JPH1119420A - フィルタを利用した原液の処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 濃縮倍率の高い濃縮液を廃棄でき、かつセラ
ミックフィルタに侵入したＳＳ分を良好に除去できる逆
洗が可能な原液の処理方法を提供するものである。 【解決手段】 原液タンク内の原液を固液分離手段を通
して濾過手段に供給すると共に、圧縮エアーを逆洗チャ
ンバ内に供給し、フィルタに侵入した浮遊物を原液側に
排出し、濾過手段の原液側に供給された原液により浮遊
物を逆洗液排出管を通してタンクに戻す濃縮用逆洗工程
と、第１エアー開閉弁の開き、逆洗チャンバ内の濾過液
を濾過手段の濾過側に供給してフィルタに侵入した浮遊
物を原液側に排出し、エアーパージ弁を開き、圧縮エア
ーをエアーパージ配管を通して濾過手段の原液側に供給
する操作を繰り返し、浮遊物を固液分離手段内の固形分
と共に濃縮液排出管を通して排出する払い出し用逆洗工
程とを具備し、払い出し用逆洗工程を濃縮用逆洗工程を
複数回行う毎に１回行うことを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨廃水等の原液
をフィルタを利用して処理する方法に関し、特に逆洗工
程を改良した処理方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の処理方法としては図２に
示す原液処理装置を用いて行われている。すなわち、原
液タンク１は配管２を通して固液分離がなされるサイク
ロン３に連結されている。供給ポンプ４および原液開閉
弁５は、前記配管２に前記タンク１側からそれぞれ介装
されている。セラミックフィルタ６を有するモジュール
７は、前記サイクロン３の下流側に連結されている。前
記サイクロン３の底部には、濃縮液排出管８が連結さ
れ、かつこの濃縮液排出管８には濃縮液開閉弁９が介装
されている。

【０００３】濃縮原液配管１０は、一端が前記モジュー
ル７の原液側に連結され、他端が前記原液タンク１に連
結されている。濃縮原液開閉弁１１は、前記濃縮原液配
管１０に介装されている。濾過液排出管１２は、前記モ
ジュール７の濾過液側に連結され、かつこの濾過液排出
管１２には濾過弁１３が介装されている。逆洗チャンバ
１４は、前記モジュール７の濾過液側に配管１５を開し
て連結されでいる。圧縮エアー供給管１６および圧縮エ
アー排気管１７は、前記逆洗チャンバ１４にそれぞれ連
結されている。第１、第２のエアー開閉弁１８、１９
は、前記圧縮エアー供給管１６および圧縮エアー排気管
にそれぞれ介装されている。

【０００４】このような構成の従来の処理装置における
濾過工程と、逆洗工程とを以下に説明する。 （１）濾過工程 前記原液開閉弁５、濃縮原液開閉弁１１および濾過弁１
３をそれぞれ開き、前記供給ポンプ３を作動して前記原
液タンク１内の原液を配管２を通してサイクロン５に供
給し、ここで遠心分離がなされて原液中の相当量の固形
分が分離され、サイクロン５内に沈降される。ＳＳ分を
含む原液を前記モジュール７に供給する。ここで前記原
液の大部分は濾過され、濾過液は前記濾過液排出管１２
を通して排出され、未濾過原液は前記原液配管１０を通
して前記原液タンク１に戻される。なお、前記濾過液の
一部は前記配管１５を通して逆洗チャンバ１４内に供給
され、そのチャンバ１４のＨレベルの位置まで濾過液が
満たされる。

【０００５】（２）逆洗工程 前記供給ポンプを停止し、かつ前記原液開閉弁５および
濃縮原液開閉弁１１を閉じた後、前記濾過弁１３を開の
まま、前記濃縮弁９および第１エアー開閉弁１８をそれ
ぞれ開き、圧縮エアーを前記圧縮エアー供給管１６を通
して逆洗チャンバ１４内に供給する。この時、前記逆洗
チャンバ１４内に予め導入された濾過液が前記モジュー
ル７の濾過側に配管１５を通して供給する。この濾過液
の供給は前記逆洗チャンバ１４の濾過液がＨレベルから
Ｌレベルになるまで行なわれる。この時、前記モジュー
ル７のセラミックフィルタ６に侵入した浮遊物（ＳＳ
分）を原液側に排出する。前記モジュール７の原液側に
排出されたＳＳ分は、前記濾過液と共に前記サイクロン
５内に導入され、このサイクロン５内に沈降された固形
分と一緒に前記濃縮液排出管８を通して濃縮液タンク
（図示せず）に回収される。

