JPH11185694A - スパッタイオンポンプの電源 - Google Patents
スパッタイオンポンプの電源Info
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- JPH11185694A JPH11185694A JP35053997A JP35053997A JPH11185694A JP H11185694 A JPH11185694 A JP H11185694A JP 35053997 A JP35053997 A JP 35053997A JP 35053997 A JP35053997 A JP 35053997A JP H11185694 A JPH11185694 A JP H11185694A
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- supply unit
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Abstract
(57)【要約】
【課題】スパッタイオンポンプを複数台用いる真空装置
において、そのポンプ電源装置を使用台数用いるのでは
なく、起動用と連続運転用の２台の電源装置を用いた排
気系電源装置を提供する。 【解決手段】スパッタイオンポンプの起動用の第一の電
源装置と、連続運転用の第二の電源装置と、起動終了後
前記スパッタイオンポンプの駆動電源を前記第一の電源
装置から前記第二の電源装置に切り換える手段とを備え
ることを特徴とするスパッタイオンポンプの排気系電源
装置。
において、そのポンプ電源装置を使用台数用いるのでは
なく、起動用と連続運転用の２台の電源装置を用いた排
気系電源装置を提供する。 【解決手段】スパッタイオンポンプの起動用の第一の電
源装置と、連続運転用の第二の電源装置と、起動終了後
前記スパッタイオンポンプの駆動電源を前記第一の電源
装置から前記第二の電源装置に切り換える手段とを備え
ることを特徴とするスパッタイオンポンプの排気系電源
装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタイオンポ
ンプの電源に関する。
ンプの電源に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡等において高真空を達成する
ための排気装置としてはスパッタイオンポンプ（以下、
イオンポンプと称す）が知られている。このイオンポン
プは構造上振動することがなく、しかもいわゆるドライ
な真空を作り出すことができるため、特にＦＥＧ（電界
放出型電子銃）等を採用した超高真空を必要とする真空
装置においては広く使用されている。
ための排気装置としてはスパッタイオンポンプ（以下、
イオンポンプと称す）が知られている。このイオンポン
プは構造上振動することがなく、しかもいわゆるドライ
な真空を作り出すことができるため、特にＦＥＧ（電界
放出型電子銃）等を採用した超高真空を必要とする真空
装置においては広く使用されている。
【０００３】そして、イオンポンプを動作させるための
電源装置としては、約６ｋＶ（小型イオンポンプの場
合）の直流高電圧を発生できることが要求される。この
電源回路方式としては、商用電源（電圧：100〜200Ｖ；
周波数：50〜60Ｈｚ）を用いた直流高電圧発生回路が用
いられるのが一般的である。図１はその構成例を示す図
であり、図中、１は電源装置、２は絶縁昇圧トランス、
３は整流回路、４はイオン電流検出回路、５はメータ、
６は外部モニタ端子、７は商用電源、８はイオンポン
プ、Ｉpはイオン電流を示す。
電源装置としては、約６ｋＶ（小型イオンポンプの場
合）の直流高電圧を発生できることが要求される。この
電源回路方式としては、商用電源（電圧：100〜200Ｖ；
周波数：50〜60Ｈｚ）を用いた直流高電圧発生回路が用
いられるのが一般的である。図１はその構成例を示す図
であり、図中、１は電源装置、２は絶縁昇圧トランス、
３は整流回路、４はイオン電流検出回路、５はメータ、
６は外部モニタ端子、７は商用電源、８はイオンポン
プ、Ｉpはイオン電流を示す。
【０００４】図１において、商用電源７からの商用電圧
