JPH11151650A - 球面形状部品の加工装置及び加工方法 - Google Patents

球面形状部品の加工装置及び加工方法

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JPH11151650A
JPH11151650A JP9317452A JP31745297A JPH11151650A JP H11151650 A JPH11151650 A JP H11151650A JP 9317452 A JP9317452 A JP 9317452A JP 31745297 A JP31745297 A JP 31745297A JP H11151650 A JPH11151650 A JP H11151650A
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spherical
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Kazuya Sawaguchi
一也 沢口
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Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】熟練を要することなく、安定して一定の曲率半
径の球面レンズを連続して加工することができる球面形
状部品の加工装置を提供する。 【解決手段】被加工材料4に形成しようとする球面形状
と凹凸が反転した球面形状を有する総型研磨工具1と、
総型研磨工具1をその軸心まわりに回転させるためのモ
ータ19と、総型研磨工具1に対して被加工材料4を接
触させた状態で揺動させるための揺動機構11と、揺動
機構11の移動量を検出するエンコーダ22と、エンコ
ーダ22により検出された移動量に基づいて、被加工材
料4の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも
1つを算出する演算装置26と、演算装置26の演算結
果を表示する表示器27とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スチルカメラ、ビ
デオカメラ等に用いられる球面レンズをはじめとする球
面形状の部品を加工する方法および装置の改良に関する
もので、特に加工する部品の球面部分に対して、その形
状と凹凸が反転した球面形状を有する総型工具を押し付
け、総型工具の回転による総型工具と被加工材料の相対
運動と、被加工材料の球面の接線方向への揺動運動によ
り被加工材料を加工するための球面形状部品の加工装置
及び加工方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、球面状の被加工材料(レンズ)を
総型砥石で加工する装置としては、図10に示すような
傾斜軸タイプの加工機、図11に示すような垂直軸タイ
プの加工機、図12、図13に示すような横揺動タイプ
の加工機、図14、図15に示すような球心揺動タイプ
の加工機をはじめ、様々な種類の加工機が知られてい
る。
【0003】これらの加工機は、いずれも「総型工具の
回転と被加工材料の連れ回りによる相対運動」、「被加
工材料の総型工具に対する加圧力」、「場合により総型
工具の接線方向への、被加工材料または工具の揺動運
動」によって加工され、被加工材料が工具形状を凹凸反
転した球面に加工される。
【0004】上記の傾斜軸タイプの加工機、垂直軸タイ
プの加工機、横揺動タイプの加工機で、総型砥石により
球面を加工するときに、カンザシの位置や長さおよびカ
ンザシアームの長さを設定する場合、また傾斜軸タイプ
の加工機で球面形状を加工するときに、工具軸の傾斜角
度を設定する場合には、特開平3−117550号公報
(特公平6−61691号)に示されているように、球
面レンズの製造途中で加工が終了した加工球面の曲率半
径を測定し、前回加工した加工球面の曲率半径の測定値
と対比して曲率半径の変化値を求め、工具と被加工材料
との相対位置を修正する、あるいは特開平3−1175
50号公報の従来例で述べられているように、熟練者の
勘に頼って作業が行われているのが通例であった。
【0005】さらに継続的に加工を進める場合も、工具
摩耗による工具高さの変化によって被加工材料と工具と
の位置関係が変化するため、常に製造途中で加工終了し
た加工球面の曲率半径を測定し、前回加工した加工球面
の曲率半径の測定値と対比して曲率半径の変化値を求
め、工具と被加工材料との相対位置を修正するという熟
練者の勘に頼る作業が必要であった。。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年、
光学部品等においては、より小型で高精度な球面形状が
必要とされてきており、加工装置のセッティングにも高
い精度が要求されてきている。特に揺動位置について
は、小型光学部品の場合、直進揺動位置で数μm(工具
と被加工材料との相対角度で0・1°以下)の精度が必
