DE19927063B4 - Verfahren zur Bestimmung der elektrischen Eigenschaften von hochfrequenzangeregten Gasentladungen durch Berechnung mit einer inversen Matrix, die durch einmalige Kalibrierung bestimmt wird - Google Patents

Verfahren zur Bestimmung der elektrischen Eigenschaften von hochfrequenzangeregten Gasentladungen durch Berechnung mit einer inversen Matrix, die durch einmalige Kalibrierung bestimmt wird Download PDF

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Abstract

Beschrieben wird ein Meßsystem, mit dem die elektrischen Eigenschaften von hochfrequenzangeregten Gasentladungen (z. B. Laser oder Plasmakammern) bestimmt werden. Vor der Messung wird das System mit drei verschiedenen bekannten Kalibrierelementen kalibriert. Zwei Sonden, die zwei linear unabhängige Signale liefern, sind nahe an der Gasentladung angebracht. Die Meßsignale werden mit einem Digitaloszilloskop oder einer A/D-Karte aufgezeichnet und in einem PC weiterverarbeitet. Bei der Kalibrierung wird eine Kalibriermatrix erstellt. Bei der Messung werden mit der inversen Kalibriermatrix aus den beiden Sondensignalen die Spannung, der Strom und der zugehörige Phasenwinkel an der Gasentladung und daraus weitere elektrische Größen bestimmt. Die Messung kann im Dauerstrich- und im Pulsbetrieb durchgeführt werden. Das Meßsystem ist durch die beliebige Wahl der Sonden für verschiedene RF-Leistungen im Bereich bis zu einigen 10 kW skalierbar. Durch die zusätzliche Kalibrierung mit den Oberwellen der RF-Frequenz ist eine spektrale Messung möglich.
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