【０００６】しかしながら、従来の原液処理方法は逆洗
工程の毎にＳＳ分を含む濾過液がサイクロン５内の沈降
固形分と一緒に濃縮液として濃縮タンクに回収するた
め、濃縮倍率が低く、かつ濃縮液の絶対量も多くなり、
廃棄処理のためのコストが高くなるという問題があっ
た。

【０００７】また、前記逆洗工程はモジュール７の濾過
側のみに濾過液を供給して行う、つまり前記モジュール
７のフィルタ６表面に堆積しているＳＳ分は原液側が遮
断されているため、死角となって若干であるが回収され
ずに残存する恐れがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、濃縮倍率の
高い濃縮液を廃棄することが可能で、かつセラミックフ
ィルタに侵入したＳＳ分が残留することなく逆洗を行う
ことが可能なフィルタを利用した原液の処理方法を提供
しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係わるフィルタ
を利用した原液の処理方法は、原液タンクと、この原液
タンクと配管を通して連結される固液分離手段と、前記
配管に前記タンク側からそれぞれ介装された供給ポンプ
および原液開閉弁と、前記固液分離手段の下流側に連結
されたセラミックフィルタを有する濾過手段と、前記固
液分離手段に連結された濃縮液排出管と、この濃縮液排
出管に介装された濃縮液開閉弁と、前記濾過手段の原液
側に一端が連結され、他端が前記原液タンクに連結され
た原液排出管と、この原液排出管に介装されたバイパス
弁と、前記濾過手段の原液側に一端が連結され、他端が
前記原液タンクに連結された逆洗液排出管と、この逆洗
液排出管に介装されたフラッシング弁と、前記濾過手段
の濾過液側に連結された濾過液排出管と、この濾過液排
出管に介装された濾過弁と、前記濾過手段の濾過液側に
連結された逆洗チャンバと、この逆洗チャンバに連結さ
れた圧縮エアー供給管および圧縮エアー排気管と、これ
ら圧縮空気供給管および圧縮空気排気管にそれぞれ介装
された第１、第２のエアー開閉弁と、この第１エアー開
閉弁より圧縮エアー流れの後段側に位置する前記圧縮エ
アー供給管に一端が連結され、他端が前記濾過手段の原
液側に連結されたエアーパージ配管と、このエアーパー
ジ配管に介装されたエアーパージ弁とを備えた原液処理
装置を用いた原液の処理方法であって、前記原液開閉
弁、バイパス弁および濾過弁をそれぞれ開き、前記供給
ポンプを作動して前記原液タンク内の原液を前記固液分
離手段を通して前記濾過手段に供給し、ここで前記原液
を濾過し、濾過液を前記濾過液排出管を通して排出し、
未濾過原液を前記原液排出管を通して前記原液タンクに
戻す濾過工程と；前記原液開閉弁、フラッシング弁、濾
過弁および第１エアー開閉弁をそれぞれ開き、前記供給
ポンプを低速作動して前記原液タンク内の原液を前記固
液分離手段を通して前記濾過手段に供給すると共に、圧
縮エアーを前記圧縮エアー供給管を通して逆洗チャンバ
内に供給し、前記逆洗チャンバ内に予め導入された濾過
液を前記濾過手段の濾過側に供給して前記フィルタに侵
入した浮遊物を原液側に排出し、濾過手段の原液側に供
給された前記原液により前記浮遊物を逆洗液として前記
逆洗液排出管を通して前記タンクに戻す濃縮用逆洗工
程；前記濾過弁および濃縮弁をそれぞれ開き、前記供給
ポンプを停止し、前記第１エアー開閉弁を間欠的に開
き、前記第１エアー開閉弁の開時に圧縮エアーを前記圧
縮エアー供給管を通して逆洗チャンバ内に供給し、前記
逆洗チャンバ内に予め導入された濾過液を前記濾過手段
の濾過側に供給して前記フィルタに侵入した浮遊物を原
液側に排出し、前記第１エアー開閉弁の閉時に前記エア
ーパージ弁を開き圧縮エアーを前記エアーパージ配管を
通して濾過手段の原液側に供給する操作を繰り返し、前
記フィルタに侵入した浮遊物を前記固液分離手段内の固
形分と共に前記濃縮液排出管を通して排出する払い出し
用逆洗工程；を具備し、前記払い出し用逆洗工程を前記
濃縮用逆洗工程を複数回行う毎に１回行うことを特徴と
するものである。