要となるのに対し、総型工具と被加工材料との相対位置
の管理には各機構部材に付けられている目盛りが用いら
れており、作業者はそれを見ながら勘に頼って調整せざ
るをえなかった。
【0007】特に図7、図8、図9に示す装置で揺動運
動の管理を行おうとすると揺動幅はネジ112,16
2,413の偏心量で調整し、揺動位置はリンク11
0,160,409の長さで調整するしかなく、位置を
見るための目盛り122,172も金尺などの簡易的な
ものが付いているだけのことが多く、調整量もネジ等に
目盛りを付けただけであったため高精度に読むことはで
きなかった。ましてや、揺動中の揺動中心の正確な位置
や総型工具と被加工材料との相対角度の検出はほとんど
不可能であった。
【0008】そのため、上記の従来例では順次多数の球
面形状部品を加工する場合、生産途中で個々の加工済み
の部品の曲率半径の測定を行い、さらにその結果により
工具と被加工材料との相対位置を試行錯誤により修正し
なくてはならないが、作業をしてみると相対位置を実際
に動かした量が正確にわからないため、作業は熟練を要
し、経験の浅いものには非常に困難で時間のかかる作業
であったうえ、同じ条件を再現しにくいという欠点があ
った。そのため、製造コストを下げられない原因となっ
ていた。
【0009】したがって、本発明は上述した課題に鑑み
てなされたものであり、その目的は、熟練を要すること
なく、安定して一定の曲率半径の球面レンズを連続して
加工することができる球面形状部品の加工装置及び加工
方法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わる球面形状部品の
加工装置は、被加工材料に形成しようとする球面形状と
凹凸が反転した球面形状を有する総型研磨工具と、該総
型研磨工具をその軸心まわりに回転させるための回転手
段と、前記総型研磨工具に対して前記被加工材料を接触
させた状態で揺動させるための揺動機構と、該揺動機構
の移動量を検出する検出手段と、該検出手段により検出
された移動量に基づいて、前記被加工材料の揺動中心位
置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算出する演
算手段と、該演算手段の演算結果を表示する表示手段と
を具備することを特徴としている。
【0011】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記演算手段は、前記揺動機構の水平
位置の検出結果と予め測定しておいた揺動機構各部の寸
法データとに基づいて、前記被加工材料の揺動中心の位
置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算出するこ
とを特徴としている。
【0012】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記演算手段は、前記揺動機構の水平
直線移動距離の検出結果と予め測定しておいた揺動機構
各部の寸法データとに基づいて、前記被加工材料の揺動
中心の位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算
出することを特徴としている。
【0013】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記演算手段は、前記揺動機構の水平
回動角度の検出結果と予め測定しておいた揺動機構各部
の寸法データとに基づいて、揺動中心位置、揺動運動の
幅のうちの少なくとも1つを算出することを特徴として
いる。
【0014】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記揺動機構は、前記被加工材料を揺
動可能に係止するための係止部材と、該係止部材が固定
されたリニアスライドと、該リニアスライドを直進移動
させるためのリンク機構と、該リンク機構を駆動するた
めのモータとを備えることを特徴としている。
【0015】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記検出手段は、前記リニアスライド
の直進移動量を検出するためのリニアエンコーダを備え
ることを特徴としている。
【0016】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記揺動機構は、前記被加工材料を揺
動可能に係止するための係止部材と、該係止部材が固定
された回動アームと、該回動アームを回動可能に支持す
る支持手段と、前記回動アームを回動させるためのリン
ク機構と、該リンク機構を駆動するためのモータとを備
えることを特徴としている。
【0017】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工装置において、前記検出手段は、前記回動アームの回
動角度を検出するためのロータリーエンコーダを備える
ことを特徴としている。
【0018】また、本発明に係わる球面形状部品の加工
