JPH11186705A - はんだ印刷用マスクおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、先付け部品が実装される基板上に
はんだを印刷するためのはんだ印刷用マスクおよびその
製造方法に関し、ベアチップ等の先付け部品を実装した
基板上に、はんだを確実に印刷することができるはんだ
印刷用マスクを提供することを目的とする。 【解決手段】 基板上に密着して配置される板状のマス
ク本体に、はんだ印刷用の印刷穴を形成するとともに、
基板上に実装される先付け部品を覆う形状の突出部を、
基板と反対側に突出して形成してなるはんだ印刷用マス
クにおいて、突出部の周囲に、基板に向けて傾斜する裾
部を形成してなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、先付け部品が実装
される基板上にはんだを印刷するためのはんだ印刷用マ
スクおよびその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近時、電子部品の高密度実装化のため
に、面実装部品を搭載する基板上に、チップ・オン・ボ
ード実装技術を用いてベアチップを搭載するようになっ
てきている。このような場合には、面実装部品用のはん
だ印刷は、ベアチップの搭載前あるいはベアチップの搭
載後に行われている。

【０００３】一般に、面実装部品のはんだリフロー時に
はフラックスが飛散するため、はんだ印刷をベアチップ
の搭載前に行うと、ベアチップ接続用のパッドが汚染さ
れ、ベアチップと基板との接着性（ボンディング接着強
度あるいはバンプ接着強度）が低下すると言われてい
る。図３２および図３３は、はんだ印刷をベアチップの
搭載後に行うためのはんだ印刷用マスクを示している。

【０００４】図において、先付け部品であるベアチップ
１を実装した基板３上には、板状のマスク本体５が密着
して配置されている。マスク本体５のベアチップ１に対
応する位置には、開口穴５ａが形成され、この開口穴５
ａには、基板３と反対側に向けて突出する箱状の突出部
７が形成されている。

【０００５】また、マスク本体５には、基板３上に形成
される面実装部品のはんだ付け用のパッド３ａに対応す
る位置に、はんだ印刷用の印刷穴５ｂが形成されてい
る。上述したはんだ印刷用マスクでは、以下示すよう
に、基板３上にはんだが印刷される。すなわち、先ず、
図３２に示したように、基板３上の所定の位置に、マス
ク本体５が密着して配置される。

【０００６】次に、図３４に示すように、弾性を有する
長尺状のスキージ９が、印刷方向Ｐと直角方向に沿っ
て、マスク本体５の一端５ｃに配置される。また、マス
ク本体５上には、スキージ９の突出部７側に、スキージ
９の長手方向に沿って、クリームはんだ１１が載置され
る。この後に、図３５に示すように、スキージ９がマス
ク本体５に接した状態で印刷方向Ｐに向けて移動され、
この移動に伴い、クリームはんだ１１がマスク本体５上
を移動する。

【０００７】この際、クリームはんだ１１がマスク本体
５上の印刷穴５ｂに充填１３される。次に、図３６に示
すように、スキージ９がマスク本体５の他端５ｄまで移
動され、マスク本体５が基板３から離脱される。そし
て、印刷穴５ｂに充填１３されたクリームはんだ１１が
基板３上に展着され、はんだ印刷が完了される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のはんだ印刷用マスクでは、マスク本体５の開
口穴５ａに、箱状の突出部７を形成しているため、図３
７に示すように、スキージ９が突出部７を通過する際
に、スキージ９に浮きが発生するという問題があった。

【０００９】このため、図３８に示すように、マスク本
体５上にスキージ９が接触しない非接触領域Ａが発生
し、この非接触領域Ａでは、クリームはんだ１１を印刷
穴５ｂに充填１３できないため、基板３へのはんだ印刷
ができないという問題があった。また、非接触領域Ａ
に、クリームはんだ１１を印刷することができないた
め、この領域に部品を実装することができず、部品の実
装効率を向上することができないという問題があった。

【００１０】本発明は、かかる従来の問題点を解決する
ためになされたもので、ベアチップ等の先付け部品を実
装した基板上に、はんだを確実に印刷することができる
はんだ印刷用マスクおよびその製造方法を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１のはんだ印刷用
マスクは、基板上に密着して配置される板状のマスク本
体に、はんだ印刷用の印刷穴を形成するとともに、前記
基板上に実装される先付け部品を覆う形状の突出部を、
前記基板と反対側に突出して形成してなるはんだ印刷用
マスクにおいて、前記突出部の周囲に、前記基板に向け
て傾斜する裾部を形成してなることを特徴とする。