【００１０】このような本発明によれば、濃縮用逆洗工
程において濾過手段の原液側に流出された濃縮液を原液
タンクに戻し、払い出し用逆洗工程において前記濃縮用
逆洗工程を複数回行う毎に１回行うことによって、従来
のように各逆洗工程で固液分離手段内の固形分を濃縮液
として排出する場合に比べて固液分離手段内の固形分量
が多い状態で濃縮液を排出できる。その結果、濃縮液の
廃棄回数を低減できると共に、濃縮倍率の高い濃縮液を
廃棄できるため、廃棄処理のためのコストを著しく低減
できる。

【００１１】また、前記逆洗工程において、濾過手段の
濾過液側に逆洗チャンバから濾過液を供給すると共に、
濾過手段の原液側に原液を流すことによって、フィルタ
に侵入したＳＳ分を良好に除去することができるため、
前記フィルタの濾過性能をほぼ初期状態に回復すること
が可能になる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の好ましい実施例を図１を参照
して詳細に説明する。図１は、本発明の実施例で用いら
れる原液処理装置を示す概略図である。原液タンク２１
は配管２２を通して固液分離手段であるサイクロン２３
に連結されている。供給ポンプ２４および原液開閉弁２
５は、前記配管２２に前記タンク２１側からそれぞれ介
装されている。濾過手段であるセラミックフィルタ２６
を有するモジュール２７は、前記サイクロン２３の下部
側に連結されている。前記サイクロン２３の底部には、
濃縮液排出管２８が連結され、かつこの濃縮液排出管２
８には濃縮液開閉弁２９が介装されている。

【００１３】原液排出管３０は、一端が前記モジュール
２７の原液側に連結され、他端が前記原液タンク２１に
連結されている。バイパス弁３１は、前記原液排出管３
０に介装されている。逆洗液排出管３２は、一端が前記
モジュール２７の原液側に連結され、他端が前記原液タ
ンク２１に連結されている。前記逆洗液排出管３２は、
前記原液排出管３０に比べて菅径が太くなっている。フ
ラッシング弁３３は、前記逆洗液排出管３２に介装され
ている。濾過液排出管３４は、前記モジュール２７の濾
過液側に連結され、かつこの濾過液排出管３４には濾過
弁３５が介装されている。

【００１４】逆洗チャンバ３６は、前記モジュール２７
の濾過液側に配管３７を開して連結されでいる。圧縮エ
アー供給管３８および圧縮エアー排気管３９は、前記逆
洗チャンバ３６にそれぞれ連結されている。第１、第２
のエアー開閉弁４０、４１は、前記圧縮エアー供給管３
８および圧縮エアー排気管３９にそれぞれ介装されてい
る。エアーパージ配管４２は、前記第１エアー開閉弁４
０より圧縮エアー流れの後段側に位置する前記圧縮エア
ー供給管３８に一端が連結され、他端が前記モジュール
２７の原液側に連結されている。エアーパージ弁４３
は、前記エアーパージ配管４２に介装されている。

【００１５】なお、前記原液タンク２１には圧縮エアー
を噴射して内部の原液を撹拌するための圧縮エアー噴射
菅４３が連結されている。このような構成の処理装置に
おける濾過工程、濃縮用逆洗工程および払い出し用逆洗
工程とを以下に説明する。

