JPH11185232A

JPH11185232A - 磁気ヘッド装置およびその製造方法

Info

Publication number: JPH11185232A
Application number: JP9347678A
Authority: JP
Inventors: Mitsuyoshi Kawai; 満好川合; Ichiro Yagi; 伊知郎八木
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1997-12-17
Filing date: 1997-12-17
Publication date: 1999-07-09
Anticipated expiration: 2017-12-17
Also published as: JP3466070B2; SG97773A1

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気ヘッドスライダの浮上特性の歩留りが向
上すると共に製造工程を簡略化してリードタイムを短縮
することができる磁気ヘッド装置およびその製造方法を
提供する。【解決手段】磁気ヘッドスライダ１０と、スライダ支
持体を構成するフレクシャー２０Ａとを、異方性導電樹
脂３０によって接着させる。異方性導電樹脂３０によ
り、磁気ヘッドスライダ１０がフレクシャー２０Ａに対
して固着されると同時に、磁気ヘッドスライダ１０側の
信号電極１２ａ〜１２ｄと、フレクシャー２０Ａ側の信
号電極２２ａ〜２２ｄとがそれぞれ電気的に接続され
る。更に、磁気ヘッドスライダ１０において磁気ヘッド
素子１１の反対側（後部）に設けた接地用電極１３とフ
レクシャー２０Ａ側の接地電極２３も同時に電気的に接
続される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
や光磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッド装置およ
びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、磁気ヘッド装置は、磁気ヘッド
素子が形成された磁気ヘッドスライダをスライダ支持体
（以下，サスペンションという）により支持する構成を
有しており、サスペンションにより磁気ヘッドスライダ
を磁気記録媒体の表面から一定の量だけ浮上させた状態
で、磁気ディスク等の記録媒体からの情報の再生あるい
は情報の記録を行うようになっている。

【０００３】従来、このような浮上型の磁気ヘッド装置
は、磁気ヘッドスライダをサスペンション上に樹脂接着
剤により接着すると共に、磁気ヘッドスライダ側のボン
ディングパッドとサスペンション側のボンディングパッ
ドとを金（Ａｕ）などを用いたボールボンディングによ
り接続させることにより組み立てられている。また、こ
の種の磁気ヘッド装置では、実際の使用時において、磁
気ヘッドスライダの浮上面とディスク表面との間の摺動
や、高速回転するディスクの表面に対して磁気ヘッドス
ライダの浮上量が非常に小さいこと等に起因して静電気
が発生し、薄膜の磁気ヘッド素子が破壊される虞れがあ
り、これを未然に防止するための静電対策がなされてい
る。しかしながら、従来の磁気ヘッド装置では、これら
ボールボンディングによる電気的接続および静電対策に
起因して以下のような問題が生じていた。これについて
図１５および図１６を参照して具体的に説明する。

【０００４】図１５は従来の磁気ヘッド装置の具体的な
構成を表し、また、図１６は図１５のＸＶ−ＸＶ線矢視
方向の断面構成を表している。なお、図１６は媒体が図
の下側にある場合の図１５の磁気ヘッド装置の使用時の
状態を示しており、図１５とは上下が反転している。こ
の磁気ヘッド装置１００は、磁気ヘッドスライダ１０１
および磁気ヘッドスライダ１０１を支持するためのサス
ペンション１０２により構成されている。サスペンショ
ン１０２はフレクシャー（弾性支持体）１０２Ａとロー
ドビーム（剛性支持体）１０２Ｂとにより構成されてい
る。

【０００５】磁気ヘッドスライダ１０１には、その一方
の側端面（素子形成面）１０１ａに磁気ヘッド素子（例
えばＭＲ素子）１０４および信号用のボンディングパッ
ド１０５ａ〜１０５ｄがそれぞれ形成されている。

