JPH11149052A - 走査装置 - Google Patents
走査装置Info
- Publication number
- JPH11149052A JPH11149052A JP31489497A JP31489497A JPH11149052A JP H11149052 A JPH11149052 A JP H11149052A JP 31489497 A JP31489497 A JP 31489497A JP 31489497 A JP31489497 A JP 31489497A JP H11149052 A JPH11149052 A JP H11149052A
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- Japan
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- measured
- scanning
- lens
- substrate
- angle prism
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定物を移動することなく被測定物に対し
て２次元的に走査することができ、かつ装置を小型化で
きる走査装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光源１と、レーザ光を平行光束に
するコリメートレンズ系２と、平行光束をＸ方向に偏向
させるガルバノミラー３などの偏向手段と、偏向手段に
て偏向された平行光束が入射され、被測定物である基板
８までの焦点距離が変わらずに被測定物を走査するよう
に集光して出射するｆθレンズ４と、ｆθレンズ４から
基板８までの光路長さを変化させずに、偏向手段による
走査方向に対して直交するＹ方向にその移動に応じて基
板８への照射位置を変化させる一対の反射面を有する直
角プリズム７とを備えている。
て２次元的に走査することができ、かつ装置を小型化で
きる走査装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光源１と、レーザ光を平行光束に
するコリメートレンズ系２と、平行光束をＸ方向に偏向
させるガルバノミラー３などの偏向手段と、偏向手段に
て偏向された平行光束が入射され、被測定物である基板
８までの焦点距離が変わらずに被測定物を走査するよう
に集光して出射するｆθレンズ４と、ｆθレンズ４から
基板８までの光路長さを変化させずに、偏向手段による
走査方向に対して直交するＹ方向にその移動に応じて基
板８への照射位置を変化させる一対の反射面を有する直
角プリズム７とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光により三
角測量を行う場合などに用いる走査装置に関し、特に被
測定物を固定したままスポットサイズ一定のレーザ光を
２次元的に走査できるようにした走査装置に関するもの
である。
角測量を行う場合などに用いる走査装置に関し、特に被
測定物を固定したままスポットサイズ一定のレーザ光を
２次元的に走査できるようにした走査装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、レーザ光の走査装置において
は、ｆθレンズを用いることにより基準面に対して焦点
を合わせて走査するように構成されている。その種の従
来の走査装置の構成を図４を参照して説明すると、２１
はレーザ光源、２２はレーザ光源２１から出射されたレ
ーザ光を平行光束とするコリメートレンズ系である。２
３は偏向手段としてのガルバノミラーであり、その回転
により入射した平行光束を回転軸芯に対して垂直な一平
面内で偏向し、矢印Ｘで示す主走査方向に走査する。な
お、ガルバノミラー２３の代わりに、ポリゴンミラーや
音響光学素子等を用いてもかまわない。２４はガルバノ
ミラー２３にて偏向された平行光束を基板２５に対して
ほぼ垂直に照射させるｆθレンズである。
は、ｆθレンズを用いることにより基準面に対して焦点
を合わせて走査するように構成されている。その種の従
来の走査装置の構成を図４を参照して説明すると、２１
はレーザ光源、２２はレーザ光源２１から出射されたレ
ーザ光を平行光束とするコリメートレンズ系である。２
３は偏向手段としてのガルバノミラーであり、その回転
により入射した平行光束を回転軸芯に対して垂直な一平
面内で偏向し、矢印Ｘで示す主走査方向に走査する。な
お、ガルバノミラー２３の代わりに、ポリゴンミラーや
音響光学素子等を用いてもかまわない。２４はガルバノ