【００１２】請求項２のはんだ印刷用マスクは、請求項
１記載のはんだ印刷用マスクにおいて、前記マスク本体
の前記先付け部品に対向する位置に開口穴を形成すると
ともに、前記突出部を前記マスク本体の前記開口穴の周
囲に接合される樹脂膜により形成してなることを特徴と
する。請求項３のはんだ印刷用マスクは、請求項２記載
のはんだ印刷用マスクにおいて、前記マスク本体の前記
開口穴に近接する位置に、前記樹脂膜が接合される凹部
を形成してなることを特徴とする。

【００１３】請求項４のはんだ印刷用マスクは、請求項
２または請求項３記載のはんだ印刷用マスクにおいて、
前記凹部を前記マスク本体の前記基板側の面に形成して
なることを特徴とする。請求項５のはんだ印刷用マスク
は、請求項３または請求項４記載のはんだ印刷用マスク
において、前記マスク本体に複数の前記開口穴を形成す
るとともに、前記凹部により前記開口穴の間を相互に接
続してなることを特徴とする。

【００１４】請求項６のはんだ印刷用マスクの製造方法
は、基板上に密着して配置される板状のマスク本体に、
はんだ印刷用の印刷穴を形成するとともに、前記基板上
に実装される先付け部品に対向する位置に開口穴を形成
し、前記開口穴を覆って前記マスク本体に樹脂膜を接合
してなるはんだ印刷用マスクの製造方法において、前記
マスク本体に前記印刷穴と前記開口穴とを形成する穴形
成工程と、前記マスク本体と前記基板との間にマスキン
グフィルムを配置するマスキング工程と、前記開口穴の
前記マスキングフィルム上に、樹脂膜を形成する樹脂膜
形成工程と、前記樹脂膜が形成されたマスク本体を前記
マスキングフィルムから離脱する離脱工程とを有するこ
とを特徴とする。

【００１５】請求項７のはんだ印刷用マスクの製造方法
は、請求項６記載のはんだ印刷用マスクの製造方法にお
いて、前記穴形成工程において、前記樹脂膜が接合され
る前記マスク本体の接合部に凹部を形成してなることを
特徴とする。

【００１６】（作用）請求項１のはんだ印刷用マスクで
は、先付け部品を覆って形成されるマスク本体の突出部
の周囲に、基板に向けて傾斜する裾部が形成されるた
め、突出部がなだらかな形状にされ、はんだ印刷時に突
出部の上を移動するスキージ等が、マスク本体から浮き
上がることが防止され、基板上へのはんだの印刷が確実
に行われる。

【００１７】請求項２のはんだ印刷用マスクでは、突出
部がマスク本体の開口穴の周囲に接合される樹脂膜によ
り形成されるため、突出部を先付け部品の外形形状に合
わせることが可能にされる。

【００１８】このため、突出部が先付け部品と同じ程度
の平坦形状にされ、はんだ印刷時にスキージ等が、より
円滑に移動可能にされる。請求項３のはんだ印刷用マス
クでは、マスク本体の開口穴に近接する位置に、樹脂膜
が接合される凹部が形成されるため、マスク本体と樹脂
膜とが広い面積で接触され、高い強度で接合される。

【００１９】請求項４のはんだ印刷用マスクでは、樹脂
膜の突出方向と反対側に位置するマスク本体の基板側の
面に凹部が形成されるため、樹脂膜の基板と反対側への
剥がれに対する接合強度が高くされる。請求項５のはん
だ印刷用マスクでは、凹部がマスク本体の複数の開口穴
を相互に接続する形状に形成されるため、各開口穴に接
合される樹脂膜が凹部を介して一体化され、高い強度で
マスク本体と樹脂膜とが接合される。

【００２０】請求項６のはんだ印刷用マスクの製造方法
では、マスキング工程において、マスク本体と基板との
間にマスキングフィルムが配置され、樹脂膜形成工程に
おいて、マスキングフィルム上に樹脂を塗布等すること
により樹脂膜が形成可能されるため、簡易な製造工程
で、容易に先付け部品の外形形状とほぼ同一の樹脂膜が
形成される。