【００１６】（１）濾過工程 前記原液開閉弁２５、バイパス弁３１および濾過弁３５
をそれぞれ開き、前記供給ポンプ２３を作動して前記原
液タンク２１内の原液を配管２２を通してサイクロン２
５に供給し、ここで遠心分離がなされて原液中の相当量
の固形分が分離され、サイクロン５内に沈降される。Ｓ
Ｓ分を含む原液を前記モジュール２７に供給する。ここ
で前記原液の大部分は濾過され、濾過液は前記濾過液排
出管３４を通して排出され、未濾過原液は前記原液排出
管３０を通して前記原液タンク２１に戻される。なお、
前記濾過液の一部は前記配管３７を通して逆洗チャンバ
３６内に供給され、そのチャンバ３６のＨレベルの位置
まで濾過液が満たされる。

【００１７】（２）濃縮用逆洗工程 前記原液開閉弁２５、フラッシング弁３３、濾過弁３５
および第１エアー開閉弁４０をそれぞれ開き、前記供給
ポンプ２４を低速作動して前記原液タンク２１内の原液
を前記サイクロン２３を通して前記モジュール２７に供
給する。同時に、圧縮エアーを前記圧縮エアー供給管３
８を通して前記逆洗チャンバ３６内に供給し、逆洗チャ
ンバ３６内の濾過液が前記モジュール２７の濾過側に配
管３７を通して供給する。この濾過液の供給は、前記逆
洗チャンバ３６の濾過液がＬレベルになるまで行なわれ
る。この時、前記モジュール２７のセラミックフィルタ
２６が濾過側から圧力が加えられるため、前記フィルタ
２６に侵入した浮遊物（ＳＳ分）が原液側に排出され、
原液側に供給された原液により洗い落とされる。ＳＳ分
を含む原液は、前記逆洗液排出管３２を通して前記タン
ク２１に戻される。なお、前記逆洗チャンバ３６内に供
給された圧縮エアーは、前記逆洗処理後に第２エアー開
閉弁４１を開くことによりエアー排気管３９を通して外
部に排出される。

【００１８】（３）払い出し用逆洗工程 ３−１）前記濾過弁３５および濃縮弁２９をそれぞれ開
き、前記供給ポンプ２４を停止し、前記第１エアー開閉
弁４０を例えば０．３秒間開く。このような前記第１エ
アー開閉弁４０の開時に圧縮エアーが前記圧縮エアー供
給管３８を通して前記逆洗チャンバ３６内に供給され、
前記逆洗チャンバ３６内に予め導入された濾過液が配管
３７を前記モジュール２７の濾過側に供給される。この
時、前記モジュール２７のセラミックフィルタ２６が濾
過側から圧力が加えられるため、前記フィルタ２６に侵
入した浮遊物（ＳＳ分）が原液側に押されて排出され
る。

【００１９】３−２）前記第１エアー開閉弁４０を閉
じ、前記エアーパージ弁４３を開く。この時、圧縮エア
ーは前記エアーパージ配管４２を通して前記モジュール
２７の上部側から原液側に供給されて前記原液側のＳＳ
分を含む濃縮液が前記サイクロン２３側に排出される。

【００２０】３−３）前記エアーパージ弁４３を閉じ、
例えば１秒間待機する。前記１−３）〜３−３）の操作
を前記逆洗チャンバ３６内の濾過液がＨレベルからＬレ
ベルになるまで繰り返し、前記モジュール２７のフィル
タ２６のＳＳ分を前記サイクロン２３に沈降・蓄積され
た固形分と共に前記濃縮液排出管２８を通して排出し、
図示しない濃縮液タンクに回収する。なお、前記逆洗チ
ャンバ３６内に供給された圧縮エアーは、前記逆洗処理
後に第２エアー開閉弁４１を開くことによりエアー排気
管３９を通して外部に排出される。

【００２１】前述した払い出し用逆洗工程を前記濃縮用
逆洗工程を例えば５回行う毎に１回行うことによって、
従来のように逆洗工程の毎にサイクロン内に逆洗液を供
給してそこに沈降・蓄積された固形分と共に濃縮液とし
て回収する場合に比べて、前記サイクロン内に沈降・蓄
積されたおよそ５倍の量の固形分を濃縮液として排出で
きるため、濃縮倍率が約５倍の濃縮液を濃縮タンクに回
収でき、同時に濃縮液の絶対量も約１／５に低減でき
る。

