JPH11194187A

JPH11194187A - 位置決め装置

Info

Publication number: JPH11194187A
Application number: JP33153397A
Authority: JP
Inventors: Toru Miyake; 透三宅; Manabu Okada; 学岡田
Original assignee: NTN Corp; NTN Toyo Bearing Co Ltd
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1997-12-02
Publication date: 1999-07-21

Abstract

(57)【要約】【課題】外乱に強く、スライド体の移動経路の真直度
を向上させることができ、さらに負荷トルクも小さく、
安定した動作が得られるものとする。【解決手段】基台１に静圧直動軸受２を介してスライ
ド体３を進退自在に設置する。スライド体３を進退駆動
する摩擦進退駆動装置４を、回転駆動される主軸５と、
その回りに傾き角度をもって接する複数のローラ９とで
構成する。ローラ９には、予圧部材１５を介して主軸５
に対する予圧を与える。スライド体３および静圧直動軸
受２のレール２ａはセラミックス製とする。また、基台
１にレール状に設けられた磁性体４２とスライド体３と
の間に磁気吸引力を作用させる磁石４１をスライド体３
に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ディスクマス
タリング装置、半導体検査装置等の精密装置におけるス
ライド体の位置決めに使用される位置決め装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、光
ディスクマスタリング装置や半導体検査装置等の高度に
精密性が要求される機器において、静圧直動軸受を介し
てスライド体を進退自在に設置したエアスライド装置が
用いられている。スライド体の駆動には、ボイスコイル
型のリニアモータが一般に用いられ、位置検出器として
干渉レーザ測長器やリニアスケールを使用し、閉ループ
制御方式が採用されている。また、半導体検査装置等の
ように位置決め後にワークを観察するために静止状態を
保つことが必要な装置では、スライド体の駆動にボール
ねじを用いたものが採用されている。

【０００３】しかし、ボイスコイル型リニアモータ付き
のエアスライド装置では、完全非接触であるため、外乱
の影響を受け易い。そのため、分解能を上げるのに限度
があった。また、ボールねじをスライド体の駆動に用い
たものでは、ねじ溝形状やボール径の誤差などで、微動
しながら軸方向に動くような速度むらが生じる。さら
に、従来の静圧直動軸受は、軸受の剛性を十分に得るこ
とが難しく、剛性不足が位置決め精度に影響していた。

【０００４】この発明は、上記の課題を解消するもので
あり、速度むらが生じることなく、安定した送りが行
え、また外乱に強く、分解能の向上が図れる位置決め装
置を提供することを目的とする。この発明の他の目的
は、スライド体の移動経路の真直度を向上させることが
でき、また負荷トルクも小さく、安定した動作が得られ
る位置決め装置を提供することである。この発明のさら
に他の目的は、ローラ間の角度誤差を少なくでき、より
一層安定した動作が得られるようにすることである。こ
の発明のさらに他の目的は、ローラと主軸との接触面の
潤滑性を確保し、動作の円滑性をより一層向上させるこ
とである。この発明のさらに他の目的は、剛性の向上に
よる一層の位置決め精度の向上を図ることである。この
発明のさらに他の目的は、スライド体の静圧支持の安定
が図れるようにすることである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１記載
の位置決め装置は、基台に対してスライド体を進退自在
に設置し、このスライド体を進退駆動する摩擦進退駆動
装置を設け、前記スライド体と基台の間を静圧支持した
ものである。前記摩擦進退駆動装置は、前記基台に設置
されて回転駆動される主軸と、前記主軸の回りに複数設
けられ各々前記主軸に対して傾き角度を持って接するロ
ーラとを備え、このローラに主軸に対する予圧を与える
予圧手段を有する。この構成によると、スライド体は、
基台に静圧支持された状態で、摩擦進退駆動装置により
進退駆動され、位置決めされる。摩擦進退駆動装置は、
主軸を回転させると、各ローラが主軸に対して傾き角度
だけリード角を持って回転することになり、その接触部
の摩擦力により、スライド体を軸方向に移動させる。ロ
ーラは予圧手段で主軸に対する予圧が与えられているた
め、安定して主軸に接触する。前記摩擦進退駆動装置
は、主軸とローラとで構成され、構成部品が簡素な形状
であるため、容易に高精度に加工可能であり、ボールね
じと異なり、ねじ溝形状やボール径の誤差などで速度む
らが生じることがなく、安定した送りが行える。この構
成の位置決め装置は、このように静圧支持と摩擦進退駆
動装置とを組み合わせたため、静圧支持により高精度に
スライド体を案内でき、またスライド体は、進行方向に
対して、主軸とローラとの接触で機械的に支持されてい
るため、完全非接触のものに比べて外乱に強く、静圧支
持の弱点を補える。また、前記のように速度むらが生じ
ることなく、安定した送りが行える。これらのため、分
解能の向上が図れる。