【００２１】請求項７のはんだ印刷用マスクの製造方法
では、穴形成工程において、凹部が形成されるため、凹
部と開口穴とが同じ製造工程で形成され、製造工程を複
雑にすることなく、簡易に凹部が形成される。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて詳細に説明する。

【００２３】図１および図２は、本発明のはんだ印刷用
マスクの第１の実施形態（請求項１および請求項２に対
応する）を示している。図において、ベアチップ２１を
実装した基板２３上には、例えば、ステンレス鋼からな
る板状のマスク本体２５が密着して配置されている。マ
スク本体２５のベアチップ２１に対応する位置には、開
口穴２５ａが形成されている。

【００２４】この開口穴２５ａ上には、ベアチップ２１
の被覆部２１ａを覆って、例えば、エポキシ樹脂等から
なる樹脂膜２７が配置されている。この樹脂膜２７の周
囲には、基板２３に向けてなだらかに傾斜する裾部２７
ａが形成され、樹脂膜２７全体がベアチップ２１の被覆
部２１ａに沿って、なだらかに形成されている。

【００２５】そして、樹脂膜２７の裾部２７ａとマスク
本体２５の開口穴２５ａとが相互に接合されている。ま
た、マスク本体２５には、基板２３上に形成される面実
装部品のはんだ付け用のパッド２３ａに対応する位置
に、はんだ印刷用の印刷穴２５ｂが形成されている。

【００２６】上述したはんだ印刷用マスクでは、以下示
すように、基板２３上にはんだが印刷される。すなわ
ち、先ず、図１に示したように、基板２３上の所定の位
置に、マスク本体２５が密着して配置される。次に、図
３に示すように、例えば、ウレタン樹脂等からなり、弾
性を有する長尺状のスキージ２９が、印刷方向Ｐと直角
方向に沿って、マスク本体２５の一端２５ｃに配置され
る。

【００２７】また、マスク本体２５上には、スキージ２
９の樹脂膜２７側に、スキージ２９の長手方向に沿っ
て、クリームはんだ３１が配置される。この後に、図４
に示すように、スキージ２９の先端がマスク本体２５に
接した状態で印刷方向Ｐに向けて移動され、この移動に
伴い、クリームはんだ３１がマスク本体２５上を移動す
る。

【００２８】スキージ２９の移動に伴い、クリームはん
だ３１がマスク本体２５上の印刷穴２５ｂに充填３３さ
れる。この際、図５に示すように、樹脂膜２７上に移動
されたスキージ２９は、樹脂膜２７の形状に沿って変形
されるが、樹脂膜２７の周囲にはなだらかな裾部２７ａ
が形成されているため、スキージ２９と樹脂膜２７との
間に隙間が形成されることはない。

【００２９】このため、樹脂膜２７の両側に位置する印
刷穴２５ｂにも、確実にクリームはんだ３１が充填３３
される。この後に、図６に示すように、スキージ２９が
マスク本体２５の他端２５ｄまで移動され、マスク本体
２５が基板２３から離脱される。そして、印刷穴２５ｂ
に充填３３されたクリームはんだ３１が基板２３上に展
着され、はんだ印刷が完了される。

【００３０】以上のように構成されたはんだ印刷用マス
クでは、先付け部品であるベアチップ２１を覆って形成
されるマスク本体２５の樹脂膜２７の周囲に、基板２３
に向けて傾斜する裾部２７ａを形成したので、樹脂膜２
７をなだらかな形状にすることができる。このため、は
んだ印刷時に樹脂膜２７の上を移動するスキージ２９等
が、マスク本体２５から浮き上がることを防止すること
ができ、基板２３上へのはんだの印刷を確実に行うこと
ができる。

【００３１】また、突出部を、マスク本体２５の開口穴
２５ａの周囲に接合した樹脂膜２７により形成したの
で、樹脂膜２７の形状を先付け部品であるベアチップ２
１の被覆部２１ａの外形形状に、容易に合わせることが
できる。このため、樹脂膜２７をベアチップ２１の被覆
部２１ａと同じ程度の平坦形状にすることができ、はん
だ印刷時にスキージ２９等を、より円滑に移動すること
ができる。