は絶縁昇圧トランス２で昇圧され、更に整流回路３で整
流される。これによってイオンポンプ用の電源として必
要な数ｋＶの直流高電圧が発生され、イオンポンプ８に
供給される。
は絶縁昇圧トランス２で昇圧され、更に整流回路３で整
流される。これによってイオンポンプ用の電源として必
要な数ｋＶの直流高電圧が発生され、イオンポンプ８に
供給される。
【０００５】イオン電流検出回路４及びメータ５は、真
空容器（図示せず）内の真空度をモニターするために設
けられているものである。即ち、イオンポンプ８からの
イオン電流Ｉpは真空度に対応しているものであり、従
って、イオン電流検出回路４でイオン電流Ｉpを検出
し、その値をメータ５に表示することによって、真空容
器内の真空度をモニタすることができる。外部モニタ端
子６は、イオン電流検出器回路４によりイオン電流に比
例したイオン電流信号（直流電圧または直流電流）を発
生し、このイオン電流信号の値によって外部の装置を制
御したり、外部にメータ等を設けることにより真空度を
表示する事ができる。次に、イオンポンプの特性につい
て、図２のイオンポンプの特性例を用いて説明する。図
２は、排気速度６０Ｌ／ｓのイオンポンプ内の真空度と
イオン電流との特性の一例を示す。イオン電流は、真空
度が高いほど大きく、真空度が低くなるに従って低下
し、ほぼ真空度に比例した特性を持っている。
空容器（図示せず）内の真空度をモニターするために設
けられているものである。即ち、イオンポンプ８からの
イオン電流Ｉpは真空度に対応しているものであり、従
って、イオン電流検出回路４でイオン電流Ｉpを検出
し、その値をメータ５に表示することによって、真空容
器内の真空度をモニタすることができる。外部モニタ端
子６は、イオン電流検出器回路４によりイオン電流に比
例したイオン電流信号（直流電圧または直流電流）を発
生し、このイオン電流信号の値によって外部の装置を制
御したり、外部にメータ等を設けることにより真空度を
表示する事ができる。次に、イオンポンプの特性につい
て、図２のイオンポンプの特性例を用いて説明する。図
２は、排気速度６０Ｌ／ｓのイオンポンプ内の真空度と
イオン電流との特性の一例を示す。イオン電流は、真空
度が高いほど大きく、真空度が低くなるに従って低下
し、ほぼ真空度に比例した特性を持っている。
【０００６】通常、イオンポンプは、真空容器の真空度
がおおよそ１×１０-3Pa程度まで他の真空ポンプにて排
気した後、イオンポンプに高電圧を印加して真空ポンプ
として起動させる。起動時のイオン電流は、図２より真
空度が約１×１０-3Paで約１０mＡであるが、起動の際
に短時間ではあるがポンプ自体がガスを発生し、これに
よって真空度が低下し、イオン電流が増加する。この真
空度の低下は、真空容器の内容積によって大きく異なる
が、３〜５倍悪化するとみることできる。出力電流とし
ては、起動時のイオン電流が約１０mＡ（真空度が約１
×１０-3Pa）とすると、その３〜５倍の約５０mＡ程度
が必要となる。公称出力容量は、出力電圧６ｋＶと出力
電流約５０mＡより３００ＶＡとなる。電源装置の公称
電力は、全体の効率（約６０％）を考慮すると約５００
ＶＡとなり、電子顕微鏡の電気系ユニットとしては比較
的に大きな電源装置である。
がおおよそ１×１０-3Pa程度まで他の真空ポンプにて排
気した後、イオンポンプに高電圧を印加して真空ポンプ
として起動させる。起動時のイオン電流は、図２より真
空度が約１×１０-3Paで約１０mＡであるが、起動の際
に短時間ではあるがポンプ自体がガスを発生し、これに
よって真空度が低下し、イオン電流が増加する。この真
空度の低下は、真空容器の内容積によって大きく異なる
が、３〜５倍悪化するとみることできる。出力電流とし
ては、起動時のイオン電流が約１０mＡ（真空度が約１
×１０-3Pa）とすると、その３〜５倍の約５０mＡ程度
が必要となる。公称出力容量は、出力電圧６ｋＶと出力
電流約５０mＡより３００ＶＡとなる。電源装置の公称
電力は、全体の効率（約６０％）を考慮すると約５００
ＶＡとなり、電子顕微鏡の電気系ユニットとしては比較
的に大きな電源装置である。
【０００７】
【課題を解決しようとする課題】ところで、ＦＥＧを用