【０００６】サスペンション１０２を構成するフレクシ
ャー１０２Ａは、厚さ約２５μｍの薄いステンレス鋼板
によって形成されると共にロードビーム１０２Ｂの先端
部分に固定されており、磁気ヘッドスライダ１０１と共
にジンバル動作をするようになっている。フレクシャー
１０２Ａ上には、入出力信号線として薄膜パターンによ
る４本のリードパターン１０６ａ〜１０６ｄがほぼその
全長に渡って形成されている。リードパターン１０６ａ
〜１０６ｄ各々の一端部は４つのボンディングパッド１
０７ａ〜１０７ｄにそれぞれ接続されている。リードパ
ターン１０６ａ〜１０６ｄ各々の他端部は外部回路と接
続するための薄膜パターンによる接続端子（図示せず）
に接続されている。ボンディングパッド１０７ａ〜１０
７ｄは磁気ヘッドスライダ１０１側のボンディングパッ
ド１０５ａ〜１０５ｄに固着され電気的に接続されてい
る。

【０００７】ロードビーム１０２Ｂは、約６２〜７６μ
ｍの厚いステンレス鋼板によって形成されている。フレ
クシャー１０２Ａはこのロードビーム１０２Ｂに対して
レーザ溶接等による複数のスポット溶接点（例えば点１
０８）において固着されている。ロードビーム１０２Ｂ
には磁気ヘッドスライダ１０１の背面を点で押圧するた
めの凸状の突起（ディンプル）１０９が設けられてい
る。ディンプル１０９は磁気ヘッドスライダ１０１の背
面に密着されたフレクシャー１０２Ａに当接し、その後
方への移動を制御している。磁気ヘッドスライダ１０１
の後方側面１０１ｂとフレクシャー１０２Ａとの間には
図１６に示したように銀ペースト等の導電性樹脂１１０
が塗布され、フレクシャー１０２Ａと磁気ヘッドスライ
ダ１０１との間を電気的に接続している。フレクシャー
１０２Ａはその基部が図示しないディスク駆動装置の筺
体に電気的に接続されており、この筺体を介して接地さ
れている。これにより磁気ヘッドスライダ１０１側にお
いて静電気が発生した場合、磁気ヘッドスライダ１０１
の後部からフレクシャー１０２Ａを介して接地されたデ
ィスク駆動装置の筺体側へ静電気を逃がすようになって
いる。

【０００８】この磁気ヘッド装置１００は、（１）磁気
ヘッドスライダ１０１をサスペンショ１０２のフレクシ
ャー１０２Ａ上に樹脂接着剤により接着させる工程、
（２）磁気ヘッドスライダ１０１側のボンディングパッ
ド１０５ａ〜１０５ｄとフレクシャー１０２Ａ側のボン
ディングパッド１０７ａ〜１０７ｄとを金（Ａｕ）ボー
ルボンディングにより接続させる工程、（３）ボールボ
ンディング部を保護するために紫外線硬化樹脂（ＵＶ樹
脂）１１１を塗布する工程、（４）静電対策用の導電性
樹脂１１０を塗布する工程、および（５）紫外線硬化樹
脂１１１に紫外線を照射し加熱する工程などの工程を経
て製造される。

【０００９】このように従来の磁気ヘッド装置の製造に
おいては、静電気対策を行う必要があるため、磁気ヘッ
ドスライダの接着工程および金ボールボンディングによ
る接続工程に加え、磁気ヘッドスライダの後部とサスペ
ンションとの間への導電性樹脂の塗布工程が必要である
ため、リードタイムがかかり、また、ボンディング工程
において金線を使用しているためコストもかかるという
問題があった。しかも、上述のように多くの工程を経て
製造されるため、その分ハンドリング作業時において、
磁気ヘッド素子の静電気破壊が起こる可能性がある。ま
た、特に、ボールボンディング工程では、金ボールで接
続する際に規定以上の圧力が加わると、サスペンション
へ負荷がかかり変形してしまう。このようにサスペンシ
ョンが変形してしまうと、磁気ヘッドスライダの浮上特
性に影響を及ぼし、歩留りが低下する。

