JP2012508840A - 宇宙船のためのイオン駆動装置 - Google Patents
宇宙船のためのイオン駆動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012508840A JP2012508840A JP2011535873A JP2011535873A JP2012508840A JP 2012508840 A JP2012508840 A JP 2012508840A JP 2011535873 A JP2011535873 A JP 2011535873A JP 2011535873 A JP2011535873 A JP 2011535873A JP 2012508840 A JP2012508840 A JP 2012508840A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- voltage
- frequency generator
- high frequency
- acceleration system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 38
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000003380 propellant Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000002800 charge carrier Substances 0.000 claims abstract description 7
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 78
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 18
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 18
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 18
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 9
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 7
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 10
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 3
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H—PRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H1/00—Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
- F03H1/0037—Electrostatic ion thrusters
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/54—Plasma accelerators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B64—AIRCRAFT; AVIATION; COSMONAUTICS
- B64G—COSMONAUTICS; VEHICLES OR EQUIPMENT THEREFOR
- B64G1/00—Cosmonautic vehicles
- B64G1/22—Parts of, or equipment specially adapted for fitting in or to, cosmonautic vehicles
- B64G1/40—Arrangements or adaptations of propulsion systems
- B64G1/405—Ion or plasma engines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B64—AIRCRAFT; AVIATION; COSMONAUTICS
- B64G—COSMONAUTICS; VEHICLES OR EQUIPMENT THEREFOR
- B64G1/00—Cosmonautic vehicles
- B64G1/22—Parts of, or equipment specially adapted for fitting in or to, cosmonautic vehicles
- B64G1/40—Arrangements or adaptations of propulsion systems
- B64G1/411—Electric propulsion
- B64G1/413—Ion or plasma engines
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H—PRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H1/00—Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
- F03H1/0006—Details applicable to different types of plasma thrusters
- F03H1/0018—Arrangements or adaptations of power supply systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/16—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B64—AIRCRAFT; AVIATION; COSMONAUTICS
- B64G—COSMONAUTICS; VEHICLES OR EQUIPMENT THEREFOR
- B64G1/00—Cosmonautic vehicles
- B64G1/22—Parts of, or equipment specially adapted for fitting in or to, cosmonautic vehicles
- B64G1/42—Arrangements or adaptations of power supply systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B64—AIRCRAFT; AVIATION; COSMONAUTICS
- B64G—COSMONAUTICS; VEHICLES OR EQUIPMENT THEREFOR
- B64G1/00—Cosmonautic vehicles
- B64G1/22—Parts of, or equipment specially adapted for fitting in or to, cosmonautic vehicles
- B64G1/42—Arrangements or adaptations of power supply systems
- B64G1/428—Power distribution and management
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Control Of Vehicle Engines Or Engines For Specific Uses (AREA)
Abstract
Description
2 放電チャンバ
3 入口
4 高周波発生器
5 高周波発生器のコイル
6 出口
7 グリッドシステム
8 スクリーングリッド/プラズマ境界アンカー(第1グリッド)
9 加速グリッド(第2グリッド)
10 第1グリッド8の電位端子
11 第2グリッド9の電位端子
12 電圧供給手段
13 カップリング(模式図)
14 中和装置
15 チャンバ
16a、16b 電極
17 入口
18 出口
19 イオンビーム
20、21 スィッチ
22 整流手段
23 平滑化手段
24 電子ビーム
25a、26b 電位端子
50 イオン発生
52 イオン加速
54 イオンビームの中和
Claims (13)