いた電子顕微鏡（以下、ＦＥＧ・電子顕微鏡と称す）に
おいては、一般にイオンポンプを３〜５台使用してい
る。装置の小型軽量化に対しては、このイオンポンプの
電源装置を使用台数備えることにより、電気系筐体に占
める割合が非常に大きく、問題の一つの要因となってい
る。
いた電子顕微鏡（以下、ＦＥＧ・電子顕微鏡と称す）に
おいては、一般にイオンポンプを３〜５台使用してい
る。装置の小型軽量化に対しては、このイオンポンプの
電源装置を使用台数備えることにより、電気系筐体に占
める割合が非常に大きく、問題の一つの要因となってい
る。
【０００８】一方、イオンポンプ動作時のイオン電流
（真空度）変化は、起動より数十分で数十mＡから約
０．１mＡ（１０-5Pa）オーダとなり、ＦＥＧの使用状
態では１０μＡ以下（約１０-7Pa〜１０-8Pa）と非常に
少ない値で連続運転されている。
（真空度）変化は、起動より数十分で数十mＡから約
０．１mＡ（１０-5Pa）オーダとなり、ＦＥＧの使用状
態では１０μＡ以下（約１０-7Pa〜１０-8Pa）と非常に
少ない値で連続運転されている。
【０００９】その結果、電源装置の出力は、起動後、数
十分経過使用状態において１ＶＡ以下であり、電源装置
の公称出力容量の数百分の一程度しか活用していないこ
とが判る。
十分経過使用状態において１ＶＡ以下であり、電源装置
の公称出力容量の数百分の一程度しか活用していないこ
とが判る。
【００１０】本発明は、上述した問題点を解決すべく成
されたものであり、イオンポンプの電源装置（通常の高
出力）を使用台数設けるのではなく、１台の電源装置で
順次起動させることのできるイオンポンプ排気系システ
ムを提供することを目的としている。
されたものであり、イオンポンプの電源装置（通常の高
出力）を使用台数設けるのではなく、１台の電源装置で
順次起動させることのできるイオンポンプ排気系システ
ムを提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明は、スパッタイオンポンプの起動用の第一の電源
装置と、連続運転用の第二の電源装置と、起動終了後前
記スパッタイオンポンプの駆動電源を前記第一の電源装
置から前記第二の電源装置に切り換える手段とを備える
ことを特徴とする。
本発明は、スパッタイオンポンプの起動用の第一の電源
装置と、連続運転用の第二の電源装置と、起動終了後前
記スパッタイオンポンプの駆動電源を前記第一の電源装
置から前記第二の電源装置に切り換える手段とを備える
ことを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を詳細に説明する。図３は、本発明に係わるイオン
ポンプを３台使用したＦＥＧ・電子顕微鏡の実施例の構
成を示す。図中、１０はＦＥＧ・電子顕微鏡、２０はイ
オンポンプ制御回路（以下、ＳＩＰ制御回路と称す）、
３０は排気系の一連の動作シーケンスを備えた排気制御
部、ＰＳ１、ＰＳ２はイオンポンプに直流高電圧を供給
するための電源装置を示す。ＦＥＧ・電子顕微鏡１０に
おいて、１１はＦＥＧの電子銃室、１２は中間室、１３
は鏡筒部で、各々にイオンポンプＩＰ１〜ＩＰ３が接続
されている。また、電子銃室１と中間室２、中間室２と
鏡筒部３間は、隔離弁（図示せず）および絞り（図示せ
ず）によって真空的に隔離されている。
施例を詳細に説明する。図３は、本発明に係わるイオン
ポンプを３台使用したＦＥＧ・電子顕微鏡の実施例の構
成を示す。図中、１０はＦＥＧ・電子顕微鏡、２０はイ
オンポンプ制御回路（以下、ＳＩＰ制御回路と称す）、
３０は排気系の一連の動作シーケンスを備えた排気制御
部、ＰＳ１、ＰＳ２はイオンポンプに直流高電圧を供給
するための電源装置を示す。ＦＥＧ・電子顕微鏡１０に
おいて、１１はＦＥＧの電子銃室、１２は中間室、１３
は鏡筒部で、各々にイオンポンプＩＰ１〜ＩＰ３が接続
されている。また、電子銃室１と中間室２、中間室２と
鏡筒部３間は、隔離弁（図示せず）および絞り（図示せ
ず）によって真空的に隔離されている。
【００１３】電源装置ＰＳ１は、通常のイオンポンプ用
の高出力（数百ＶＡ）を供給することができる電源（図
１に示す構成内容と同じ）であり、本実施例（本発明）