ミラー２３にて偏向された平行光束を基板２５に対して
ほぼ垂直に照射させるｆθレンズである。
【０００３】２６は基板２５を固定するテーブル、２７
は回転することによりテーブル２６を矢印Ｘで示す主走
査方向と直交する矢印Ｙで示す副走査方向に移動させる
ボールネジ、２８はボールネジ２７を回転させる送りモ
ータ、２９はテーブル２６をＹ方向に移動自在に案内す
る案内レールである。
は回転することによりテーブル２６を矢印Ｘで示す主走
査方向と直交する矢印Ｙで示す副走査方向に移動させる
ボールネジ、２８はボールネジ２７を回転させる送りモ
ータ、２９はテーブル２６をＹ方向に移動自在に案内す
る案内レールである。
【０００４】以上の構成の走査装置において、レーザ光
源２１から出射されたレーザ光はコリメートレンズ系２
２により平行光束とされ、ガルバノミラー２３にて偏向
されてｆθレンズ２４に入射する。ｆθレンズ２４は、
入射した平行光束を入射方向に関わらず入射位置から基
板２５に対してほぼ垂直になるように照射し、基板２５
上に焦点を結ぶ。従って、ガルバノミラー２３の回転に
よって、基板２５上のレーザスポット光がＸ方向に１次
元的に走査されることとなる。加えて、テーブル２６を
Ｙ方向に移動させることにより、基板２５の全面を２次
元的に走査することができる。
源２１から出射されたレーザ光はコリメートレンズ系２
２により平行光束とされ、ガルバノミラー２３にて偏向
されてｆθレンズ２４に入射する。ｆθレンズ２４は、
入射した平行光束を入射方向に関わらず入射位置から基
板２５に対してほぼ垂直になるように照射し、基板２５
上に焦点を結ぶ。従って、ガルバノミラー２３の回転に
よって、基板２５上のレーザスポット光がＸ方向に１次
元的に走査されることとなる。加えて、テーブル２６を
Ｙ方向に移動させることにより、基板２５の全面を２次
元的に走査することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の走査装置の構成では、基板２５上を２次元的に走査
するには基板２５を固定したテーブル２６をＹ方向に移
動させる必要があり、テーブル２６の移動ストロークの
ために装置が大型化してしまうという問題があった。
来の走査装置の構成では、基板２５上を２次元的に走査
するには基板２５を固定したテーブル２６をＹ方向に移
動させる必要があり、テーブル２６の移動ストロークの
ために装置が大型化してしまうという問題があった。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、被測
定物を移動することなく被測定物に対して２次元的に走
査することができ、かつ装置を小型化することができる
走査装置を提供することを目的としている。
定物を移動することなく被測定物に対して２次元的に走
査することができ、かつ装置を小型化することができる
走査装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の走査装置は、被
測定物に照射するレーザ光を発生する光源と、光源から
のレーザ光を平行光束にするコリメートレンズ系と、平
行光束をある一平面内で偏向させる偏向手段と、偏向手
段にて偏向された平行光束が入射され、被測定物までの
焦点距離が変わらないようにかつ上記一平面内で被測定
物を走査するように入射した平行光束を集光して出射す
るｆθレンズと、ｆθレンズから被測定物までの光路長
さを変化させずに偏向手段による走査方向に対して直交
する方向に、その移動に応じて被測定物への照射位置を
変化させる一対の反射面とを備えたものであり、Ｘ方向
は偏向手段によって、またこれと直交するＹ方向は一対
の反射面の移動によって走査することができ、被測定物
を移動させなくてもレーザスポットのサイズを変えずに
被測定物上を２次元的に走査することができ、被測定物
の移動手段を設ける必要がないので装置を小型化でき、
さらに一対の反射面はＹ方向の走査量の半分だけ移動さ
せればよいので、一層小型化することができる。
測定物に照射するレーザ光を発生する光源と、光源から
のレーザ光を平行光束にするコリメートレンズ系と、平
行光束をある一平面内で偏向させる偏向手段と、偏向手
段にて偏向された平行光束が入射され、被測定物までの
焦点距離が変わらないようにかつ上記一平面内で被測定
物を走査するように入射した平行光束を集光して出射す
るｆθレンズと、ｆθレンズから被測定物までの光路長
さを変化させずに偏向手段による走査方向に対して直交
する方向に、その移動に応じて被測定物への照射位置を
変化させる一対の反射面とを備えたものであり、Ｘ方向