- 推進剤のイオン化のための交流電磁場を発生するための高周波発生器(4)、及び静電場を発生するための適切な電荷キャリア加速システム(7)を含む宇宙船のためのイオン駆動装置(1)であって、
交流電磁場を発生するために高周波発生器(4)によって生成された電流及び/又は電圧から加速システム(7)に必要とされる高電圧を得ることが出来る第1手段を含むことを特徴とするイオン駆動装置。 - 前記第1手段(12)が、交流電磁場を発生するために高周波発生器(4)によって生成された電流及び/又は電圧から、イオン加速システム(7)、(8)、及び(9)に必要とされる高電圧を少なくとも取り出すように構成されることを特徴とする、請求項1に記載のイオン駆動装置。
- 前記第1手段(12)が、高周波発生器(4)によって生成される電力の一部を取り出すために高周波発生器(4)に連結される少なくとも一つのキャパシタを有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のイオン駆動装置。
- 前記高周波発生器(4)によって生成される電力の一部を取り出すための第1手段(12)が、カップリングコイルのコイル端において加速システム(7)に必要とされる電圧が供給される、高周波発生器(4)に連結される少なくとも一つのカップリングコイルを含むことを特徴とする、請求項1から2の何れか一項に記載のイオン駆動装置。
- 前記少なくとも一つのカップリングコイルが、変圧器の一次的巻線として高周波発生器(4)のコイルに連結された、変圧器の二次的な巻線の形態で構成されることを特徴とする、請求項4に記載のイオン駆動装置。
- 前記少なくとも一つのカップリングコイルが各々一つ以上のタップを有し、前記カップリングコイルが高周波発生器(4)のコイルと電気的に分離されていることを特徴とする、請求項4又は5に記載のイオン駆動装置。
- 前記第2手段(22)が加速システム(7)のための高周波発生器(4)から得られる電圧を整流するために備えられることを特徴とする、請求項3から6の何れか一項に記載のイオン駆動装置。
- 前記第3手段(23)が加速システム(7)に関して整流された電圧を平滑化するために備えられることを特徴とする、請求項7に記載のイオン駆動装置。
- 加速システム(7)の各電圧と高周波発生器(4)の電圧との間の電圧比の設定が、複数のキャパシタ及びダイオードを含む高電圧カスケードによって、及び/又はカップリングコイルに対する高周波発生器(4)のコイルの巻線比によって実施されることを特徴とする、請求項4に関連する請求項1から8の何れか一項に記載のイオン駆動装置。
- 少なくとも一つの制御スィッチ(20、21)が、電圧供給を分離するために高周波発生器(4)と、加速システム(7)との間に提供されることを特徴とする、請求項1から9の何れか一項に記載のイオン駆動装置。
- 加速システム(7)において電圧の極性を反転させる第4手段が、イオン及び電子の抽出及び加速のために提供されることを特徴とする、請求項1から10の何れか一項に記載のイオン駆動装置。
- 別個の中和装置(14)を有し、その操作に必要とされる電圧が交流電磁場を発生するために高周波発生器(4)によって生成された電流及び/又は電圧から得られ、特に第1手段(12)によって提供されることを特徴とする、請求項1から10の何れか一項に記載のイオン駆動装置。
- 推進剤のイオン化のための交流電磁場を発生する高周波発生器(4)、及び電荷キャリアの適切な加速システム(8、9)を備えるグリッドシステム(7)を含む宇宙船のためのイオン駆動装置(1)の操作方法であって、
加速システム(7)に必要とされる高電圧が交流電磁場を発生するために高周波発生器(4)によって生成された電流及び/又は電圧から得られることを特徴とするイオン駆動装置の操作方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008058212.3 | 2008-11-19 | ||
DE102008058212A DE102008058212B4 (de) | 2008-11-19 | 2008-11-19 | Ionenantrieb für ein Raumfahrzeug |
PCT/DE2009/001600 WO2010057463A1 (de) | 2008-11-19 | 2009-11-11 | Ionenantrieb für ein raumfahrzeug |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012508840A true JP2012508840A (ja) | 2012-04-12 |
JP5478633B2 JP5478633B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=42027830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011535873A Active JP5478633B2 (ja) | 2008-11-19 | 2009-11-11 | 宇宙船のためのイオン駆動装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9060412B2 (ja) |
EP (1) | EP2346737B1 (ja) |
JP (1) | JP5478633B2 (ja) |
KR (1) | KR101208289B1 (ja) |
DE (1) | DE102008058212B4 (ja) |
RU (1) | RU2533378C2 (ja) |
WO (1) | WO2010057463A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2011129508A (ru) * | 2011-07-18 | 2012-02-20 | Закрытое акционерное общество "Техмаш" (RU) | Способ создания пондеромоторного эффекта воздействия и "аннигиляционные" движители |
US9856862B2 (en) * | 2013-03-13 | 2018-01-02 | Wesley Gordon Faler | Hybrid electric propulsion for spacecraft |
DE102014206945B4 (de) | 2014-04-10 | 2016-09-15 | Justus-Liebig-Universität Giessen | Verfahren zum Betreiben eines Ionenantriebs |
FR3020235B1 (fr) * | 2014-04-17 | 2016-05-27 | Ecole Polytech | Dispositif de formation d'un faisceau quasi-neutre de particules de charges opposees. |
FR3040442B1 (fr) * | 2015-08-31 | 2019-08-30 | Ecole Polytechnique | Propulseur ionique a grille avec propergol solide integre |
US20180023550A1 (en) * | 2016-04-07 | 2018-01-25 | Busek Co., Inc. | Iodine propellant rf ion thruster with rf cathode |
RU2618761C1 (ru) * | 2016-05-23 | 2017-05-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" | Ионный источник для электростатического ракетного двигателя |
US10377511B2 (en) * | 2016-10-17 | 2019-08-13 | Jerome Drexler | Interplanetary spacecraft using fusion-powered constant-acceleration thrust |
DE102017107177A1 (de) * | 2017-04-04 | 2018-10-04 | Tesat-Spacecom Gmbh & Co. Kg | Frequenzregelung für einen Frequenzgenerator eines Ionentriebwerks |