では起動専用として用いられる。電源装置ＰＳ１の端子
は、外部モニター端子（図１の６と同一）で真空度に
比例したイオン電流信号（Ｖi）が出力されている。電
源装置ＰＳ２は、電源装置ＰＳ１より低出力（数十Ｖ
Ａ）を備えた電源で、イオンポンプ（ＩＰ）を起動後の
イオン電流が所定の値以下、即ち真空度が所定の真空度
より良好になった時点で、電源装置ＰＳ１より切り変え
て連続運転用として用いられる。
の高出力（数百ＶＡ）を供給することができる電源（図
１に示す構成内容と同じ）であり、本実施例（本発明）
では起動専用として用いられる。電源装置ＰＳ１の端子
は、外部モニター端子（図１の６と同一）で真空度に
比例したイオン電流信号（Ｖi）が出力されている。電
源装置ＰＳ２は、電源装置ＰＳ１より低出力（数十Ｖ
Ａ）を備えた電源で、イオンポンプ（ＩＰ）を起動後の
イオン電流が所定の値以下、即ち真空度が所定の真空度
より良好になった時点で、電源装置ＰＳ１より切り変え
て連続運転用として用いられる。
【００１４】ＳＩＰ制御回路２０において、２１ａ〜２
３ａ、２１ｂ〜２３ｂは電磁リレー、２４は電磁リレー
制御回路である。電磁リレー（２１ａ〜２３ｂ）は電磁
リレー制御回路２４の出力信号（ａ１〜ｂ３）によって
作動する。電源装置（ＰＳ１，ＰＳ２）高電圧の出力
は、この電磁リレー（２１ａ〜２３ｂ）を介して各イオ
ンポンプ（ＩＰ）へ選択的に供給される。
３ａ、２１ｂ〜２３ｂは電磁リレー、２４は電磁リレー
制御回路である。電磁リレー（２１ａ〜２３ｂ）は電磁
リレー制御回路２４の出力信号（ａ１〜ｂ３）によって
作動する。電源装置（ＰＳ１，ＰＳ２）高電圧の出力
は、この電磁リレー（２１ａ〜２３ｂ）を介して各イオ
ンポンプ（ＩＰ）へ選択的に供給される。
【００１５】２５は電源切換回路で、電源装置ＰＳ１の
端子のイオン電流信号（Ｖi）を検出して、このイオ
ン電流信号（Ｖi）が所定の閾値（Ｖs）より大きい場合
（Ｖi＞Ｖs）には常にＬレベル、閾値（Ｖs）より小さ
い場合（Ｖi＜Ｖs）にはＨレベルの出力信号（Ｖo）が
発生し、この出力信号（Ｖo）は排気系制御信号として
排気系制御部３０に入力される。このような構成の機能
について次に説明する。
端子のイオン電流信号（Ｖi）を検出して、このイオ
ン電流信号（Ｖi）が所定の閾値（Ｖs）より大きい場合
（Ｖi＞Ｖs）には常にＬレベル、閾値（Ｖs）より小さ
い場合（Ｖi＜Ｖs）にはＨレベルの出力信号（Ｖo）が
発生し、この出力信号（Ｖo）は排気系制御信号として
排気系制御部３０に入力される。このような構成の機能
について次に説明する。
【００１６】図４は、イオンポンプ（ＩＰ）の動作説明
を補足するために用いた電磁リレー（２１ａ〜２３ｂ）
の動作および電源切換回路２５の出力信号（Ｖo）レベ
ルを示す。イオンポンプ（ＩＰ）起動は、ＩＰ１、ＩＰ
２、ＩＰ３の起動手順に従って説明する。
を補足するために用いた電磁リレー（２１ａ〜２３ｂ）
の動作および電源切換回路２５の出力信号（Ｖo）レベ
ルを示す。イオンポンプ（ＩＰ）起動は、ＩＰ１、ＩＰ
２、ＩＰ３の起動手順に従って説明する。
【００１７】ＦＥＧ・電子顕微鏡１０は、排気系制御部
３０の排気シーケンスに基づいて、他の真空ポンプ（図
示せず）によりイオンポンプが起動できる真空度（約１
×１０-3Pa）に排気された状態で維持されている。この
状態は、図４中のＴ１時点の直前で、全ての電磁リレー
がＯｆｆになっている。
３０の排気シーケンスに基づいて、他の真空ポンプ（図
示せず）によりイオンポンプが起動できる真空度（約１
×１０-3Pa）に排気された状態で維持されている。この
状態は、図４中のＴ１時点の直前で、全ての電磁リレー
がＯｆｆになっている。
【００１８】まず、図４のＴ１において排気系制御部３
０の排気シーケンスは、電磁リレー２１ａがＯＮとなる
情報を電磁リレー制御回路２４に送り、出力信号ａ１に
よって電磁リレー２１ａをＯＮ（図４−ａ）にする。イ
オンポンプＩＰ１は、この電磁リレー２１ａを介して電
源装置ＰＳ１より高電圧が供給され電子銃室１の排気が
行われる。
０の排気シーケンスは、電磁リレー２１ａがＯＮとなる
情報を電磁リレー制御回路２４に送り、出力信号ａ１に