は偏向手段によって、またこれと直交するＹ方向は一対
の反射面の移動によって走査することができ、被測定物
を移動させなくてもレーザスポットのサイズを変えずに
被測定物上を２次元的に走査することができ、被測定物
の移動手段を設ける必要がないので装置を小型化でき、
さらに一対の反射面はＹ方向の走査量の半分だけ移動さ
せればよいので、一層小型化することができる。
【０００８】また、一対の反射鏡を直角プリズムの直角
を挟む２つの面で構成し、ｆθレンズからのレーザ光が
直角プリズムの移動方向に垂直に入射しかつ出射して被
測定物に対して垂直に走査するようにすると、単一の直
角プリズムを用いた簡単な構成でレーザ光を被測定物に
垂直に照射できる。
を挟む２つの面で構成し、ｆθレンズからのレーザ光が
直角プリズムの移動方向に垂直に入射しかつ出射して被
測定物に対して垂直に走査するようにすると、単一の直
角プリズムを用いた簡単な構成でレーザ光を被測定物に
垂直に照射できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の走査装置の一実施
形態について、図１、図２を参照して説明する。
形態について、図１、図２を参照して説明する。
【００１０】図１において、１は基板８上に照射するレ
ーザ光を発生するレーザ光源である。２はレーザ光源１
から出射されたレーザ光を平行光束にするコリメートレ
ンズ系である。３は、その回転により入射した平行光束
を回転軸芯に対して垂直な一平面内で偏向するガルバノ
ミラーであり、平行光束を矢印Ｘで示す主走査方向に走
査する。４はガルバノミラー３によって偏向されて入射
した平行光束を入射方向にかかわらず入射位置から基板
８に向けて垂直に照射し、基板８上に焦点を結ばせるｆ
θレンズである。５、６はｆθレンズ４からの光を直角
プリズム７に導くためのミラーである。直角プリズム７
は９０°の頂角の２等分線が矢印Ｘ方向と平行となる面
内に位置するように配設され、かつ矢印Ｘ方向に対して
直交する矢印Ｙ方向にモータ７ａなどの移動手段にて平
行移動可能に構成されている。本実施形態の走査装置と
従来の走査装置との相違点は、直角プリズム７とミラー
５、６を追加した点であり、他の構成要素は従来と同様
である。
ーザ光を発生するレーザ光源である。２はレーザ光源１
から出射されたレーザ光を平行光束にするコリメートレ
ンズ系である。３は、その回転により入射した平行光束
を回転軸芯に対して垂直な一平面内で偏向するガルバノ
ミラーであり、平行光束を矢印Ｘで示す主走査方向に走
査する。４はガルバノミラー３によって偏向されて入射
した平行光束を入射方向にかかわらず入射位置から基板
８に向けて垂直に照射し、基板８上に焦点を結ばせるｆ
θレンズである。５、６はｆθレンズ４からの光を直角
プリズム７に導くためのミラーである。直角プリズム７
は９０°の頂角の２等分線が矢印Ｘ方向と平行となる面
内に位置するように配設され、かつ矢印Ｘ方向に対して
直交する矢印Ｙ方向にモータ７ａなどの移動手段にて平
行移動可能に構成されている。本実施形態の走査装置と
従来の走査装置との相違点は、直角プリズム７とミラー
５、６を追加した点であり、他の構成要素は従来と同様
である。
【００１１】次に、以上のように構成した走査装置の動
作を説明する。レーザ光源１から出射したレーザ光はコ
リメートレンズ系２は平行光束となり、ガルバノミラー
３の回転により平行光束はＸ方向に偏向する。ｆθレン
ズ４は平行光束の入射方向に関わらず入射位置に応じて
それぞれ基板８に対して垂直な光を出射する。また、ｆ
θレンズ４の焦点は基板８の表面に合わせている。
作を説明する。レーザ光源１から出射したレーザ光はコ
リメートレンズ系２は平行光束となり、ガルバノミラー
３の回転により平行光束はＸ方向に偏向する。ｆθレン
ズ４は平行光束の入射方向に関わらず入射位置に応じて
それぞれ基板８に対して垂直な光を出射する。また、ｆ
θレンズ４の焦点は基板８の表面に合わせている。
【００１２】ｆθレンズ４を出たレーザ光は、ミラー
５、６により反射されて直角プリズム７に入射する。直
角プリズム７の入射面、すなわち底面は入射光に対して
直角になっており、屈折することなく直角プリズム７内
に入射し、９０°の頂角を挟む一対の反射面で全反射
し、１８０°折り返して出射し、基板８上に照射する。
５、６により反射されて直角プリズム７に入射する。直
角プリズム７の入射面、すなわち底面は入射光に対して
直角になっており、屈折することなく直角プリズム７内
に入射し、９０°の頂角を挟む一対の反射面で全反射
し、１８０°折り返して出射し、基板８上に照射する。
【００１３】ここで、基板８のＸ方向の走査は、従来と
同様にガルバノミラー３を回転させることによって行わ
れる。一方、Ｙ方向の走査は直角プリズム７を移動させ
ることによって行われる。
同様にガルバノミラー３を回転させることによって行わ
れる。一方、Ｙ方向の走査は直角プリズム７を移動させ
ることによって行われる。
【００１４】このＹ方向の走査について説明すると、図
２に示すように、ｆθレンズ４により集光されてｏ点か
ら出射したレーザ光は、直角プリズム７に入射してａ
点、ｂ点で反射し、基板８に対してほぼ垂直に照射され
るとともに基板８上のｃ点で結像する。直角プリズム７
が破線で示す位置までＹ方向に移動した場合には、レー
ザ光は直角プリズム７のｄ点、ｅ点で反射して基板８上
のｆ点に照射される。また、光路長ｏａｂｃと光路長ｏ
ｄｅｆは等しいため、ｃ点が焦点であると、ｆ点も焦点
となり、レーザ光が結像する。直角プリズム７が破線の
位置に限らずＹ方向の他の位置に移動した場合でも光路
長は常に一定であり、直角プリズム７のＹ方向の移動に
よりレーザ光が基板８上をＹ方向に移動し、かつレーザ
光の焦点は常に基板８表面と一致する。このように直角
プリズム７の矢印Ｙ方向の位置によって出射するレーザ
光の出射位置がＹ方向に変化し、かつその出射位置の変
化量は直角プリズム７の移動量の２倍である。
２に示すように、ｆθレンズ４により集光されてｏ点か
ら出射したレーザ光は、直角プリズム７に入射してａ
点、ｂ点で反射し、基板８に対してほぼ垂直に照射され
るとともに基板８上のｃ点で結像する。直角プリズム７
が破線で示す位置までＹ方向に移動した場合には、レー
ザ光は直角プリズム７のｄ点、ｅ点で反射して基板８上
のｆ点に照射される。また、光路長ｏａｂｃと光路長ｏ
ｄｅｆは等しいため、ｃ点が焦点であると、ｆ点も焦点
となり、レーザ光が結像する。直角プリズム７が破線の
位置に限らずＹ方向の他の位置に移動した場合でも光路
長は常に一定であり、直角プリズム７のＹ方向の移動に
よりレーザ光が基板８上をＹ方向に移動し、かつレーザ
光の焦点は常に基板８表面と一致する。このように直角
プリズム７の矢印Ｙ方向の位置によって出射するレーザ
光の出射位置がＹ方向に変化し、かつその出射位置の変
化量は直角プリズム７の移動量の２倍である。
【００１５】以上のように本実施形態によれば、直角プ
リズム７をＹ方向に移動させることによりＹ方向の走査
を行うことができるので、基板８を移動させなくても２
次元的な走査を行うことがてきる。従って、基板８を動
かさなくてもよい分だけ装置を小型化することができ
る。なお、直角プリズム７をＹ方向に移動させる必要は
あるが、基板８を固定するテーブルを移動させる場合に
比してコンパクトに構成できるだけでなく、直角プリズ
ム７の移動量はＹ方向の走査量の半分でよいため、一層
コンパクトに構成することができる。
リズム７をＹ方向に移動させることによりＹ方向の走査
を行うことができるので、基板８を移動させなくても２
次元的な走査を行うことがてきる。従って、基板８を動
かさなくてもよい分だけ装置を小型化することができ
る。なお、直角プリズム７をＹ方向に移動させる必要は
あるが、基板８を固定するテーブルを移動させる場合に
比してコンパクトに構成できるだけでなく、直角プリズ
ム７の移動量はＹ方向の走査量の半分でよいため、一層
コンパクトに構成することができる。
【００１６】なお、上記実施形態では、直角プリズム７
を用いた例を示したが、必ずしも２つの反射面の成す角
度が９０°である必要はなく、また図３に示すように一
対の反射ミラー１１、１２を組み合わせて構成すること
もできる。この場合、走査面１０の法線方向に対して角
度θだけ傾いた方向から走査面１０上にレーザスポット
のサイズが一定のレーザ光を照射することができる。そ
の際に、角度θは一対の反射ミラー１１、１２の成す角
度γ、及び反射ミラー１１に対するレーザ光の入射角α
によって、次式によって与えられる。
を用いた例を示したが、必ずしも２つの反射面の成す角
度が９０°である必要はなく、また図３に示すように一
対の反射ミラー１１、１２を組み合わせて構成すること
もできる。この場合、走査面１０の法線方向に対して角
度θだけ傾いた方向から走査面１０上にレーザスポット
のサイズが一定のレーザ光を照射することができる。そ
の際に、角度θは一対の反射ミラー１１、１２の成す角
度γ、及び反射ミラー１１に対するレーザ光の入射角α
によって、次式によって与えられる。
【００１７】
【数１】
【００１８】なお、一対の反射ミラー１１、１２を移動
させるＹ方向は上記実施形態と同様にＸ方向に対して垂
直、すなわち偏向されて入射するレーザ光の光軸に対し
て平行な平面に対して直交する方向である。
させるＹ方向は上記実施形態と同様にＸ方向に対して垂
直、すなわち偏向されて入射するレーザ光の光軸に対し
て平行な平面に対して直交する方向である。
【００１９】
【発明の効果】本発明の走査装置によれば、以上の説明
から明らかなように、一対の反射面を一方向に移動させ
る簡単な構成を追加するだけで、１つのレーザ光源から
出たレーザ光をＸ方向、Ｙ方向ともに、被測定物に焦点
が合った状態で走査することができ、被測定物を移動さ
せなくても被測定物上を２次元的に走査することがで
き、被測定物の移動手段を設ける必要がないので装置を
小型化でき、さらに一対の反射面はＹ方向の走査量の半
分だけ移動させればよいので、一層小型化することがで
きる。
から明らかなように、一対の反射面を一方向に移動させ
る簡単な構成を追加するだけで、１つのレーザ光源から
出たレーザ光をＸ方向、Ｙ方向ともに、被測定物に焦点
が合った状態で走査することができ、被測定物を移動さ
せなくても被測定物上を２次元的に走査することがで
き、被測定物の移動手段を設ける必要がないので装置を
小型化でき、さらに一対の反射面はＹ方向の走査量の半
分だけ移動させればよいので、一層小型化することがで
きる。
【００２０】また、一対の反射鏡を直角プリズムの直角
を挟む２つの面で構成し、ｆθレンズからのレーザ光が
直角プリズムの移動方向に垂直に入射しかつ出射して被
測定物に対して垂直に走査するようにすると、単一の直
角プリズムを用いた簡単な構成で被測定物に垂直にレー
ザ光を照射できる。
を挟む２つの面で構成し、ｆθレンズからのレーザ光が
直角プリズムの移動方向に垂直に入射しかつ出射して被
測定物に対して垂直に走査するようにすると、単一の直
角プリズムを用いた簡単な構成で被測定物に垂直にレー
ザ光を照射できる。
【図１】本発明の一実施形態の走査装置の概略構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図２】同実施形態のＹ方向の走査原理の説明図であ
る。
る。
【図３】本発明の他の実施形態におけるＹ方向の走査原
理の説明図である。
理の説明図である。
【図４】従来例の走査装置の概略構成を示す斜視図であ
る。
る。
１ レーザ光源 ２ コリメートレンズ系 ３ ガルバノミラー（偏向手段） ４ ｆθレンズ ７ 直角プリズム ８ 基板（被測定物） １１ 反射ミラー １２ 反射ミラー
フロントページの続き (72)発明者 芝田 勉 東京都大田区北千束３−26−12 株式会社 応用計測研究所内 (72)発明者 三宅 一司 東京都大田区北千束３−26−12 株式会社 応用計測研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物に照射するレーザ光を発生する
光源と、光源からのレーザ光を平行光束にするコリメー
トレンズ系と、平行光束をある一平面内で偏向させる偏
向手段と、偏向手段にて偏向された平行光束が入射さ
れ、被測定物までの焦点距離が変わらないようにかつ上
記一平面内で被測定物を走査するように入射した平行光
束を集光して出射するｆθレンズと、ｆθレンズから被
測定物までの光路長さを変化させずに偏向手段による走
査方向に対して直交する方向に、その移動に応じて被測
定物への照射位置を変化させる一対の反射面とを備えた
ことを特徴とする走査装置。 - 【請求項２】 一対の反射面を直角プリズムの直角を挟
む２つの面で構成し、ｆθレンズからのレーザ光が直角
プリズムの移動方向に垂直に入射しかつ出射して被測定
物に対して垂直に走査するようにしたことを特徴とする
請求項１記載の走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31489497A JPH11149052A (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | 走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31489497A JPH11149052A (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | 走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11149052A true JPH11149052A (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18058918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31489497A Pending JPH11149052A (ja) | 1997-11-17 | 1997-11-17 | 走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11149052A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011145232A (ja) * | 2010-01-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 計測装置及び露光装置 |
| JP2014016398A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 光走査装置及びレーザ加工装置 |
| CN108414085A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-17 | 三明学院 | 一种大视场扫描系统 |
| WO2020004177A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 川崎重工業株式会社 | 導光装置及びレーザ加工装置 |
| WO2020004178A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 川崎重工業株式会社 | 導光装置及びレーザ加工装置 |
| CN111693965A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-09-22 | 陈泽雄 | 一种激光雷达扫描方法及激光雷达 |
-
1997
- 1997-11-17 JP JP31489497A patent/JPH11149052A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011145232A (ja) * | 2010-01-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 計測装置及び露光装置 |
| JP2014016398A (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 光走査装置及びレーザ加工装置 |
| CN108414085A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-08-17 | 三明学院 | 一种大视场扫描系统 |
| WO2020004177A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 川崎重工業株式会社 | 導光装置及びレーザ加工装置 |
| WO2020004178A1 (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-02 | 川崎重工業株式会社 | 導光装置及びレーザ加工装置 |
| JP2020003517A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 川崎重工業株式会社 | 導光装置及びレーザ加工装置 |
| JP2020003518A (ja) * | 2018-06-25 | 2020-01-09 | 川崎重工業株式会社 | 導光装置及びレーザ加工装置 |
| TWI698661B (zh) * | 2018-06-25 | 2020-07-11 | 日商川崎重工業股份有限公司 | 導光裝置以及雷射加工裝置 |
| RU2752126C1 (ru) * | 2018-06-25 | 2021-07-23 | Кавасаки Дзюкогио Кабусики Кайся | Световодное устройство и устройство лазерной обработки |
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| US11911845B2 (en) | 2018-06-25 | 2024-02-27 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Lightguide device and laser processing device |
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