CN100363535C - 溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种给特殊负载供电的方法，确切讲本发明是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的方法。本发明的方法是采用采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，由这一台电源向至少两台并联的溅射离子泵供电。依本发明的方法对现有溅射离子泵电源进行改造形成相应的电源。
Description
技术领域
本发明涉及一种给特殊负载供电的方法，确切讲本发明是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的方法。
背景技术
目前使用的溅射离子泵都是用一台电源向一台溅射离子泵供电，以驱动溅射离子泵工作，这种电源与普通的稳压电源基本上相似，其中包括有变压电路及升压整流电路，以及电源电压、电源电流计量显示电路、安全保护电路和控制开关，通常所采用电源的供电功率是应当与溅射离子泵工作功率相匹配。显然在现有技术中，需要多少台溅射泵，就必需要有多少台电源。这是本领域现阶段普遍采用的措施。
发明内容
本发明提供一种新的对溅射泵供电的方法，这种方法可以大大减少所需的电源数量，减低真空系统的制造成本和运行成本。本发明的第二个目的是提供一种依本发明的方法形成的新型溅射离子泵供电装置。
本发明的方法是采用采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，由这一台电源向至少两台并联的溅射离子泵供电。
本发明的方法中可以在与电源并联连接的各溅射离子泵的输入支路上设有限流电阻，限流电阻的阻值为R≥E/Imax，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。
本发明的供电装置是将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。
为使本发明的装置工作更为可靠，可在电源的并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端的上游设置有切断开关，以便于在工作中根据需要切换不同数量的溅射泵工作。
本发明的装置中还可在电源并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端上的切断开关的上游各设有阻值为R≥E/Imax的限流电阻，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。本发明还可在电源并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端均设有接地端。采用这些技术措施将可使系统的工作更为可靠和安全。
经相应的试验和实际工作表明，单台溅射离子泵在启动时需要较大的功率，其所需电流一般为数十毫安，在溅射离子泵逐渐建立正常工作状态时，其所耗电流亦逐步下降，当其稳定工作时所需要的电流很小，通常只有几十微安甚至低于1微安。显然多台溅射离子泵在正常工作状态下所需的电流总和仍将小于一台泵的启动电流。这使能满足单台溅射离子泵工作的电源在泵稳定工作时仍具有很大的余量，因此使用一台溅射离子泵的电源来驱动数台溅射离子泵工作成为可能。试验还表明，当采用一台电源向多台溅射离子泵供电时，各台泵的正常工作状态仍可以逐步建立，这一结果使用一台溅射离子泵的电源来驱动数台溅射离子泵工作的条件完全可以实现。
采用本发明的方法可以大大减少需使用的电源数量，同时可以使真空系统的制造成本大大降低，当系统工作时，也可以因仅使用一台电源而减少了使用多台电源时的能耗。另一方面，由于只使用一台电流工作，也可以减化系统工作。
附图说明
图1为本发明一个实施例的示意图，图2为本发明的第二个实施例的示意图。图中：1、2、3为溅射离子泵，4为现有技术的任一种供溅射离子泵使用的电源， K1、K2、K3分别为切断开关，R1、R2、R3分别为限流电阻。
具体实施方式
本发明以下结合实施例详细说明：
本发明的第一个实施例中(参见附图1)，4为现有的任一种用于溅射离子泵的电源，电源的输出端用并联方式连接三个溅射离子泵，在各溅射离子泵与电源输出端间设有切断开关K(K设置于各接线端的上游处)。设置开关K可以根据真空系统的需要将不同的溅射离子泵投入使用，或者断开。需特别说明的是本实施例中仅并联了三台溅射离子泵，实际上可以并联更多的泵。由图还可见，在各溅射离子泵相连的接线中还设有接地端。
本发明的第二个实施例(参见附图2)，与前一实施例基本相同，但在各切断开关K与电源输出端之间设有限流电阻R(各电阻设置于开关K的上游处)，其阻值为R≥E/Imax的限流电阻，其中：E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。采用了限流电阻相连，其目的是在数台溅射离子泵工作中，如其中一台故障时，特别是发生短路时，不会影响相并联的其它溅射离子泵的工作。
如果将现有的电源进行改造，将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端，并在每组接线端的上游设置限流电阻和切断开关，即可形成本发明的供电装置。
Claims (3)
1.溅射离子泵的电源驱动方法，其特征在于采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，使该电源并联向至少两台溅射离子泵供电，与电源并联连接的各溅射离子泵的输入支路上设置限流电阻，限流电阻的阻值为R≥E/Imax，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。
2.一种溅射离子泵的供电电源，包括变压电路、升压整流电路，以及电源电压、电源电流计量显示电路、安全保护电路和控制开关，其特征在于电源的输出端为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端，并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端的上游设置有切断开关，与溅射离子泵相连的每组接线端上的切断开关的上游各设有阻值为R≥E/Imax的限流电阻，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。
3.根据权利要求2所述的溅射离子泵的供电电源，其特征在于在并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端均设有接地端。
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| CN1696333A CN1696333A (zh) | 2005-11-16 |
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH11185694A (ja) * | 1997-12-19 | 1999-07-09 | Jeol Ltd | スパッタイオンポンプの電源 |
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2005
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