【００３２】さらに、樹脂膜２７の周囲になだらかに傾
斜する裾部２７ａを形成し、スキージ２９と樹脂膜２７
との間に隙間が発生しないようにしたので、ベアチップ
２１を搭載しないほかの基板にも汎用的に使用すること
ができる。図７および図８は、本発明のはんだ印刷用マ
スクの第２の実施形態（請求項３に対応する）を示して
いる。

【００３３】この実施形態では、マスク本体２５の開口
穴２５ａの周囲に、環状の凹部２５ｅが形成されてい
る。そして、この凹部２５ｅを覆って、樹脂膜２７がマ
スク本体２５に接合されている。この実施形態において
も、上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることが
できるが、この実施形態では、マスク本体２５の開口穴
２５ａに近接する位置に、樹脂膜２７が接合される凹部
２５ｅを形成したので、マスク本体２５と樹脂膜２７と
を広い面積で接触することができ、高い強度で接合する
ことができる。

【００３４】図９および図１０は、本発明のはんだ印刷
用マスクの第３の実施形態（請求項４に対応する）を示
している。この実施形態では、マスク本体２５の基板２
３側の面に、開口穴２５ａの四隅から外側に向けて延在
する凹部２５ｆが形成されている。そして、樹脂膜２７
が、開口穴２５ａから凹部２５ｆにわたり配置され、マ
スク本体２５に接合されている。

【００３５】この実施形態においても、上述した第１お
よび第２の実施形態と同様の効果を得ることができる
が、この実施形態では、樹脂膜２７の突出方向と反対側
に位置するマスク本体２５の基板２３側の面に凹部２５
ｆを形成したので、樹脂膜２７の基板２３と反対側への
剥がれに対する接合強度を高くすることができる。

【００３６】図１１および図１２は、本発明のはんだ印
刷用マスクの第４の実施形態（請求項５に対応する）を
示している。この実施形態では、基板２３上に、複数の
ベアチップ２１が搭載され、マスク本体２５の各ベアチ
ップ２１に対応する位置に、開口穴２５ａが形成されて
いる。また、マスク本体２５には、開口穴２５ａを相互
に接続する溝状の凹部２５ｇが形成されている。

【００３７】この実施形態においても、上述した第２の
実施形態と同様の効果を得ることができるが、この実施
形態では、凹部２５ｇをマスク本体２５に形成される複
数の開口穴２５ａを相互に接続する形状に形成したの
で、各開口穴２５ａに接合される樹脂膜２７を、凹部２
５ｇを介して一体化することができ、高い強度でマスク
本体２５と樹脂膜２７とを接合することができる。

【００３８】図１３ないし図１７は、本発明のはんだ印
刷用マスクの製造方法の第１の実施形態（請求項６に対
応する）を示している。この製造方法では、穴形成工
程、マスキング工程、樹脂膜形成工程、離脱工程が順次
行われる。すなわち、先ず、穴形成工程では、図１３に
示すように、例えば、ステンレス鋼等からなるマスク本
体２５の両面に、レジスト３５が選択的に配置される。

【００３９】そして、マスク本体２５が塩化第二鉄等の
腐食液によりエッチング２５ｈされ、開口穴２５ａおよ
び印刷穴２５ｂが形成される。次に、マスキング工程で
は、図１４に示すように、予めベアチップ２１を搭載し
た基板２３上に、ベアチップ２１の被覆部２１ａを覆っ
て、例えば、塩化ビニルフィルム等からなるマスキング
フィルム３７が配置される。

【００４０】この際に、マスキングフィルム３７は、ベ
アチップ２１に密着して配置され、マスキングフィルム
３７の形状は、ベアチップ２１の被覆部２１ａ傾斜に沿
ったなだらかな形状にされる。

【００４１】そして、マスク本体２５が、マスキングフ
ィルム３７を介して密着した状態で、基板２３に載置さ
れる。次に、樹脂膜形成工程では、図１５に示すよう
に、マスク本体２５の開口穴２５ａに、ディスペンサ３
９等を用いて、例えば、エポキシ樹脂等の樹脂膜材料２
７ａが塗布される。