【００１０】ところで、従来、電極端子が形成された絶
縁基板上に異方性導電シートを熱融着し、絶縁基板側の
端子と電気的に接続させた構成のフレキシブルシールド
ワイヤボードが開示されている（特開昭６３−２２６９
９９号公報）。この異方性導電シートを用いることによ
り、ボールボンディング工程等が不要になると考えられ
る。しかし、磁気ヘッドスライダは１．０×１．２ｍｍ
とかなり小さいサイズであるため、磁気ヘッドスライダ
とサスペンションとを異方性導電シートを介して電気的
に接続させることは現状では極めて困難である。

【００１１】また、ワイヤボンディング工程を不要とし
端子間の短絡を防止するために、磁気ヘッドとサスペン
ションとをフィルム状の異方性導電膜（シート）を用い
て接着させる技術も開示されている（特開平９−１１５
１２５号公報）。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなフィルム状の異方性導電膜を用いる方法では、異方
性導電膜を貼り付けて磁気ヘッドとサスペンションとを
接続させる際に、高精度の位置合わせ技術が必要であ
る。また、この方法では、仮接着と本接着の２つの工程
が必要であり、リードタイムの短縮には不十分であっ
た。

【００１３】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、磁気ヘッドスライダの浮上特性の歩
留りが向上すると共に製造工程を簡略化してリードタイ
ムを短縮することができ、かつ、磁気ヘッド素子の静電
破壊も防止することが可能な磁気ヘッド装置およびその
製造方法を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
装置は、磁気ヘッド素子および第１の電極を有する磁気
ヘッドスライダと、第１の電極に対応して第２の電極を
有するスライダ支持体とを含むものであり、異方性導電
樹脂により、磁気ヘッドスライダがスライダ支持体に固
定されると共に、磁気ヘッドスライダの第１の電極とス
ライダ支持体の第２の電極とが電気的に接続された構成
を有している。この磁気ヘッド装置では、第１の電極が
磁気ヘッドスライダのスライダ支持体との対向面に複数
設けられ、かつ、第２の電極がスライダ支持体の磁気ヘ
ッドスライダとの対向面に複数設けられ、これら対向す
る複数の電極間が異方性導電樹脂により電気的に接続さ
れる構成とすることが望ましく、更に、磁気ヘッドスラ
イダおよびスライダ支持体の複数の電極のうちの対向す
る少なくとも１組の電極が接地用電極であるよう構成す
ることが望ましい。

【００１５】この磁気ヘッド装置では、異方性導電樹脂
によって、磁気ヘッドスライダがスライダ支持体に固定
されると共に、磁気ヘッドスライダの第１の電極とスラ
イダ支持体の第２の電極とが電気的に接続される。更
に、第１の電極および第２の電極をそれぞれ複数設け、
そのうちの少なくとも１組の電極を接地用電極とするこ
とにより、磁気ヘッド素子の静電破壊が防止される。

【００１６】本発明による磁気ヘッド装置の製造方法
は、磁気ヘッド素子および第１の電極を有する磁気ヘッ
ドスライダと、第１の電極に対応して第２の電極を有す
るスライダ支持体とを含む磁気ヘッド装置を製造するた
めに、磁気ヘッド素子のスライダ支持体との対向面ある
いはスライダ支持体の磁気ヘッド素子との対向面の少な
くともいずれか一方に異方性導電樹脂を塗布した後、ス
ライダ支持体上に磁気ヘッド素子を載置する工程と、異
方性導電樹脂を硬化させることにより、磁気ヘッドスラ
イダをスライダ支持体に固定すると共に磁気ヘッドスラ
イダの第１の電極とスライダ支持体の第２の電極とを電
気的に接続させる工程とを含むものである。