【００２２】また、前記濃縮用逆洗工程において、逆洗
チャンバ３６内の濾過液が前記モジュール２７の濾過側
に配管３７を通して供給し、記フィルタ２６に侵入した
浮遊物（ＳＳ分）が原液側に排出する際、モジュール２
７の原液側にポンプ２４の作動により原液を供給するこ
とによって、前記フィルタ２６のＳＳ分を効率よく除去
できる。

【００２３】なお、前記実施例では払い出し用逆洗工程
を濃縮用逆洗工程を５回行う毎に１回行ったが、濃縮用
逆洗工程を２回以上行う毎に１回行えばよい。ただし、
濃縮倍率の高い濃縮液を回収する観点から、払い出し用
逆洗工程は濃縮用逆洗工程を３回以上行う毎に１回行な
うことが好ましい。

【００２４】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば濃
縮倍率の高い濃縮液を廃棄して廃棄処理のためのコスト
を著しく低減でき、かつセラミックフィルタに侵入した
ＳＳ分が残留することなく逆洗してフィルタの濾過性能
をほぼ初期状態に回復することができるフィルタを利用
した研磨廃水等の原液の処理方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例で用いられる原液処理装置を示
す概略図。

【図２】従来の原液処理装置を示す概略図。

【符号の説明】

２１…原液タンク、 ２４…供給ポンプ、 ２３…サイクロン、 ２６…セラミックフィルタ、 ２７…モジュール、 ２８…濃縮液排出管、 ３０…原液排出管、 ３２…逆洗液排出管、 ３４…濾過液排出管、 ３６…逆洗チャンバ、 ３８…圧縮エアー供給管、 ４０…第１エアー開閉弁、 ４２…エアーパージ配管。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１０年７月３１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００３】濃縮原液配管１０は、一端が前記モジュー
ル７の原液側に連結され、他端が前記原液タンク１に連
結されている。濃縮原液開閉弁１１は、前記濃縮原液配
管１０に介装されている。濾過液排出管１２は、前記モ
ジュール７の濾過液側に連結され、かつこの濾過液排出
管１２には濾過弁１３が介装されている。逆洗チャンバ
１４は、前記モジュール７の濾過液側に配管１５を介し
て連結されている。圧縮エアー供給管１６および圧縮エ
アー排気管１７は、前記逆洗チャンバ１４にそれぞれ連
結されている。第１、第２のエアー開閉弁１８、１９
は、前記圧縮エアー供給管１６および圧縮エアー排気管
にそれぞれ介装されている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】このような構成の従来の処理装置における
濾過工程と、逆洗工程とを以下に説明する。 （１）濾過工程 前記原液開閉弁５、濃縮原液開閉弁１１および濾過弁１
３をそれぞれ開き、前記供給ポンプ３を作動して前記原
液タンク１内の原液を配管２を通してサイクロン３に供
給し、ここで遠心分離がなされて原液中の相当量の固形
分が分離され、サイクロン３内に沈降される。ＳＳ分を
含む原液を前記モジュール７に供給する。ここで前記原
液の大部分は濾過され、濾過液は前記濾過液排出管１２
を通して排出され、未濾過原液は前記原液配管１０を通
して前記原液タンク１に戻される。なお、前記濾過液の
一部は前記配管１５を通して逆洗チャンバ１４内に供給
され、そのチャンバ１４のＨレベルの位置まで濾過液が
満たされる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】（２）逆洗工程 前記供給ポンプを停止し、かつ前記原液開閉弁５、濃縮
原液開閉弁１１および前記濾過弁１３を閉じた後、前記
濃縮弁９および第１エアー開閉弁１８をそれぞれ開き、
圧縮エアーを前記圧縮エアー供給管１６を通して逆洗チ
ャンバ１４内に供給する。この時、前記逆洗チャンバ１
４内に予め導入された濾過液が前記モジュール７の濾過
側に配管１５を通して供給する。この濾過液の供給は前
記逆洗チャンバ１４の濾過液がＨレベルからＬレベルに
なるまで行なわれる。この時、前記モジュール７のセラ