【００４２】塗布された樹脂膜材料２７ａは、マスキン
グフィルム３７の傾斜に沿って、開口穴２５ａ内に広が
る。樹脂膜材料２７ａの塗布は、図１６に示すように、
樹脂膜材料２７ａが開口穴２５ａ内に均一に広がり、マ
スク本体２５の開口穴２５ａの周囲に掛かるまで行われ
る。

【００４３】この後に、マスク本体２５を常温で放置す
ることにより、樹脂膜材料２７ａが硬化して樹脂膜２７
になり、マスク本体２５と樹脂膜２７とが確実に接合さ
れる。次に、離脱工程では、図１７に示すように、マス
ク本体２５に接合された樹脂膜２７がマスク本体２５と
ともに、マスキングフィルム３７および基板２３から離
脱される。

【００４４】この際、樹脂膜２７と基板２３との間に
は、マスキングフィルム３７が介在するため、マスク本
体２５および樹脂膜２７は、基板２３およびベアチップ
２１の被覆部２１ａから容易に離脱される。そして、は
んだ印刷用マスクの製造工程が完了される。上述したは
んだ印刷用マスクの製造方法では、マスキング工程にお
いて、マスク本体２５と基板２３との間にマスキングフ
ィルム３７を配置し、樹脂膜形成工程において、マスキ
ングフィルム３７上に樹脂膜材料２７ａを塗布すること
により樹脂膜２７を形成したので、簡易な製造工程で、
容易に先付け部品であるベアチップ２１の被覆部２１ａ
の外形形状とほぼ同一の樹脂膜２７を形成することがで
きる。

【００４５】図１８ないし図２０は、本発明のはんだ印
刷用マスクの製造方法の第２の実施形態（請求項７に対
応する）を示している。この実施形態では、穴形成工程
において、先ず、図１８に示すように、凹部２５ｅを形
成するためのエッチング２５ｈが行われる。次に、図１
９に示すように、凹部２５ｅをレジスト３５によりマス
クした状態で、開口穴２５ａおよび印刷穴２５ｂのエッ
チング２５ｈが行われる。

【００４６】この後に、はんだ印刷用マスクの製造方法
の第１の実施形態と同様にして、マスキング工程および
樹脂膜形成工程が行われ、図２０に示すように、樹脂膜
が形成される。そして、離脱工程が行われ、はんだ印刷
用マスクが完成される。この実施形態においても、上述
したはんだ印刷用マスクの製造方法の第１の実施形態と
同様の効果を得ることができるが、この実施形態では、
穴形成工程において、凹部２５ｅを形成したので、凹部
２５ｅと開口穴２５ａとを同じ製造工程で形成すること
ができ、製造工程を複雑にすることなく、簡易に凹部２
５ｅを形成することができる。

【００４７】図２１および図２２は、本発明のはんだ印
刷用マスクの製造方法の第３の実施形態（請求項７に対
応する）を示している。この実施形態では、穴形成工程
において、先ず、図２１に示すように、凹部２５ｆを形
成するためのエッチング２５ｈが行われる。次に、はん
だ印刷用マスクの製造方法の第２の実施形態と同様にし
て、凹部２５ｆをレジスト３５によりマスクした状態
で、開口穴２５ａおよび印刷穴２５ｂのエッチング２５
ｈが行われる。

【００４８】この後に、マスキング工程および樹脂膜形
成工程が行われ、図２２に示すように、樹脂膜が形成さ
れる。ここで、塗布された樹脂膜２７（樹脂膜材料２７
ａ）が、凹部２５ｆに流れ込むまでの間に、樹脂膜材料
２７ａは開口穴２５ａのマスキングフィルム３７上に均
一に広がるため、樹脂膜２７は所定の膜厚に形成され
る。

【００４９】そして、離脱工程が行われ、はんだ印刷用
マスクが完成される。この実施形態においても、上述し
たはんだ印刷用マスクの製造方法の第２の実施形態と同
様の効果を得ることができるが、この実施形態では、樹
脂膜形成工程時に、樹脂膜材料２７ａが凹部２５ｆに流
れ込むまでの間に、樹脂膜材料２７ａが開口穴２５ａの
マスキングフィルム３７上に均一に広がるようにしたの
で、樹脂膜２７の膜厚および膜厚のばらつきが、塗布条
件に影響されにくく、常に樹脂膜２７を所定の品質で形
成することができる。