よって電磁リレー２１ａをＯＮ（図４−ａ）にする。イ
オンポンプＩＰ１は、この電磁リレー２１ａを介して電
源装置ＰＳ１より高電圧が供給され電子銃室１の排気が
行われる。
【００１９】そして、電子銃室１の真空度が向上し、イ
オン電流信号（Ｖi）が閾値（Ｖs）以下になると、電源
切換回路２５の出力信号（Ｖo）は、ＬレベルよりＨレ
ベルに切り替わる（図４のＴ２時点）。この図４のＴ２
の時点において、排気系制御部３０の排気シーケンス
は、電磁リレー２１ａがＯｆｆ、電磁リレー２１ｂがＯ
Ｎする情報を電磁リレー制御回路２４に送り、電磁リレ
ー（２１）を切り換える。その結果、イオンポンプＩＰ
１は電源装置ＰＳ１より電源装置ＳＰ２の高電圧に切り
替わって供給され、電子銃室１の排気が継続される。次
に、イオンポンプＩＰ２の起動の操作について説明す
る。図４のＴ２時点より短時間（約数十秒）後のＴ３に
おいて、排気系制御部３０の排気シーケンスは、電磁リ
レー２２ａをＯＮする情報を電磁リレー制御回路２４に
送り、電磁リレー２２ａをＯＮ（図４−ｃ）にする。イ
オンポンプＩＰ２には、この電磁リレー２２ａを介して
電源装置ＰＳ１より高圧電圧が供給され中間室２の排気
が行われる。この図４のＴ３の時点において、電源切換
回路２５の出力信号（Ｖo）は、中間室を排気開始した
状態によりイオン電流信号（Ｖｉ）が閾値（Ｖｓ）に比
べて大きい（Ｖｉ＞Ｖｓ）ことにより、ＨレベルよりＬ
レベルに切り替わる。そして、中間室２の真空度が向上
しすると、電源切換回路２５の出力信号（Ｖo）は、イ
オン電流信号（Ｖi）が閾値（Ｖs）以下（Ｖｉ＜Ｖｓ）
になりＬレベルよりＨレベルに切り替わる（図４のＴ４
時点）。この図４のＴ４の時点において、排気系制御部
３０のシーケンスは、電磁リレー２２ａがＯｆｆ、電磁
リレー２２ｂがＯＮする情報を電磁リレー制御回路２４
に送り、電磁リレー（２２）を切り換える。その結果、
イオンポンプＩＰ２は電源装置ＰＳ１より電源装置ＳＰ
２の高圧電圧に切り替わって供給され、中間室２の排気
が継続される。電源装置ＳＰ２は、イオンポンプＩＰ
１、ＩＰ２の２台に対して、リレー２１ｂ，２２ｂを介
して高電圧を並列に供給される。また、イオンポンプＩ
Ｐ３の起動は、イオンポンプＩＰ２と同様な排気シーケ
ンス手順操作によって実施され、鏡筒部３の真空度が向
上し、イオン電流信号Ｖiが閾値Ｖs以下になると、電源
装置ＳＰ２に切り替わって高電圧がイオンポンプＩＰ３
に供給され、鏡筒部３の排気が継続される。その結果、
図４のＴ６以降に示すように、３台のイオンポンプ（Ｉ
Ｐ）は、電源装置ＳＰ２の１台によって高電圧が供給さ
れ、真空ポンプとして連続運転される。
オン電流信号（Ｖi）が閾値（Ｖs）以下になると、電源
切換回路２５の出力信号（Ｖo）は、ＬレベルよりＨレ
ベルに切り替わる（図４のＴ２時点）。この図４のＴ２
の時点において、排気系制御部３０の排気シーケンス
は、電磁リレー２１ａがＯｆｆ、電磁リレー２１ｂがＯ
Ｎする情報を電磁リレー制御回路２４に送り、電磁リレ
ー（２１）を切り換える。その結果、イオンポンプＩＰ
１は電源装置ＰＳ１より電源装置ＳＰ２の高電圧に切り
替わって供給され、電子銃室１の排気が継続される。次
に、イオンポンプＩＰ２の起動の操作について説明す
る。図４のＴ２時点より短時間（約数十秒）後のＴ３に
おいて、排気系制御部３０の排気シーケンスは、電磁リ
レー２２ａをＯＮする情報を電磁リレー制御回路２４に
送り、電磁リレー２２ａをＯＮ（図４−ｃ）にする。イ
オンポンプＩＰ２には、この電磁リレー２２ａを介して
電源装置ＰＳ１より高圧電圧が供給され中間室２の排気
が行われる。この図４のＴ３の時点において、電源切換
回路２５の出力信号（Ｖo）は、中間室を排気開始した
状態によりイオン電流信号（Ｖｉ）が閾値（Ｖｓ）に比
べて大きい（Ｖｉ＞Ｖｓ）ことにより、ＨレベルよりＬ
レベルに切り替わる。そして、中間室２の真空度が向上
しすると、電源切換回路２５の出力信号（Ｖo）は、イ
オン電流信号（Ｖi）が閾値（Ｖs）以下（Ｖｉ＜Ｖｓ）
になりＬレベルよりＨレベルに切り替わる（図４のＴ４
時点）。この図４のＴ４の時点において、排気系制御部
３０のシーケンスは、電磁リレー２２ａがＯｆｆ、電磁