【０００６】上記構成の位置決め装置において、前記各
ローラは、ローラ軸の外周に転動体を介して回転自在に
設けられたものであって、前記ローラ軸を、スライド体
に設けられた固定支持体と予圧部材との間で軸方向に挟
み込み、これら固定支持体と予圧部材とは、ローラ軸端
部の軸方向位置を規制する軸保持手段を有し、かつ前記
予圧部材は軸方向と軸方向に垂直な方向の変位が可能な
ものとすることが好ましい。前記予圧手段は、前記予圧
部材と弾性体とで構成する。この構成の場合、予圧部材
は、軸方向と垂直な方向に自由度を持っているため、基
台の静圧支持の案内となる部分と主軸とのミスアライメ
ントを吸収できる。このため、真直度は基台の静圧支持
の案内となる部分の精度に依存することになり、スライ
ド体の移動経路の真直度が向上する。すなわち、ローラ
軸がスライド体に固定設置されていると、静圧支持の案
内手段と主軸とのミスアライメントが生じていた場合
に、これを吸収することができず、十分な真直度を得る
ことが難しいが、上記の構成よりこのようなミスアライ
メントの吸収が行える。また、この構成によると、前記
ローラは、転動体を介してローラ軸に回転自在に支持し
たものであるため、負荷トルクが小さい。また、ローラ
軸の両端を軸保持手段で位置規制するようにしたため、
安定した動作が得られる。この構成において、前記ロー
ラ軸は両端を球面状とし、前記軸保持手段は、各々前記
固定支持体および予圧部材に隣接して設けられて、複数
のローラのローラ軸を内周の隅部で規制する一対の枠状
の保持板としても良い。このようにローラ軸の両端を球
面状とすることにより、ミスアライメントの吸収が円滑
に行われる。また、上記のような保持板を使用すること
より、２枚の保持板を同時加工することによって、ロー
ラ間の角度誤差を小さくすることができる。また、これ
らの構成において、前記ローラの外周面に接する固形潤
滑剤を設けても良い。このように固形潤滑剤を用いるこ
とにより、摩擦部に一定の潤滑剤を長期に渡り、安定し
て供給でき、より一層安定した動作が得られる。

【０００７】この発明の請求項５記載の位置決め装置
は、レールに対してスライド体を進退自在に設置し、こ
のスライド体を進退駆動する摩擦進退駆動装置を設け、
前記レールをセラミックス製とし、前記スライド体を、
前記レールに静圧支持されたセラミックス製としたもの
である。この構成の場合、静圧支持と摩擦進退駆動装置
との組み合わせにより、速度むらのない安定した送り、
外乱に強い送りが行えるうえ、セラミックス製としたこ
とによって、レールおよびスライド体の剛性が高くで
き、剛性不足による位置決め精度の低下がなくせる。そ
のため、セラミックス製のレールおよびスライド体を用
いた静圧支持と、摩擦進退駆動装置との相乗効果によ
り、より一層精度の高い位置決めが可能になる。この発
明の請求項６記載の位置決め装置は、基台に対してスラ
イド体を進退自在に設置し、このスライド体を進退駆動
する摩擦進退駆動装置を設け、前記スライド体を基台に
静圧支持すると共に、前記スライド体と基台を互いに吸
引させる磁石を前記スライド体に設けたものである。こ
の構成の場合、スライド体と基台との間に磁気吸引力を
作用させながら、この吸引力に抗して静圧支持を行うよ
うにしたため、スライド体が浮上し過ぎることが防止さ
れ、スライド体の一層安定した静圧支持が行える。この
ように安定度の高い静圧支持と、摩擦進退駆動装置との
併用により、より一層の位置決め精度の向上が図れる。
このセラミックス製のレールおよびスライド体を用いた
構成と、前記磁石をスライド体に設ける構成とは併用す
ることができる。この併用により、その案内の剛性向上
の効果と過剰浮上の防止効果とが相まって、一層の位置
決め精度の向上が達成できる。前記請求項５および請求
項６記載の位置決め装置において、摩擦進退駆動装置
は、例えば、請求項１記載の位置決め装置における摩擦
進退駆動装置と同様に、前記基台に設置されて回転駆動
される主軸と、前記主軸の回りに複数設けられ各々前記
主軸に対して傾き角度を持って接するローラと、このロ
ーラに主軸に対する予圧を与える予圧手段とを備えるも
のとする。