【００１７】この磁気ヘッド装置の製造方法では、異方
性導電樹脂によって、磁気ヘッドスライダのスライダ支
持体への固着と、磁気ヘッドスライダの第１の電極とス
ライダ支持体の第２の電極との電気的接続とが同時に行
われる。更に、第１の電極および第２の電極をそれぞれ
複数設け、そのうちの少なくとも１組の電極を接地用電
極とすると、これら接地用電極間が異方性導電性樹脂に
よって電気的に接続され、磁気ヘッド素子の静電破壊防
止用の接地がなされる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００１９】図１は本発明の一実施の形態に係る磁気ヘ
ッド装置１の構成を表すものである。また、図２は図１
のＩＩ−ＩＩ線矢視方向の断面構成を表している。この
磁気ヘッド装置１は、磁気ヘッドスライダ１０を異方性
導電樹脂３０によりサスペンション（スライダ支持体）
２０に対して接着し固定させた構成を有している。サス
ペンション２０は、磁気ヘッドスライダ１０を固定支持
するフレクシャー（弾性支持体）２０Ａと、このフレク
シャー２０Ａを支持するためのロードビーム（剛性支持
体）２０Ｂとにより構成されている。

【００２０】図３は磁気ヘッドスライダ１０の背面側、
すなわちフレクシャー２０Ａとの対向面１４の構成を表
すものである。この磁気ヘッドスライダ１０は、その先
端側の側端面（素子形成面１０ａ）に例えばＭＲ（Magn
eto Resistive)素子等の磁気ヘッド素子１１が形成され
ると共に、中間領域に信号用電極１２ａ〜１２ｄ、更に
後端側の領域に接地用電極１３がそれぞれ形成されてい
る。なお、信号用電極１２ａ〜１２ｄおよび接地用電極
１３がそれぞれ本発明の第１の電極に対応している。

【００２１】図４はサスペンション２０を構成するフレ
クシャー２０Ａの磁気ヘッドスライダ１０との対向面２
４側の構成を表すものである。フレクシャー２０Ａは、
例えば厚さ約２５μｍのステンレス鋼板によって構成さ
れている。このフレクシャー２０Ａの磁気ヘッドスライ
ダ１０との対向面２４には、入出力信号線として例えば
銅（Ｃｕ）により形成された薄膜パターンによる４本の
リードパターン２１ａ〜２１ｄがほぼその全長に渡って
形成されている。リードパターン２１ａ〜２１ｄの各々
の一端部は薄膜パターンによる４つの信号用電極２２ａ
〜２２ｄにそれぞれ接続されている。これらリードパタ
ーン２１ａ〜２１ｄは磁気ヘッドスライダ１０の信号用
電極１２ａ〜１２ｄに対して固着される。また、磁気ヘ
ッドスライダ１０の接地用の信号用電極１３に対向する
位置には接地用電極２３が形成されている。なお、信号
用電極２２ａ〜２２ｄおよび接地用電極２３がそれぞれ
本発明の第２の電極に対応している。リードパターン２
１ａ〜２１ｄの各他端部は例えば銅（Ｃｕ）により形成
された薄膜パターンによる接続端子（図示せず）に接続
され、この接続端子を介して外部回路と接続されてい
る。

【００２２】ロードビーム２０Ｂは、例えば約７０μｍ
の厚いステンレス鋼板によって形成されている。フレク
シャー２０Ａはこのロードビーム２０Ｂに対してレーザ
溶接等による複数のスポット溶接点において固着されて
いる。

【００２３】異方性導電樹脂３０は、接着剤層中に導電
性充填剤を分散させたものである。図５はこの異方性導
電樹脂３０による磁気ヘッドスライダ１０とフレクシャ
ー２０Ａとの接着構造を拡大したものである。これに対
して、図７は一般に用いられる等方性の導電性樹脂によ
る接着構造を比較のために表したものである。等方性導
電樹脂４０では、接着剤層４１中に導電性充填剤４２が
極力多く混入され、この導電性充填剤４２の互いの接触
により導体４３ａと導体４３ｂとが導通される。

