CN2839301Y - 溅射离子泵的电源 - Google Patents
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Abstract
本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可以同时向至少两台溅射离子泵供电。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种给特殊负载供电的装置，确切讲本实用新型是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的电源。
背景技术
目前使用的溅射离子泵都是用一台电源向一台溅射离子泵供电，以驱动溅射离子泵工作，这种电源与普通的稳压电源基本上相似，其中包括有变压电路及升压整流电路，以及电源电压、电源电流计量显示电路、安全保护电路和控制开关，通常所采用电源的供电功率是应当与溅射离子泵工作功率相匹配。显然在现有技术中，需要多少台溅射泵，就必需要有多少台电源。这是本领域现阶段普遍采用的措施。
发明内容
本实用新型提供一种新的溅射泵电源，该电源同时向至少两台溅射离子泵供电，以减少所需的电源数量，减低真空系统的制造成本和运行成本。
本实用新型是对现有溅射离子泵进行改造，将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。
为使本实用新型的装置工作更为可靠，可在电源并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端的上游设置有切断开关，以便于在工作中根据需要切换不同数量的溅射离子泵工作。
本实用新型的装置中还可在电源并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端上的切断开关的上游各设有阻值为R≥E/Imax的限流电阻，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。本实用新型还可在电源并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端均设有接地端。采用这些技术措施将可使系统的工作更为可靠和安全。
经相应的试验和实际工作表明，单台溅射离子泵在启动时需要较大的功率，其所需电流一般为数十毫安，在溅射离子泵逐渐建立正常工作状态时，其所耗电流亦逐步下降，当其稳定工作时所需要的电流很小，通常只有几十微安甚至低于1微安。显然多台溅射离子泵在正常工作状态下所需的电流总和仍将小于一台泵的启动电流。这使能满足单台溅射离子泵工作的电源在泵稳定工作时仍具有很大的余量，因此使用一台溅射离子泵的电源来驱动数台溅射离子泵工作成为可能。试验还表明，当采用一台电源向多台溅射离子泵供电时，各台泵的正常工作状态仍可以逐步建立，这一结果使用一台溅射离子泵的电源来驱动数台溅射离子泵工作的条件完全可以实现。
采用本实用新型只需一台电源就可以支持多台溅射离子泵工作，因此可以大大减少需使用的电源数量，同时可以使真空系统的制造成本大大降低，当系统工作时，也可以因仅使用一台电源而减少了使用多台电源时的能耗。另一方面，由于只使用一台电源工作，也可以减化系统工作。
附图说明
图1为本实用新型一个实施例的示意图，图2为本实用新型的第二个实施例的示意图。图中：1、2、3为溅射离子泵，4为现有技术的任一种供溅射离子泵使用的电源，K1、K2、K3分别为切断开关，R1、R2、R3分别为限流电阻。
具体实施方式
本实用新型以下结合实施例详细说明：
本实用新型的第一个实施例中(参见附图1)，4为现有的任一种用于溅射离子泵的电源，该电源的输出功率应当等于或稍大于溅射离子泵启动功率，将电源的输出端用并联方式连接三个溅射离子泵，在各溅射离子泵与电源输出端间设有切断开关K(K设置于各接线端的上游处)，如此形成本实用新型的第一实施例。由于本实用新型设置了开关K，因此在工作中可以根据真空系统的需要将不同的溅射离子泵投入使用，或者断开。特别说明的是本实施例中仅并联了三台溅射离子泵，实际上可以并联更多的泵。由图1还可见，在各溅射离子泵相连的接线中还设有接地端。
本实用新型的第二实施例，参见附图2，与前一实施例基本相同，但在各切断开关K与电源输出端之间设有限流电阻R(各电阻设置于开关K的上游处)，其阻值为R≥E/Imax的限流电阻，其中：E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。采用了限流电阻相连，其目的是在数台溅射离子泵工作中，如其中一台故障时，特别是发生短路时，不会影响相并联的其它溅射离子泵的工作。
Claims (4)
1、溅射离子泵的电源，包括变压电路、升压整流电路，以及电源电压、电源电流计量显示电路、安全保护电路和控制开关，其特征在于电源的输出端为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。
2、根据权利要求1所述的溅射离子泵电源，其特征在于并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端的上游设置有切断开关。
3、根据权利要求2所述的溅射离子泵的供电电源，其特征在于在并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端上的切断开关的上游各设有阻值为R≥E/Imax的限流电阻，其中R为限流电阻，E为电源的输出电压，Imax为电源的最大输出电流。
4、根据权利要求3所述的溅射离子泵的供电电源，其特征在于在并联设置的与溅射离子泵相连的每组接线端均设有接地端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200520078831 CN2839301Y (zh) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 溅射离子泵的电源 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN 200520078831 CN2839301Y (zh) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 溅射离子泵的电源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN2839301Y true CN2839301Y (zh) | 2006-11-22 |
Family
ID=37427286
Family Applications (1)
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| CN 200520078831 Expired - Lifetime CN2839301Y (zh) | 2005-05-23 | 2005-05-23 | 溅射离子泵的电源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2839301Y (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100363535C (zh) * | 2005-05-25 | 2008-01-23 | 中国科学院近代物理研究所 | 溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法 |
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2005
- 2005-05-23 CN CN 200520078831 patent/CN2839301Y/zh not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100363535C (zh) * | 2005-05-25 | 2008-01-23 | 中国科学院近代物理研究所 | 溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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Effective date of abandoning: 20080123 |
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| AV01 | Patent right actively abandoned |
Effective date of abandoning: 20080123 |
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| C25 | Abandonment of patent right or utility model to avoid double patenting |