【０００８】

【発明の実施の形態】この発明の一実施形態を図１ない
し図３と共に説明する。図１に示すように、基台１に静
圧直動軸受２を介して、テーブルとなるスライド体３が
進退自在に設置され、静圧直動軸受２の幅方向の中央
に、摩擦進退駆動装置４の主軸５が設置されている。ス
ライド体３は、図２（Ｂ）および図３に示すように、天
板部３ａとその両側縁から立ち下がる側板部３ｂとで鞍
形に形成され、静圧直動軸受２のレール２ａに跨がって
いる。レール２ａは、基台１に設けられてスライド体３
を案内する案内部となるものである。この例では、レー
ル２ａは、厚肉の上向き溝形に形成され、溝内に主軸５
が挿通されている。レール２ａおよびスライド体３は、
いずれもセラミックス製としてある。このセラミックス
としては、炭化珪素（ＳｉＣ）、酸化アルミニウム（Ａ
ｌ₂Ｏ₃）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ₂）、窒化珪素
（Ｓｉ₃Ｎ₄）等を用いることができる。静圧直動軸受
２は、レール２ａとスライド体３との間に微小な軸受隙
間ｄ（図３（Ｂ））を形成し、スライド体３の天板部３
ａおよび側板部３ｂに設けられた多数のノズル４３から
軸受隙間ｄに圧縮空気を噴出することにより、軸受隙間
ｄの静圧でスライド体３を非接触で支持するものであ
る。各ノズル４３は、スライド体３内に設けられた共通
の空気供給路４４に連通しており、この空気供給路４４
にはスライド体３の一箇所に設けられた供給口４５を介
して、圧縮空気の供給源（図示せず）にフレキシブルチ
ューブ等で接続される。空気供給路４４は、スライド体
３の天板部３ａ内に進退方向に沿って設けられた左右一
対の主経路４４ａと、この主経路４４ａから分岐した複
数の分岐経路４４ｂと、分岐経路４４ｂに連通して側板
部３ｂに形成された縦経路４４ｃとで構成され、主経路
４４ａの各部および各縦経路４４ｃに前記ノズル４３が
設けられている。各経路４４ａ〜４４ｃは直線状のドリ
ル孔からなり、２本の主経路４４ａは一端で外部の配管
４６により連通させてある。主経路４４ａの他端および
分岐経路４４ｂの開口側端は、いずれも埋め栓４７で閉
じてある。各ノズル４３は、図３（Ｃ）に示すように、
オリフィス絞りに成形してある。この実施形態に用いた
静圧直動軸受２では、スライド体３の浮き上がりを規制
する手段として、スライド体３の両側の側板部３ｂ，３
ｂの下端に磁石４１を設け、この磁石４１との間に吸引
力を生じさせる磁性体４２を、レール２ａの両側に沿っ
てレール状に設けてある。磁性体４２は、断面Ｌ字状と
し、その横片部分を、レール２ａの下面両側縁に設けた
切欠状部分に嵌合状態に配置してある。図１に示すよう
に、摩擦進退駆動装置４は、減速機６を介して回転駆動
源であるモータ７により主軸５を回転させ、主軸５の回
転を、スライド体３に設置されたローラ９を介してスラ
イド体３の進退動作に変換するものである。モータ７
は、スライド体３の移動量を検出する測長器１０で検出
し、制御手段（図示せず）により閉ループ制御を行う。
モータ７には、この例ではＡＣサーボモータを用いてい
る。