【００２４】これに対して異方性導電樹脂３０は、この
ような等方性導電樹脂と異なり、接着剤層３１中の導電
性充填剤３２の量を極力抑え、接着剤層３１を薄くした
ものである。この異方性導電樹脂３０では、厚さ方向で
は導体充填剤３２同士の接触により信号用電極１２ｂ，
２２ａ間，信号用電極１２ｄ，２２ｃ間および接地用電
極１３，２３間をそれぞれ導通させる一方、長手方向
（水平方向）では、導電性充填剤３２同士の接触があま
りないため信号用電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ
相互間、信号用電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ相
互間、更に接地用電極１３と信号用電極１２ａ〜１２ｄ
との間、接地用電極２３と信号用電極２２ａ〜２２ｄと
の間ではそれぞれ非導通の状態とすることができる。

【００２５】なお、図５の構成では、各電極は、磁気ヘ
ッドスライダ１０およびフレクシャー２０Ａの各対向面
から突出した状態となっているが、例えば図６に示した
ように、磁気ヘッドスライダ１０側の信号電極１２ａ〜
１２ｄおよび接地用電極１３を埋め込み、磁気ヘッドス
ライダ１０の背面が平坦となるように構成した場合も同
様である。

【００２６】異方性導電樹脂３０の接着剤層３１の材料
としては、例えば紫外線照射および加熱により硬化する
熱硬化性樹脂、例えばアクリル樹脂が挙げられる。ま
た、導電性充填剤３２として例えば銀（Ａｇ）などの金
属粒子や金属被膜プラスチック粒子を散りばめたものが
挙げられる。導電性充填剤３２の粒子の大きさは、例え
ば銀の場合、平均粒径が３μｍ，最大粒径が１０μｍ程
度が望ましい。

【００２７】アクリル樹脂に銀粉が混入された異方性導
電樹脂は、例えば銀粉、ウレタンアクリレートおよびア
クリル酸エステルを混合することにより作製することが
できる。この異方性導電樹脂は、例えば２．０kg重／ｃ
ｍ² の荷重をかけた状態で、例えば積算光量３０００ｍ
Ｊ／ｃｍ² の紫外線照射を行い、更に、例えば温度１２
０°Ｃで３０分加熱することにより硬化する。

【００２８】図８は接着面積を一定（１．０ｍｍ² ）と
した場合の異方性導電樹脂の厚さ（μｍ）と剥離強度と
の関係、図９は厚さを一定（２０μｍ）とした場合の異
方性導電樹脂の塗布面積（ｍｍ² ）と剥離強度との関係
をそれぞれ表したものである。なお、異方性導電樹脂と
してはアクリル樹脂に銀粉が約４０〜６０％混入された
ものを用いた。

【００２９】これらの結果により、接着面積を１．０ｍ
ｍ² とする場合において、所定の規格値（１．０）以上
の剥離強度を得るためには、異方性導電樹脂３０の厚さ
は６．０μｍ以上することが望ましいことが分かる。但
し、異方性導電樹脂３０が厚すぎると、導通抵抗が大き
くなってしまうため、その厚さは２５μｍ以下とするこ
とが望ましく、より望ましくは銀の最大粒径（１０μ
ｍ）以下の厚さである。同じく、厚さを２０μｍとする
場合においては、異方性導電樹脂３０の塗布面積は０．
９５ｍｍ² 以上することが望ましいことが分かる。

【００３０】次に、本実施の形態の磁気ヘッド装置１の
製造方法について説明する。

【００３１】先ず、信号電極２２ａ〜２２ｄおよび接地
電極２３が形成されたフレクシャー２０Ａの対向面２４
に異方性導電性樹脂３０を塗布し、そののち対向面２４
と対向面１４とが対向するように磁気ヘッドスライダ１
０を異方性導電性樹脂３０上に載置する。なお、異方性
導電性樹脂３０は磁気ヘッドスライダ１０側に塗布して
もよく、また磁気ヘッドスライダ１０およびフレクシャ
ー２０Ａ側の双方に塗布するようにしてもよい。その
後、磁気ヘッドスライダ１０に所定の荷重（例えば約
２．０Ｋｇｆ／ｃｍ² ）をかけた状態で、異方性導電性
樹脂３０に対して紫外線を照射し、更に、所定の温度で
加熱することにより異方性導電樹脂３０を硬化させる。
これにより、磁気ヘッドスライダ１０がフレクシャー２
０Ａに固定されると共に、磁気ヘッドスライダ１０の信
号電極１２ａ〜１２ｄと、フレクシャー２０Ａの信号電
極２２ａ〜２２ｄとがそれぞれ電気的に接続され、図１
に示した磁気ヘッド装置１となる。

【００３２】このように本実施の形態においては、磁気
ヘッドスライダ１０と、フレクシャー２０Ａとをそれぞ
れ異方性導電樹脂３０で接着させるだけで、磁気ヘッド
スライダ１０をフレクシャー２０Ａに対して固定するこ
とができると同時に、磁気ヘッドスライダ１０側の信号
電極１２ａ〜１２ｄと、フレクシャー２０Ａ側の信号電
極２２ａ〜２２ｄとを電気的に接続させることができ
る。更に、磁気ヘッドスライダ１０において磁気ヘッド
素子１１の反対側（後部）に設けた接地用電極１３と、
フレクシャー２０Ａ側の接地電極２３とを同時に接続さ
せることもでき、これにより磁気ヘッド素子１１の静電
破壊防止用の接地がなされる。

【００３３】すなわち、本実施の形態では、磁気ヘッド
スライダ１０のフレクシャー２０Ａへの固着工程、並び
に磁気ヘッドスライダ１０側の信号電極１２ａ〜１２ｄ
および接地電極１３とフレクシャー２０Ａ側の信号電極
２２ａ〜２２ｄおよび接地電極２３との電気的接続工程
を、同時に、１の工程で行うことができる。すなわち、
前述した従来の製造工程における（２）および（４）の
工程が不要となり、磁気ヘッド装置１の製造工程の短縮
化を図ることができる。また、異方性導電樹脂３０によ
って電気的接続を行うため、従来のボンディング工程の
ように金（Ａｕ）を使用しなくて済む。従って、製造の
コストダウンも可能となる。しかも、ボンディング工程
が不要であるためフレクシャー２０Ａ等のサスペンショ
ンが変形することがなく、これによって浮上特性の歩留
りが向上する。

【００３４】図１０および図１１は、本実施の形態によ
る磁気ヘッド装置１と従来構造の磁気ヘッド装置それぞ
れについて磁気ヘッドスライダの浮上特性を調べた結果
を対比して表したものである。図中、特性Ａは本実施の
形態の装置による結果、特性Ｂは従来例の装置による結
果を示している。なお、図１０は磁気ディスクの測定領
域を内側、中心および外側の３つ領域に分けて、各領域
における浮上量の平均値を求めた結果、また、図１１は
同じく浮上量のばらつき値を求めた結果をそれぞれ表し
たものである。

【００３５】これらの結果によると、浮上量の平均値
（図１０）においては特に大きな差はないが、浮上量の
ばらつき値（図１１）では、各領域において従来品に比
べ本実施の形態の方が小さくなっており、安定した浮上
特性が得られていることが分かる。

【００３６】図１２〜図１４は各測定領域での浮上量分
布を比較して表したものである。図１２は磁気ディスク
の内側領域での結果、図１３は同じく中心領域での結
果、また図１４は同じく外側領域での結果をそれぞれ表
している。従来品による特性Ｂは各測定領域を見てもか
なりばらつきがあり、浮上量規格から外れているため歩
留りが低下するのに対して、本実施の形態による特性Ａ
は、各領域においてばらつきが小さく規格内に収まって
いるため、従来品に比べ改善されていることが分かる。

【００３７】このように本実施の形態による磁気ヘッド
装置１では、従来のものに比べて浮上特性が安定してお
り、歩留りが向上する。また、磁気ヘッドスライダ１０
では、接地用電極１３が後部側に設けられ、先端側の磁
気ヘッド素子１１から離れた位置にあるため、静電気が
発生した場合でも磁気ヘッド素子１１に影響を与えるこ
となく、フレクシャー２０Ａ側へ逃がすことができる。

【００３８】また、本実施の形態では、接着手段として
異方性の導電樹脂を用いるようにしたので、従来の異方
性導電膜（シート）のように予めフィルム状に形成され
たものを用いた場合に仮接着および本接着の２段階の接
着工程が必要であったのに対して、上述のように接着工
程は１回で済み、従って異方性導電シートを用いた場合
に比べてもリードタイムを短縮することができる。

【００３９】以上実施の形態を挙げて本発明を説明した
が、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく
種々変形可能である。例えば、上記実施の形態において
は、導電性樹脂３０を磁気ヘッドスライダ１０とフレク
シャー２０Ａとの対向面の全面に塗布し、全面で接着固
定させるようにしたが、電極１２ａ〜１２ｄ，２２ａ〜
２２ｄ等の各電極の大きさによっては、電極部分のみに
導電性樹脂３０を塗布することにより十分な強度をもっ
て磁気ヘッドスライダ１０とフレクシャー２０Ａとを接
着させることが可能である。また、スライダ支持体とし
てのサスペンション２０側の構造は上記実施の形態のも
のに限らず、他の構成のものでもよい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし請求
項９のいずれかに記載の磁気ヘッド装置によれば、異方
性導電樹脂により、磁気ヘッドスライダをスライダ支持
体に固定させると共に、磁気ヘッドスライダの第１の電
極とスライダ支持体の第２の電極とを電気的に接続させ
るようにしたので、磁気ヘッドスライダの浮上特性の歩
留りが向上すると共に、その製造工程が簡略化してリー
ドタイムを短縮することができるという効果を奏する。

【００４１】特に、請求項３記載の磁気ヘッド装置によ
れば、第１の電極および第２の電極をそれぞれ複数設け
ると共に、そのうちの少なくとも１組の電極を接地用電
極としたので、磁気ヘッド素子の静電破壊が防止され
る。

【００４２】また、請求項１０または請求項１１に記載
の磁気ヘッド装置の製造方法によれば、異方性導電樹脂
を塗布し硬化させることにより、磁気ヘッドスライダを
スライダ支持体に固定すると共に磁気ヘッドスライダの
第１の電極とスライダ支持体の第２の電極とを電気的に
接続させるようにしたので、浮上特性の向上した磁気ヘ
ッド装置を、簡略化された工程で製造することができ、
リードタイムを短縮することができるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド装置の
構成を表す斜視図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面構成を表す図
である。

【図３】図１に示した磁気ヘッド装置における磁気ヘッ
ドスライダ側のパターン構成図である。

【図４】図１に示した磁気ヘッド装置におけるフレクシ
ャー側のパターン構成図である。

【図５】図１に示した磁気ヘッド装置に用いる異方性導
電樹脂の機能を説明するための断面構成図である。

【図６】同じく異方性導電樹脂の機能を説明するための
他の断面構成図である。

【図７】等方性導電樹脂の機能を説明するための断面構
成図である。

【図８】異方性導電樹脂の膜厚と剥離強度との関係を表
す特性図である。

【図９】異方性導電樹脂の塗布面積と剥離強度との関係
を表す特性図である。

【図１０】図１の磁気ヘッド装置における磁気ヘッドス
ライダの浮上量の平均値を従来と比較して表す特性図で
ある。

【図１１】図１の磁気ヘッド装置における磁気ヘッドス
ライダの浮上量のばらつき量を従来と比較して表す特性
図である。

【図１２】図１の磁気ヘッド装置における磁気ヘッドス
ライダの浮上量の分布を従来と比較して表す特性図であ
る。

【図１３】同じく浮上量の分布を従来と比較して表す特
性図である。

【図１４】同じく浮上量の分布を従来と比較して表す特
性図である。

【図１５】従来の磁気ヘッド装置の構成を表す斜視図で
ある。

【図１６】図１５のＸＶ−ＸＶ線に沿った断面構成を表
す図である。

【符号の説明】

１…磁気ヘッド装置、１０…磁気ヘッドスライダ、１１
…磁気ヘッド素子、１２ａ〜１２ｄ…信号電極、１３…
接地用電極、２０…サスペンション（スライダ支持
体）、２０Ａ…フレクシャー、２０Ｂ…ロードビーム、
２２ａ〜２２ｄ…信号電極、２３…接地用電極、３０…
異方性導電樹脂

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッド素子および第１の電極を有す
る磁気ヘッドスライダと、第１の電極に対応して第２の
電極を有するスライダ支持体とを含む磁気ヘッド装置で
あって、異方性導電樹脂により、前記磁気ヘッドスライダが前記
スライダ支持体に固定されると共に、前記磁気ヘッドス
ライダの第１の電極と前記スライダ支持体の第２の電極
とが電気的に接続されたことを特徴とする磁気ヘッド装
置。
【請求項２】前記第１の電極が前記磁気ヘッドスライ
ダのスライダ支持体との対向面に複数設けられ、かつ、
前記第２の電極が前記スライダ支持体の磁気ヘッドスラ
イダとの対向面に複数設けられ、これら対向する複数の
電極間が異方性導電樹脂により電気的に接続されたこと
を特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】前記磁気ヘッドスライダおよびスライダ
支持体の複数の電極のうちの対向する少なくとも１組の
電極が接地用電極であることを特徴とする請求項２記載
の磁気ヘッド装置。
【請求項４】前記磁気ヘッドスライダにおいて、磁気
ヘッド素子が一方の端部位置に設けられると共に接地用
電極が他方の端部位置に設けられたことを特徴とする請
求項３記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】前記磁気ヘッド素子が磁気抵抗効果型ヘ
ッド素子であることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれか１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項６】前記異方性導電樹脂は、接着剤層に導電
性充填剤を含むものであることを特徴とする請求項１な
いし５のいずれか１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項７】前記異方性導電樹脂の接着剤層が熱硬化
性樹脂であることを特徴とする請求項１ないし６のいず
れか１に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項８】前記熱硬化性樹脂がアクリル樹脂である
ことを特徴とする請求項７記載の磁気ヘッド装置。
【請求項９】前記導電性充填剤が銀粉であることを特
徴とする請求項６または７記載の磁気ヘッド装置。
【請求項１０】磁気ヘッド素子および第１の電極を有
する磁気ヘッドスライダと、第１の電極に対応して第２
の電極を有するスライダ支持体とを含む磁気ヘッド装置
の製造方法であって、前記磁気ヘッド素子のスライダ支持体との対向面あるい
は前記スライダ支持体の前記磁気ヘッド素子との対向面
の少なくともいずれか一方に異方性導電樹脂を塗布した
後、スライダ支持体上に磁気ヘッド素子を載置する工程
と、前記異方性導電樹脂を硬化させることにより、磁気ヘッ
ドスライダをスライダ支持体に固定すると共に磁気ヘッ
ドスライダの第１の電極とスライダ支持体の第２の電極
とを電気的に接続させる工程とを含むことを特徴とする
磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項１１】前記第１の電極が前記磁気ヘッドスラ
イダのスライダ支持体との対向面に複数設けられ、か
つ、前記第２の電極が前記スライダ支持体の磁気ヘッド
スライダとの対向面に複数設けられ、これら対向する複
数の電極間を異方性導電樹脂により電気的に接続させる
ことを特徴とする請求項１０記載の磁気ヘッド装置の製
造方法。