方法は、被加工材料に形成しようとする球面形状と凹凸
が反転した球面形状を有する総型研磨工具をその軸心ま
わりに回転させるための回転工程と、前記総型研磨工具
に対して前記被加工材料を接触させた状態で揺動させる
ための揺動工程と、該揺動機構の移動量を検出する検出
工程と、該検出工程において検出された移動量に基づい
て、前記被加工材料の揺動中心位置、揺動運動の幅のう
ちの少なくとも1つを算出する演算工程と、該演算工程
において算出された演算結果を表示する表示工程とを具
備することを特徴としている。
【0019】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工方法において、前記演算工程では、前記揺動工程を行
う揺動機構の水平位置の検出結果と予め測定しておいた
揺動機構各部の寸法データとに基づいて、前記被加工材
料の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1
つを算出することを特徴としている。
【0020】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工方法において、前記演算工程では、前記揺動工程を行
う揺動機構の水平直線移動距離の検出結果と予め測定し
ておいた揺動機構各部の寸法データとに基づいて、揺動
中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算出
することを特徴としている。
【0021】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工方法において、前記演算工程では、前記揺動工程を行
う揺動機構の水平回動角度の検出結果と予め測定してお
いた揺動機構各部の寸法データとに基づいて、前記被加
工材料の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくと
も1つを算出することを特徴としている。
【0022】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工方法において、前記揺動工程を行う揺動機構は、前記
被加工材料を揺動可能に係止するための係止部材と、該
係止部材が固定されたリニアスライドと、該リニアスラ
イドを直進移動させるためのリンク機構と、該リンク機
構を駆動するためのモータとを備え、前記検出工程で
は、前記リニアスライドの直進移動量をリニアエンコー
ダにより検出することを特徴としている。
【0023】また、この発明に係わる球面形状部品の加
工方法において、前記揺動工程を行う揺動機構は、前記
被加工材料を揺動可能に係止するための係止部材と、該
係止部材が固定された回動アームと、該回動アームを回
動可能に支持する支持手段と、前記回動アームを回動さ
せるためのリンク機構と、該リンク機構を駆動するため
のモータとを備え、前記検出工程では、前記回動アーム
の回動角度をロータリーエンコーダにより検出すること
を特徴としている。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて、添付図面を参照して詳細に説明する。
【0025】(第1の実施形態)図1は、本発明の第1
の実施形態に係わる球面形状部品の加工装置の概略構成
を示した図であり、図2は、その平面図である。また、
図3は、図1に示したカンザシ2の付近の部分拡大図で
ある。
【0026】図1、図2および図3において、被加工材
料4はホルダ5に保持され、カンザシ2により揺動可能
に研磨砥石からなる総型工具1に押し付けられている。
カンザシ2は、カンザシホルダ6、ブロック7を介して
カンザシアーム3に取り付けられている。カンザシアー
ム3は、揺動プレート11上のヒンジ8の中心軸3aの
まわりに回転可能に支持されており、図示されていない
シリンダやばね、おもり等による荷重を被加工材料4に
伝える。
【0027】一方、揺動機構は、揺動モータ18により
回転する回転軸17に軸受24を介して偏心して取り付
けられた偏心ブロック16の運動をリンク13、ナット
12、ブラケット10、軸受9を介して揺動プレート1
1に伝達し、揺動プレート11を図2に矢印Aで示す方
向に揺動運動させる。
【0028】総型工具1は、軸20を介してモータ19
により回転可能に支持されており、モータ19は、図示
されていない傾斜支持部により被加工材料4の中心軸に
対して角度θ0だけ傾斜して支持されている。
【0029】カンザシ2は、揺動プレート11と共に矢
印Bで示す方向に揺動する。
【0030】ここで揺動位置の検出器として、架台14
上にリニアスケール22をホルダ21を介して取り付
け、プローブ22aを揺動プレート11に取り付けられ
たターゲット23に突き当てる。リニアスケール22の
出力は、I/Oボード25を介してコンピュータやシー
ケンサ等からなるCPU26に取り込まれる。
【0031】スタートボタン32を押すと、モータ19
および揺動モータ18が回転し、回転した総型工具1上
で被加工材料4が揺動しながら、かつ総型工具1につら