【０００９】摩擦進退駆動装置４のローラ９は、主軸５
の周囲に複数個（この例では３個）設けられており、そ
の支持は、図２のように行われている。ローラ９は、ロ
ーラ軸１１の外周に転動体１２を介して設置されたもの
である。この例では、ローラ９は、前記転動体１２を含
むアンギュラ玉軸受等の一対の転がり軸受１３，１３を
介してローラ軸１１の外周に設けてある。ローラ軸１１
は、ローラ９の両側へ突出するものであり、一対の転が
り軸受１３は、その内輪が、ローラ軸１１に設けられた
拡径部とローラ軸１１の雄ねじ部に螺合するナット部材
との間で締め付けてローラ軸１１に固定されている。ロ
ーラ軸１１の両端は、球面状部１１ａに形成され、これ
ら球面状部１１ａは、板状の固定支持体１４と、予圧手
段１５Ａの構成部品である板状の予圧部材１５との間で
軸方向に挟み込まれている。固定支持体１４は、スライ
ド体３に固定設置されたものであり、予圧部材１５は、
スライド体３に固定設置された予圧部材支持体１６に、
圧縮コイルばね等の予圧ばねからなる弾性体１７を介し
て、主軸５の軸方向の変位、および軸方向に直交する方
向の変位が可能に支持されている。

【００１０】これら固定支持体１４と予圧部材１５の対
向面には、ローラ軸１１を支持する軸保持手段１８とな
る一対の保持板１８Ａ，１８Ｂが固定されている。これ
ら保持板１８Ａ，１８Ｂは、正面形状が三角形の枠状に
形成され、その内周の各隅部で、ローラ軸１１の端部の
球面状部１１ａが位置規制される。この場合に、図２
（Ｂ）に示すように、予圧部材１５は、その一側部がば
ね部材等の弾性体４０で予圧を掛けられており、これに
より予圧部材１５と片方の保持板１８Ｂとに回転方向の
力が与えられる。そのため、前記のように保持板１８
Ａ，１８Ｂで位置規制されたローラ軸１１は、主軸５に
対して若干の傾き角度が生じるように支持される。弾性
体４０の一端はスライド体３に支持される。前記予圧部
材１５、弾性体１７，４０により、前記予圧手段１５Ａ
が構成される。なお、ローラ９の外周面は、幅方向の中
央部が大径に、両側部が小径となる段付き円筒面状に形
成されている。このローラ９の外周面は、幅方向の中央
部が大径となるように、断面が円弧状となったものであ
っても良い。

【００１１】図１に示すように、減速機６は、摩擦車２
１，２２を複数段に設け、予圧機構３３を設けたものと
してある。モータ７は、第１の揺動板２４に設置され、
この揺動板２４上に一対の軸受ユニット２５Ａ，２５Ｂ
で支持された駆動側軸２６に連結されている。揺動板２
４は、支軸２７の回りに揺動自在なように、基台１に支
持されている。駆動側軸２６に接する第１の摩擦車２１
は、第２の揺動板２８に一対の軸受ユニット２９Ａ，２
９Ｂで支持された第２の駆動側軸３０に固定されてい
る。第２の揺動台２８は、支軸３１の回りに揺動自在な
ように、基台１に支持されている。第２の摩擦車２２
は、主軸５の摩擦車取付軸部５ａに固定されており、摩
擦車取付軸部５ａは、基台１に設置された一対の軸受ユ
ニット３２Ａ，３２Ｂに支持されている。各揺動板２
４，２８の揺動方向は、主軸５に対する遠近方向であっ
て、第１，第２の駆動側軸２６，３０の軸心は、主軸５
の軸心と同一水平面内にあり、第１の揺動板２４は予圧
手段３３で第１の摩擦車２１側に付勢されている。この
付勢により、第１の摩擦車２１を介して、第２の駆動側
軸３０も第２の摩擦車２２側へ付勢されている。前記予
圧手段３３は、基台１に設置したばね支持部材３３ａ
と、弾性体である予圧ばね３３ｂとからなる。なお、前
記軸受ユニット２５Ａ，３２Ａは、ケーシング内に減速
機構を収容した個別の減速機であっても良い。

【００１２】基台１には、各摩擦車２１，２２に接触す
る固形潤滑剤３５が取付けられ、またスライド体３には
各ローラ９に接するように固形潤滑剤３６が取付けられ
ている。