ミックフィルタ６に侵入した浮遊物（ＳＳ分）を原液側
に排出する。前記モジュール７の原液側に排出されたＳ
Ｓ分は、前記濾過液と共に前記サイクロン３内に導入さ
れ、このサイクロン３内に沈降された固形分と一緒に前
記濃縮液排出管８を通して濃縮液タンク（図示せず）に
回収される。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】しかしながら、従来の原液処理方法は逆洗
工程の毎にＳＳ分を含む濾過液がサイクロン３内の沈降
固形分と一緒に濃縮液として濃縮タンクに回収するた
め、濃縮倍率が低く、かつ濃縮液の絶対量も多くなり、
廃棄処理のためのコストが高くなるという問題があっ
た。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係わるフィルタ
を利用した原液の処理方法は、原液タンクと、この原液
タンクと配管を通して連結される固液分離手段と、前記
配管に前記タンク側からそれぞれ介装された供給ポンプ
および原液開閉弁と、前記固液分離手段の下流側に連結
されたセラミックフィルタを有する濾過手段と、前記固
液分離手段に連結された濃縮液排出管と、この濃縮液排
出管に介装された濃縮液開閉弁と、前記濾過手段の原液
側に一端が連結され、他端が前記原液タンクに連結され
た原液排出管と、この原液排出管に介装されたバイパス
弁と、前記濾過手段の原液側に一端が連結され、他端が
前記原液タンクに連結された逆洗液排出管と、この逆洗
液排出管に介装されたフラッシング弁 と、前記濾過手
段の濾過液側に連結された濾過液排出管と、この濾過液
排出管に介装された濾過弁と、前記濾過手段の濾過液側
に連結された逆洗チャンバと、この逆洗チャンバに連結
された圧縮エアー供給管および圧縮エアー排気管と、こ
れら圧縮空気供給管および圧縮空気排気管にそれぞれ介
装された第１、第２のエアー開閉弁と、この第１エアー
開閉弁より圧縮エアー流れの前段側に位置する前記圧縮
エアー供給管に一端が連結され、他端が前記濾過手段の
原液側に連結されたエアーパージ配管と、このエアーパ
ージ配管に介装されたエアーパージ弁とを備えた原液処
理装置を用いた原液の処理方法であって、前記原液開閉
弁、バイパス弁および濾過弁をそれぞれ開き、前記供給
ポンプを作動して前記原液タンク内の原液を前記固液分
離手段を通して前記濾過手段に供給し、ここで前記原液
を濾過し、濾過液を前記濾過液排出管を通して排出し、
未濾過原液を前記原液排出管を通して前記原液タンクに
戻す濾過工程と；前記原液開閉弁、フラッシング弁およ
び第１エアー開閉弁をそれぞれ開き、前記供給ポンプを
低速作動して前記原液タンク内の原液を前記固液分離手
段を通して前記濾過手段に供給すると共に、圧縮エアー
を前記圧縮エアー供給管を通して逆洗チャンバ内に供給
し、前記逆洗チャンバ内に予め導入された濾過液を前記
濾過手段の濾過側に供給して前記フィルタに侵入した浮
遊物を原液側に排出し、濾過手段の原液側に供給された
前記原液により前記浮遊物を逆洗液として前記逆洗液排
出管を通して前記タンクに戻す濃縮用逆洗工程；前記濃
縮弁を開き、前記供給ポンプを停止し、前記第１エアー
開閉弁を間欠的に開き、前記第１エアー開閉弁の開時に
圧縮エアーを前記圧縮エアー供給管を通して逆洗チャン
バ内に供給し、前記逆洗チャンバ内に予め導入された濾
過液を前記濾過手段の濾過側に供給して前記フィルタに
侵入した浮遊物を原液側に排出し、前記第１エアー開閉
弁の閉時に前記エアーパージ弁を開き圧縮エアーを前記
エアーパージ配管を通して濾過手段の原液側に供給する
操作を繰り返し、前記フィルタに侵入した浮遊物を前記
固液分離手段内の固形分と共に前記濃縮液排出管を通し
て排出する払い出し用逆洗工程；を具備し、前記払い出
し用逆洗工程を前記濃縮用逆洗工程を複数回行う毎に１
回行うことを特徴とするものである。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１４】逆洗チャンバ３６は、前記モジュール２７
の濾過液側に配管３７を開して連結されでいる。圧縮エ
アー供給管３８および圧縮エアー排気管３９は、前記逆
洗チャンバ３６にそれぞれ連結されている。第１、第２