【００５０】図２３ないし図２６は、本発明のはんだ印
刷用マスクの製造方法の第４の実施形態（請求項７に対
応する）を示している。この実施形態では、穴形成工程
において、先ず、図２３に示すように、溝状の凹部２５
ｇを形成するためのエッチング２５ｈが行われる。次
に、凹部２５ｇをレジスト３５によりマスクした状態
で、開口穴２５ａおよび印刷穴２５ｂのエッチングが行
われ、図２４および図２５に示すように、マスク本体２
５が完成する。

【００５１】この後に、上述したはんだ印刷用マスクの
製造方法と同様にして、マスキング工程および樹脂膜形
成工程が行われ、図２６に示すように、樹脂膜が形成さ
れる。そして、離脱工程が行われ、はんだ印刷用マスク
が完成される。この実施形態においても、上述したはん
だ印刷用マスクの製造方法の第２および第３の実施形態
と同様の効果を得ることができる。

【００５２】また、複数の開口穴２５ａに形成される樹
脂膜２７を凹部２５ｇにより一体化して形成したので、
複数のベアチップ２１が基板２３に搭載される場合に
も、製造工程を複雑化することなく、容易にはんだ印刷
用マスクを製造することができる。

【００５３】図２７ないし図２９は、本発明のはんだ印
刷用マスクの製造方法の第５の実施形態（請求項７に対
応する）を示している。この実施形態では、穴形成工程
において、先ず、図２７に示すように、マスク本体２５
の片面側のレジスト３５のみが選択的に開口され、マス
ク本体２５の片面側から、凹部２５ｅ，開口穴２５ａお
よび印刷穴２５ｂがエッチング２５ｈされる。

【００５４】次に、図２８に示すように、凹部２５ｅの
みが、レジスト３５によりマスクされる。この後に、図
２９に示すように、開口穴２５ａおよび印刷穴２５ｂの
エッチングが行われ、マスク本体２５が完成する。この
実施形態においても、上述したはんだ印刷用マスクの製
造方法と同様の効果を得ることができるが、この実施形
態では、凹部２５ｅのエッチングと同時に、開口穴２５
ａおよび印刷穴２５ｂの一部をエッチングしたので、凹
部２５ｅを完成した後に行う開口穴２５ａおよび印刷穴
２５ｂのエッチング時間を、大幅に短縮することができ
る。

【００５５】図３０および図３１は、本発明のはんだ印
刷用マスクの製造方法の第６の実施形態（請求項７に対
応する）を示している。この実施形態では、穴形成工程
において、図３０に示すように、マスク本体２５の両面
のレジスト３５が選択的に開口され、マスク本体２５の
両面側から、凹部２５ｅ，開口穴２５ａおよび印刷穴２
５ｂが、同時にエッチング２５ｈされる。

【００５６】そして、図３１に示すように、１回のエッ
チング処理により、凹部２５ｅ，開口穴２５ａおよび印
刷穴２５ｂが、同時に形成される。この実施形態におい
ても、上述したはんだ印刷用マスクの製造方法と同様の
効果を得ることができるが、この実施形態では、凹部２
５ｅ，開口穴２５ａおよび印刷穴２５ｂを、１回のエッ
チング処理により同時に形成したので、穴形成工程を従
来に比べ大幅に簡略化することができる。

【００５７】なお、上述したはんだ印刷用マスクの第１
の実施形態では、樹脂膜２７をエポキシ樹脂により形成
した例について述べたが、本発明はかかる実施形態に限
定されるものではなく、例えば、塩化ビニルフィルム等
を貼付しても良い。また、上述したはんだ印刷用マスク
の製造方法の第１の実施形態では、マスキングフィルム
３７を塩化ビニルフィルムにより形成した例について述
べたが、本発明はかかる実施形態に限定されるものでは
なく、例えば、ポリオレフィンフィルム，ポリエステル
フィルム等により形成しても良い。

【００５８】さらに、上述したはんだ印刷用マスクの製
造方法では、エッチングにより開口穴２５ａおよび印刷
穴２５ｂを開口し、マスク本体２５を形成した例につい
て述べたが、本発明はかかる実施形態に限定されるもの
ではなく、例えば、一般に、アディティブ法と称される
方法により、開口穴２５ａおよび印刷穴２５ｂ以外の部
分に金属を析出することで、マスク本体２５を形成して
も良い。