【００１３】上記構成の動作を説明する。モータ７の回
転は、減速機６の第１，第２の摩擦車２１，２２を介し
て減速して主軸５に伝えられる。主軸５が回転すると、
各ローラ９が主軸５に対して傾き角度だけリード角を持
って回転することになり、その接触部の摩擦力のため、
スライド体３が軸方向に移動する。この構成の装置によ
ると、次の各作用および利点が得られる。スライド体３は、進行方向に対して、主軸５とローラ
９との接触で機械的に支持されているため、完全非接触
のものに比べて外乱に強い。予圧部材１５は、軸方向と垂直な方向に自由度を持っ
ているため、静圧直動軸受２と主軸５とのミスアライメ
ントを吸収できる。このため、真直度は案内となる静圧
直動軸受２の精度に依存することになり、スライド体３
の移動経路の真直度が向上する。摩擦進退駆動装置の主軸５は静圧直動軸受２の幅方向
の中心に設置され、スライド体３の幅方向の中心を駆動
するため、ヨーイング等の精度悪化要因を少なくでき
る。減速機６を使用しているため、モータ７の回転むらの
影響を小さくできる。各摩擦車２１，２２およびローラ９に対して、これら
に各々接触する固形潤滑剤３５，３６を設けているた
め、摩擦部に一定の潤滑剤を供給でき、安定した回転が
得られる。減速機６は、各駆動側軸２６，３０を揺動により変位
を可能とし、予圧手段３３で予圧しているため、摩擦車
２１，２２の半径方向の誤差が吸収でき、摩擦車２１，
２２と駆動側軸２６，３０との確実な接触が得られて、
確実で安定した回転伝達が行える。主軸５に接する各ローラ９は、ローラ軸１１の両端を
球面状としているため、上記のミスアライメントの吸収
が円滑に行われる。また、上記のような枠状の保持板１
８Ａ，１８Ｂを使用するため、２枚の保持板１８Ａ，１
８Ｂを同時加工することによって加工精度を向上させ、
各ローラ９の相互間の角度誤差を小さくすることができ
る。ローラ９は、転動体１２を介してローラ軸１１に回転
自在に支持したものであるため、負荷トルクが小さい。レール２ａおよびスライド体３をセラミックス製とし
たため、剛性を高くでき、より精度の高い位置決めが可
能となる。また、磁石４１を設けたため、スライド体３
のより一層安定した静圧支持が行える。

【００１４】なお、前記実施形態において、前記摩擦進
退駆動装置におけるローラは、転がり軸受を用いたもの
であっても良く、また例えば単体のローラの両端面に円
すい状のボール係合孔を設け、このボール係合孔に係合
するボールを介して回転自在に支持したものなどであっ
ても良い。

【００１５】

【発明の効果】この発明の請求項１記載の位置決め装置
は、スライド体を基台に静圧支持し、主軸に傾き角度を
持って接触するローラおよびその予圧手段を有する摩擦
進退駆動装置により前記スライド体を進退させるものと
したため、速度むらを生じることなく、安定した送りが
行え、また外乱に強く、分解能の向上を図ることができ
る。前記各ローラが、ローラ軸の外周に転動体を介して
回転自在に設けられたものであって、前記ローラ軸を、
スライド体に設けられた固定支持体と予圧部材との間で
軸方向に挟み込み、これら固定支持体と予圧部材とは、
ローラ軸端部の軸方向位置を規制する軸保持手段を有
し、かつ前記予圧部材は軸方向と軸方向に垂直な方向の
変位が可能なものとした場合は、基台と主軸とのミスア
ライメントを吸収して直進度が向上し、さらに負荷トル
クも小さく、安定した動作が得られる。前記ローラ軸の
両端を球面状とし、前記軸保持手段を、各々前記固定支
持体および予圧部材に隣接して設けられて、複数のロー
ラのローラ軸を内周の隅部で規制する一対の枠状の保持
板とした場合は、ローラ間の角度誤差を少なくでき、よ
り一層安定した動作が得られる。ローラの外周面に接す
る固形潤滑剤を設けた場合は、簡単な構成で摩擦部に一
定の潤滑剤の供給が行え、一層安定した動作が得られ
る。この発明の請求項５記載の位置決め装置は、レール
に対してスライド体を進退自在に設置し、このスライド
体を進退駆動する摩擦進退駆動装置を設け、前記レール
をセラミックス製とし、前記スライド体を、前記レール
に静圧支持されたセラミックス製としたため、剛性を高
くでき、より精度の高い位置決めが可能となる。この発
明の請求項６記載の位置決め装置は、基台に対してスラ
イド体を進退自在に設置し、このスライド体を進退駆動
する摩擦進退駆動装置を設け、前記スライド体を基台に
静圧支持すると共に、前記スライド体と基台を互いに吸
引させる磁石を前記スライド体に設けたものであるた
め、スライド体の静圧支持の安定が図れ、これによって
も、より一層精度の高い位置決めが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）はこの発明の一実施形態にかかる位置決
め装置の平面図、（Ｂ）は同側面図、（Ｃ）は同位置決
め装置のモータ設置部の拡大側面図、（Ｄ）は同図
（Ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。