のエアー開閉弁４０、４１は、前記圧縮エアー供給管３
８および圧縮エアー排気管３９にそれぞれ介装されてい
る。エアーパージ配管４２は、前記第１エアー開閉弁４
０より圧縮エアー流れの前段側に位置する前記圧縮エア
ー供給管３８に一端が連結され、他端が前記モジュール
２７の原液側に連結されている。エアーパージ弁４３
は、前記エアーパージ配管４２に介装されている。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１６】（１）濾過工程 前記原液開閉弁２５、バイパス弁３１および濾過弁３５
をそれぞれ開き、前記供給ポンプ２４を作動して前記原
液タンク２１内の原液を配管２２を通してサイクロン２
３に供給し、ここで遠心分離がなされて原液中の相当量
の固形分が分離され、サイクロン２３内に沈降される。
ＳＳ分を含む原液を前記モジュール２７に供給する。こ
こで前記原液の大部分は濾過され、濾過液は前記濾過液
排出管３４を通して排出され、未濾過原液は前記原液排
出管３０を通して前記原液タンク２１に戻される。な
お、前記濾過液の一部は前記配管３７を通して逆洗チャ
ンバ３６内に供給され、そのチャンバ３６のＨレベルの
位置まで濾過液が満たされる。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１７】（２）濃縮用逆洗工程 前記原液開閉弁２５、フラッシング弁３３および第１エ
アー開閉弁４０をそれぞれ開き、前記供給ポンプ２４を
低速作動して前記原液タンク２１内の原液を前記サイク
ロン２３を通して前記モジュール２７に供給する。同時
に、圧縮エアーを前記圧縮エアー供給管３８を通して前
記逆洗チャンバ３６内に供給し、逆洗チャンバ３６内の
濾過液が前記モジュール２７の濾過側に配管３７を通し
て供給する。この濾過液の供給は、前記逆洗チャンバ３
６の濾過液がＬレベルになるまで行なわれる。この時、
前記モジュール２７のセラミックフィルタ２６が濾過側
から圧力が加えられるため、前記フィルタ２６に侵入し
た浮遊物（ＳＳ分）が原液側に排出され、原液側に供給
された原液により洗い落とされる。ＳＳ分を含む原液
は、前記逆洗液排出管３２を通して前記タンク２１に戻
される。なお、前記逆洗チャンバ３６内に供給された圧
縮エアーは、前記逆洗処理後に第２エアー開閉弁４１を
開くことによりエアー排気管３９を通して外部に排出さ
れる。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１８】（３）払い出し用逆洗工程 ３−１）前記濃縮弁２９をそれぞれ開き、前記供給ポン
プ２４を停止し、前記第１エアー開閉弁４０を例えば
０．３秒間開く。このような前記第１エアー開閉弁４０
の開時に圧縮エアーが前記圧縮エアー供給管３８を通し
て前記逆洗チャンバ３６内に供給され、前記逆洗チャン
バ３６内に予め導入された濾過液が配管３７を前記モジ
ュール２７の濾過側に供給される。この時、前記モジュ
ール２７のセラミックフィルタ２６が濾過側から圧力が
加えられるため、前記フィルタ２６に侵入した浮遊物
（ＳＳ分）が原液側に押されて排出される。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】前記３−１）〜３−３）の操作を前記逆洗
チャンバ３６内の濾過液がＨレベルからＬレベルになる
まで繰り返し、前記モジュール２７のフィルタ２６のＳ
Ｓ分を前記サイクロン２３に沈降・蓄積された固形分と
共に前記濃縮液排出管２８を通して排出し、図示しない
濃縮液タンクに回収する。なお、前記逆洗チャンバ３６
内に供給された圧縮エアーは、前記逆洗処理後に第２エ
アー開閉弁４１を開くことによりエアー排気管３９を通
して外部に排出される。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２２】また、前記濃縮用逆洗工程において、逆洗
チャンバ３６内の濾過液が前記モジュール２７の濾過側
に配管３７を通して供給し、前記フィルタ２６に侵入し
た浮遊物（ＳＳ分）が原液側に排出する際、モジュール
２７の原液側にポンプ２４の作動により原液を供給する
ことによって、前記フィルタ２６のＳＳ分を効率よく除
去できる。