【００５９】

【発明の効果】請求項１のはんだ印刷用マスクでは、先
付け部品を覆って形成されるマスク本体の突出部の周囲
に、基板に向けて傾斜する裾部を形成したので、突出部
をなだらかな形状にすることができる。このため、はん
だ印刷時に突出部の上を移動するスキージ等が、マスク
本体から浮き上がることを防止することができ、基板上
へのはんだの印刷を確実に行うことができる。

【００６０】請求項２のはんだ印刷用マスクでは、突出
部をマスク本体の開口穴の周囲に接合した樹脂膜により
形成したので、突出部を先付け部品の外形形状に、容易
に合わせることができる。このため、突出部を先付け部
品と同じ程度の平坦形状にすることができ、はんだ印刷
時にスキージ等を、より円滑に移動することができる。

【００６１】請求項３のはんだ印刷用マスクでは、マス
ク本体の開口穴に近接する位置に、樹脂膜が接合される
凹部を形成したので、マスク本体と樹脂膜とを広い面積
で接合することができ、高い強度で接合することができ
る。請求項４のはんだ印刷用マスクでは、樹脂膜の突出
方向と反対側に位置するマスク本体の基板側の面に凹部
を形成したので、樹脂膜の基板と反対側への剥がれに対
する接合強度を高くすることができる。

【００６２】請求項５のはんだ印刷用マスクでは、凹部
をマスク本体に形成される複数の開口穴を相互に接続す
る形状に形成したので、各開口穴に接合される樹脂膜を
凹部を介して一体化することができ、高い強度でマスク
本体と樹脂膜とを接合することができる。請求項６のは
んだ印刷用マスクの製造方法では、マスキング工程にお
いて、マスク本体と基板との間にマスキングフィルムを
配置し、樹脂膜形成工程において、マスキングフィルム
上に樹脂を塗布等することにより樹脂膜を形成可能にし
たので、簡易な製造工程で、容易に先付け部品の外形形
状とほぼ同一の樹脂膜を形成することができる。

【００６３】請求項７のはんだ印刷用マスクの製造方法
では、穴形成工程において、凹部を形成したので、凹部
と開口穴とを同じ製造工程で形成することができ、製造
工程を複雑にすることなく、簡易に凹部を形成すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のはんだ印刷用マスクの第１の実施形態
を示す断面図である。

【図２】図１の上面図である。

【図３】第１の実施形態のはんだ印刷用マスクを用い
て、クリームはんだを印刷する状態を示す上面図であ
る。

【図４】第１の実施形態のはんだ印刷用マスクを用い
て、クリームはんだを印刷している状態を示す上面図で
ある。

【図５】スキージが樹脂膜に沿って変形している状態を
示す断面図である。

【図６】クリームはんだの印刷が完了した状態を示す上
面図である。

【図７】本発明のはんだ印刷用マスクの第２の実施形態
を示す断面図である。

【図８】図７の上面図である。

【図９】本発明のはんだ印刷用マスクの第３の実施形態
を示す断面図である。

【図１０】図９の上面図である。

【図１１】本発明のはんだ印刷用マスクの第４の実施形
態を示す断面図である。

【図１２】図１１の上面図である。

【図１３】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
１の実施形態の穴形成工程を示す断面図である。

【図１４】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
１の実施形態のマスキング工程を示す断面図である。

【図１５】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
１の実施形態の樹脂膜形成工程を示す断面図である。

【図１６】開口穴に樹脂膜材料を充填した状態を示す断
面図である。

【図１７】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
１の実施形態の離脱工程を示す断面図である。

【図１８】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
２の実施形態の穴形成工程において、凹部をエッチング
している状態を示す断面図である。

【図１９】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
２の実施形態の穴形成工程を示す断面図である。

【図２０】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
２の実施形態の樹脂膜形成工程が完了した状態を示す断
面図である。

【図２１】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
３の実施形態の穴形成工程において、凹部をエッチング
している状態を示す断面図である。

【図２２】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
３の実施形態の樹脂膜形成工程が完了した状態を示す断
面図である。