【図２】（Ａ）は同位置決め装置の摩擦進退駆動装置を
示す破断側面図、（Ｂ）は同図（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図
である。

【図３】（Ａ）は静圧直動軸受のスライド体の平面図、
（Ｂ）は同スライド体とレールとの関係を示す断面図、
（Ｃ）はそのスライド体のノズル部分の拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１…基台１４…固定支持体２…静圧直動軸受１５…予圧部材２ａ…レール１５Ａ…予圧手段３…スライド体（テーブル）１７…弾性体４…摩擦進退駆動装置１８…軸保持手段５…主軸１８Ａ，１８Ｂ…保持
板６…減速機２１，２２…摩擦車７…モータ（回転駆動源）３３…予圧手段９…ローラ４０…弾性体１１…ローラ軸４１…磁石１２…転動体４２…磁性体１３…軸受

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台に対してスライド体を進退自在に設
置し、このスライド体を進退駆動する摩擦進退駆動装置
を設け、この摩擦進退駆動装置は、前記基台に設置され
て回転駆動される主軸と、前記主軸の回りに複数設けら
れ各々前記主軸に対して傾き角度を持って接するローラ
とを備え、このローラに主軸に対する予圧を与える予圧
手段を設けており、前記スライド体と基台の間を静圧支
持したことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】前記予圧手段は予圧部材と弾性体とで構
成され、前記各ローラは、ローラ軸の外周に転動体を介
して回転自在に設けられたものであって、前記ローラ軸
を、スライド体に設けられた固定支持体と予圧部材との
間で軸方向に挟み込み、これら固定支持体と前記予圧部
材とは、ローラ軸端部の軸方向位置を規制する軸保持手
段を有し、かつ前記予圧部材は軸方向と軸方向に垂直な
方向の変位が可能なものとした請求項１記載の位置決め
装置。
【請求項３】前記ローラ軸は両端を球面状とし、前記
軸保持手段は、各々前記固定支持体および予圧部材に隣
接して設けられて、複数のローラのローラ軸を内周の隅
部で規制する一対の枠状の保持板とした請求項２記載の
位置決め装置。
【請求項４】前記ローラの外周面に接する固形潤滑剤
を設けた請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の位
置決め装置。
【請求項５】レールに対してスライド体を進退自在に
設置し、このスライド体を進退駆動する摩擦進退駆動装
置を設け、前記レールをセラミックス製とし、前記スラ
イド体を、前記レールに静圧支持されたセラミックス製
とした位置決め装置。
【請求項６】基台に対してスライド体を進退自在に設
置し、このスライド体を進退駆動する摩擦進退駆動装置
を設け、前記スライド体を基台に静圧支持すると共に、
前記スライド体と基台を互いに吸引させる磁石を前記ス
ライド体に設けた位置決め装置。
【請求項７】レールに対してスライド体を進退自在に
設置し、このスライド体を進退駆動する摩擦進退駆動装
置を設け、前記レールをセラミックス製とし、前記スラ
イド体を、前記レールに静圧支持されたセラミックス製
とし、前記スライド体と基台を互いに吸引させる磁石を
前記スライド体に設けた位置決め装置。
【請求項８】前記摩擦進退駆動装置は、前記基台に設
置されて回転駆動される主軸と、前記主軸の回りに複数
設けられ各々前記主軸に対して傾き角度を持って接する
ローラと、このローラに主軸に対する予圧を与える予圧
手段とを備える請求項５ないし請求項７のいずれかに記
載の位置決め装置。