リレー２２ｂがＯＮする情報を電磁リレー制御回路２４
に送り、電磁リレー（２２）を切り換える。その結果、
イオンポンプＩＰ２は電源装置ＰＳ１より電源装置ＳＰ
２の高圧電圧に切り替わって供給され、中間室２の排気
が継続される。電源装置ＳＰ２は、イオンポンプＩＰ
１、ＩＰ２の２台に対して、リレー２１ｂ，２２ｂを介
して高電圧を並列に供給される。また、イオンポンプＩ
Ｐ３の起動は、イオンポンプＩＰ２と同様な排気シーケ
ンス手順操作によって実施され、鏡筒部３の真空度が向
上し、イオン電流信号Ｖiが閾値Ｖs以下になると、電源
装置ＳＰ２に切り替わって高電圧がイオンポンプＩＰ３
に供給され、鏡筒部３の排気が継続される。その結果、
図４のＴ６以降に示すように、３台のイオンポンプ（Ｉ
Ｐ）は、電源装置ＳＰ２の１台によって高電圧が供給さ
れ、真空ポンプとして連続運転される。
【００２０】本発明の一実施例につて説明したが、 本
発明は上記実施例に限定されるものではなく種々の変形
が可能である。例えば、電源装置ＰＳ２は、低出力：数
十ＶＡで小型軽量であることより、ポンプの使用台数に
対して必要台数を設けもよい。また、電源切換回路２４
は、電源装置ＳＰ１の機能として組み込んでもよい。更
に、電源装置の切り替えは、電源切換回路２４の入力と
してイオンポンプのイオン電流（真空度に比例）を用い
ているが、別に真空計を設けて用いてもよい。
発明は上記実施例に限定されるものではなく種々の変形
が可能である。例えば、電源装置ＰＳ２は、低出力：数
十ＶＡで小型軽量であることより、ポンプの使用台数に
対して必要台数を設けもよい。また、電源切換回路２４
は、電源装置ＳＰ１の機能として組み込んでもよい。更
に、電源装置の切り替えは、電源切換回路２４の入力と
してイオンポンプのイオン電流（真空度に比例）を用い
ているが、別に真空計を設けて用いてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、イオンポンプ（ＩＰ）の使用台数に対し、電源装置
（通常の高出力：数百ＶＡ）を使用台数設ける事でな
く、イオンポンプの使用台数に関係なく、１台の電源装
置（通常の高出力：数百ＶＡ）と１台の電源装置（低出
力：数十ＶＡ）を設けることによってイオンポンプを起
動から連続運転することができる。この結果、装置の小
型軽量化に対して、電気系筐体としての一解決手段とな
る。
は、イオンポンプ（ＩＰ）の使用台数に対し、電源装置
（通常の高出力：数百ＶＡ）を使用台数設ける事でな
く、イオンポンプの使用台数に関係なく、１台の電源装
置（通常の高出力：数百ＶＡ）と１台の電源装置（低出
力：数十ＶＡ）を設けることによってイオンポンプを起
動から連続運転することができる。この結果、装置の小
型軽量化に対して、電気系筐体としての一解決手段とな
る。
【図１】 通常のイオンポンプ用の電源装置の構成例を
示す図である。
示す図である。
【図２】 排気速度６０Ｌ／ｓのイオンポンプの真空度
とイオン電流との特性例を示す。
とイオン電流との特性例を示す。
【図３】 本発明のイオンポンプ排気系システムの構成
例の一実施例を示す。
例の一実施例を示す。
【図４】 本発明のイオンポンプの動作説明を補足する
ためのタイムチャートを示す図である。
ためのタイムチャートを示す図である。
１…電源装置、２…絶縁昇圧トランス、３…整流回路、
４…イオン電流検出回路、５…メータ、６…外部モニタ
端子、７…商用電源、８…イオンポンプ、Ｉp…イオン
電流、１０…ＦＥＧ・電子顕微鏡、１１…電子銃室、１
２…中間室、１３…鏡筒部、２０…ＳＩＰ制御回路、２
１ａ，２１ｂ〜２３ａ，２３ｂ…電磁リーレ、２４…電
磁リーレ制御回路、２５…電源切換回路、３０…排気系
制御部、ＩＰ１〜ＩＰ３…イオンポンプ、ＰＳ１…電源
装置、ＰＳ２…電源装置、
４…イオン電流検出回路、５…メータ、６…外部モニタ
端子、７…商用電源、８…イオンポンプ、Ｉp…イオン
電流、１０…ＦＥＧ・電子顕微鏡、１１…電子銃室、１
２…中間室、１３…鏡筒部、２０…ＳＩＰ制御回路、２
１ａ，２１ｂ〜２３ａ，２３ｂ…電磁リーレ、２４…電
磁リーレ制御回路、２５…電源切換回路、３０…排気系
制御部、ＩＰ１〜ＩＰ３…イオンポンプ、ＰＳ１…電源