【図２３】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
４の実施形態の穴形成工程において、凹部をエッチング
している状態を示す断面図である。

【図２４】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
４の実施形態の穴形成工程が完了した状態を示す断面図
である。

【図２５】図２４の上面図である。

【図２６】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
４の実施形態の樹脂膜形成工程が完了した状態を示す断
面図である。

【図２７】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
５の実施形態の穴形成工程において、マスク本体の片面
をエッチングしている状態を示す断面図である。

【図２８】マスク本体の片面のエッチングが完了した状
態を示す断面図である。

【図２９】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
５の実施形態の穴形成工程において、開口穴および印刷
穴を形成した状態を示す断面図である。

【図３０】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
６の実施形態の穴形成工程を示す断面図である。

【図３１】本発明のはんだ印刷用マスクの製造方法の第
６の実施形態の穴形成工程が完了した状態を示す断面図
である。

【図３２】従来のはんだ印刷用マスクを示す断面図であ
る。

【図３３】図３２の上面図である。

【図３４】クリームはんだを印刷する状態を示す上面図
である。

【図３５】クリームはんだを印刷している状態を示す上
面図である。

【図３６】クリームはんだの印刷が完了した状態を示す
上面図である。

【図３７】スキージが変形した状態を示す断面図であ
る。

【図３８】非接触領域を示す上面図である。

【符号の説明】

２１ ベアチップ（先付け部品） ２３ 基板 ２５ マスク本体 ２５ａ 開口穴 ２５ｂ 印刷穴 ２５ｅ，２５ｆ，２５ｇ 凹部 ２７ 樹脂膜（突出部） ２７ａ 裾部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に密着して配置される板状のマス
   ク本体に、はんだ印刷用の印刷穴を形成するとともに、
   前記基板上に実装される先付け部品を覆う形状の突出部
   を、前記基板と反対側に突出して形成してなるはんだ印
   刷用マスクにおいて、 前記突出部の周囲に、前記基板に向けて傾斜する裾部を
   形成してなることを特徴とするはんだ印刷用マスク。
2. 【請求項２】 請求項１記載のはんだ印刷用マスクにお
   いて、 前記マスク本体の前記先付け部品に対向する位置に開口
   穴を形成するとともに、前記突出部を前記マスク本体の
   前記開口穴の周囲に接合される樹脂膜により形成してな
   ることを特徴とするはんだ印刷用マスク。
3. 【請求項３】 請求項２記載のはんだ印刷用マスクにお
   いて、 前記マスク本体の前記開口穴に近接する位置に、前記樹
   脂膜が接合される凹部を形成してなることを特徴とする
   はんだ印刷用マスク。
4. 【請求項４】 請求項２または請求項３記載のはんだ印
   刷用マスクにおいて、 前記凹部を前記マスク本体の前記基板側の面に形成して
   なることを特徴とするはんだ印刷用マスク。
5. 【請求項５】 請求項３または請求項４記載のはんだ印
   刷用マスクにおいて、 前記マスク本体に複数の前記開口穴を形成するととも
   に、前記凹部により前記開口穴の間を相互に接続してな
   ることを特徴とするはんだ印刷用マスク。
6. 【請求項６】 基板上に密着して配置される板状のマス
   ク本体に、はんだ印刷用の印刷穴を形成するとともに、
   前記基板上に実装される先付け部品に対向する位置に開
   口穴を形成し、前記開口穴を覆って前記マスク本体に樹
   脂膜を接合してなるはんだ印刷用マスクの製造方法にお
   いて、 前記マスク本体に前記印刷穴と前記開口穴とを形成する
   穴形成工程と、 前記マスク本体と前記基板との間にマスキングフィルム
   を配置するマスキング工程と、 前記開口穴の前記マスキングフィルム上に、樹脂膜を形
   成する樹脂膜形成工程と、 前記樹脂膜が形成されたマスク本体を前記マスキングフ
   ィルムから離脱する離脱工程と、 を有することを特徴とするはんだ印刷用マスクの製造方
   法。
7. 【請求項７】 請求項６記載のはんだ印刷用マスクの製
   造方法において、 前記穴形成工程において、前記樹脂膜が接合される前記
   マスク本体の接合部に凹部を形成してなることを特徴と
   するはんだ印刷用マスクの製造方法。