫通形成されていることを特徴とす
    る請求項1乃至3に何れか1項記載のポリゴンミラーの
    カバー構造。
  5. 【請求項5】 前記第3の孔は、第1の孔を挟んで第2
    の孔とは反対の箇所に貫通形成されていることを特徴と
    する請求項4記載のポリゴンミラーのカバー構造。
  6. 【請求項6】 前記カバーは、ポリゴンミラーが回転可
    能に収容される大きさの側面部と、ポリゴンミラーの上
    方に位置し側面部の上縁を接続する上面部とを備え、前
    記光を透過する部材により前記側面部の一部が形成さ
    れ、前記第1の孔と第2の孔は共に上面部に形成されて
    いることを特徴とする請求項1乃至5に何れか1項記載
    のポリゴンミラーのカバー構造。
  7. 【請求項7】 前記カバーは、ポリゴンミラーが回転可
    能に収容される大きさの側面部と、ポリゴンミラーの上
    方に位置し側面部の上縁を接続する上面部とを備え、前
    記光を透過する部材により前記側面部の一部が形成さ
    れ、前記第1の孔と第2の孔と第3の孔は共に上面部に
    形成されていることを特徴とする請求項4または5記載
    のポリゴンミラーのカバー構造。
  8. 【請求項8】 前記第1の孔は、回転軸を回転させるた
    めの治具をカバーの内部に挿入できる大きさで形成され
    ていることを特徴とする請求項1乃至7に何れか1項記
    載のポリゴンミラーのカバー構造。
  9. 【請求項9】 前記第1の孔は、回転軸を回転させるた
    めの治具をカバーの内部に挿入でき、かつ、圧縮空気が
    吹き出されるノズルをカバーの内部に臨ませることがで
    きる大きさで形成されていることを特徴とする請求項1
    乃至7に何れか1項記載のポリゴンミラーのカバー構
    造。
  10. 【請求項10】 前記第1の孔は、回転軸を回転させる
    ための治具をカバーの内部に挿入でき、かつ、圧縮空気
    が吹き出されるノズルをカバーの内部に臨ませることが
    できる大きさで形成され、さらに、前記第2の孔からカ
    バーの内部に圧縮空気を吹き出させた時に、カバー内の
    塵埃がカバーの外部に吹き出される大きさで形成されて
    いることを特徴とする請求項1乃至7に何れか1項記載
    のポリゴンミラーのカバー構造。
  11. 【請求項11】 前記第2の孔は、圧縮空気が吹き出さ
    れるノズルをカバーの内部に臨ませることができる大き
    さで形成されていることを特徴とする請求項1乃至10
    に何れか1項記載のポリゴンミラーのカバー構造。
  12. 【請求項12】 前記第2の孔は、圧縮空気が吹き出さ
    れるノズルをカバーの内部に臨ませることができる大き
    さで形成され、かつ、前記第1の孔からカバーの内部に
    圧縮空気を吹き出させた時に、カバー内の塵埃がカバー
    の外部に吹き出される大きさで形成されているているこ
    とを特徴とする請求項1乃至10に何れか1項記載のポ
    リゴンミラーのカバー構造。
  13. 【請求項13】 前記第3の孔は、前記第2の孔からカ
    バーの内部に圧縮空気を吹き出させた時に、カバー内の
    塵埃がカバーの外部に吹き出される大きさで形成されて
    いることを特徴とする請求項4,5、7乃至12に何れ
    か1項記載のポリゴンミラーのカバー構造。
  14. 【請求項14】 前記第3の孔は、圧縮空気が吹き出さ
    れるノズルをカバーの内部に臨ませることができる大き
    さで形成され、かつ、前記第2の孔からカバーの内部に
    圧縮空気を吹き出させた時に、カバー内の塵埃がカバー
    の外部に吹き出される大きさで形成されていることを特
    徴とする請求項4,5、7乃至12に何れか1項記載の
    ポリゴンミラーのカバー構造。
  15. 【請求項15】 回転可能に支持されたポリゴンミラー
    がカバーの内部に配設され、前記カバーに貫通形成され
    た第1の孔からポリゴンミラーを回転させレーザビーム
    の測定を行なった後、前記第1の孔を閉塞するに際し
    て、 前記第1の孔と離れた前記カバー箇所に第2の孔を貫通
    形成しておき、 ポリゴンミラーを回転させレーザビームの測定を行なっ
    た後、前記第1の孔または第2の孔からカバーの内部に
    圧縮空気を噴出させ、 この圧縮空気によりカバー内の塵埃を第2の孔または第
    1の孔からカバーの外部に吹き飛ばし、 その後、第1の孔及び第2の孔を閉塞するようにした、 ことを特徴とするポリゴンミラーの封入方法。
  16. 【請求項16】 前記第1の孔と第2の孔から離れた前
    記カバー箇所に第3の孔を形成しておき、前記圧縮空気
    を噴出させた際に、カバー内の塵埃を第3の孔からもカ
    バーの外部に吹き飛ばし、その後、第1の孔、第2の
    孔、第3の孔を閉塞するようにしたことを特徴とする請
    求項15記載のポリゴンミラーの封入方法。
  17. 【請求項17】 前記第1の孔は、ポリゴンミラーの回
    転軸の延長上における前記カバー箇所に貫通形成されて
    いることを特徴とする請求項15または16記載のポリ
    ゴンミラーの封入方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100410726C (zh) * 2005-09-13 2008-08-13 佳能株式会社 光扫描装置
JP2018132641A (ja) * 2017-02-15 2018-08-23 キヤノン株式会社 光走査装置の筐体、光走査装置及び画像形成装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100410726C (zh) * 2005-09-13 2008-08-13 佳能株式会社 光扫描装置
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