装置、ＰＳ２…電源装置、
Claims (2)
- 【請求項１】スパッタイオンポンプの起動用の第一の電
源装置と、連続運転用の第二の電源装置と、起動終了後
前記スパッタイオンポンプの駆動電源を前記第一の電源
装置から前記第二の電源装置に切り換える手段とを備え
ることを特徴とするスパッタイオンポンプの排気系電源
装置。 - 【請求項２】上記スパッタイオンポンプが複数であり、
前記切り換え手段により１つのスッパタイオンポンプが
第二の電源装置に切り換えられた後、第一の電源装置を
別の起動されていないスッパッタイオンポンプに接続す
る切り換え手段を備えることを特徴とする請求項１記載
のスパッタイオンポンプの排気系電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35053997A JPH11185694A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | スパッタイオンポンプの電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35053997A JPH11185694A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | スパッタイオンポンプの電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11185694A true JPH11185694A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18411180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35053997A Withdrawn JPH11185694A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | スパッタイオンポンプの電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11185694A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100426847B1 (ko) * | 2001-08-27 | 2004-04-13 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 이온펌프 콘트롤러 |
| CN100363535C (zh) * | 2005-05-25 | 2008-01-23 | 中国科学院近代物理研究所 | 溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法 |
| KR101093828B1 (ko) * | 2010-05-07 | 2011-12-14 | 포항공과대학교 산학협력단 | 이온 펌프 전원 제어 장치 및 그 방법 |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP35053997A patent/JPH11185694A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100426847B1 (ko) * | 2001-08-27 | 2004-04-13 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 이온펌프 콘트롤러 |
| CN100363535C (zh) * | 2005-05-25 | 2008-01-23 | 中国科学院近代物理研究所 | 溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法 |
| KR101093828B1 (ko) * | 2010-05-07 | 2011-12-14 | 포항공과대학교 산학협력단 | 이온 펌프 전원 제어 장치 및 그 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |