JPH11152534A - タングステン板及びその製造方法 - Google Patents

タングステン板及びその製造方法

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JPH11152534A
JPH11152534A JP9315082A JP31508297A JPH11152534A JP H11152534 A JPH11152534 A JP H11152534A JP 9315082 A JP9315082 A JP 9315082A JP 31508297 A JP31508297 A JP 31508297A JP H11152534 A JPH11152534 A JP H11152534A
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JP
Japan
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tungsten
temperature
oxide
plate
tungsten plate
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JP9315082A
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Inventor
Kenichi Okamoto
謙一 岡本
Narimitsu Tanabe
成光 田辺
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Tokyo Tungsten Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Tungsten Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 技術的手法の難易および生産コストへの波及
など勘案し,酸化物分散効果による改善をThO2 に代
わる物質によって行い,高温強度の優れたタングステン
板とその製造方法とを提供すること。 【解決手段】 ランタン酸化物を0.4〜1.2質量
%,残部がタングステン及び不可避不純分からなるタン
グステン板であって,1000℃以上の加熱時におい
て,190MPaを越える引張強度を有し,1500℃
〜1700℃の温度範囲において,130MPaを越え
る引張強度を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は,タングステン板及
びその製造方法に関し,詳しくは,高温炉用反射板及び
炉用構造部材等に用いられるタングステン板及びその製
造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】高融点金属材料の特長は優れた耐熱性で
ある。高融点金属材料中でも,タングステン(W)は,
最高融点3380℃を有する金属であり,高温における
多用が期待されるものである。しかしながら,現行市販
されているタングステン板は純タングステンであり,次
の理由から使用の制限を受けている。その理由は,Wを
1100℃以上の高温下で使用すると再結晶粒成長を起
こし,圧延加工により形成された伸長した積層の繊維組
織が等軸状の球状組織に変貌し高温強度が低下してしま
うことである。また,この組織の変貌は,元々延性に乏
しい性質を更に脆性な材料へと変質させてしまい実用性
に欠く原因となっている。
【0003】そのような再結晶粒成長は,Wの本質的性
質であり,これを防止することは不可能であるが,粒成
長を少しでも抑制することによって高温強度が高く延性
を付与させたタングステン板の実現が可能となれば,W
の本来の特質が生かされた用途の展望が開かれると考え
る。
【0004】次に,純タングステン板の欠点について述
べる。純タングステン板は,再結晶開始温度が1100
℃である。保持時間との関連もあるが,1100℃から
再結晶粒成長が始まる。
【0005】また,Wに期待される実用温度は1700
℃以上である。Wに代用できる材料としては,モリブデ
ン(Mo)があるが,Moの融点は,2630℃とWに
比べて低いため,強度の低下が大きい。したがって,要
求強度が高い部材用途には使用できない。また,170
0℃における蒸気圧は,W(10-11 Torr)がMo
(10-7Torr)に比べ4桁以上小さく,消耗が少な
いため長寿命である。
【0006】さらに,再結晶開始と同時に組織が変化す
る。高温強度が維持されている組織であれば問題ない
が,組織変化により高温強度が低下し,かつ脆性材料へ
と変質する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】そこで,タングステン
板の高温特性の改善を進める方法が種々提案されてい
る。それらの改善方法は,次のように大別される。
【0008】(1)ThO2 などの酸化物分散効果によ
る改善; (2)HfCなどの炭化物析出効果による改善; (3)Nbなどの異種金属の合金固溶効果による改善;
等。
【0009】上記(2)の改善方法は,大きさがnmオ
ーダーの微細な炭化物を析出物間距離を小さくし,析出
物とWマトリックスの転位との相互作用によるものであ
る。炭化物を微細にドープ,析出させる方法としてメカ
ニカルアロイング(MA)法がある。
【0010】しかしながら,この(2)の方法では,タ
ングステン粒子も非常に微細になることにより活性とな
り空気との反応により着火,爆発の恐れのため取り扱い
が困難であり,タングステンの工業的生産手法としては
難がある。
【0011】一方,上記(3)の改善方法は,高融点金
属同士の固溶による強化を狙うものであるが,Nbは非
常に高価な金属であるため数%の添加を考えても,コス
トが高く商用規模の材料提供には非現実的であり,特殊
部材向けなどの限定的用途となる。
【0012】そこで,上記(1)の酸化物分散効果は,
タングステンの組織を高温下においても安定化せしめ,
再結晶温度を上昇させる働きがあるためと考えられる。
【0013】しかしながら,上記(1)の改善方法にお
いて,ThO2 は,放射性物質であるため,取扱いの法
規制や使用時の環境への飛散による汚染などの観点から
使用困難な物質である。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明者は,ThO2
代わる代替剤として,希土類元素のうちランタン酸化物
(La2 3 ,融点2300℃)を選定した。また,タ
ングステンの製法には粉末冶金法,溶解法の他,気相析
出法などがあるが,強度の高くなる製法は粉末冶金法と
言われており,粉末冶金法を基本技術に検討した。
【0015】一般的に,粉末冶金法による板作製は,タ
ングステン粉を成型焼結し平圧延による。この際,タン
グステン圧粉体は1800℃以上の高温において焼結さ
れることにより,分散させる酸化物は1800℃で分
解,解離などを起こさない安定な性質を要する。この点
La2 3 は焼結温度より500℃高い融点であり安定
と考えられ又,取り扱いも安全である。以上の観点か
ら,本発明を為すに至った。
【0016】即ち,本発明によれば,ランタン酸化物を
0.4〜1.2質量%,残部がタングステン及び不可避
不純分からなるタングステン板であって,1000℃以
上の加熱時において,190MPaを越える引張強度を
有し,1500℃〜1700℃の温度範囲において,1
30MPaを越える引張強度を有することを特徴とする
タングステン板が得られる。
【0017】また,本発明によれば,前記タングステン
板において,1500℃〜2000℃の温度範囲におけ
る加熱時におけるアスペクト比が3を越える結晶粒の割
合が,55%以上であることを特徴とするタングステン
板が得られる。
【0018】また,本発明によれば,前記いずれかに記
載のタングステン板において,製品加工前の素材段階に
おいて,予め,1500℃〜2000℃の温度範囲での
焼鈍処理を施されていることを特徴とするタングステン
板が得られる。
【0019】さらに,本発明によれば,前記タングステ
ン板を製造する方法であって,タングステンの青色酸化
物にランタン酸化物を0.5〜1.5質量%添加した
後,還元,焼結し圧延率93%以上で圧延することを特
徴とするタングステン板の製造方法が得られる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下,本発明の実施の形態につい
て説明する。
【0021】本発明では,タングステン板の高温強度向
上を図るため,ランタン酸化物分散効果による改善を狙
った。
【0022】粉末冶金法を基本技術にすえ,次の(i)
〜(iv) の項目の最適条件の検討を行った。(i)トリ
ア(ThO2 )を代替する分散酸化物の種類,(ii)ド
ープに適したタングステン酸化物の種類,(iii)高温強
度向上するランタン酸化物のドープ量の範囲,(iv)総
圧延率。
【0023】タングステン板中にドープ酸化物を均一微
細分散させるには,タングステン板製造工程の上流,即
ち,原料に近いほうが良い。安定なタングステン酸化物
として,三酸化タングステン(WO3 ),青色酸化物
(W4 11)がある。
【0024】本発明では,酸化物粒子表面に微細なクラ
ックが存在する青色酸化物がドープ元素量のコントロー
ルの点で優位であることが判った。
【0025】ドープ元素は高温強度向上に不可欠である
が,少なくてもその効果は発揮できず,多すぎると圧粉
体の焼結密度が不足し,後工程の熱間圧延が不可能とな
る欠点がある。
【0026】そこで,本発明においては,圧延用の焼結
素材を提供でき,強度向上させることが出来る範囲を選
定した。最少ドープ量はLa2 3 0.5質量%,最多
ドープ量はLa2 3 1.5質量%となった。その理由
は,La2 3 が1.5質量%を越えると,焼結密度が
低くなり,圧延できないからである。また,焼結素材の
厚さを基本とし,圧延により徐々に薄く延伸されたタン
グステン板に至る圧延量を下記数1式で示される総圧延
率としてとらえた。
【0027】
【数1】
【0028】高温強度の高い板材とするには,総圧延率
を大きくとり大きな加工歪を付与させることが必要であ
る。圧延により等軸状の焼結組織が伸長し,積層の繊維
組織に変貌するとともに強度などの特性が向上する。高
温におかれた場合,再結晶により,この繊維組織が再び
等軸状の球状組織に戻り,強度低下とともに脆弱となる
ため,圧延上りの素材板にいかに微細な繊維組織を形成
させるかは,重要な要因である。
【0029】本発明においては,93%以上の総圧延率
が適切と判った。
【0030】次に,本発明の実施の形態によるタングス
テン材料の作製方法と,材料評価方法の具体例を純タン
グステン材料と比較して述べる。
【0031】<材料作製方法>本発明の実施の形態によ
るタングステン材料は,粉末冶金法に拠り作製される。
平均粒径15μm,高純度の青色タングステン酸化物粉
(通称,代表的組成式W4 11,タングステン純度9
9.98%)を原料とし,これに所定量のランタン酸化
物(La2 3 )を分散含有させた。酸化物を数十質量
ppmから数質量%の範囲で微量均一分散させるために
温式法を用いた。まず,ランタン酸化物を試薬特級の硝
酸にて溶解後,エチルアルコールにて希釈し,La2
3 濃度10g/lのドープ用原液を作製する。磁器製蒸
発皿に,1lのエチルアルコールを計量注入し,さらに
目的ドープ量に見合うドープ用原液をメスビュレットに
て計量注入した蒸発皿の中に,予め秤量した青色酸化物
(酸素量19.4%)5,000gを投入し,スラリー
状になるまで十分撹拌する。この蒸発皿を乾燥器の上に
乗せ,約100℃に加熱しながら撹拌を続け,アルコー
ル臭が無くなるまで乾燥した後冷却する。元の状態に戻
った青色酸化物は,ランタン酸化物を微量分散させたタ
ングステン酸化物となる。タングステン酸化物5,00
0gに対するドープ原液の投入量によりドープタングス
テン酸化物中のランタン酸化物の濃度は下記表1に示す
ように調整できる。
【0032】
【表1】
【0033】ドープタングステン酸化物を850℃の水
素還元炉中にて還元し,ドープタングステン粉を得る。
このドープタングステン粉の平均粒径は2.50μm,
タングステン純度99.95%であり,ランタン酸化物
濃度はドープタングステン酸化物状態と同一濃度であ
る。
【0034】得られたドープタングステン粉をラバーバ
ッグに充填,密閉後真空引きし,静水圧プレス機により
成型した。成型圧力は3ton/cm2 とした。この成
型体を1800℃の水素焼結炉中で30時間焼結し,1
質量%ドープタングステンで理論密度比93%の高密焼
結体を得た。下記表2にドープ量による焼結密度差を示
す。
【0035】
【表2】
【0036】焼結体の寸法は厚さ15mm,幅60m
m,長さ100mmである。焼結体中のランタン酸化物
濃度は,ドープタングステン酸化物濃度比約80%に減
少していた。焼結体中のランタン酸化物は,タングステ
ン焼結粒の粒界および粒内に平均粒径サブミクロンない
し1μmの粒状に分布,存在していた。
【0037】この焼結体を次の手順で熱間圧延し,最終
板厚1mm(総圧延率93%)に仕上げた。熱間圧延の
初期段階では加熱温度1300℃〜1500℃,圧延パ
ス当りの圧延率を15〜30%とした。圧延終期では加
熱温度800℃〜1000℃,圧延率を10〜25%と
し板厚1mm×幅70mm×長さ600mm(圧延作業
に支障のため中間で長手方向半分に切断)の表面が酸化
物で覆われた圧延板を得た。この圧延板を水素中,12
00℃,30分の歪取焼鈍処理の後,酸洗化学処理によ
り洗浄し金属光択面の板となし,引っ張り試験用素材に
使用した。
【0038】引張試験片の作製には,放電ワイヤ加工機
を用いた。その試験片は全長60mm,平行部長さ30
mm,幅4mmとし,平行部は1500番のエメリー紙
で最終研摩し切断時の変質層を除去した。
【0039】一方,比較材の純W材料の作製はドープ工
程を除き同じプロセスを踏襲して実施した。
【0040】本発明材と比較材との両試験片に,真空中
1500℃,1時間の焼鈍処理を行った後,引張試験に
供した。高温引張試験は,窒素雰囲気中,ひずみ速度5
×10-4-1で行った。
【0041】図1は1000℃から1700℃の高温域
における本発明材(1質量%ドープ材)と比較材の引張
強度と温度の関係を示す図である。図1に示すように,
試験を行った全ての温度域において,本発明材の高温強
度が,比較材の2倍以上の高温強度を示した。尚,1質
量%の他のドープ量の板材の強度の例を下記表3に示
す。
【0042】
【表3】
【0043】ランタン酸化物ドープ量が0.5〜1.5
質量であった圧延板において,純タングステン材を上回
る高温強度を有する。このような強度向上と高温再結晶
粒の関係を調べるため,再結晶粒のアスペクト比分布に
着目し,本発明材と比較材とについて夫々調べた。その
結果,図2に示すように,1500℃,1時間焼鈍した
本発明材の再結晶粒のアスペクト比が3を越える割合が
60%以上であるのに対し,比較材は,1〜3%であ
り,ほぼ球形に近いことがうかがえる。
【0044】また,総圧延率が及ぼすアスペクト比分布
への影響について,調べた結果,総圧延率が88%の圧
延板(板厚1.8mm)の再結晶粒のアスペクト比が3
を越える割合は,40%と少なく,高温強度向上への寄
与が小さかった。総圧延率が93%以上の再結晶圧延板
に,高温強度向上に影響を及ぼすアスペクト比の大きな
積層構造組織の出現が認められた。
【0045】このように,本発明材は高温下で熱処理後
も積層構造が維持され高温強度向上に寄与していること
が判る。さらに,図3に示すように,2000℃,30
時間の焼鈍材料についても,引張強度を調べたところ,
本発明材は純Wよりも1.5倍以上の高温強度を示し
た。この焼鈍材の再結晶粒のアスペクト比を測定した結
果,純Wが殆んどアスペクト比1に対し,発明材は10
のアスペクト比を越す粒の割合が55%以上であり,依
然積層構造が存在していた。
【0046】また,再結晶粒のアスペクト分布形成の焼
鈍温度の影響について調べた結果,総圧延率93%の再
結晶圧延板の3を越えるアスペクト比の割合が55%以
上であるのに対し,総圧延率91%(板厚1.3mm)
の再結晶圧延板の3を越えるアスペクト比の割合は,4
5%と低く,高温強度向上への寄与は小さかった。再結
晶圧延板にアスペクト比3を越える積層構造を形成させ
るには,純タングステンの再結晶温度(1100℃)を
越える1500℃以上2000℃以下の焼鈍温度が好ま
しく,総圧延率は93%以上が必要である。
【0047】
【発明の効果】以上,説明したように,本発明によれ
ば,ランタン酸化物を均一分散させることによって,純
Wに比べ,例えば,1.5倍以上の高温強度を有する新
規なタングステン板及びその製造方法を提供することが
できる。
【0048】また,本発明によれば,ThO2 に代わる
ランタン酸化物により,ThO2 のもつ酸化物分散効果
をより具体的に発現するタングステン板及びその製造方
法を提供することができる。
【0049】更に,本発明に用いたランタン酸化物は,
ThO2 に比べ取り扱いが容易で放射能汚染も全く無
く,無公害の品質改良材である。従って,本発明によれ
ば,La2 3 のドープ技術,当該ドープ焼結体の圧延
技術は,量産指向の高いものであり,工業化も容易であ
るタングステン板及びその製造方法を提供することがで
きる。
【0050】また,本発明によるタングステン板は,優
れた高温強度を生かし,高温加熱炉用反射板,炉用構造
部材等の耐高温脆性,耐高温変形性が要求される用途に
最適である。
【0051】さらに,本発明のタングステン板は,優れ
た高温強度を有するので,高熱負荷や,高エネルギーが
入力される高輝度電極の耐垂下性,耐消耗性,耐熱変形
性も改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による焼鈍材における引張
強度と温度との関係を示す図であり,併せて比較材とし
て純Wの焼鈍材も示している。
【図2】(a)及び(b)は1773K/1時間焼鈍材
の結晶粒のアスペクト比の分布を示す図であり,(a)
は比較材,(b)は本発明材を夫々示している。
【図3】本発明の実施の形態による焼鈍材における引張
強度と温度との関係を示す図であり,併せて比較材とし
て純Wの焼鈍材も示している。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C22F 1/00 628 C22F 1/00 628 650 650 682 682 683 683 687 687 691 691B 694 694A

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ランタン酸化物を0.4〜1.2質量
    %,残部がタングステン及び不可避不純分からなるタン
    グステン板であって,1000℃以上の加熱時におい
    て,190MPaを越える引張強度を有し,1500℃
    〜1700℃の温度範囲において,130MPaを越え
    る引張強度を有することを特徴とするタングステン板。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のタングステン板におい
    て,1500℃〜2000℃の温度範囲における加熱時
    におけるアスペクト比が3を越える結晶粒の割合が,5
    5%以上であることを特徴とするタングステン板。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載のタングステン板に
    おいて,製品加工前の素材段階において,予め,150
    0℃〜2000℃の温度範囲での焼鈍処理を施されてい
    ることを特徴とするタングステン板。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のタングステン板を製造す
    る方法であって,タングステンの青色酸化物にランタン
    酸化物を0.5〜1.5質量%添加した後,還元,焼結
    し圧延率93%以上で圧延することを特徴とするタング
    ステン板の製造方法。
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