US10219364B2 (en) * | 2017-05-04 | 2019-02-26 | Nxp Usa, Inc. | Electrostatic microthruster |
RU2692594C2 (ru) * | 2017-08-07 | 2019-06-25 | Акционерное общество "НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МАШИНОСТРОЕНИЯ" (АО "НИИМаш") | Ионный ракетный двигатель |
US10236163B1 (en) | 2017-12-04 | 2019-03-19 | Nxp Usa, Inc. | Microplasma generator with field emitting electrode |
CN111801273A (zh) * | 2018-01-22 | 2020-10-20 | 科伦·克拉斯诺夫 | 无人机系统和方法 |
US10940931B2 (en) | 2018-11-13 | 2021-03-09 | Jerome Drexler | Micro-fusion-powered unmanned craft |
DE102020002348A1 (de) | 2020-04-17 | 2021-10-21 | Johanna von Pokrzywnicki | Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung eines Ionenantriebes |
US20220003222A1 (en) * | 2020-07-01 | 2022-01-06 | Raytheon Company | System and method to maintain vacuum, or to selectively exclude/admit electromagnetic energy |
DE102022103408B4 (de) | 2022-02-14 | 2024-02-08 | Technische Universität Dresden, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Elektronenemitter für Raumfahrtanwendungen |
DE102022001474A1 (de) | 2022-04-27 | 2023-11-02 | Tim Konrad | Ionenstromgenerator eine Kombination aus einem Kanal, Ionenantrieb und einer Turbine mit Generator zur Erzeugung von elektrischer Energie |
DE102022112149A1 (de) | 2022-05-16 | 2023-11-16 | Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Ionenerzeugung durch ein Plasma |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10259782A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-09-29 | He Holdings Inc Dba Hughes Electron | 寿命の長いイオン−光学システムを有するイオンスラスタ |
JPH1182286A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Hughes Electron Corp | 静電推進システムおよび方法 |
JP2000054951A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-22 | Daimlerchrysler Aerospace Ag | 静電動力装置 |
JP2001159387A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-06-12 | Astrium Gmbh | 高周波イオン源及び高周波イオン源の作動方法 |
JP2006147449A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Japan Aerospace Exploration Agency | 高周波放電プラズマ生成型二段式ホール効果プラズマ加速器 |
JP2009085206A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-23 | Tokyo Metropolitan Univ | 荷電粒子放出装置およびイオンエンジン |
JP2009543980A (ja) * | 2006-07-19 | 2009-12-10 | キネティック リミテッド | 電気推進システム |
JP2011522357A (ja) * | 2008-05-05 | 2011-07-28 | アストリウム・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | プラズマ発生装置及びプラズマ発生装置の制御方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3223038A (en) * | 1964-09-10 | 1965-12-14 | Company Wachovia Bank An Trust | Electrical thrust producing device |
US4838021A (en) * | 1987-12-11 | 1989-06-13 | Hughes Aircraft Company | Electrostatic ion thruster with improved thrust modulation |
SU1570549A1 (ru) * | 1988-12-16 | 1995-03-20 | Харьковский государственный университет им.А.М.Горького | Высокочастотный источник ионов |
EP0426110B1 (en) | 1989-10-31 | 1996-04-03 | Nec Corporation | Ion thruster for interplanetary space mission |
US5519213A (en) * | 1993-08-20 | 1996-05-21 | Ebara Corporation | Fast atom beam source |
US6293090B1 (en) * | 1998-07-22 | 2001-09-25 | New England Space Works, Inc. | More efficient RF plasma electric thruster |
US6518693B1 (en) | 1998-11-13 | 2003-02-11 | Aerojet-General Corporation | Method and apparatus for magnetic voltage isolation |
DE19927063B4 (de) * | 1999-06-15 | 2005-03-10 | Christof Luecking | Verfahren zur Bestimmung der elektrischen Eigenschaften von hochfrequenzangeregten Gasentladungen durch Berechnung mit einer inversen Matrix, die durch einmalige Kalibrierung bestimmt wird |
US6724160B2 (en) * | 2002-04-12 | 2004-04-20 | Kaufman & Robinson, Inc. | Ion-source neutralization with a hot-filament cathode-neutralizer |