【手続補正１３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横谷 雄二 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 原液タンクと、この原液タンクと配管を
   通して連結される固液分離手段と、前記配管に前記タン
   ク側からそれぞれ介装された供給ポンプおよび原液開閉
   弁と、前記固液分離手段の下流側に連結されたセラミッ
   クフィルタを有する濾過手段と、前記固液分離手段に連
   結された濃縮液排出管と、この濃縮液排出管に介装され
   た濃縮液開閉弁と、前記濾過手段の原液側に一端が連結
   され、他端が前記原液タンクに連結された原液排出管
   と、この原液排出管に介装されたバイパス弁と、前記濾
   過手段の原液側に一端が連結され、他端が前記原液タン
   クに連結された逆洗液排出管と、この逆洗液排出管に介
   装されたフラッシング弁と、前記濾過手段の濾過液側に
   連結された濾過液排出管と、この濾過液排出管に介装さ
   れた濾過弁と、前記濾過手段の濾過液側に連結された逆
   洗チャンバと、この逆洗チャンバに連結された圧縮エア
   ー供給管および圧縮エアー排気管と、これら圧縮空気供
   給管および圧縮空気排気管にそれぞれ介装された第１、
   第２のエアー開閉弁と、この第１エアー開閉弁より圧縮
   エアー流れの後段側に位置する前記圧縮エアー供給管に
   一端が連結され、他端が前記濾過手段の原液側に連結さ
   れたエアーパージ配管と、このエアーパージ配管に介装
   されたエアーパージ弁とを備えた原液処理装置を用いた
   原液の処理方法であって、 前記原液開閉弁、バイパス弁および濾過弁をそれぞれ開
   き、前記供給ポンプを作動して前記原液タンク内の原液
   を前記固液分離手段を通して前記濾過手段に供給し、こ
   こで前記原液を濾過し、濾過液を前記濾過液排出管を通
   して排出し、未濾過原液を前記原液排出管を通して前記
   原液タンクに戻す濾過工程と；前記原液開閉弁、フラッ
   シング弁、濾過弁および第１エアー開閉弁をそれぞれ開
   き、前記供給ポンプを低速作動して前記原液タンク内の
   原液を前記固液分離手段を通して前記濾過手段に供給す
   ると共に、圧縮エアーを前記圧縮エアー供給管を通して
   逆洗チャンバ内に供給し、前記逆洗チャンバ内に予め導
   入された濾過液を前記濾過手段の濾過側に供給して前記
   フィルタに侵入した浮遊物を原液側に排出し、濾過手段
   の原液側に供給された前記原液により前記浮遊物を逆洗
   液として前記逆洗液排出管を通して前記タンクに戻す濃
   縮用逆洗工程；前記濾過弁および濃縮弁をそれぞれ開
   き、前記供給ポンプを停止し、前記第１エアー開閉弁を
   間欠的に開き、前記第１エアー開閉弁の開時に圧縮エア
   ーを前記圧縮エアー供給管を通して逆洗チャンバ内に供
   給し、前記逆洗チャンバ内に予め導入された濾過液を前
   記濾過手段の濾過側に供給して前記フィルタに侵入した
   浮遊物を原液側に排出し、前記第１エアー開閉弁の閉時
   に前記エアーパージ弁を開き圧縮エアーを前記エアーパ
   ージ配管を通して濾過手段の原液側に供給する操作を繰
   り返し、前記フィルタに侵入した浮遊物を前記固液分離
   手段内の固形分と共に前記濃縮液排出管を通して排出す
   る払い出し用逆洗工程；を具備し、前記払い出し用逆洗
   工程を前記濃縮用逆洗工程を複数回行う毎に１回行うこ
   とを特徴とするフィルタを利用した原液の処理方法。