れて回転し研磨加工が始まる。この間、リニアスケール
22は揺動プレート11の位置を検出しデータをCPU
26へと送る。CPU26内では逐次データをRAM2
8に書き込んだり呼び出したりして比較し、揺動1周期
または半周期毎に揺動プレート11の移動位置の最大
(図2において揺動プレート11がもっとも左側に移動
した位置)と最小(図2において揺動プレート11がも
っとも右側に移動した位置)を求め、揺動振幅の中心位
置(前記した最大と最小の平均値)や揺動幅(前記した
最大と最小の差)を算出する。
【0032】さらに、図3のようにカンザシ2と中心軸
3aとの間の距離Lを始め、カンザシ2の先端と中心軸
3aとの垂直距離H、ホルダ5のカンザシ突き当て部と
被加工材料4の中央との距離T、総型工具1の曲率半径
R等と揺動プレート11の移動量Sから、幾何学的にθ
1(総型工具1の中心線と被加工材料4の中心線のなす
角度)を求める。これらの計算を逐次CPU26に行わ
せ表示させることにより、加工中の揺動プレート11の
位置の平均値(揺動振幅の中心)はもちろん揺動時の被
加工材料4と総型工具1との相対角度の揺動幅や中心値
も随時確認することができる上、相対角θ1の軌跡等を
表示させることも可能である。
【0033】図4に、上記の揺動幅の中心値及び揺動幅
を求める方法のフローチャートを示す。また、図5及び
図6に図4における端末処理のステップの詳しい手順の
フローチャートを示す。
【0034】なお、図のリニアスケール22はプローブ
タイプ(プライジャタイプ)のものを使用しているが、
スライドタイプ等のようなものでもよいことはもちろん
である。
【0035】(第2の実施形態)図7は、本発明の第2
の実施形態に係わる球面形状部品の加工装置の概略構成
を示した図であり、図8は、その平面図である。また、
図9は、図7に示したカンザシ1002の付近の部分拡
大図である。
【0036】図7、図8、及び図9において、被加工材
料1004はホルダ1005に保持され、カンザシ10
02により総型工具1001に押し付けられている。カ
ンザシ1002は、カンザシホルダ1006、ブロック
1007を介してカンザシアーム1003に取り付けら
れており、図示されていないシリンダやばね、おもり等
による荷重を被加工材料1004に伝える。
【0037】カンザシアーム1003は、軸受ユニット
1013により水平方向に回動可能に支持されたピボッ
ト軸1012上のヒンジ1008に中心軸1003aを
中心に回動可能に支持されて取り付けられており、アー
ム1011を介して揺動機構に接続されている。
【0038】一方、揺動機構は、揺動モータ1017、
回転軸1016と偏心軸1015により回転運動を揺動
運動に変換して、リンク1010、軸受1009により
アーム1011を水平方向に揺動運動させる。偏心軸1
015は回転軸1016に半径方向にスライド可能に取
り付けられており、それによって揺動幅を調整するのは
従来通りである。このような構成により、アーム101
1は、軸受けユニット1013の中心軸O(ピボット軸
1012の中心軸)を中心に水平面内で矢印Cで示す方
向に揺動し、カンザシ1002は矢印Dで示す方向に揺
動する。
【0039】総型工具1001は図示されていない支持
部に、モータ1018、シャフト1019を介して回転
可能に支持されている。
【0040】カンザシ1002は、既に述べたようにア
ーム1011と共に矢印Dで示す方向に揺動運動を行
う。
【0041】ここで、ロータリーエンコーダ1028を
ピボット軸1012に取り付け、アーム1011の回動
角度位置を検出し、その検出信号をI/Oボード102
0を介してCPU1021に取り込む。
【0042】スタートボタン1027により加工を開始
すると、モータ1018および揺動モータ1017が回
転し、回転した総型工具1001上で被加工材料100
4が総型工具1001上を揺動しながら、かつ回転する
総型工具1001につられて回転し研磨加工が始まる。
【0043】このとき、被加工材料1004の中心軸と
総型工具1001の中心軸とのなす相対角度θ(図9参
照)は揺動位置により変化する。そしてその相対角度θ
は、初期設定値(例えば、カンザシ1002の中心と総
型工具1001の中心およびピボット軸1012の中心
が一直線上にある時の各軸間距離等)と中心軸1003
aとカンザシ1002との水平距離l、中心軸1003
aとカンザシ1002の先端との垂直距離h、総型工具
1001の曲率半径r、被加工材料1004とホルダ1
005の厚さt等が既知であればピボット軸1012の
回転角度から幾何学的に算出することが可能である。
【0044】すなわち、ロータリーエンコーダ1028
はアーム1011(ピボット軸1012)の回動角度位
置を検出しデータをCPU1021へと送る。CPU1
021内では逐次データをRAM1023に書き込んだ
り読み出したりして比較し、揺動1周期または半周期毎
にアーム1011の回動角度位置の最大(図8において
カンザシ1002がもっとも上側に回動した位置)と最
小(図8においてカンザシ1002がもっとも下側に回
動した位置)を求め、ピボット軸1012の振幅の中心
位置(前記した最大と最小の平均値)や揺動幅(前記し
た最大と最小の差)を算出するとともに、被加工材料1
004の中心軸と総型工具1001の中心軸とのなす相
対角度θの揺動幅や中心値等も算出し、第1の実施形態
と同様、それら各データを表示器1022に表示させ
る。
【0045】これにより、加工中のカンザシアーム10
03の揺動角度位置の平均値や揺動幅の他、被加工材料
1004の中心軸と総型工具1001の中心軸とのなす
相対角度θの揺動幅や中心値等も随時確認することがで
きる上、相対角度θの軌跡などを表示させることも可能
である。
【0046】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、被加工材料の揺動運動を正確にモニターできるた
め、目的とした調整量を実現できたかいなかを即座に確
認することができ、熟練者でなくとも装置の調整を容易
に行うことができる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば加
工装置の加工中の揺動運動を正確にモニターできるた
め、目的とした調整量を実現できたかをすぐに確認する
ことができる。
【0048】また、加工中の被加工材料と総型工具との
相対角度を見ることができるため、最適加工条件の管理
や設定も相対角度で行うことも可能となった。
【0049】特に、加工結果と加工条件との対比が確実
に行えるため、従来の熟練作業による試行錯誤から数値
管理による加工への移行が可能となり、より高精度な球
面形状部品の加工が可能となる。
【0050】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係わる球面形状部品
の加工装置の概略構成を示した図である。
【図2】図1の平面図である。
【図3】図1の部分拡大図である。
【図4】揺動幅の中心値及び揺動幅を求める方法を示し
たフローチャートである。
【図5】揺動幅の中心値及び揺動幅を求める方法を示し
たフローチャートである。
【図6】揺動幅の中心値及び揺動幅を求める方法を示し
たフローチャートである。
【図7】本発明の第2の実施形態に係わる球面形状部品
の加工装置の概略構成を示した図である。
【図8】図7の平面図である。
【図9】図7の部分拡大図である。
【図10】傾斜軸タイプの加工機を示した図である。
【図11】垂直軸タイプの加工機を示した図である。
【図12】横揺動タイプの加工機を示した図である。
【図13】横揺動タイプの加工機を示した図である。
【図14】球心揺動タイプの加工機を示した図である。
【図15】球心揺動タイプの加工機を示した図である。
【符号の説明】
1 総型工具 2 カンザシ 3 カンザシアーム 4 被加工材料 5 ホルダー 6 カンザシホルダー 7 ブロック 8 ヒンジ 9 軸受 10 ブラケット 11 揺動プレート 12 ナット 13 リンク 14 架台 15 直進スライド 16 ブロック 17 揺動軸 18 揺動モータ 19 モータ 21 ホルダ 22 リニアスケール 23 ターゲット 25 I/Oボード 26 CPU 27 表示器 28 RAM 29 ROM 30 ドライバ 31 電装ボックス 32 起動ボタン

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被加工材料に形成しようとする球面形状
    と凹凸が反転した球面形状を有する総型研磨工具と、 該総型研磨工具をその軸心まわりに回転させるための回
    転手段と、 前記総型研磨工具に対して前記被加工材料を接触させた
    状態で揺動させるための揺動機構と、 該揺動機構の移動量を検出する検出手段と、 該検出手段により検出された移動量に基づいて、前記被
    加工材料の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少なく
    とも1つを算出する演算手段と、 該演算手段の演算結果を表示する表示手段とを具備する
    ことを特徴とする球面形状部品の加工装置。
  2. 【請求項2】 前記演算手段は、前記揺動機構の水平位
    置の検出結果と予め測定しておいた揺動機構各部の寸法
    データとに基づいて、前記被加工材料の揺動中心の位
    置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算出するこ
    とを特徴とする請求項1に記載の球面形状部品の加工装
    置。
  3. 【請求項3】 前記演算手段は、前記揺動機構の水平直
    線移動距離の検出結果と予め測定しておいた揺動機構各
    部の寸法データとに基づいて、前記被加工材料の揺動中
    心の位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算出
    することを特徴とする請求項2に記載の球面形状部品の
    加工装置。
  4. 【請求項4】 前記演算手段は、前記揺動機構の水平回
    動角度の検出結果と予め測定しておいた揺動機構各部の
    寸法データとに基づいて、揺動中心位置、揺動運動の幅
    のうちの少なくとも1つを算出することを特徴とする請
    求項1に記載の球面形状部品の加工装置。
  5. 【請求項5】 前記揺動機構は、前記被加工材料を揺動
    可能に係止するための係止部材と、 該係止部材が固定されたリニアスライドと、 該リニアスライドを直進移動させるためのリンク機構
    と、 該リンク機構を駆動するためのモータとを備えることを
    特徴とする請求項1に記載の球面形状部品の加工装置。
  6. 【請求項6】 前記検出手段は、前記リニアスライドの
    直進移動量を検出するためのリニアエンコーダを備える
    ことを特徴とする請求項5に記載の球面形状部品の加工
    装置。
  7. 【請求項7】 前記揺動機構は、前記被加工材料を揺動
    可能に係止するための係止部材と、 該係止部材が固定された回動アームと、 該回動アームを回動可能に支持する支持手段と、 前記回動アームを回動させるためのリンク機構と、 該リンク機構を駆動するためのモータとを備えることを
    特徴とする請求項1に記載の球面形状部品の加工装置。
  8. 【請求項8】 前記検出手段は、前記回動アームの回動
    角度を検出するためのロータリーエンコーダを備えるこ
    とを特徴とする請求項7に記載の球面形状部品の加工装
    置。
  9. 【請求項9】 被加工材料に形成しようとする球面形状
    と凹凸が反転した球面形状を有する総型研磨工具をその
    軸心まわりに回転させるための回転工程と、 前記総型研磨工具に対して前記被加工材料を接触させた
    状態で揺動させるための揺動工程と、 該揺動機構の移動量を検出する検出工程と、 該検出工程において検出された移動量に基づいて、前記
    被加工材料の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少な
    くとも1つを算出する演算工程と、 該演算工程において算出された演算結果を表示する表示
    工程とを具備することを特徴とする球面形状部品の加工
    方法。
  10. 【請求項10】 前記演算工程では、前記揺動工程を行
    う揺動機構の水平位置の検出結果と予め測定しておいた
    揺動機構各部の寸法データとに基づいて、前記被加工材
    料の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1
    つを算出することを特徴とする請求項9に記載の球面形
    状部品の加工方法。
  11. 【請求項11】 前記演算工程では、前記揺動工程を行
    う揺動機構の水平直線移動距離の検出結果と予め測定し
    ておいた揺動機構各部の寸法データとに基づいて、揺動
    中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくとも1つを算出
    することを特徴とする請求項10に記載の球面形状部品
    の加工方法。
  12. 【請求項12】 前記演算工程では、前記揺動工程を行
    う揺動機構の水平回動角度の検出結果と予め測定してお
    いた揺動機構各部の寸法データとに基づいて、前記被加
    工材料の揺動中心位置、揺動運動の幅のうちの少なくと
    も1つを算出することを特徴とする請求項9に記載の球
    面形状部品の加工方法。
  13. 【請求項13】 前記揺動工程を行う揺動機構は、前記
    被加工材料を揺動可能に係止するための係止部材と、該
    係止部材が固定されたリニアスライドと、該リニアスラ
    イドを直進移動させるためのリンク機構と、該リンク機
    構を駆動するためのモータとを備え、前記検出工程で
    は、前記リニアスライドの直進移動量をリニアエンコー
    ダにより検出することを特徴とする請求項9に記載の球
    面形状部品の加工方法。
  14. 【請求項14】 前記揺動工程を行う揺動機構は、前記
    被加工材料を揺動可能に係止するための係止部材と、該
    係止部材が固定された回動アームと、該回動アームを回
    動可能に支持する支持手段と、前記回動アームを回動さ
    せるためのリンク機構と、該リンク機構を駆動するため
    のモータとを備え、前記検出工程では、前記回動アーム
    の回動角度をロータリーエンコーダにより検出すること
    を特徴とする請求項9に記載の球面形状部品の加工方
    法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105598785A (zh) * 2015-10-14 2016-05-25 中国人民解放军国防科学技术大学 一种复合随机振动的小口径抛光装置

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