US7365518B2 (en) * | 2004-10-07 | 2008-04-29 | L-3 Communications Electron Technologies, Inc. | Ion engine power supply |
EP1739716A1 (de) * | 2005-07-02 | 2007-01-03 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | HF-Plasmaprozesssystem |
-
2008
- 2008-11-19 DE DE102008058212A patent/DE102008058212B4/de active Active
-
2009
- 2009-11-11 JP JP2011535873A patent/JP5478633B2/ja active Active
- 2009-11-11 WO PCT/DE2009/001600 patent/WO2010057463A1/de active Application Filing
- 2009-11-11 US US13/129,943 patent/US9060412B2/en active Active
- 2009-11-11 EP EP09799010.5A patent/EP2346737B1/de active Active
- 2009-11-11 RU RU2011124504/11A patent/RU2533378C2/ru active
- 2009-11-11 KR KR1020117011357A patent/KR101208289B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10259782A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-09-29 | He Holdings Inc Dba Hughes Electron | 寿命の長いイオン−光学システムを有するイオンスラスタ |
JPH1182286A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Hughes Electron Corp | 静電推進システムおよび方法 |
JP2000054951A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-22 | Daimlerchrysler Aerospace Ag | 静電動力装置 |
JP2001159387A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-06-12 | Astrium Gmbh | 高周波イオン源及び高周波イオン源の作動方法 |
JP2006147449A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Japan Aerospace Exploration Agency | 高周波放電プラズマ生成型二段式ホール効果プラズマ加速器 |
JP2009543980A (ja) * | 2006-07-19 | 2009-12-10 | キネティック リミテッド | 電気推進システム |
JP2009085206A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-23 | Tokyo Metropolitan Univ | 荷電粒子放出装置およびイオンエンジン |
JP2011522357A (ja) * | 2008-05-05 | 2011-07-28 | アストリウム・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | プラズマ発生装置及びプラズマ発生装置の制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110086084A (ko) | 2011-07-27 |
JP5478633B2 (ja) | 2014-04-23 |
RU2533378C2 (ru) | 2014-11-20 |
WO2010057463A1 (de) | 2010-05-27 |
US9060412B2 (en) | 2015-06-16 |
EP2346737B1 (de) | 2014-06-11 |
US20110277444A1 (en) | 2011-11-17 |
DE102008058212B4 (de) | 2011-07-07 |
RU2011124504A (ru) | 2012-12-27 |
KR101208289B1 (ko) | 2012-12-05 |
EP2346737A1 (de) | 2011-07-27 |
DE102008058212A1 (de) | 2010-05-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5478633B2 (ja) | 宇宙船のためのイオン駆動装置 | |
CN112136200B (zh) | 致密高能离子植入系统及生成高能离子射束的设备及方法 | |
KR100863084B1 (ko) | 이온 주입 시스템에서 이온 가속 방법 및 장치 | |
US11530690B2 (en) | Ignition process for narrow channel hall thruster | |
US7420182B2 (en) | Combined radio frequency and hall effect ion source and plasma accelerator system | |
US7176469B2 (en) | Negative ion source with external RF antenna | |
CN103562549A (zh) | 霍耳效应推进器 | |
JP2013545255A (ja) | 直流荷電粒子加速器、直流電圧を使用し荷電粒子を加速する方法、およびその使用のための高電圧電力供給装置 | |
JP2012164660A (ja) | 大電流シングルエンド直流加速器 | |
US6975072B2 (en) | Ion source with external RF antenna | |
CN113404658B (zh) | 一种自中和射频离子推力器 | |
WO2016174700A1 (ja) | 円形加速器 | |
CN102439701B (zh) | 蚀刻装置 | |
US3866414A (en) | Ion engine | |
JPH09237700A (ja) | 高周波加減速器、および、その使用方法 | |
WO2018173227A1 (ja) | 中性粒子ビーム処理装置 | |
JP5898433B2 (ja) | イオンドーピング装置及び半導体装置の作製方法 | |
US20230348114A1 (en) | Synchronous Polyphase Alternating Current Electrostatic Ion Thruster (SPACE-IT) for propulsion of spacecraft, such as for example satellites, mini-rockets, etc. | |
JP3265987B2 (ja) | イオン照射装置 | |
KR100633167B1 (ko) | 기판처리장치와 기판처리방법 | |
RU2607234C2 (ru) | Способ и устройство генерации импульсов с переменной амплитудой с использованием генератора импульсов с высоковакуумной электронной лампой | |
JP2018120774A (ja) | 静電加速器 | |
JPH10112277A (ja) | イオン注入装置 | |
Wollnik et al. | Report from working group 1: ion sources and separators | |
JPS61271737A (ja) | イオン注入装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140114 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5478633 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |